特開2015-230837加熱装置及びこれを用いた半導体製造装置

発明の名称　加熱装置及びこれを用いた半導体製造装置

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-230837

公報発行日　2015年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-230837

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