特許6407296マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法

発明の名称　マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 492 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6407296

公報発行日　2018年10月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6407296

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