特許6588175イオン注入装置、イオン源

発明の名称　イオン注入装置、イオン源

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6588175

公報発行日　2019年10月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6588175

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