特許6516327反射電子を検出する走査電子顕微鏡

発明の名称　反射電子を検出する走査電子顕微鏡

出願人　国立大学法人名古屋大学　（識別番号 504139662）

　　　　特許公開件数ランキング 267 位（198件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 264 位（180件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6516327

公報発行日　2019年5月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6516327

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