発明の名称 セル分割基板用のダミー分離装置及びこれを備えるセル分割装置
出願人 エーピー システムズ インコーポレイテッド (識別番号 510223380)
特許公開件数ランキング 6839 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 5431 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2021-194767
公報発行日 2021年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-194767
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