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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2019-179836(P2019-179836A)
(43)【公開日】2019年10月17日
(54)【発明の名称】冷却装置
(51)【国際特許分類】
   H05K 7/20 20060101AFI20190920BHJP
   H01L 23/473 20060101ALI20190920BHJP
【FI】
   H05K7/20 N
   H01L23/46 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】OL
【全頁数】12
(21)【出願番号】特願2018-67972(P2018-67972)
(22)【出願日】2018年3月30日
(71)【出願人】
【識別番号】000232302
【氏名又は名称】日本電産株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001933
【氏名又は名称】特許業務法人 佐野特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】中江 伸也
(72)【発明者】
【氏名】杉山 知嗣
【テーマコード(参考)】
5E322
5F136
【Fターム(参考)】
5E322AA01
5E322AA05
5E322AA10
5E322BB03
5E322DA01
5E322FA01
5F136BA04
5F136CB07
5F136CB11
5F136CB13
5F136CB18
5F136CB27
5F136FA02
5F136FA03
5F136GA04
5F136GA17
(57)【要約】      (修正有)
【課題】冷却効果を高めた冷却装置を提供する。
【解決手段】冷却装置1は、発熱部品Hと下面が接触するとともに内部に冷媒が流通する冷媒流路を有するコールドプレートと、冷却用のフィンと、冷媒流路に接続されて冷媒が流通する複数のパイプと、を有するラジエータと、冷媒を循環させるポンプと、を備える。複数のパイプは、並列に接続されるとともに、コールドプレートの上方においてコールドプレートの上面に沿って延びる延在部23aを有し、少なくとも2つの延在部23aの下端の位置が上下方向に異なる。
【選択図】図4
【特許請求の範囲】
【請求項1】
発熱部品と下面が接触するとともに内部に冷媒が流通する冷媒流路を有するコールドプレートと、
冷却用のフィンと、前記冷媒流路に接続されて前記冷媒が流通する複数のパイプと、を有するラジエータと、
前記冷媒を循環させるポンプと、を備え、
複数の前記パイプは、並列に接続されるとともに、前記コールドプレートの上方において前記コールドプレートの上面に沿って延びる延在部を有し、
少なくとも2つの前記延在部の下端の位置が上下方向に異なる、冷却装置。
【請求項2】
前記パイプの配列方向の両端に配置される前記パイプは、前記延在部の下端の位置が上下方向に異なる、請求項1に記載の冷却装置。
【請求項3】
複数の前記延在部の下端は、前記パイプの配列方向に向かって順に下方に位置する、請求項1に記載の冷却装置。
【請求項4】
隣接する前記パイプにおいて、一方の前記延在部の下端は、他方の前記延在部の下端よりも上方、且つ、他方の前記延在部の上端よりも下方に位置する、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項5】
各前記パイプは、前記延在部の両端から下方に屈曲する接続部を有し、
各前記接続部は、前記コールドプレートの側壁部に設けられた複数の流入口及び流出口とそれぞれ接続される、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項6】
複数の前記接続部において、最も上方に位置する前記接続部の下端は、最も下方に位置する前記接続部の上端よりも下方に位置する、
または、
全ての前記接続部の下端は、上下方向において同一の位置に配置される、請求項5に記載の冷却装置。
【請求項7】
各前記パイプは、前記延在部の両端から下方に屈曲する接続部を有し、
各前記接続部は前記コールドプレートの上壁部に設けられた複数の流入口及び流出口とそれぞれ接続される、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項8】
少なくとも2つの前記延在部の長手方向の長さが異なる、請求項7に記載の冷却装置。
