Ｘ線光電子分光法を利用した、グラフェン層の厚さの測定方法及びシリコンカーバイドの含量の測定方法

発明の名称　Ｘ線光電子分光法を利用した、グラフェン層の厚さの測定方法及びシリコンカーバイドの含量の測定方法

公報番号　-

公報発行日　2021年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp--

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