特開2018-203716化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明の名称 化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
出願人 住友化学株式会社 （識別番号 2093）
特許公開件数ランキング 39 位（327件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 53 位（238件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2018-203716
公報発行日 2018年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-203716
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2018-203716「化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録