特開 2022-86586 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022086586

(43)【公開日】2022-06-09

(54)【発明の名称】搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/56 20060101AFI20220602BHJP

   B65G 13/02 20060101ALN20220602BHJP

【ＦＩ】

C23C14/56 G

B65G13/02

【審査請求】有

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020198684

(22)【出願日】2020-11-30

(71)【出願人】

【識別番号】591065413

【氏名又は名称】キヤノントッキ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】特許業務法人大塚国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100076428

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 康徳

(74)【代理人】

【識別番号】100115071

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 康弘

(74)【代理人】

【識別番号】100112508

【弁理士】

【氏名又は名称】高柳 司郎

(74)【代理人】

【識別番号】100116894

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 秀二

(74)【代理人】

【識別番号】100130409

【弁理士】

【氏名又は名称】下山 治

(74)【代理人】

【識別番号】100134175

【弁理士】

【氏名又は名称】永川 行光

(74)【代理人】

【識別番号】100188868

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 智丈

(74)【代理人】

【識別番号】100221327

【弁理士】

【氏名又は名称】大川 亮

(72)【発明者】

【氏名】澁谷 孝史

【テーマコード（参考）】

3F033

4K029

【Ｆターム（参考）】

3F033BB13

4K029AA24

4K029CA01

4K029DA10

4K029DB14

4K029HA01

4K029KA02

4K029KA03

(57)【要約】

【課題】成膜不良や搬送ローラの動作不良を防ぐ効果が高い、インライン型の成膜装置の搬送ローラに設けられる集塵カバーを提供すること。
【解決手段】
基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置の搬送装置は、載置された基板を搬送する複数の搬送ローラと、複数の搬送ローラ毎に設けられ、搬送ローラを囲む集塵カバーと、を備え、集塵カバーは、搬送ローラの軸方向で、搬送ローラの基板側の側面を覆う前面部と、搬送ローラの上側を覆う上面部と、を含み、上面部は、搬送ローラの上方周面を露出させる開口部を有する。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置の搬送装置であって、
載置された基板を搬送する複数の搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラごとに設けられ、前記搬送ローラを囲むカバーと、を備え、
前記カバーは、
前記搬送ローラの回転軸方向で、前記搬送ローラの前記基板側の側面を覆う前面部と、
鉛直方向で、前記搬送ローラの周面の上側を覆う上面部と、を含み、
前記上面部は、前記搬送ローラの前記周面の一部を露出させる開口を有する、
ことを特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記上面部は、基板の搬送方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記上面部は、前記搬送方向に沿って並ぶ第１の傾斜部と第２の傾斜部とを含み、
前記第１の傾斜部と前記第２の傾斜部の間に前記開口があり、
前記第１の傾斜部と前記第２の傾斜部とのそれぞれは、前記開口の側の端が、前記搬送方向において前記開口とは反対側の端よりも、前記鉛直方向において高くなるように傾斜していることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記カバーは、前記回転軸方向に垂直で、かつ、前記鉛直方向に垂直な方向で、前記搬送ローラの前記周面を覆う側面部を備え、
前記前面部は、前記側面部から着脱可能であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記上面部は、前記側面部に連結されていることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記上面部は、前記前面部に連結されていることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。

【請求項7】

前記カバーは、
前記搬送ローラの前記回転軸方向で、前記搬送ローラのシャフト側の側面を覆う背面部と、
前記搬送ローラの前記回転軸方向に垂直で、かつ、前記鉛直方向に垂直な方向で、前記搬送ローラの前記周面を覆う側面部と、
を備え、
前記側面部は、前記背面部に対して着脱可能であり、
前記前面部は前記側面部と連結されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の搬送装置。

【請求項8】

前記カバーは、前記搬送ローラの下方周面を覆うトレイを備え、
前記トレイは、前記前面部に連結されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項9】

前記トレイの下方にマグネットが配置されることを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。

【請求項10】

基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置であって、
基板を搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットの下方に配置され、前記搬送ユニットによって搬送される基板に蒸着材料を放出する蒸着ユニットと、
を備え、
前記搬送ユニットは、
載置された基板を搬送する複数の搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラごとに設けられ、前記搬送ローラを囲むカバーと、を備え、
前記カバーは、
前記搬送ローラの回転軸方向で、前記搬送ローラの前記基板側の側面を覆う前面部と、
鉛直方向で、前記搬送ローラの周面の上側を覆う上面部と、を含み、
前記上面部は、前記搬送ローラの前記周面の一部を露出させる開口を有する、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項11】

