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特許6123019窒化アルミニウム圧電薄膜、圧電材、圧電部品及び窒化アルミニウム圧電薄膜の製造方法
発明の名称 窒化アルミニウム圧電薄膜、圧電材、圧電部品及び窒化アルミニウム圧電薄膜の製造方法
出願人 株式会社村田製作所 （識別番号 6231）
特許公開件数ランキング 56 位（455件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25 位（751件）（共同出願を含む）
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 （識別番号 301021533）
特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 138 位（280件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6123019
公報発行日 2017年4月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6123019
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