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特許6485875化学増幅レジスト組成物および化学増幅レジスト組成物を用いてデバイスを製造する方法
発明の名称 化学増幅レジスト組成物および化学増幅レジスト組成物を用いてデバイスを製造する方法
出願人 東洋合成工業株式会社 （識別番号 222691）
特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人大阪大学 （識別番号 504176911）
特許公開件数ランキング 339 位（79件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 245 位（60件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6485875
公報発行日 2019年3月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6485875
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