特開 2022-134986 検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022134986

(43)【公開日】2022-09-15

(54)【発明の名称】検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/90 20210101AFI20220908BHJP

【ＦＩ】

G01N27/90

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021034533

(22)【出願日】2021-03-04

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115738

【弁理士】

【氏名又は名称】鷲頭 光宏

(74)【代理人】

【識別番号】100121681

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 和文

(72)【発明者】

【氏名】福井 崇人

(72)【発明者】

【氏名】悪七 泰樹

【テーマコード（参考）】

2G053

【Ｆターム（参考）】

2G053AA11

2G053AB21

2G053BA02

2G053BC02

2G053BC14

2G053CA03

2G053DA01

(57)【要約】

【課題】検査対象物の比較的狭い範囲における物性を検出可能な検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置１は、内径領域に生じる磁束が一方の開口端部から他方の開口端部に向かうよう巻回された励磁コイル１０，２０と、励磁コイル２０の開口端部２２から励磁コイル１０の開口端部１１へ磁束を誘導する磁性体３１，３２と、磁性体３１，３２に流れる磁束を検出する磁気検出部４０とを備える。励磁コイル１０の開口端部１２から励磁コイル２０の開口端部２１へ流れる磁束を検査対象物Ａに印加することによって、検査対象物Ａの物性を検出する。このように、互いに逆方向の磁束を発生させる励磁コイル１０，２０を用いていることから、検査対象物Ａの比較的狭い範囲に磁束を集中させることができる。これにより、検査対象物Ａの比較的狭い範囲における物性を検出することが可能となる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

内径領域に生じる磁束が一方の開口端部から他方の開口端部に向かうよう巻回された第１及び第２の励磁コイルと、
前記第２の励磁コイルの前記他方の開口端部から前記第１の励磁コイルの前記一方の開口端部へ磁束を誘導する磁性体と、
前記磁性体に流れる磁束を検出する磁気検出部と、を備え、
前記第１の励磁コイルの前記他方の開口端部から前記第２の励磁コイルの前記一方の開口端部へ流れる磁束を検査対象物に印加することによって、前記検査対象物の物性を検出することを特徴とする検出装置。

【請求項2】

前記第１及び第２の励磁コイルは直列に接続されており、これにより前記第１及び第２の励磁コイルには同じ励磁電流が流れることを特徴とする請求項１に記載の検出装置。

【請求項3】

前記磁性体は、前記第１の励磁コイルと磁気結合する第１の磁性体と、前記第２の励磁コイルと磁気結合する第２の磁性体を含み、
前記磁気検出部は、前記第１及び第２の磁性体間に流れる磁束を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の検出装置。

【請求項4】

前記第１の磁性体の一部は、前記第１の励磁コイルの前記内形領域に位置し、
前記第２の磁性体の一部は、前記第２の励磁コイルの前記内形領域に位置することを特徴とする請求項３に記載の検出装置。

【請求項5】

前記第１及び第２の励磁コイルのコイル軸は、いずれも第１の仮想平面上に位置し、
前記第１の励磁コイルのコイル軸は、前記第１の仮想平面に対して垂直な第２の仮想平面上にさらに位置し、
前記第２の励磁コイルのコイル軸は、前記第２の仮想平面に対して垂直な第３の仮想平面上にさらに位置し、
前記磁気検出部は、前記第２の仮想平面と前記第３の仮想平面の間に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検出装置。

【請求項6】

所定の周波数を有する探査信号に基づいて前記第１及び第２の励磁コイルに励磁電流を流す励磁回路と、
前記磁気検出部の出力信号から低周波成分を除去するハイパスフィルタと、
前記探査信号に基づいて前記ハイパスフィルタの出力信号を検波する検波回路と、をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は検出装置に関し、特に、磁束を検査対象物に印加することによって検査対象物の物性を検出する検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象物の物性を検出する方法としては、磁束を検査対象物に印加した場合の磁束の変化を検出する方法が考えられる。磁束の変化は、例えば特許文献１に記載された磁気センサを用いて検出することが可能である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許６６１０１７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の磁気センサは、比較的広範囲の磁束に対して感度を有することから、検査対象物の狭い範囲における物性を検出する用途には必ずしも適していなかった。

