特許6113743反応性スパッタリングプロセス

発明の名称　反応性スパッタリングプロセス

出願人　エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ　（識別番号 598051691）

　　　　特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2166 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6113743

公報発行日　2017年4月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6113743

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