特許第6180439号(P6180439)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6180439塩素化の化学系を用いたCVDリアクタ内での炭化ケイ素結晶の成長
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  • 特許6180439-塩素化の化学系を用いたCVDリアクタ内での炭化ケイ素結晶の成長 図000002
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