【0005】

したがって、本発明は、検査対象物の比較的狭い範囲における物性を検出可能な検出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明による検出装置は、内径領域に生じる磁束が一方の開口端部から他方の開口端部に向かうよう巻回された第１及び第２の励磁コイルと、第２の励磁コイルの他方の開口端部から第１の励磁コイルの一方の開口端部へ磁束を誘導する磁性体と、磁性体に流れる磁束を検出する磁気検出部とを備え、第１の励磁コイルの他方の開口端部から第２の励磁コイルの一方の開口端部へ流れる磁束を検査対象物に印加することによって、検査対象物の物性を検出することを特徴とする。

【0007】

本発明によれば、互いに逆方向の磁束を発生させる第１及び第２の励磁コイルを用いていることから、検査対象物の比較的狭い範囲に磁束を集中させることができる。これにより、検査対象物の比較的狭い範囲における物性を検出することが可能となる。

【0008】

本発明において、第１及び第２の励磁コイルは直列に接続されており、これにより第１及び第２の励磁コイルには同じ励磁電流が流れるものであっても構わない。これによれば、回路構成を簡素化することができる。

【0009】

本発明において、磁性体は、第１の励磁コイルと磁気結合する第１の磁性体と第２の励磁コイルと磁気結合する第２の磁性体を含み、磁気検出部は第１及び第２の磁性体間に流れる磁束を検出するものであっても構わない。これによれば、磁束の変化を磁気検出部によって高感度に検出することが可能となる。この場合、第１の磁性体の一部は第１の励磁コイルの内形領域に位置し、第２の磁性体の一部は第２の励磁コイルの内形領域に位置していても構わない。これによれば、検出感度をより高めることが可能となる。

【0010】

本発明において、第１及び第２の励磁コイルのコイル軸はいずれも第１の仮想平面上に位置し、第１の励磁コイルのコイル軸は第１の仮想平面に対して垂直な第２の仮想平面上にさらに位置し、第２の励磁コイルのコイル軸は第２の仮想平面に対して垂直な第３の仮想平面上にさらに位置し、磁気検出部は第２の仮想平面と第３の仮想平面の間に配置されていても構わない。これによれば、磁束の変化を磁気検出部によって高感度に検出することが可能となる。

【0011】

本発明による検出装置は、所定の周波数を有する探査信号に基づいて第１及び第２の励磁コイルに励磁電流を流す励磁回路と、磁気検出部の出力信号から低周波成分を除去するハイパスフィルタと、探査信号に基づいてハイパスフィルタの出力信号を検波する検波回路とをさらに備えるものであっても構わない。これによれば、検査対象物が発する磁場や環境磁場の影響を排除することが可能となる。

【発明の効果】

【0012】

このように、本発明によれば、検査対象物の比較的狭い範囲における物性を検出可能な検出装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本発明の第１の実施形態による検出装置１の構造を説明するための模式図であり、（ａ）はｘｚ側面図、（ｂ）はｘｙ平面図である。

【図2】図２は、検出装置１の回路ブロック図である。

【図3】図３は、本発明の第２の実施形態による検出装置２の構造を説明するための模式的なｘｚ側面図である。

【図4】図４は、本発明の第３の実施形態による検出装置３の構造を説明するための模式的なｘｚ側面図である。

【図5】図５は、本発明の第４の実施形態による検出装置４の構造を説明するための略斜視図である。

【図6】図６は、センサチップ６０と磁性体３１，３２を分離した状態を示す略分解斜視図である。

【図7】図７は、センサチップ６０の略平面図である。

【図8】図８は、図７のＢ－Ｂ線に沿った略断面図である。

【図9】図９は、本発明の第５の実施形態による検出装置５の構造を説明するための略斜視図である。

【図10】図１０は、本発明の第６の実施形態による検出装置６の構造を説明するための略斜視図である。

【図11】図１１は、本発明の第７の実施形態による検出装置７の構造を説明するための略斜視図である。

【図12】図１２は、本発明の第８の実施形態による検出装置８の構造を説明するための略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。

