特許6674628洗浄剤組成物及び薄型基板の製造方法

発明の名称　洗浄剤組成物及び薄型基板の製造方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 66 位（367件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（361件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6674628

公報発行日　2020年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6674628

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