【請求項9】
前記延在部の長手方向の長さは、前記パイプの配列方向に向かって順に短くなる、請求項7に記載の冷却装置。
【請求項10】
前記フィンは、前記パイプのうち前記延在部のみに設けられる、請求項5〜請求項9のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項11】
前記フィンが前記延在部の延びる方向と交差する方向に延びて複数の前記延在部を横断する、請求項1〜請求項10のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項12】
前記フィンの上端は、前記延在部の上端よりも上方に位置する、請求項1〜請求項11のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項13】
前記フィンの下端は、前記延在部の下端よりも下方に位置し、前記コールドプレートの上面と接する、請求項1〜請求項12のいずれかに記載の冷却装置。
【請求項14】
前記延在部は直線状に延び、
前記フィンの延びる方向と前記延在部の延びる方向とが直交する、請求項1〜請求項13のいずれかに記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、冷却装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来の冷却装置は特許文献1に開示されている。この素子冷却装置は、多数のフィン部材と、被冷却素子が装着される受熱板と、作動液が封入された複数のパイプ部材とを有する。フィン部材の上方位置には、冷却ファンが配置されている。冷却ファンから送風された冷却風は、案内ダクトで案内されて通風ダクトの導入口に流れる。冷却風は、各フィン部材の中央部から両側に分岐して流通する。これにより、冷却風によって各フィン部材の一方側に伝達された熱が冷却風中に放熱される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平11−307703号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記特許文献に開示された素子冷却装置では、冷却風が各フィン部材の中央部から両側に分岐して流れる際に、冷却風がパイプ部材に衝突し、フィン部材全体に冷却風が流れ難い課題があった。
【0005】
本発明は、冷却効果を高めた冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の例示的な冷却装置は、コールドプレートと、ラジエータと、ポンプと、を備える。コールドプレートは、発熱部品と下面が接触するとともに内部に冷媒が流通する冷媒流路を有する。ラジエータは、冷却用のフィンと、前記冷媒流路に接続されて前記冷媒が流通する複数のパイプと、を有する。ポンプは、前記冷媒を循環させる。複数の前記パイプは、並列に接続されるとともに、前記コールドプレートの上方において前記コールドプレートの上面に沿って延びる延在部を有し、少なくとも2つの前記延在部の下端の位置が上下方向に異なる。
【発明の効果】
【0007】
例示的な本発明によれば、冷却効果を高めた冷却装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
図1図1は、本発明の第1実施形態に係る冷却装置の斜視図である。
図2図2は、本発明の第1実施形態に係る冷却装置の斜視図である。
図3図3は、本発明の第1実施形態に係る冷却装置の上面図である。
図4図4は、図3中のA−A線断面である。
図5図5は、本発明の第1実施形態に係る冷却装置の上壁部を示す底面図である。
図6図6は、本発明の第1実施形態に係る冷却装置の底壁部を示す上面図である。
図7図7は、本発明の第1実施形態の変形例に係る冷却装置の断面図である。
図8図8は、本発明の第1実施形態の変形例に係る冷却装置の断面図である。
図9図9は、本発明の第2実施形態に係る冷却装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、本願では、コールドプレート10に対して、ラジエータ20が配置されている方向を「上側」、ラジエータ20が配置されている方向の反対側を「下側」、とそれぞれ称する。また、本願では、コールドプレート10に対してラジエータ20が配置されている方向を「上下方向」と称し、「上下方向」と直交する方向を「水平方向」と称して、各部の形状や位置関係を説明する。ただし、これは、あくまで説明の便宜のために上下方向および水平方向を定義したものであって、本発明に係る冷却装置1の製造時および使用時の向きを限定するものではない。
