特許 6546679 半導体部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6546679

(24)【登録日】2019年6月28日

(45)【発行日】2019年7月17日

(54)【発明の名称】半導体部品

(51)【国際特許分類】

   H01L 29/06 20060101AFI20190705BHJP

   H01L 21/28 20060101ALI20190705BHJP

   B82Y 30/00 20110101ALI20190705BHJP

   H01L 21/8238 20060101ALI20190705BHJP

   H01L 27/092 20060101ALI20190705BHJP

【ＦＩ】

   H01L29/06 601N

   H01L21/28 301B

   H01L21/28 301

   B82Y30/00

   H01L27/092 A

【請求項の数】5

【全頁数】9

(21)【出願番号】特願2018-84921(P2018-84921)

(22)【出願日】2018年4月26日

(65)【公開番号】特開2018-198310(P2018-198310A)

(43)【公開日】2018年12月13日

【審査請求日】2018年4月26日

(31)【優先権主張番号】201710375328.5

(32)【優先日】2017年5月24日

(33)【優先権主張国】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】598098331

【氏名又は名称】ツィンファ ユニバーシティ

(73)【特許権者】

【識別番号】500080546

【氏名又は名称】鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＨＯＮ ＨＡＩ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＹ ＣＯ．，ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002262

【氏名又は名称】ＴＲＹ国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】張 金

(72)【発明者】

【氏名】魏 洋

(72)【発明者】

【氏名】姜 開利

(72)【発明者】

【氏名】▲ハン▼ 守善

【審査官】 杉山 芳弘

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−２０９３７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０９０９８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／００３４９０７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／０３１１４５８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 Jin Zhang et al.，SWCNT-MoS2-SWCNT Vertical Point Heterostructures，ADVANCED MATERIALS，Wiley，２０１６年１２月 ６日，Volume 29，1604469

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２９／０６

Ｂ８２Ｙ ３０／００

Ｈ０１Ｌ ２７／０９２

Ｈ０１Ｌ ２１／２８

Ｈ０１Ｌ ２１／８２３８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ゲート電極、絶縁層、第一カーボンナノチューブ、第二カーボンナノチューブ、Ｐ型半導体層、Ｎ型半導体層、導電フィルム、第一電極、第二電極及び第三電極を含む半導体部品において、
前記ゲート電極が層状の構造であり、
前記絶縁層が前記ゲート電極の表面に設置され、
前記第一カーボンナノチューブ及び前記第二カーボンナノチューブが間隔を置いて前記絶縁層の表面に設置され、
前記Ｐ型半導体層が前記第一カーボンナノチューブを覆い、前記絶縁層の表面に設置され、前記Ｎ型半導体層が前記第二カーボンナノチューブを覆い、前記絶縁層の表面に設置され、
前記導電フィルムが前記Ｐ型半導体層及び前記Ｎ型半導体層の表面に設置され、前記Ｐ型半導体層が前記導電フィルムと前記第一カーボンナノチューブとの間に設置され、前記Ｎ型半導体層が前記導電フィルムと前記第二カーボンナノチューブとの間に設置され、
前記第一電極が前記第一カーボンナノチューブと電気的に接続され、
前記第二電極が前記第二カーボンナノチューブと電気的に接続され、
前記第三電極が前記導電フィルムと電気的に接続されることを特徴とする半導体部品。

【請求項2】

前記第一カーボンナノチューブ及び前記第二カーボンナノチューブは、金属性のカーボンナノチューブであることを特徴とする、請求項１に記載の半導体部品。

【請求項3】

前記第一カーボンナノチューブ、前記Ｐ型半導体層及び前記導電フィルムが積層して、第一多層立体構造を形成し、該第一多層立体構造の前記Ｐ型半導体層の表面に平行する断面の面積が０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２であることを特徴とする、請求項１に記載の半導体部品。

【請求項4】

前記第二カーボンナノチューブ、前記Ｎ型半導体層及び前記導電フィルムが積層して、第二多層立体構造を形成し、該第二多層立体構造の前記Ｎ型半導体層の表面に平行する断面の面積が０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２であることを特徴とする、請求項１に記載の半導体部品。

