特開2020-140976(P2020-140976A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-140976圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置
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