【0015】

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態による検出装置１の構造を説明するための模式図であり、（ａ）はｘｚ側面図、（ｂ）はｘｙ平面図である。

【0016】

図１に示すように、第１の実施形態による検出装置１は、検査対象物Ａの物性を検出するものであり、ｚ方向を軸方向とする励磁コイル１０，２０と、それぞれ励磁コイル１０，２０のコイル軸と重なる位置に配置された磁性体３１，３２と、磁性体３１と磁性体３２の間に配置された磁気検出部４０とを備えている。励磁コイル１０，２０は直列に接続されているとともに、巻線が互いに逆方向に巻回されている。これにより、励磁コイル１０，２０に励磁電流Ｉを流すと、励磁コイル１０の内径領域には＋ｚ方向の磁束φ１が発生し、励磁コイル２０の内径領域には－ｚ方向の磁束φ２が発生する。その結果、励磁コイル１０の内径領域においては、磁束φ１が一方の開口端部１１から他方の開口端部１２に向かって流れ、励磁コイル２０の内径領域においては、磁束φ２が一方の開口端部２１から他方の開口端部２２に向かって流れる。

【0017】

ここで、励磁コイル１０，２０はｘ方向に近接して配置されていることから、励磁コイル１０の開口端部１２から励磁コイル２０の開口端部２１へは比較的狭い空間を経由して磁束が流れ、励磁コイル２０の開口端部２２から励磁コイル１０の開口端部１１へは比較的狭い空間を経由して磁束が流れる。

【0018】

磁性体３１，３２は、フェライトなどの高透磁率材料によって構成される。図１に示すように、磁性体３１，３２はそれぞれ励磁コイル１０，２０のコイル軸と重なる位置に配置されていることから、励磁コイル１０と磁性体３１は磁気結合し、励磁コイル２０と磁性体３２は磁気結合する。このため、励磁コイル２０の開口端部２２から出る磁束は、磁性体３１，３２に誘導されて励磁コイル１０の開口端部１１へ流れる。そして、磁性体３１と磁性体３２の間には磁気検出部４０が配置されていることから、磁性体３１，３２間に流れる磁束は、磁気検出部４０によって検出される。

【0019】

磁気検出部４０の位置については、磁性体３１，３２間に流れる磁束を検出可能である限り特に限定されないが、図１（ｂ）に示すように、励磁コイル１０，２０のコイル軸をそれぞれＣ１，Ｃ２とした場合、コイル軸Ｃ１，Ｃ２の両方が位置する仮想平面をＰ１とし、コイル軸Ｃ１が位置し仮想平面Ｐ１に対して垂直な仮想平面をＰ２とし、コイル軸Ｃ２が位置し仮想平面Ｐ１に対して垂直な仮想平面をＰ３とした場合、磁気検出部４０は、仮想平面Ｐ２と仮想平面Ｐ３の間に配置することが好ましい。この範囲内に磁気検出部４０を配置すれば、励磁コイル１０，２０によって生じる磁束を磁気検出部４０によって高感度に検出することができる。

【0020】

本実施形態による検出装置１は、励磁コイル１０，２０のｚ方向における先端、つまり励磁コイル１０の開口端部１２及び励磁コイル２０の開口端部２１の近傍に検査対象物Ａを配置することによって、検査対象物Ａの物性を検出することができる。つまり、励磁コイル１０の開口端部１２から放出され、励磁コイル２０の開口端部２１に吸収される磁束を検査対象物Ａの所定領域に印加し、これによって生じる磁束の変化を磁気検出部４０によって検出することによって、検査対象物Ａの所定領域に存在する磁性体や傷などを検出することができる。

【0021】

図２は、本実施形態による検出装置１の回路ブロック図である。

【0022】

図２に示すように、本実施形態による検出装置１は検出回路５０をさらに備えている。検出回路５０は、所定の周波数を有する探査信号Ｓ１を生成する探査信号生成回路５１と、探査信号Ｓ１に基づいて励磁コイル１０，２０に励磁電流Ｉを流す励磁回路５２と、磁気検出部４０の出力信号Ｓ２から低周波成分を除去することによって出力信号Ｓ３を生成するハイパスフィルタ５３と、探査信号Ｓ１に基づいてハイパスフィルタ５３の出力信号Ｓ３を検波する検波回路５４を有している。