【請求項5】

前記導電フィルムは、前記Ｐ型半導体層及び前記Ｎ型半導体層に跨って、前記導電フィルムの一つの部分が前記Ｐ型半導体層の前記絶縁層から離れる表面に位置し、一つの部分が前記Ｎ型半導体層の前記絶縁層から離れる表面に位置し、もう一つの部分が前記Ｐ型半導体層と前記Ｎ型半導体層との間に位置して、前記絶縁層の表面に設置されることを特徴とする、請求項１に記載の半導体部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体部品に関する。

【背景技術】

【0002】

最近、ファンデルワールスヘテロ接合構造が新しい研究領域となっている。ファンデルワールスヘテロ接合構造が、異なる性質（電気学及び熱学など）を持つ二次元材料を積み上げることを通じて、組み合わせて、形成される新しい材料の性質を人工的に調節できる。層と層との間の弱いファンデルワールス力により、隣接する層に結晶格子が必ずしもマッチングしなければならない制限を受けない。しかも、成分の移行は無いので、形成されるヘテロ接合構造が原子スケールの急であるキャリアー（ポテンシャル場）勾配を有して、遷移金属の硫化物を代表とする非グラフェンの二次元の層状材料が通常に２種類のエネルギー帯関係を形成できるので、それらを基礎として形成されるヘテロ接合構造が非常に強いキャリアーの分離能力を有する。また、ヘテロ接合構造が極めて薄い厚さ及び特別な二次元の構造を有するので、ゲート電極の応答能力を有して、伝統的なマイクロエレクトロニクス加工工程及び柔らかい基板と互換性を有する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

これによって、ファンデルワールスヘテロ接合構造を有する半導体部品を提供する必要がある。

【課題を解決するための手段】

【0004】

半導体部品は、ゲート電極、絶縁層、第一カーボンナノチューブ、第二カーボンナノチューブ、Ｐ型半導体層、Ｎ型半導体層、導電フィルム、第一電極、第二電極及び第三電極を含む。前記ゲート電極が層状の構造である。前記絶縁層が前記ゲート電極の表面に設置される。前記第一カーボンナノチューブ及び前記第二カーボンナノチューブが間隔を置いて前記絶縁層の表面に設置される。前記Ｐ型半導体層が前記第一カーボンナノチューブを覆い、前記絶縁層の表面に設置され、前記Ｎ型半導体層が前記第二カーボンナノチューブを覆い、前記絶縁層の表面に設置される。前記導電フィルムが前記Ｐ型半導体層及び前記Ｎ型半導体層の表面に設置され、前記Ｐ型半導体層が前記導電フィルムと前記第一カーボンナノチューブとの間に設置され、前記Ｎ型半導体層が前記導電フィルムと前記第二カーボンナノチューブとの間に設置される。前記第一電極が前記第一カーボンナノチューブと電気的に接続される。前記第二電極が前記第二カーボンナノチューブと電気的に接続される。前記第三電極が前記導電フィルムと電気的に接続される。

【0005】

前記第一カーボンナノチューブ及び前記第二カーボンナノチューブは、金属性のカーボンナノチューブである。

【0006】

前記第一カーボンナノチューブ、前記Ｐ型半導体層及び前記導電フィルムが積層して、第一多層立体構造を形成し、該第一多層立体構造の横方向断面の面積が０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２である。

【0007】

前記第二カーボンナノチューブ、前記Ｎ型半導体層及び前記導電フィルムが積層して、第二多層立体構造を形成し、該第二多層立体構造の横方向断面の面積が０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２である。

【0008】

前記導電フィルムは、前記Ｐ型半導体層及び前記Ｎ型半導体層に跨って、前記導電フィルムの一つの部分が前記Ｐ型半導体層の前記絶縁層から離れる表面に位置し、一つの部分が前記Ｎ型半導体層の前記絶縁層から離れる表面に位置し、もう一つの部分が前記Ｐ型半導体層と前記Ｎ型半導体層との間に位置して、前記絶縁層の表面に設置される。