請求項１から９のいずれか１項に記載の搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送される前記基板に蒸着材料を放出する蒸着工程と、を有する
ことを特徴とする成膜方法。

【請求項12】

請求項１から９のいずれか１項に記載の搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送される前記基板に蒸着材料を放出する蒸着工程と、を有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ＥＬディスプレイ等の製造においては、マスクを用いて基板上に蒸着物質を成膜するインライン型の成膜装置が知られている。引用文献１には、成膜のためのチャンバ内で基板を搬送しながら成膜を行う成膜装置が示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－１７３１７０号公報

【特許文献2】特開２０１０－１４７２５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、搬送装置に設けられた搬送ローラと搬送される基板との接触によって生じた粉塵などが、搬送ローラの回転や蒸着源から放出される蒸着材料によって生じる気流によって舞い上がり、基板上や成膜装置の駆動部に付着し、成膜不良や搬送ローラの動作不良が生じることがある。これを防ぐために、搬送ローラにはカバーが設けられることがある（引用文献２）。

【0005】

本発明は、成膜不良や搬送ローラの動作不良を防ぐ効果が高い、インライン型の成膜装置の搬送ローラに設けられるカバーを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面によれば、基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置の搬送装置であって、
載置された基板を搬送する複数の搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラ毎に設けられ、前記搬送ローラを囲む集塵カバーと、を備え、
前記集塵カバーは、
前記搬送ローラの軸方向で、前記搬送ローラの前記基板側の側面を覆う前面部と、
前記搬送ローラの上側を覆う上面部と、を含み、
前記上面部は、前記搬送ローラの上方周面を露出させる開口部を有する、
ことを特徴とする搬送装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、成膜不良や搬送ローラの動作不良を防ぐ効果が高い、インライン型の成膜装置の搬送ローラに設けられるカバーを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】一実施形態に係る成膜装置の概略図。

【図2】成膜装置の成膜処理を示す図。

【図3】搬送ユニットと蒸着ユニットの分離を示す図。

【図4】一実施形態に係る搬送ユニットの概略図。

【図5】搬送ユニットの面Ｘでの断面図。

【図6】搬送ユニットの面Ｙでの断面図。

【図7】搬送ローラおよび集塵カバーの構成の一例を示す図。

【図8】搬送ローラおよび集塵カバーの構成の一例を示す図。

【図9】搬送ローラおよび集塵カバーの構成の一例を示す図。

【図10】搬送ローラおよび集塵カバーの構成の一例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0010】

＜成膜装置の概要＞
図１（Ａ）および図１（Ｂ）は、本実施形態に係る成膜装置を示す概略図である。図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す本実施形態に係る成膜装置１は、基板を搬送しながら製膜するインライン型の成膜装置である。本実施形態に係る成膜装置１は、例えば、スマートフォン用の有機ＥＬ表示装置の表示パネルなどの電子デバイスの製造ラインに適用される。成膜装置１は、搬送ユニット２、蒸着ユニット３、フレーム４を含む。

【0011】

搬送ユニット２は、基板上に形成する薄膜パターンに対応する開口パターンをもつメタルマスクなどのマスクによってマスクされた基板が配置されたマスクトレイを搬入口５から搬出口６まで搬送するための装置である。また、搬送ユニット２の底面には、蒸着ユニット３の蒸着源から放出された蒸着材料がマスクトレイに配置された基板に蒸着されるよう、開口が配置される。

【0012】

蒸着ユニット３は、後述する蒸着源を有し、蒸着ユニット３の天面側には搬送ユニット２によって搬送される基板に蒸着材料を放出するための開口を有する。また、蒸着ユニット３またはフレーム４に配置された昇降機構４１およびスライド機構４２によって、後述する搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離が行われる。

【0013】

フレーム４は、搬送ユニット２と蒸着ユニット３とを支持するための構造である。本実施形態では、フレーム４が昇降機構４１およびスライド機構４２を備えるものとして説明を行うが、昇降機構およびスライド機構の少なくとも一つが蒸着ユニット３に備えられてもよい。