【0010】
また、本願において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本願において「直交する方向」とは、略直交する方向も含む。
【0011】
<第1実施形態>
(1.冷却装置の構成)
本発明の例示的な一実施形態の冷却装置について説明する。図1図2は本発明の実施形態に係る冷却装置1の斜視図であり、図2はフィン21を省いた状態を示す。また、図3は冷却装置1の斜視図であり、図4図3中のA−A線断面斜視図である。
【0012】
冷却装置1は、コールドプレート10、ラジエータ20及びポンプ30を有する。ラジエータ20は、コールドプレート10上に配置される。ラジエータ20の下面は、コールドプレート10の上面と接する。コールドプレート10は、発熱部品Hと下面が接触する。コールドプレート10の内部には冷媒が流通する冷媒流路11が形成される。ポンプ30は、冷媒を冷却装置1内に循環させる。ポンプ30は冷媒流路11に配置される(図5参照)。これにより、コールドプレート10、ラジエータ20、ポンプ30を一体化して冷却装置1全体を小型化することができる。
【0013】
コールドプレート10は、銅又はアルミニウム等の熱伝導性の高い金属から成る。コールドプレート10は底壁部12、上壁部13及び側壁部14を有する。本実施形態において、コールドプレート10は、上面視において矩形である。すなわち、底壁部12及び上壁部13は、上面視において水平方向に拡がる板状である。なお、本実施形態の底壁部12及び上壁部13は上面視において四角形であるがこの限りではなく、例えば、上面視において複数の角を有する多角形、または円形であってもよい。底壁部12の下面に発熱部品Hが接触する。
【0014】
側壁部14は、底壁部12及び上壁部13の周縁を連結する。側壁部14は、底壁部12の周縁から上方に延びる第1側壁部14aと、上壁部13の周縁から下方に延びる第2側壁部14bと、を有する。第1側壁部14aの上面と第2側壁部14bの下面とは接合される。
【0015】
冷媒流路11は、底壁部12、上壁部13及び側壁部14で囲まれる内部空間に形成される。冷媒流路11の内部には複数並んで配置されるブレード12aが設けられる。冷媒は、流入口14cを介して冷媒流路11に流入し、流出口14dを介して冷媒流路11から流出する。本実施形態において、複数の流入口14c及び流出口14dは、側壁部14に設けられる(図5参照)。
【0016】
冷媒は、流入口14cを介して冷媒流路11に水平方向に流入した後、複数のブレード12a間を通過し、水平方向に流出口14dを介して流出する。本実施形態において冷媒は液体であり、例えばエチレングリコール水溶液またはプロピレングリコール水溶液のような不凍液や純水等が使用される。
【0017】
ラジエータ20は複数のパイプ23及び冷却用のフィン21を有する。パイプ23は冷媒流路11と連通する。パイプ23は、コールドプレート10の短手方向Yに等間隔で5本配列され、5本のパイプ23は並列にコールドプレート10に接続される。これにより、各パイプ23からフィン21へ熱が伝達されて冷媒を効率良く冷却することができる。
【0018】
パイプ23は、延在部23aと接続部23bとを有する。延在部23aはコールドプレート10の上方に配置され、コールドプレート10の上面に沿って延びる。すなわち、延在部23aは、長手方向Xに直線状に延びる。少なくとも2つの延在部23aの下端の位置は、上下方向に異なる。これにより、パイプ23の配列方向(短手方向Y)に冷却風を送風した場合に、少なくとも2つの延在部23aにおいて、直接冷却風が接触する表面積が大きくなる。従って、ラジエータ20の冷却性能が向上し、冷却装置1の冷却効果が高まる。
【0019】
接続部23bは、延在部23aの両端から下方に屈曲し、接続部23bの先端は流入口14c及び流出口14dと接続される。本実施形態において、各接続部23bは、コールドプレート10の側壁部14に設けられた複数の流入口14c及び流出口14dとそれぞれ接続される。冷媒は、接続部23bの先端から流入口14cを介して冷媒流路11に水平方向に流入した後、複数のブレード12a間を通過し、水平方向に流出口14dを介して接続部23bの先端から流出する。すなわち、冷媒は一方向に複数のブレード12a間を通過する。これにより、円滑に冷媒流路11を通過することができる。
【0020】