【0023】

励磁回路５２は、所定の周波数を有する探査信号Ｓ１と同じ周波数の励磁電流Ｉを励磁コイル１０，２０に流す。これにより生じる磁束φ１，φ２は磁気検出部４０によって検出され、磁束の向き及び強さに応じた出力信号Ｓ２が生成される。この時、励磁コイル１０，２０のｚ方向における先端を検査対象物Ａに近づけることによって、磁気検出部４０に印加される磁束に変化が生じると、これに応じて出力信号Ｓ２が変化する。磁気検出部４０に印加される磁束に変化が生じる原因としては、検査対象物Ａに磁性体からなる微粉が付着又は混入している場合や、金属部材からなる検査対象物Ａに傷が存在し、これによって渦電流が変化する場合などが挙げられる。

【0024】

磁気検出部４０の出力信号Ｓ２は、ハイパスフィルタ５３によって低周波成分が除去され、出力信号Ｓ３が生成される。本発明においてハイパスフィルタを用いることは必須でないが、ハイパスフィルタを用いて低周波成分を除去することにより、検査対象物Ａが発する磁場や環境磁場の影響を排除することが可能となる。

【0025】

そして、出力信号Ｓ３は検波回路５４によって検波され、直流レベルの出力信号Ｓ４が生成される。これにより、励磁コイル１０，２０の先端を検査対象物Ａの表面上でスキャンすれば、出力信号Ｓ４のレベル変化に基づいて、検査対象物Ａに存在する磁性微粉や傷を検出することが可能となる。

【0026】

以上説明したように、本実施形態による検出装置１は、互いに逆方向に巻回された励磁コイル１０，２０を用いていることから、検査対象物Ａの比較的狭い範囲に検出用の磁束を集中させることができる。これにより、検査対象物Ａの比較的狭い範囲における物性を高感度に検出することが可能となる。

【0027】

＜第２の実施形態＞
図３は、本発明の第２の実施形態による検出装置２の構造を説明するための模式的なｘｚ側面図である。

【0028】

図３に示すように、第２の実施形態による検出装置２は、励磁コイル１０，２０の内径領域に磁性体３３，３４が挿入されている点において、第１の実施形態による検出装置１と相違している。その他の基本的な構成は第１の実施形態による検出装置１と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0029】

磁性体３３は磁性体３１と近接又は接触しており、これにより磁性体３１と励磁コイル１０との磁気結合が高められる。同様に、磁性体３４は磁性体３２と近接又は接触しており、これにより磁性体３２と励磁コイル２０との磁気結合が高められる。このような磁性体３３，３４を追加すれば、検出感度をより高めることが可能となる。

【0030】

＜第３の実施形態＞
図４は、本発明の第３の実施形態による検出装置３の構造を説明するための模式的なｘｚ側面図である。

【0031】

図４に示すように、第３の実施形態による検出装置３は、励磁コイル１０，２０のコイル軸がｚ方向に対して所定の傾きを有している点において、第１の実施形態による検出装置１と相違している。その他の基本的な構成は第１の実施形態による検出装置１と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0032】

本実施形態においては、励磁コイル１０のコイル軸Ｃ１が－ｘ方向に角度θだけ傾いており、励磁コイル２０のコイル軸Ｃ２が＋ｘ方向に角度θだけ傾いている。これにより、励磁コイル１０の開口端部１２と励磁コイル２０の開口端部２１の間における磁束の広がりがより抑えられることから、検査対象物Ａのより狭い範囲に検出用の磁束を集中させることが可能となる。

【0033】

＜第４の実施形態＞
図５は、本発明の第４の実施形態による検出装置４の構造を説明するための略斜視図である。

【0034】

図５に示すように、第４の実施形態による検出装置４は、磁気検出部としてセンサチップ６０が用いられるとともに、磁性体３１，３２がセンサチップ６０の素子形成面６１を覆うように配置されている点において、第１の実施形態による検出装置１と相違している。その他の基本的な構成は第１の実施形態による検出装置１と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0035】

