特開 2023-10054 部品圧着装置及び部品圧着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023010054

(43)【公開日】2023-01-20

(54)【発明の名称】部品圧着装置及び部品圧着方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20230113BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20230113BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 311T

H05K13/04 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021113852

(22)【出願日】2021-07-08

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】辻澤 孝文

【テーマコード（参考）】

5E353

5F044

【Ｆターム（参考）】

5E353BC02

5E353BC03

5E353JJ60

5E353MM08

5E353NN18

5E353QQ10

5F044KK01

5F044KK06

5F044LL09

5F044PP12

5F044PP13

5F044PP16

5F044PP17

(57)【要約】

【課題】静電気による基板へのダメージを抑制できる部品圧着装置等を提供する。
【解決手段】部品圧着装置１００は、基板を支持する基板支持部１１０と、基板支持部１１０により支持された基板に部品を圧着する圧着ツール１３０と、圧着ツール１３０と部品との間にシートを供給するシート供給機構１２０と、シートの帯電量を測定する帯電量測定部１４０と、シート供給機構１２０及び圧着ツール１３０を制御する制御部１６０と、を備える。制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシートの帯電量に基づき、シート供給機構１２０によるシートの供給を制御し、圧着ツール１３０に、シート供給機構１２０により供給されたシートとともに部品を基板に押圧させることにより、基板に部品を圧着させる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部により支持された前記基板に部品を圧着する圧着ツールと、
前記圧着ツールと前記部品との間にシートを供給するシート供給機構と、
前記シートの帯電量を測定する帯電量測定部と、
前記シート供給機構及び前記圧着ツールを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記帯電量測定部により測定される前記シートの帯電量に基づき、前記シート供給機構による前記シートの供給を制御し、
前記圧着ツールに、前記シート供給機構により供給された前記シートとともに前記部品を前記基板に押圧させることにより、前記基板に前記部品を圧着させる、
部品圧着装置。

【請求項2】

前記シートは、ロール状に巻かれた状態で前記シート供給機構に保持され、
前記シート供給機構は、ロール状に巻かれた前記シートを引き出すことにより、前記圧着ツールと前記部品との間に前記シートを供給し、
前記制御部は、前記シート供給機構が前記シートを引き出す際の引き出し速度を制御することで、前記シート供給機構による前記シートの供給を制御する、
請求項１に記載の部品圧着装置。

【請求項3】

前記制御部は、
前記帯電量測定部により測定される前記シートの帯電量に基づき、所定の時間を決定し、
前記シート供給機構に、前記圧着ツールと前記部品との間に前記シートを供給させた後に前記シートの供給を前記所定の時間停止させるように、前記シート供給機構による前記シートの供給を制御する、
請求項１又は２に記載の部品圧着装置。

【請求項4】

イオン化されたガスを噴出することにより前記シートの帯電量を低減するイオナイザをさらに備え、
前記制御部は、前記帯電量測定部により測定される前記シートの帯電量に基づき、前記イオナイザから噴出させる前記ガスの風量を変更する、
請求項１～３のいずれか１項に記載の部品圧着装置。

【請求項5】

基板を基板支持部で支持する基板支持ステップと、
圧着ツールと部品との間にシートを供給するシート供給ステップと、
前記圧着ツールに、前記シート供給ステップで供給した前記シートとともに前記部品を前記基板に押圧させることにより、前記基板支持部により支持された前記基板に前記部品を圧着する圧着ステップと、
前記シートの帯電量を測定する帯電量測定ステップと、を含み、
前記シート供給ステップでは、前記帯電量測定ステップで測定される前記シートの帯電量に基づき、前記シートの供給を制御する、
部品圧着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品圧着装置及び部品圧着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板に部品を圧着する部品圧着装置がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されている部品圧着装置は、供給された保護シートの上方から圧着ツールが下降して保護シートとともに部品を基板に押圧することにより、部品を基板に圧着する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－１１２２４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

