特許6472768フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶中の不純物定量方法および多結晶シリコンの選別方法

発明の名称　フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶中の不純物定量方法および多結晶シリコンの選別方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（373件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（364件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6472768

公報発行日　2019年2月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6472768

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