特開2020-65061(P2020-65061A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-65061改良されたフロー均一性/ガスコンダクタンスを備えた可変処理容積に対処するための対称チャンバ本体設計アーキテクチャ