特許第5881417号(P5881417)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5881417マスクブランク用合成石英ガラス基板の複屈折仕様決定方法、マスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び転写用マスクの製造方法
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