図６は、センサチップ６０と磁性体３１，３２を分離した状態を示す略分解斜視図である。

【0036】

図６に示すように、センサチップ６０は、ｙｚ面を構成する素子形成面６１及び裏面６２と、ｘｙ面を構成する側面６３，６４と、ｘｚ面を構成する側面６５，６６とを有している。センサチップ６０の素子形成面６１上には、後述する感磁素子及び磁性体層Ｍ１～Ｍ３が形成されている。磁性体３１はｘ方向を長手方向とする棒状体であり、そのｘ方向における一端は、磁性体層Ｍ１の一部を覆うよう素子形成面６１のｚ方向における略中央部に位置決めされている。磁性体３２は、ｘ方向を長手方向とする棒状形状を有しており、磁性体層Ｍ２，Ｍ３の一部を覆うとともに、センサチップ６０の裏面６２及び側面６３，６４を覆っている。

【0037】

図７はセンサチップ６０の略平面図であり、図８は図７のＢ－Ｂ線に沿った略断面図である。

【0038】

図７及び図８に示すように、センサチップ６０の素子形成面６１には、４つの感磁素子Ｒ１～Ｒ４が形成されている。感磁素子Ｒ１～Ｒ４は、磁束の向きによって電気抵抗が変化する素子であれば特に限定されず、例えばＭＲ素子などを用いることができる。感磁素子Ｒ１～Ｒ４の固定磁化方向は、互いに同じ向き（例えばｚ方向におけるプラス側）に揃えられている。感磁素子Ｒ１～Ｒ４は絶縁層６７で覆われており、絶縁層６７の表面には、パーマロイなどからなる磁性体層Ｍ１～Ｍ３が形成されている。磁性体層Ｍ１～Ｍ３は絶縁層６８で覆われている。そして、磁性体層Ｍ１～Ｍ３のうち、ｙ方向における一方側（図７における上側）に位置する部分を磁性体層Ｍ１１，Ｍ２１，Ｍ３１と定義し、ｙ方向における他方側（図７における下側）に位置する部分を磁性体層Ｍ１２，Ｍ２２，Ｍ３２と定義した場合、平面視で（ｘ方向から見て）、感磁素子Ｒ１は磁性体層Ｍ１１と磁性体層Ｍ２１の間に位置し、感磁素子Ｒ２は磁性体層Ｍ１２と磁性体層Ｍ２２の間に位置し、感磁素子Ｒ３は磁性体層Ｍ１１と磁性体層Ｍ３１の間に位置し、感磁素子Ｒ４は磁性体層Ｍ１２と磁性体層Ｍ３２の間に位置している。これにより、磁気ギャップＧ１～Ｇ４を通過する磁界が感磁素子Ｒ１～Ｒ４に印加される。ここで、感磁素子Ｒ１，Ｒ２に印加される磁界の向きと、感磁素子Ｒ３，Ｒ４に印加される磁界の向きは、互いに１８０°異なることから、感磁素子Ｒ１～Ｒ４をブリッジ接続することにより、磁性体３１を介して印加される磁束の向き及び強度を検出することができる。

【0039】

但し、本発明において、各感磁素子Ｒ１～Ｒ４を２つの磁性体層間に配置することは必須でなく、２つの磁性体層からなる磁気ギャップＧ１～Ｇ４の近傍、つまり、磁気ギャップＧ１～Ｇ４によって形成される磁路上に各感磁素子Ｒ１～Ｒ４が配置されていれば足りる。また、磁気ギャップＧ１～Ｇ４の幅が感磁素子Ｒ１～Ｒ４の幅よりも広い必要はなく、磁気ギャップＧ１～Ｇ４の幅が感磁素子Ｒ１～Ｒ４よりも狭くても構わない。

【0040】

図７及び図８において、符号３１ａで示す領域は磁性体３１によって覆われる領域を示し、符号３２ａ，３２ｂで示す領域は磁性体３２によって覆われる領域を示している。図７及び図８に示すように、磁性体３１は磁性体層Ｍ１を覆い、磁性体３２は磁性体層Ｍ２，Ｍ３を覆う。