【発明の効果】

【0009】

従来技術と比べて、本発明は、新型の半導体部品を提供する。半導体部品は、未来のナノ電子工学及びナノ光電子工学の領域に巨大な応用潜在力を有する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施例の半導体部品の立体構造の構造を示す図である。

【図2】本発明の実施例の半導体部品の側面を示す図である。

【図3】本発明の実施例の半導体部品がＣＭＯＳとして作動する時の特徴グラフである。

【0011】

以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。

【0012】

図１及び図２を参照すると、本発明の第一実施例は、半導体部品１００を提供する。半導体部品１００は、ゲート電極１０２、絶縁層１０４、第一カーボンナノチューブ１０６、第二カーボンナノチューブ１０８、Ｐ型半導体層１１０、Ｎ型半導体層１１２、導電フィルム１１４、第一電極１１６、第二電極１１８及び第三電極１２０を含む。ゲート電極１０２が層状の構造である。絶縁層１０４がゲート電極１０２の表面に設置される。第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８が間隔を置いて絶縁層１０４の表面に設置される。Ｐ型半導体層１１０が第一カーボンナノチューブ１０６を覆い、絶縁層１０４の表面に設置される。Ｎ型半導体層１１２が第二カーボンナノチューブ１０８を覆い、絶縁層１０４の表面に設置される。導電フィルム１１４がＰ型半導体層１１０及びＮ型半導体層１１２の表面に設置される。Ｐ型半導体層１１０が導電フィルム１１４と第一カーボンナノチューブ１０６との間に設置される。Ｎ型半導体層１１２が導電フィルム１１４と第二カーボンナノチューブ１０８との間に設置される。第一電極１１６が第一カーボンナノチューブ１０６と電気的に接続される。第二電極１１８が第二カーボンナノチューブ１０８と電気的に接続される。第三電極１２０が導電フィルム１１４と電気的に接続される。

【0013】

ゲート電極１０２は、導電材料からなり、導電材料が金属、ＩＴＯ、ＡＴＯ、導電銀テープ、導電性ポリマー又は導電性カーボンナノチューブ等である。金属材料がアルミニウム、銅、タングステン、モリブデン、金、チタン、パラジウム又は任意の組み合わせの合金である。本実施例において、ゲート電極１０２が層状構造であり、絶縁層１０４がゲート電極１０２の表面に設置される。第一カーボンナノチューブ１０６、第二カーボンナノチューブ１０８、Ｐ型半導体層１１０、Ｎ型半導体層１１２、導電フィルム１１４、第一電極１１６及び第二電極１１８は、絶縁層１０４の表面に設置され、且つゲート電極１０２及び絶縁層１０４に支持される。

【0014】

絶縁層１０４は、材料が絶縁材料であり、厚さが１ナノメートル〜１００マイクロメートルである。絶縁層１０４は、第一カーボンナノチューブ１０６、第二カーボンナノチューブ１０８、Ｐ型半導体層１１０及びＮ型半導体層１１２をゲート電極１０２と間隔を置いて絶縁して設置させる。本実施例において、絶縁層１０４の材料が酸化シリコンである。

【0015】

第一カーボンナノチューブ１０６又は第二カーボンナノチューブ１０８は、金属性カーボンナノチューブである。第一カーボンナノチューブ１０６又は第二カーボンナノチューブ１０８は、直径が制限されず、０．５ナノメートル〜１５０ナノメートルである。ある実施例において、第一カーボンナノチューブ１０６又は第二カーボンナノチューブ１０８は、直径が１ナノメートル〜１０ナノメートルである。好ましくは、第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８が単層カーボンナノチューブであり、その直径が１ナノメートル〜５ナノメートルである。本実施例において、第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８が金属性の単層カーボンナノチューブであり、その直径が１ナノメートルである。本実施例において、第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８は、直接的に絶縁層１０４の表面に設置される。第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８がゲート電極１０２に接近し、導電フィルム１１４がゲート電極１０２から離れ、導電フィルム１１４がＰ型半導体層１１０とゲート電極１０２との間又はＮ型半導体層１１２とゲート電極１０２との間に遮蔽効果を形成して、半導体部品１００の実際応用に影響を及ぼすことができない。第一カーボンナノチューブ１０６及び第二カーボンナノチューブ１０８が絶縁層１０４の表面に並列して設置され、第一カーボンナノチューブ１０６と第二カーボンナノチューブ１０８との間の距離が制限されず、実際の応用によって調節できる。ある実施例において、第一カーボンナノチューブ１０６と第二カーボンナノチューブ１０８との間の距離が１ナノメートル〜１センチメートルである。第一カーボンナノチューブ１０６と第二カーボンナノチューブ１０８とが成す角度は、制限されない。第一カーボンナノチューブ１０６と第二カーボンナノチューブ１０８とは、接触せず、互いに平行して、又は所定の角度を成してもよい。