本実施形態において、複数の接続部23bの下端は、上下方向において同一の位置に配置される。これにより、コールドプレート10の上下方向の高さが大きくなることを抑制できる。つまり、冷却装置1が上下方向に大型化することを抑制できる。
【0021】
本実施形態において、隣接する延在部23aの径は同一であり、延在部23aの下端はパイプ23の配列方向(短手方向Y)に向かって順に下方に位置する。これにより、各パイプ23に直接冷却風が接触する。従って、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
【0022】
本実施形態において、ラジエータ20に送風される冷却風は、延在部23aの下端の位置が高い方から低い方に向かう矢印D方向に送風される。ラジエータ20に送風される冷却風は、パイプ23及びフィン21との熱交換によって下流に向かって温度が上昇する。また、延在部23aの下端の位置が高くなるにつれて接続部23bの長さが大きくなり、パイプ23の表面積も大きいため、冷却性能が高い。このため、延在部23aの下端の位置が高い方から低い方に向かう矢印D方向に冷却風を送風すると、より温度の低い冷却風を表面積の大きいパイプ23から順に直接接触させることができる。従って、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
【0023】
ラジエータ20に送風された冷却風はパイプ23の上方及び下方を流通する。パイプ23の下方を流通する冷却風は延在部23aの下端と上壁部13の上面との間に形成される下段流路Rを流通する。
【0024】
下段流路Rは、延在部23aの下端の位置が高い方から低い方に向かう矢印D方向に向かって徐々に狭まる。つまり、矢印D方向に冷却風を送風した場合、冷却風の上流側の下段流路Rは、下流側の下段流路Rよりも広い。従って、下段流路Rに冷却風が円滑に流通する。
【0025】
隣接するパイプ23において、一方の延在部23aの下端は、他方の延在部23aの下端よりも上方、且つ、他方の延在部23aの上端よりも下方に位置する。これにより、下段流路Rを流通する冷却風が、隣接する延在部23aの隙間から外側に抜け難く、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。また、複数のパイプ23を上下方向に接近して配置することができる。これにより、フィン21が上下方向に大型化することを抑制できる。つまり、冷却装置1の大型化を抑制できる。
【0026】
フィン21は平板状に形成され、上壁部13の上面から起立して水平方向に延びる。本実施形態において、コールドプレート10は、長手方向Xと短手方向Yとを有し、複数のフィン21は、短手方向Yに延びる。また、複数のフィン21は、コールドプレート10の長手方向Xに等間隔で平行に配列される。
【0027】
本実施形態において、フィン21は上壁部13とは別部材である。フィン21の下端は、上壁部13の上面に溶接によって接合される。これにより、フィン21の下端は上壁部13の上面と接し、上壁部13からフィン21への熱伝達性が向上する。なお、フィン21と上壁部13とは同一部材であってもよい。この場合、例えば、フィン21は上壁部13の上面を切削加工して形成される。また、本実施形態において、フィン21の上端は延在部23aの上端よりも上方に位置する。これにより、延在部23aからフィン21に伝達された熱はフィン21の上方及び下方に広がり、フィン21の放熱性が向上する。
【0028】
フィン21とパイプ23とはフィン21に設けられた貫通孔(不図示)にパイプ23を挿通して溶接される。本実施形態において、フィン21は、パイプ23のうち延在部23aのみに設けられる。パイプ23のうち接続部23bにはフィン21は設けられない。すなわち、フィン21は延在部23aと接合されるが、接続部23bとは接合されない。これにより、屈曲する接続部23bにフィン21を取付ける作業が省かれ、フィン21の取付け作業が簡易化する。
【0029】
本実施形態において、フィン21は延在部23aの延びる方向と交差する方向に延び、複数の延在部23aを横断する。これにより、隣接するフィン21の間に形成される冷却風の流路が延在部23aを横断する。従って、流通する冷却風によって延在部23aからの放熱が促され、ラジエータ20の冷却性能が向上する。
【0030】
本実施形態において、フィン21の延びる方向は、延在部23aの延びる方向と直交する。これにより、コールドプレート10上において、複数のフィン21を近接して密に配列することができる。従って、フィン21全体の表面積を大きくしてラジエータ20の冷却性能を向上することができる。