部品圧着装置は、例えば、ロール状で供給リールに保持された保護シートを供給リールから引き出し、引き出した保護シートを部品の上方に供給する。ここで、保護シートは、供給リールから引き出される際に、帯電（剥離帯電）する場合がある。このように帯電された保護シートを用いて部品を基板に圧着すると、保護シートが帯電することにより生じた静電気により基板へダメージを与える。

【0005】

本発明は、静電気による基板へのダメージを抑制できる部品圧着装置等を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る部品圧着装置は、基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部により支持された前記基板に部品を圧着する圧着ツールと、前記圧着ツールと前記部品との間にシートを供給するシート供給機構と、前記シートの帯電量を測定する帯電量測定部と、前記シート供給機構及び前記圧着ツールを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記帯電量測定部により測定される前記シートの帯電量に基づき、前記シート供給機構による前記シートの供給を制御し、前記圧着ツールに、前記シート供給機構により供給された前記シートとともに前記部品を前記基板に押圧させることにより、前記基板に前記部品を圧着させる。

【0007】

また、本発明の一態様に係る部品圧着方法は、基板を基板支持部で支持する基板支持ステップと、圧着ツールと部品との間にシートを供給するシート供給ステップと、前記圧着ツールに、前記シート供給ステップで供給した前記シートとともに前記部品を前記基板に押圧させることにより、前記基板支持部により支持された前記基板に前記部品を圧着する圧着ステップと、前記シートの帯電量を測定する帯電量測定ステップと、を含み、前記シート供給ステップでは、前記帯電量測定ステップで測定される前記シートの帯電量に基づき、前記シートの供給を制御する。

【0008】

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム又はコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭ等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、静電気による基板へのダメージを抑制できる部品圧着装置等を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施の形態に係る部品圧着装置を示す概略図である。

【図2】図２は、実施の形態に係る部品圧着装置の機能構成を示すブロック図である。

【図3】図３は、実施の形態に係る部品圧着装置が備えるシート供給機構のシートの引き出し速度の第１例を示す図である。

【図4】図４は、実施の形態に係る部品圧着装置が備えるシート供給機構のシートの引き出し速度の第２例を示す図である。

【図5】図５は、実施の形態に係る部品圧着装置が備えるイオナイザが噴出するガスの風量の第１例を示す図である。

【図6】図６は、実施の形態に係る部品圧着装置が備えるイオナイザが噴出するガスの風量の第２例を示す図である。

【図7】図７は、実施の形態に係る部品圧着装置の処理手順を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下では、本発明の実施の形態に係る部品圧着装置等について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0012】

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。

【0013】

（実施の形態）
［構成］
まず、実施の形態に係る部品圧着装置の構成について説明する。

【0014】

図１は、実施の形態に係る部品圧着装置１００の概略図である。

【0015】

なお、図１においては、コンピュータ９０を機能的なブロックとして図示している。

【0016】

部品圧着装置１００は、基板２００に部品３００を圧着する装置である。部品圧着装置１００は、例えば、ディスプレイパネル等を生産するための部品実装システムの一部である。当該部品実装システムでは、例えば、図示しない貼着装置が基板２００に設けられた電極部にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を貼付け、図示しない仮圧着装置によってＡＣＦを介して基板２００と部品３００とを仮圧着させる。部品圧着装置１００は、例えば、図示しない基板搬送装置によって上流側の装置（例えば、仮圧着装置）から搬送された、部品３００が配置（載置）された基板２００に部品３００を圧着する。部品３００が圧着された基板２００は、例えば、当該基板搬送装置によって部品圧着装置１００の下流側に搬送される。