【0016】

Ｐ型半導体層１１０又はＮ型半導体層１１２は、二次元構造の半導体層である。二次元構造とは、半導体層の厚さが小さくて、半導体層の厚さが１ナノメートル〜１００ナノメートルである。好ましくは、Ｐ型半導体層１１０又はＮ型半導体層１１２の厚さが１ナノメートル〜５０ナノメートルである。Ｐ型半導体層１１０又はＮ型半導体層１１２が一層の半導体材料だけを含んでもよい。即ち、Ｐ型半導体層１１０又はＮ型半導体層１１２が単層の構造である。Ｐ型半導体層１１０又はＮ型半導体層１１２の材料が制限されず、無機化合物半導体、元素半導体又は有機半導体であり、例えば、ガリウムヒ素、炭化ケイ素、多結晶シリコン、単結晶シリコン、ナフタレンなどである。Ｐ型半導体層１１０の材料がＰ型半導体材料であり、Ｎ型半導体層１１２の材料がＮ型半導体材料である。本実施例において、Ｎ型半導体層１１２の材料が硫化モリブデン（Ｍ_ＯＳ_２）であり、その厚さが３７ナノメートルである。Ｐ型半導体層１１０の材料がセレン化タングステン（ＷＳｅ_２）であり、その厚さが２２ナノメートルである。Ｐ型半導体層１１０とＮ型半導体層１１２が間隔を置いて設置され、互いに接触しない。Ｐ型半導体層１１０が第一カーボンナノチューブ１０６を覆い、絶縁層１０４の表面に直接的に設置される。Ｎ型半導体層１１２が第二カーボンナノチューブ１０８を覆い、絶縁層１０４の表面に直接的に設置される。

【0017】

導電フィルム１１４の材料が導電材料であり、金属、導電ポリマー又はＩＴＯである。導電フィルム１１４は、Ｐ型半導体層１１０及びＮ型半導体層１１２の絶縁層１０４から離れる表面に直接的に堆積され、Ｐ型半導体層１１０及びＮ型半導体層１１２に跨る。Ｐ型半導体層１１０及びＮ型半導体層１１２が間隔を置いて設置されるので、該間隔に位置する導電フィルム１１４が絶縁層１０４の表面に設置される。即ち、導電フィルム１１４が三つの部分に分かれ、一つの部分がＰ型半導体層１１０の絶縁層１０４から離れる表面に位置し、一つの部分がＮ型半導体層１１２の絶縁層１０４から離れる表面に位置し、もう一つの部分がＰ型半導体層１１０とＮ型半導体層１１２との間に位置して、絶縁層１０４の表面に設置される。導電フィルム１１４の堆積される具体的な方法が制限されず、イオンスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法又は他のフィルムをコーティングする方法であってもよい。導電フィルム１１４の厚さが制限されず、５ナノメートル〜１００マイクロメートルである。ある実施例では、導電フィルム１１４の厚さが５ナノメートル〜１００ナノメートルである。ある実施例では、導電フィルム１１４の厚さが５ナノメートル〜２０ナノメートルである。導電フィルム１１４の形状が制限されず、長手形状、線形、方形などの形状である。本実施例において、導電フィルム１１４の形状が長手形状である。