【0014】

また、図１（Ｂ）に示すように、本実施形態では、成膜装置１は３つの蒸着ユニット３Ａ～３Ｃ（総称して蒸着ユニット３とする）を備え、搬送される基板に１種類以上の蒸着材料を連続して蒸着することができる。なお、図１（Ｂ）の例では、昇降機構４１は省略して示されている。蒸着ユニット３の数、およびそれぞれの蒸着ユニット３が放出する蒸着材料の種類は任意に変更可能である。また、昇降機構４１およびスライド機構４２は、複数の蒸着ユニット３をまとめて昇降またはスライドさせてもよいし、別個に昇降またはスライドさせてもよい。

【0015】

図２（Ａ）～図２（Ｄ）は、本実施形態に係る成膜装置１の成膜処理を示す。ここで、図１（Ａ）の成膜装置１の面ＸＺでの断面図を示す。なお、図２（Ａ）～図２（Ｄ）では、フレーム４は省略して示されている。

【0016】

図２（Ａ）は、基板が配置されたマスクトレイ２０１が搬入口５から搬入された状態の成膜装置１を示す。搬送ユニット２はそれぞれの蒸着ユニット３に対応する開口２１Ａ～２１Ｃ（総称して開口２１とする）を備える。蒸着ユニット３はそれぞれに対応する蒸着源３１Ａ～３１Ｃ（総称して蒸着源３１とする）を備える。図２（Ａ）において、搬入されたマスクトレイ２０１は、搬送ユニット２が備える複数の搬送ローラ２２によって、搬送ユニット２の開口２１上に搬送される。

【0017】

図２（Ｂ）は、マスクトレイ２０１が開口２１Ａ上に搬送され、蒸着ユニット３Ａの蒸着源３１Ａから蒸着材料を放出している状態の成膜装置１を示す。図２（Ｂ）では、基板が搬送されている状態で、蒸着源３１Ａから上方に向かって蒸着材料が放出されている。これによって、マスクパターンに従って基板上に蒸着材料が蒸着される。本実施形態に係る成膜装置１は、マスクトレイ２０１が移動している状態で蒸着を行うものとして説明するが、マスクトレイ２０１が開口２１上に位置する状態で移動を一時停止または減速するようマスクトレイ２０１の搬送速度を制御してもよい。これによって、成膜装置１は基板上に適切な厚みの蒸着材料が蒸着するよう制御することができる。

【0018】

図２（Ｃ）は、蒸着された基板が搬送ユニット２によって搬送され、次の蒸着ユニット３Ｂに対応する開口２１Ｂ上にマスクトレイ２０１が搬送されている状態を示す。ここで、蒸着ユニット３Ｂの蒸着源３１Ｂから蒸着材料が放出される。そして成膜装置１はマスクトレイ２０１の搬送を進めて次の蒸着ユニット３Ｃによって次の蒸着を行い、図２（Ｄ）に示すように、蒸着が完了したマスクトレイ２０１が、搬出口６から搬出される。このように、搬送ユニット２の搬送ローラ２２によって搬入口５から搬出口６まで搬送されるまでに複数の蒸着ユニット３から蒸着を行うことができる。

【0019】

続いて、図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照して、搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離について説明する。蒸着ユニット３の蒸着源３１から放出された蒸着材料が搬送ユニット２の側壁や天面に付着し、落下して搬送中の基板に付着することで、蒸着処理が失敗する場合がある。また、搬送ユニット２の側壁や天面に付着した蒸着材料が落下して搬送ローラ２２に付着することで搬送している基板が汚損したり、搬送ローラ２２の動作不良が生じる場合がある。このため、搬送ユニット２の側壁や天面には防着板が設けられ、防着板を定期的に洗浄または交換するメンテナンスが必要になる。

【0020】

また、搬送ローラ２２とマスクトレイ２０１との接触によって生じる粉塵が、搬送ローラの回転や蒸着材料の放出によって生じる気流によって舞い上がり、基板や成膜装置１の駆動構造に付着し、成膜処理の失敗や搬送ユニット２の動作不良が生じる場合がある。このため、搬送ローラ２２には、生じた粉塵が散らばることを防ぐための集塵カバーが設けられ、集塵カバーの交換または清掃などのメンテナンスを定期的に行うことがある。