【0017】

基板２００としては、樹脂等により形成されたフィルム状のフレキシブル基板、又は、ガラス基板等のリジッドな基板が例示される。

【0018】

部品３００としては、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）等の電子部品が例示される。

【0019】

図１に示すように、部品圧着装置１００は、シート保持部２０と、送りローラ２１と、圧着ヘッド５０と、モータ５１と、ガイド５２と、ステージ７０と、バックアップステージ８０と、帯電量測定部１４０と、イオナイザ１５０と、を備える。

【0020】

なお、図示しないが、これらの構成要素は、ガイド、モータ等の構成要素を駆動（移動）させるための駆動機構、位置を固定する支持部材等によって支持されている。

【0021】

また、これらの構成要素、又は、これらの構成要素を駆動するための駆動機構は、部品圧着装置１００が備えるコンピュータ９０と無線又は制御線等によって通信可能に接続されており、コンピュータ９０によって制御されることで所定の作業を実行する。

【0022】

コンピュータ９０は、部品圧着装置１００が備える各構成要素を制御する。コンピュータ９０は、例えば、部品圧着装置１００が備える各構成要素と通信するための通信インターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、信号の送受信をするための入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサ等で実現されるコンピュータである。

【0023】

シート保持部２０は、シート４００を収容し、収容しているシート４００を供給するためのリールである。シート４００は、送りローラ２１が回動することで巻き取られて圧着ヘッド５０の下方に供給される。

【0024】

なお、シート４００が供給されるとは、圧着ヘッド５０の下方に位置するシート４００の位置が変わることも意味する。例えば、シート４００は、圧着ヘッド５０によって部品３００が基板２００に圧着される度に、位置が移動される。つまり、圧着ヘッド５０によって部品３００が基板２００に圧着される度に、シート４００は供給される。

【0025】

シート保持部２０は、シート４００を支持する支持部材である。本実施の形態では、シート保持部２０では、シート４００は、ロール状に巻かれた状態（巻回された状態）で保持されている。シート４００は、送りローラ２１によって引き出されることで、圧着ヘッド５０の下方に供給される。

【0026】

なお、シート４００は、ロール状に巻かれた状態でシート保持部２０に保持されていなくてもよく、例えば、シート保持部２０に折りたたまれて重ねられた状態で保持されていてもよい。

【0027】

送りローラ２１は、回動することでシート保持部２０に保持されたシート４００をシート保持部２０から引き出して圧着ヘッド５０の下方にシート４００を供給する駆動機構である。

【0028】

圧着ヘッド５０は、部品３００を基板２００に圧着するヘッドである。例えば、圧着ヘッド５０は、ガイド５２に取り付けられており、モータ５１がコンピュータ９０によって駆動されて上下動することで、シート４００を介して部品３００を押圧することで、部品３００を基板２００に圧着する。

【0029】

ステージ７０は、部品が配置された基板２００が載置される基台である。具体的には、ステージ７０は、基板２００の縁部と上面視で重ならない状態（つまり、基板２００の端部がはみ出した状態）で基板２００を保持する。ステージ７０は、例えば、コンピュータ９０によって制御されてＸＹＺ方向に移動可能な３軸ステージである。

【0030】

バックアップステージ８０は、ステージ７０に載置された基板２００の縁部を支持する基台である。バックアップステージ８０は、例えば、コンピュータ９０によって制御されてＺ方向に移動可能な１軸ステージである。

【0031】

帯電量測定部１４０は、シート４００の帯電量を測定するセンサである。帯電量測定部１４０は、例えば、シート保持部２０から引き出されたシート４００の帯電量を測定する。本実施の形態では、帯電量測定部１４０は、シート保持部２０から引き出された後の位置であって、且つ、圧着ヘッド５０により押圧される位置よりシート保持部２０側の位置の帯電量を測定する。

【0032】

なお、帯電量測定部１４０は、シート保持部２０に保持されているシート４００の帯電量を測定してもよいし、圧着ヘッド５０により押圧される位置に対してシート保持部２０とは反対側の位置を測定してもよい。