【0018】

第一カーボンナノチューブ１０６、Ｐ型半導体層１１０及び導電フィルム１１４が積層して、第一多層立体構造１２２を形成する。第一カーボンナノチューブ１０６のサイズがＰ型半導体層１１０及び導電フィルム１１４のサイズより小さいので、第一多層立体構造１２２の断面の面積が第一カーボンナノチューブ１０６の直径及び長さによって決まる。第一カーボンナノチューブ１０６がナノ材料であるので、第一多層立体構造１２２の断面の面積もナノスケールである。第一多層立体構造１２２は、横方向断面及び縦方向断面を定義し、横方向断面がＰ型半導体層１１０の表面に平行する断面であり、縦方向断面がＰ型半導体層１１０の表面に垂直する断面である。横方向断面の面積が第一カーボンナノチューブ１０６の直径及び長さによって決まる。縦方向断面の面積が第一カーボンナノチューブ１０６の長さ及び第一多層立体構造１２２の厚さによって決まる。好ましくは、第一多層立体構造１２２の横方向断面の面積は、０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２である。更に好ましくは、第一多層立体構造１２２の横方向断面の面積は、１ｎｍ^２〜１００ｎｍ^２である。

【0019】

第二カーボンナノチューブ１０８、Ｎ型半導体層１１２及び導電フィルム１１４が積層して、第二多層立体構造１２４を形成する。第二カーボンナノチューブ１０８のサイズがＮ型半導体層１１２及び導電フィルム１１４のサイズより小さいので、第二多層立体構造１２４の断面の面積が第二カーボンナノチューブ１０８の直径及び長さによって決まる。第二カーボンナノチューブ１０８がナノ材料であるので、第二多層立体構造１２４の断面の面積もナノスケールである。第二多層立体構造１２４は、横方向断面及び縦方向断面を定義し、横方向断面がＮ型半導体層１１２の表面に平行する断面であり、縦方向断面がＮ型半導体層１１２の表面に垂直する断面である。横方向断面の面積が第二カーボンナノチューブ１０８の直径及び長さによって決まる。縦方向断面の面積が第二カーボンナノチューブ１０８の長さ及び第二多層立体構造１２４の厚さによって決まる。好ましくは、第二多層立体構造１２４の横方向断面の面積は、０．２５ｎｍ^２〜１０００ｎｍ^２である。更に好ましくは、第二多層立体構造１２４の横方向断面の面積は、１ｎｍ^２〜１００ｎｍ^２である。

【0020】

第一カーボンナノチューブ１０６及び導電フィルム１１４と二次元のＰ型半導体層１１０は、第一多層立体構造１２２にファンデルワールスヘテロ接合構造が形成される。応用される時には、第一カーボンナノチューブ１０６、導電フィルム１１４及びＰ型半導体層１１０の間はショットキー接合が形成され、電流は第一多層立体構造１２２を流れる。第一カーボンナノチューブ１０６がナノ材料であるので、第一多層立体構造１２２の横方向断面の面積もナノスケールであり、即ち、ナノスケールの半導体構造が形成される。半導体構造は、低いエネルギー消費、ナノスケールのサイズ及びより高い集積度を持つ。

【0021】

第二カーボンナノチューブ１０８及び導電フィルム１１４と二次元のＮ型半導体層１１２は、第二多層立体構造１２４にファンデルワールスヘテロ接合構造が形成される。応用される時には、第二カーボンナノチューブ１０８、導電フィルム１１４及びＮ型半導体層１１２の間はショットキー接合が形成され、電流は第二多層立体構造１２４を流れる。第二カーボンナノチューブ１０８がナノ材料であるので、第二多層立体構造１２４の横方向断面の面積もナノスケールであり、即ち、ナノスケールの半導体構造が形成される。半導体構造は、低いエネルギー消費、ナノスケールのサイズ及びより高い集積度、高い空間解像度及びより高い完全性を持つ。