【0041】

このような構成により、励磁コイル１０は磁性体３１と磁気結合し、励磁コイル２０は磁性体３２と磁気結合することから、検査対象物Ａに存在する磁性微粉や傷を高感度に検出することが可能となる。

【0042】

＜第５の実施形態＞
図９は、本発明の第５の実施形態による検出装置５の構造を説明するための略斜視図である。

【0043】

図９に示すように、第５の実施形態による検出装置５は、磁性体３１，３２の一部がｚ方向に折り曲げられ、それぞれ励磁コイル１０，２０の内径領域に挿入されている点において、第４の実施形態による検出装置４と相違している。その他の基本的な構成は第４の実施形態による検出装置４と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0044】

本実施形態による検出装置５のように、磁性体３１，３２の一部をそれぞれ励磁コイル１０，２０の内径領域に挿入すれば、より高い検出感度を得ることが可能となる。

【0045】

＜第６の実施形態＞
図１０は、本発明の第６の実施形態による検出装置６の構造を説明するための略斜視図である。

【0046】

図１０に示すように、第６の実施形態による検出装置６は、励磁コイル１０，２０のコイル軸がｚ方向に対して所定の傾きを有している点において、第４の実施形態による検出装置４と相違している。その他の基本的な構成は第４の実施形態による検出装置４と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0047】

本実施形態による検出装置６のように、励磁コイル１０，２０のコイル軸に傾きを設けることにより、検査対象物Ａに印加される磁束の範囲を調整することが可能となる。

【0048】

＜第７の実施形態＞
図１１は、本発明の第７の実施形態による検出装置７の構造を説明するための略斜視図である。

【0049】

図１１に示すように、第７の実施形態による検出装置７は、４つの励磁コイル１０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂが用いられている点において、第４の実施形態による検出装置４と相違している。その他の基本的な構成は第４の実施形態による検出装置４と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0050】

４つの励磁コイル１０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂのうち、励磁コイル１０Ａ，１０Ｂと励磁コイル２０Ａ，２０Ｂは、巻線が互いに逆方向に巻回されている。励磁コイル１０Ａ，１０Ｂはいずれも磁性体３１と磁気結合し、励磁コイル２０Ａ，２０Ｂはいずれも磁性体３２と磁気結合する。本実施形態による検出装置７のように、励磁コイル１０，２０をそれぞれ複数用いることにより、検査対象物Ａに印加される磁束の範囲を調整することが可能となる。

【0051】

＜第８の実施形態＞
図１２は、本発明の第８の実施形態による検出装置８の構造を説明するための略斜視図である。

【0052】

図１２に示すように、第８の実施形態による検出装置８は、磁束が励磁コイル１０Ａ，１０Ｂ，２０Ｂ，２０Ａの順（又はその逆方向）に周回するよう、これらが配置されている点において、第７の実施形態による検出装置７と相違している。その他の基本的な構成は第７の実施形態による検出装置７と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0053】

本実施形態においては、励磁コイル１０Ａのコイル軸と励磁コイル２０Ｂのコイル軸が交差するエリアに検査対象物Ａを配置することにより、検査対象物Ａの物性を高感度に検出することが可能となる。

【0054】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

【符号の説明】

【0055】

１～８ 検出装置
１０，２０，１０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ 励磁コイル
１１，１２，２１，２２ 開口端部
３１～３４ 磁性体
４０ 磁気検出部
５０ 検出回路
５１ 探査信号生成回路
５２ 励磁回路
５３ ハイパスフィルタ
５４ 検波回路
６０ センサチップ
６１ 素子形成面
６２ センサチップの裏面
６３～６６ センサチップの側面
６７，６８ 絶縁層
Ａ 検査対象物
Ｃ１，Ｃ２ コイル軸
Ｇ１～Ｇ４ 磁気ギャップ
Ｉ 励磁電流
Ｍ１～Ｍ３，Ｍ１１，Ｍ２１，Ｍ３１，Ｍ１２，Ｍ２２，Ｍ３２ 磁性体層
Ｐ１～Ｐ３ 仮想平面
Ｒ１～Ｒ４ 感磁素子
Ｓ１ 探査信号
Ｓ２～Ｓ４ 出力信号
φ１，φ２ 磁束

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】