【0021】

このような場合、搬送ユニット２と蒸着ユニット３とを分離し、搬送ユニット２の底面側の開口２１から搬送ユニット２内の搬送空間にアクセスすることで、メンテナンスの際の作業の利便性が向上する。搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離では、図３（Ａ）に示すように、フレーム４が備える昇降機構４１によって、蒸着ユニット３が搬送ユニット２に対して相対的に下方に移動する。なお、本実施形態に係る蒸着ユニット３は、後述するように、搬送ユニット２と接続された場合に開口２１よりもＺ軸上方に進入する部分を備えるため、昇降機構４１による蒸着ユニット３の降下が必要となる。これによって、搬送ユニット２に対して水平方向に蒸着ユニット３が移動することが可能となる。

【0022】

続いて、図３（Ｂ）に示すように、フレーム４が備えるスライド機構４２によって、蒸着ユニット３が搬送ユニット２に対して相対的に水平に移動する。これによって、フレーム４に保持された搬送ユニット２の下方から搬送ユニット２内部の搬送空間にアクセスすることができ、メンテナンスの利便性を向上することができる。また、蒸着ユニット３の上方から蒸着ユニット３内にアクセスすることができるため、蒸着ユニット３のメンテナンスの利便性も向上することができる。

【0023】

続いて、図４に、搬送ユニット２の構造を示す。搬送ユニット２は、底面の開口２１、複数の搬送ローラ２２、天面防着部２３、側壁防着部２４、筐体２５、天面蓋２６を含む。なお、図４において側壁防着部２４は一部のみが図示されている。

【0024】

天面防着部２３は、搬送ユニット２内の搬送路の天面側に蒸着する蒸着材料の除去などのメンテナンスを容易にするように、筐体２５から取り外し可能に配置される。本実施形態では、天面蓋２６に天面防着部２３が配置され、筐体２５から天面蓋２６を取り外すと、天面蓋２６とともに天面防着部２３も筐体２５から取り外される。また、天面防着部２３は複数の防着板（天面防着板）によって形成され、それぞれの天面防着板は別個に筐体２５または天面蓋２６から取り外すことができる。天面蓋２６が複数の天面防着板を支持する構造については図５および図６を参照して後述する。また、筐体２５、天面蓋２６、および天面防着部２３の詳細な構造については図５および図６を参照して後述する。

【0025】

側壁防着部２４は、搬送ユニット２内の筐体２５の側壁から脱着可能な防着板を含み、筐体２５の内側の側壁に蒸着材料が蒸着することを防ぐ。メンテナンスの際には、側壁防着部２４を筐体２５から取り外し、交換又は洗浄することでメンテナンス作業を容易に行うことができる。なお、本実施形態に係る側壁防着部２４も複数の側壁防着板によって形成され、それぞれの側壁防着板も別個に筐体２５から取り外すことができる。

【0026】

天面蓋２６は、筐体２５の天面側に配置され、天面蓋２６を上方に持ち上げることで筐体２５から天面蓋２６を取り外すことができる。これによって、筐体２５の天面側から搬送空間にアクセスすることができる。すなわち、天面蓋２６は搬送ユニット２の内部の搬送空間の天井を形成する天井部であり、筐体２５は搬送空間の側壁を形成する側壁部である。また、天面防着部２３は搬送空間の天井部を覆う防着部であり、側壁防着部２４は搬送空間の側壁部を覆う防着部である。

【0027】

続いて、図５を参照して搬送ユニット２の詳細な構造について説明する。図５は、図４の面４０１での搬送ユニット２の断面図である。また、図５では、蒸着ユニット３も図示されている。

【0028】

図５では、天面蓋２６にはガイドローラ２７が配置され、天面防着板５０１～５０４は、ガイドローラ２７によって支持される。すなわち、ガイドローラ２７と、天面防着板５０１～５０４のガイドローラ２７に当接する部分が、天面蓋２６に沿って防着板を移動可能に支持するスライド構造（着脱構造）として機能する。本実施形態では、ガイドローラ２７の移動方向は、基板の搬送方向と交差する方向であり、図５ではＹ軸方向である。なお、図５の例では、天面蓋２６にガイドローラ２７が配置され、天面防着板５０１～５０４は、ガイドローラ２７が転動する転動面を含むものとして図示している。しかしながら別の例では、天面蓋２６にレールが配置され、当該レールに沿って転動するローラが天面防着板５０１～５０４に配置されてもよい。また、天面蓋２６が天面防着板５０１～５０４を着脱可能に支持する着脱構造としては、スライド構造以外にもフック型の留め部材などの任意の構造を用いてもよい。