【0031】
図5は上壁部13の底面図であり、図6は底壁部12の上面図である。側壁部14の短手方向Yの一端側にポンプ30が配置される。本実施形態において、ポンプ30はカスケードポンプである。ポンプ30は、短手方向Yの他端側に吸込口31aと吐出口31bとを有する。上壁部13は、上面から下方に向かって突出する仕切壁15を有する。仕切壁15は、上壁部13の短手方向Yの一端側から他端側に延びる。冷媒流路11は、仕切壁15を挟んで、流入側冷媒流路11aと、流出側冷媒流路11bと、を有する。吸込口31aは、流入側冷媒流路11aに配置される。また、吐出口31bは、流出側冷媒流路11bに配置される。
【0032】
図6に示すように、底壁部12の上面には複数のブレード12aが設けられる。ブレード12aは吸込口31aと流入口14cとの間及び吐出口31bと流出口14dとの間に配置される。複数のブレード12aは、平行に配列される。各ブレード12aは、長手方向Xの中央に配置されるとともに下方に向かって凹む溝部12bを有する。溝部12bの上面は仕切壁15の下端と当接する。ブレード12aの上端と上壁部13の下面との間には上下方向の隙間Sが形成される(図4参照)。
【0033】
流入口14cを介して流入側冷媒流路11aに流入した冷媒は、ブレード12a間を流通して吸込口31aからポンプ30に流入する。吐出口31bから流出側冷媒流路11bに吐出された冷媒は、ブレード12a間を流通して流出口14dから流出する。このとき、冷媒はブレード12a間を流通して流入側冷媒流路11aおよび流出側冷媒流路11bに広がる。これにより、コールドプレート10の全体が冷媒により冷却される。
【0034】
(2.冷却装置の動作)
コールドプレート10の底壁部12の下面にCPU等の冷却されるべき発熱部品Hを接触させてポンプ30を駆動する。これにより、冷媒流路11及びパイプ23を冷媒が循環する。発熱部品Hの発熱はコールドプレート10の底壁部12に伝達される。底壁部12に伝達された熱は上壁部13を介してフィン21に伝達されるとともに、パイプ23を流通する冷媒を介してフィン21に伝達される。これにより、フィン21を介して放熱が行われ、発熱部品Hの温度上昇を抑制することができる。
【0035】
ラジエータ20の側方に冷却ファン(不図示)を配置して矢印D方向に冷却風を送風することにより、上述したようにフィン21及びパイプ23からの放熱が促され、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
【0036】
図7図8は本実施形態の冷却装置1の変形例を示す側面断面図である。パイプ23の配置は本実施形態のパターンに限定されない。図7に示すように、本変形例において、パイプ23の配列方向(短手方向Y)の両端に配置されるパイプ23は、延在部23aの下端の位置が上下方向に異なる。しかし、隣接する一部のパイプ23の延在部23aの下端は、上下方向の同じ位置に配置される。この場合、矢印D方向の冷却風に対して直接接触する延在部23aの表面積が延在部23aの下端の位置が全て上下方向に同じ場合と比較して大きくなる。従って、ラジエータ20の冷却性能は向上する。
【0037】
図8に示すように、本変形例において、接続部23bの下端が流出口14dの下端と一致する。このとき、最も上方に位置する接続部23bの下端は、最も下方に位置する接続部23bの上端よりも下方に位置する。これにより、コールドプレート10の上下方向の高さが大きくなることを抑制できる。つまり、冷却装置1が上下方向に大型化することを抑制できる。複数の接続部23bは、水平方向に重なる位置に配置されていればよく、複数の各接続部23bの上下方向の位置が異なっていてもよい。
【0038】
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図9は第2実施形態の冷却装置1の斜視図であり、フィン21を省いた状態を示す。説明の便宜上、前述の図1図6に示す第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付す。第2実施形態では接続部23bは上壁部13に設けられた複数の流入口13a及び流出口13bとそれぞれ接続される。
【0039】
上壁部13に流入口13a及び流出口13bを設けることにより、接続部23bがコールドプレート10の側方に突出しない。このため、冷却装置1を小型化することができる。
【0040】
本実施形態において、少なくとも2つの延在部23aの長手方向Xの長さは異なる。これにより、パイプ23の配列方向(短手方向Y)に冷却風を送風した場合に、冷却風が直接接触する延在部23aの表面積が大きくなる。従って、ラジエータ20の冷却性能が向上する。