【0022】

第一電極１１６、第二電極１１８及び第三電極１２０が導電材料からなり、導電材料が金属、ＩＴＯ、ＡＴＯ、導電銀テープ、導電性ポリマー又は導電カーボンナノチューブ等である。金属材料がアルミニウム、銅、タングステン、モリブデン、金、チタン、パラジウム又は任意の組み合わせの合金である。ある実施例において、第一電極１１６及び第二電極１１８も導電フィルムであってもよく、導電フィルムの厚さが２マイクロメートル〜１００マイクロメートルである。本実施例において、第一電極１１６及び第二電極１１８が金であり、金層の厚さが５０ナノメートルである。本実施例において、第一電極１１６は、第一カーボンナノチューブ１０６の一端に設置され、第一カーボンナノチューブ１０６の表面と緊密に接触する。即ち、金層が第一カーボンナノチューブ１０６の表面に設置される。第二電極１１８は、第二カーボンナノチューブ１０８の一端に設置され、第二カーボンナノチューブ１０８の表面と緊密に接触する。即ち、金層が第二カーボンナノチューブ１０８の表面に設置される。第三電極１２０は、長手形状の導電層であり、導電フィルム１１４の端部に設置され、導電フィルム１１４と電気的に接続される。第三電極１２０の材料は、第一電極１１６の材料又は第二電極１１８の材料と同じである。

【0023】

本発明の半導体部品１００がカーボンナノチューブに基づく非対称の二つのファンデルワールスヘテロ接合構造（ＣＣＶＨ）を含む。半導体部品１００が応用される時に、ファンデルワールスヘテロ接合構造が対向して設置されるソース電極とドレイン電極のバイアス箇所に非対称の出力特性を表現する。輸送性能の多様性は、主にカーボンナノチューブのフェルミエネルギーが変調されやすいこと及び、カーボンナノチューブ及び導電フィルムが二次元の半導体層との非対称接触することの影響を受ける。且つ、カーボンナノチューブ電極は、電子型電気伝導又は正孔型電気伝導に適用する。半導体構造の調節できる機能及び半導体構造がより小さいサイズを有することは、カーボンナノチューブを含む非対称接触のファンデルワールスヘテロ接合構造を有する半導体構造に独立性を持たせる。未来のナノ電子工学及びナノ光電子工学の領域に巨大な潜在力を有する。図３を参照すると、半導体部品１００がＣＭＯＳとして使用される時には、ゲート電極１０２が入力端であり、第三電極１２０が出力端であり、第一電極１１６及び第二電極１１８が電源と接続され、三つの曲線が第一電極１１６と第二電極１１８との間の電位差が０．１ボルト、０．２ボルト、０．４ボルトである時に対応する曲線である。図３から、ＣＭＯＳが優れた作動性能を有することが分かれる。

【0024】

半導体部品１００が応用される時には、第一カーボンナノチューブ１０６及び導電フィルム１１４がＰ型半導体層１１０の対向する二つの表面に設置される電極であると見られ、第二カーボンナノチューブ１０８及び導電フィルム１１４がＮ型半導体層１１２の対向する二つの表面に設置される電極であると見られる。第一カーボンナノチューブ１０６、第一カーボンナノチューブ１０６及び導電フィルム１１４に電圧を印加して、半導体部品１００がオン状態になる。この時に、電流が第一多層立体構造１２２の横方向断面から第二多層立体構造１２４の横方向断面に流れる。半導体部品１００の有効部分が第一多層立体構造１２２及び第二多層立体構造１２４である。従って、半導体部品１００が第一多層立体構造１２２及び第二多層立体構造１２４を含めばよい。これによって、半導体部品１００は、小さいサイズを有して、ナノスケールの半導体部品となる。

【符号の説明】

【0025】

１００ 半導体部品
１０２ ゲート電極
１０４ 絶縁層
１０６ 第一カーボンナノチューブ
１０８ 第二カーボンナノチューブ
１１０ Ｐ型半導体層
１１２ Ｎ型半導体層
１１４ 導電フィルム
１１６ 第一電極
１１８ 第二電極
１２０ 第三電極
１２２ 第一多層立体構造
１２４ 第二多層立体構造

【図1】

【図2】

【図3】