【0029】

また、円５０６～５０８に示すように、天面防着板と水平な面においてスライド方向と交差する方向で隣り合う天面防着板はラビリンス構造を形成する。ここでラビリンス構造とは、防着板が覆う面に対して垂直な方向、すなわち上下方向で隣接する防着板が重なり合うことを意味する。天面防着板５０１～５０４では、上下（Ｚ軸）方向で隣接する防着板が重なり合う。これによって、隣接する天面防着板５０１～５０４の位置が多少変化しても、天面防着板５０１～５０４が搬送空間の天井の内面を覆うことができ、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0030】

また、円５０９に示すように、筐体２５の側面に取りつけられ、搬送空間の側面を覆う側壁防着部２４は、側壁防着部２４に隣接する天面防着板５０１とラビリンス構造を形成する。これによって、天面防着板５０１の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0031】

また、本実施形態に係る天面蓋２６は、筐体２５との係合構造を有し、筐体２５と天面蓋２６との係合を解除することで筐体２５から取り外すことができる。筐体２５から天面蓋２６を取り外す際には、天面蓋２６に設けられたフック穴５０５にクレーンのフックを取りつけることで、クレーンを用いて天面蓋２６を取り外すことができる。

【0032】

続いて、図６を参照して搬送ユニット２の詳細な構造について説明する。図６では、図４の面４０２での搬送ユニット２の断面図である。また、図６では蒸着ユニット３も図示されている。

【0033】

図６では、ガイドローラ２７のスライド方向上の一方では搬送ユニット２の筐体２５または天面蓋２６に設けられたストッパ６０６に当たる。また、スライド方向上の他方ではカバー２８に当たる。カバー２８は、ガイドローラ２７によって天面防着板６０１～６０５を取り外し可能にするか否かを切り替え可能な係止構造である。図６の例では、カバー２８は天面防着板６０１～６０５を天面蓋２６から個別に取り外すことはできない閉状態である。一方、図８を参照して後述するように、カバー２８を開状態に切り替えることで、閉状態でカバー２８が覆っていた筐体２５の開口から天面防着板６０１～６０５をガイドローラ２７に沿って個別に取り外すことができる。また、筐体２５の開口から個別にガイドローラ２７に沿って天面防着板を取りつけて、ストッパ６０６または既に取りつけられた他の天面防着板に当接するまでスライドさせることで、天面防着板をスライド方向で位置合わせすることなく取りつけることができる。このように、脱着構造としてスライド構造を採用することで、天面防着板を着脱する際の作業の効率が向上する。

【0034】

また、円６０７～６１０に示すように、スライド方向で隣り合う防着板同士も、ラビリンス構造を形成する。これによって、スライド方向で前後の隣接する天面防着板６０１～６０５の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0035】

また、スライド方向で同一列の天面防着板６０１～６０５は、同じ形状を有する。これによって、防着板を設置する順序を考慮する必要がなく、天面防着板を着脱する作業が容易になる。

【0036】

また、円６１１～６１２に示すように、筐体２５の側面に取りつけられ、搬送空間の側面を覆う側壁防着部２４は、側壁防着部２４に隣接する天面防着板６０１、６０５とラビリンス構造を形成する。これによって、天面防着板６０１、６０５の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0037】

また、搬送ローラ２２は、シャフト６２１を介して搬送ローラ駆動部６２２によって駆動される。

【0038】

＜搬送ローラ２２と集塵カバーの構成＞
続いて、図７（Ａ）～図１０（Ｂ）を参照して、搬送ローラ２２と集塵カバーの構成の一例について説明する。なお、なお、図７（Ａ）～図１０（Ｂ）において、同様の構成については同一の参照符号を使用する。本実施形態に係る搬送ユニット２に設けられる複数の搬送ローラ２２のそれぞれは集塵カバーを有する。搬送ローラごとに集塵カバーを設けることで、搬送ローラ２２とマスクトレイ２０１との接触などによって生じた粉塵が蒸着ユニット側に落下することを防ぐことができる。

