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特開2020-155617(P2020-155617A)
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特開
2020-155617
洗浄ヘッド、センタブラシ、外周ブラシ、基板洗浄装置および基板洗浄方法
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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