特許5804987光硬化性ナノインプリント用組成物、該組成物を用いたパターンの形成方法、及び該組成物の硬化体を有するナノインプリント用レプリカ金型

発明の名称　光硬化性ナノインプリント用組成物、該組成物を用いたパターンの形成方法、及び該組成物の硬化体を有するナノインプリント用レプリカ金型

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 277 位（115件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 270 位（107件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5804987

公報発行日　2015年11月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5804987

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