【0039】

図７（Ａ）および図７（Ｂ）において、集塵カバーは、図７（Ａ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ７００および図７（Ｂ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ７１０を含む。集塵カバーパーツ７００は、上面部７０１、側面部７０２、取り付け部７０３、底面部７０４、逆流防止部７０５、背面部７０６を含む。集塵カバーパーツ７００および７１０は、ネジ７２０によって脱着可能に係合され、搬送ローラ２２を囲む。なお、図７（Ａ）、図７（Ｂ）において、集塵カバーパーツ７１０は説明を容易にするために透過して図示しているが、集塵カバーパーツ７１０を構成する材料を限定するものではなく、任意の材料を使用することができる。また、後述する図８（Ａ）～図１０（Ｂ）の集塵カバーパーツについても同様である。一例では、集塵カバーパーツ７００および７１０は非磁性体の材料によって構成される。これによって、マグネットによって集塵カバーが磁化して粉塵が付着することを防ぎ、メンテナンス時に粉塵を取り除くことが容易になる。

【0040】

上面部７０１は、搬送ローラ２２に載置されたマスクトレイ２０１の搬送を可能にしながら搬送ローラ２２の周面の上側の少なくとも一部を覆うように、上方周面を露出させる開口部を備える。上面部７０１は、鉛直方向（上下方向、Ｚ軸方向）で、搬送ローラ２２の周面の上側を覆っている。換言すると、鉛直方向で上方から見た時、搬送ローラ２２の周面の一部が、上面部７０１によって覆い隠されている。これによって、載置された基板の搬送を行いながら、集塵カバー内に溜まった粉塵が集塵カバー外に出ないようにすることができる。図７（Ａ）に示す上面部７０１は、搬送ローラ２２の回転軸と垂直な面でハの字型の形状をしている。具体的には、搬送方向に沿って並ぶ２つの上面部７０１の間に開口がある。それぞれの上面部７０１についてみると、開口側の端が、開口とは反対側の端よりも、鉛直方向において高い位置にある。すなわち、上面部７０１は、鉛直方向および搬送方向に対してローラ側に傾斜している一対の傾斜部であり、搬送ローラ２２の鉛直方向で上方の周面の接線と平行な角度を有する。これによって、集塵カバーの上面部に粉塵が堆積することを防ぐことができる。また、搬送されるマスクトレイ２０１が自重により撓み、上面部７０１に当接した際に、マスクトレイ２０１を搬送ローラ２２の上方周面に導くガイドとして動作することができる。

【0041】

側面部７０２は、背面部７０６および上面部７０１と連結され、搬送ローラ２２の回転軸と平行な平面のうち、搬送ローラ２２の周面に対向する鉛直面を覆う。換言すると、側面部７０２は、搬送ローラ２２の回転軸方向（Ｙ軸方向）に垂直で、かつ、鉛直方向（Ｚ軸方向）に垂直な方向（Ｘ軸方向、搬送方向）で、搬送ローラ２２の周面を覆っている。すなわち、Ｘ軸方向から見ると、搬送ローラ２２の周面は側面部７０２によって覆い隠されている。また、側面部７０２は、集塵カバーパーツ７１０を支持する構造を有する。集塵カバーパーツ７００は取り付け部７０３を介して集塵カバーパーツ７００を搬送ローラ２２のシャフトカバー７５０に固定される。底面部７０４には、トレイ７１２の下方に配置される、マグネット７５１が配置される。逆流防止部７０５は、集塵カバーに溜まった粉塵が搬送ローラ２２の回転などによって生じた気流によって舞い上がり集塵カバー外に出ることを防ぐ。背面部７０６は、回転軸方向で、搬送ローラ２２のシャフト側の側面を覆い、側面部７０２、底面部７０４に連結される。

【0042】

続いて、図７（Ｂ）を参照して集塵カバーパーツ７１０の構成を説明する。集塵カバーパーツ７１０は、前面部７１１、トレイ７１２、および側面部７１３を含む。前面部７１１は、搬送ローラ２２の回転軸に垂直な面であって、基板側の面を覆う。前面部７１１は、搬送ローラ２２の回転軸方向で、搬送ローラ２２の基板側の側面を覆っている。換言すると、搬送ローラ２２の回転軸方向において、基板側から見たときに、送ローラ２２の基板側の側面が、前面部７１１によって覆い隠される。トレイ７１２は、搬送ローラ２２の下方に配置される。トレイ７１２は、上が開放された箱状の形状（凹形状）をしており、上方からの粉塵を効率よく溜めることができる搬送ローラ２２の下方周面を覆う。また、トレイ７１２は前面部７１１に連結される。側面部７１３は、集塵カバーパーツ７００の側面部７０２に着脱可能に連結される。

