特許6809381真空ポンプ、真空排気システムおよび排気システム用コントローラ

発明の名称　真空ポンプ、真空排気システムおよび排気システム用コントローラ

出願人　株式会社島津製作所　（識別番号 1993）

　　　　特許公開件数ランキング 224 位（145件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 100 位（243件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6809381

公報発行日　2021年1月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6809381

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