【0041】
延在部23aの長手方向の長さは、パイプ23の配列方向(短手方向Y)に向かって順に短くなる。これにより、各パイプ23の各接続部23bに直接冷却風が接触する。従って、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。本実施形態において、延在部23aの下端はパイプ23の配列方向(短手方向Y)に向かって順に下方に位置する。このとき、長手方向の長さが最も長い延在部23aの下端の位置が最も上方に位置する。これにより、各パイプ23の各延在部23aにも直接冷却風が接触する。従って、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
【0042】
本実施形態において、ラジエータ20に送風される冷却風は、延在部23aの長手方向Xの長さが長い方から短い方に向かう矢印D方向に送風される。これにより、より温度の低い冷却風を表面積の大きいパイプ23から順に直接接触させることができる。従って、ラジエータ20の冷却性能がより向上する。
【0043】
下段流路Rは、延在部23aの長手方向Xの長さが長い方から短い方に向かう矢印D方向に向かって徐々に狭まる。つまり、矢印D方向に冷却風を送風した場合、冷却風の上流側の下段流路Rは、下流側の下段流路Rよりも広い。これにより、下段流路Rに冷却風が円滑に流通する。
【0044】
次に本発明の効果について、実施例及び比較例を用いて具体的に説明する。表1は複数配列された延在部23aの下端の高さと冷却装置1の冷却性能について評価を行った結果を示している。
【実施例1】
【0045】
以下の実施例1、2及び比較例1に係る冷却装置は第1実施形態と同様の装置を用いた。
【実施例2】
【0046】
実施例2は実施例1と同様の冷却装置1を用い、後述するように送風方向が異なる。
【0047】
[比較例1]
比較例1に係るパイプ23は延在部23aの下端の位置が全て同じ高さに配置される。
【0048】
[熱抵抗率の測定]
実施例1、実施例2及び比較例1に係る冷却装置を用意し、熱抵抗率R(K/W)を測定した結果を表1に示す。なお、冷却風をパイプ23の延びる方向と直交する方向(短手方向Y)に送風した。
【0049】
実施例1は延在部23aの下端の位置が高い方から低い方に向かう冷却風を送風した。また、実施例2は延在部23aの下端の位置が低い方から高い方に向かう冷却風を送風した。
【0050】
熱抵抗率Rは熱源をコールドプレート10の下面に接触させて測定した。熱抵抗率Rは単位時間当たりの発熱量ΔQに対するコールドプレート10の下面の温度上昇量ΔTからR=ΔT/ΔQにより算出した。
【0051】
【表1】
【0052】
[冷却性の評価]
表1に示すように、少なくとも2つの延在部23aの下端の位置が上下方向に異なるとき、延在部23aの下端の位置が同じ高さにある場合と比較して熱抵抗率Rが低下することが確認された。また、延在部23aの下端の位置が高い方から低い方に向かう冷却風を送風した実施例1に係る冷却装置1は、延在部23aの下端の位置が低い方から高い方に向かう冷却風を送風した実施例2に係る冷却装置1と比較して熱抵抗率Rが低く、冷却装置1の冷却性能が高くなることが確認された。
【0053】
(3.その他)
上記実施形態は、本発明の例示にすぎない。実施形態の構成は、本発明の技術的思想を超えない範囲で適宜変更されてもよい。また、実施形態は、可能な範囲で組み合わせて実施されてよい。
【0054】
上記実施形態ではポンプ30を冷媒流路11に配置したがコールドプレート10の外側に隣接して配置してもよい。
【符号の説明】
【0055】
1・・・冷却装置、10・・・コールドプレート、11・・・冷媒流路、11a・・・流入側冷媒流路、11b・・・流出側冷媒流路、12・・・底壁部、12a・・・ブレード、12b・・・溝部、13・・・上壁部、13a、14c・・・流入口、13b、14d・・・流出口、14・・・側壁部、14a・・・第1側壁部、14b・・・第2側壁部、15・・・仕切壁、20・・・ラジエータ、21・・・フィン、22・・・冷媒流路、23・・・パイプ、23a・・・延在部、23b・・・接続部、30・・・ポンプ、31a・・・吸込口、31b・・・吐出口、D・・・矢印、H・・・発熱部品、R・・・下段流路、S・・・隙間、X・・・長手方向、Y・・・短手方向
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9