【0043】

これによって、集塵カバーに粉塵が溜まった際には、集塵カバーパーツ７１０を集塵カバーパーツ７００から取り外すことでトレイ７１２に溜まった粉塵を効率的に除去することができる。また、集塵カバーパーツ７１０は非磁性体でできており、マグネットは集塵カバーパーツ７００側に設けられている。このため、集塵カバーパーツ７１０を集塵カバーパーツ７００から取り外して、集塵カバーパーツ７１０から粉塵を除去する際には粉塵をトレイ７１２から取り除きやすい。

【0044】

続いて、図８（Ａ）および図８（Ｂ）を参照して、搬送ローラ２２と集塵カバーの構成の一例について説明する。集塵カバーは、図８（Ａ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ８００および図８（Ｂ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ８１０を含む。

【0045】

集塵カバーパーツ８００は、側面部８０２、取り付け部８０３、底面部８０４、背面部８０６を含む。また、集塵カバーパーツ８１０は、上面部８０１、前面部８１１、トレイ８１２、および側面部８１３を含む。

【0046】

図７（Ａ）および７（Ｂ）では、上面部７０１が背面部７０６を備える集塵カバーパーツ７００に設けられていた。一方、図８（Ａ）および８（Ｂ）に示す集塵カバーパーツ８００および８１０では、上面部８０１が前面部８１１を備える集塵カバーパーツ８１０に設けられている。また、側面部８０２は図７（Ａ）に示す側面部７０２に比べて面積が小さい。このため、集塵カバーパーツ８１０を集塵カバーパーツ８００から取り外した場合に搬送ローラ２２のメンテナンスが容易となる。

【0047】

続いて、図９（Ａ）および図９（Ｂ）を参照して、搬送ローラ２２と集塵カバーの構成の一例について説明する。集塵カバーは、図９（Ａ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ８００および図８（Ｂ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ８１０を含む。図９（Ａ）および図９（Ｂ）に示す集塵カバーにおいて、集塵カバーパーツ９００および９１０によって上面部が形成される。すなわち、上面部を形成するハの字型の二枚の板は、一方が集塵カバーパーツ９００に、他方が集塵カバーパーツ９１０に設けられる。

【0048】

また、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）を参照して、搬送ローラ２２と集塵カバーの構成の一例について説明する。集塵カバーは、図１０（Ａ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ１０００および図１０（Ｂ）で網掛けおよびハッチングで示す集塵カバーパーツ１０１０を含む。図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）に示すように、前面部は集塵カバーパーツ１０００および１０１０によって形成され、集塵カバーパーツ１０１０は集塵カバーパーツ１０００に対して着脱可能である。

【0049】

図７（Ａ）～図１０（Ｂ）に示す集塵カバーは、搬送ローラ２２の大きさ（直径）ごとに異なる集塵カバーが適用されてもよいし、搬送ローラ２２が配置される位置によって異なる集塵カバーが適用されてもよい。

【0050】

＜他の実施形態＞
本実施形態では、搬送ローラ２２ごとに集塵カバーが設けられる。これは、搬送ローラ２２が搬送方向の異なる間隔で配置されるため、１つの集塵カバーが複数の搬送ローラを囲むようにすると、搬送ローラ２２の間隔に応じて異なる寸法の集塵カバーを設計する必要があるためである。しかしながら、１つの集塵カバーは、搬送方向で連続した複数の搬送ローラを囲むように設計されてもよい。例えば、搬送方向で連続した２つの搬送ローラの組が、搬送方向の異なる間隔で配置される場合には、１つの集塵カバーは搬送方向で連続した２つの搬送ローラを囲むように設計されてもよい。

【0051】

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【符号の説明】

【0052】

１ 成膜装置、２ 搬送ユニット、３ 蒸着ユニット、２２ 搬送ローラ、７００ 集塵カバーパーツ、７０１ 上面部、７１０ 集塵カバーパーツ、７５１ マグネット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】