【0033】

また、帯電量測定部１４０は、シート４００の帯電量を測定できればよく、接触式のセンサでもよいし、非接触式のセンサでもよい。本実施の形態では、帯電量測定部１４０として、シート４００に非接触の状態でシート４００の帯電量を測定できる非接触式のセンサが採用されている。

【0034】

イオナイザ１５０は、イオン化されたガスを噴出することによりシート４００の帯電量を低減する装置である。イオナイザ１５０は、例えば、コロナ放電を発生させることでイオンを生成し、生成したイオンを含むガスをシート４００に向けて噴出する。イオナイザ１５０は、例えば、シート４００における圧着ヘッド５０が押圧する位置に向けてガスを噴出する。例えば、イオナイザ１５０は、シート４００の下方に配置され、シート４００における圧着ヘッド５０が押圧する上面と対向する位置の下面に向けてガスを噴出する。

【0035】

続いて、以上のようなハードウェア構成を備える部品圧着装置１００の特徴的な機能構成について説明する。

【0036】

図２は、実施の形態に係る部品圧着装置１００の機能構成を示すブロック図である。

【0037】

部品圧着装置１００は、基板支持部１１０と、シート供給機構１２０と、圧着ツール１３０と、帯電量測定部１４０と、イオナイザ１５０と、制御部１６０と、記憶部１７０と、を備える。

【0038】

基板支持部１１０は、基板２００を支持する基台である。具体的には、基板支持部１１０は、部品３００が配置された基板２００を支持する。基板支持部１１０は、例えば、ステージ７０及びバックアップステージ８０により実現される。

【0039】

シート供給機構１２０は、圧着ツール１３０と基板支持部１１０に載置された基板２００に配置された部品３００との間にシート４００を供給する機構である。具体的には、シート供給機構１２０は、部品３００が配置された基板２００が圧着位置（例えば、図１に示す基板２００の位置であって、基板２００の縁部の下方がバックアップステージ８０に支持されている状態）に位置しているときに、圧着ツール１３０が備える圧着ヘッド５０の下方であって、且つ、基板支持部１１０に載置された基板２００に配置された部品３００の上方にシート４００を供給する。シート供給機構１２０は、例えば、圧着ツール１３０がシート４００とともに部品３００を基板２００に押圧することで部品３００を基板２００に圧着する度に、シート４００の位置をずらすことでシート４００を供給する。

【0040】

シート４００は、例えば、ロール状に巻かれた状態でシート供給機構１２０（より具体的には、シート供給機構１２０が備えるシート保持部２０）に保持される。シート供給機構１２０（より具体的には、シート供給機構１２０が備える送りローラ２１）は、例えば、シート保持部２０にロール状に巻かれて保持されたシート４００を引き出すことにより、圧着ツール１３０（より具体的には、圧着ツール１３０が備える圧着ヘッド５０）と部品３００との間にシート４００を供給する。

【0041】

シート供給機構１２０は、例えば、シート保持部２０、送りローラ２１及び送りローラ２１を回動させる図示しないモータによって実現される。

【0042】

圧着ツール１３０は、基板支持部１１０により支持された基板２００に部品３００を圧着するための機構である。具体的には、圧着ツール１３０は、シート供給機構１２０により供給されたシート４００とともに部品３００を基板２００に押圧させることにより、基板２００に部品３００を圧着させる。圧着ツール１３０は、例えば、圧着ヘッド５０、モータ５１及びガイド５２により実現される。

【0043】

帯電量測定部１４０は、上記した通り、シート４００の帯電量を測定するセンサである。

【0044】

イオナイザ１５０は、上記した通り、イオン化されたガスを噴出することによりシート４００の帯電量を低減するための装置である。

【0045】

制御部１６０は、基板支持部１１０、シート供給機構１２０、圧着ツール１３０、帯電量測定部１４０、及び、イオナイザ１５０等の部品圧着装置１００が備える各構成要素の動作、動作タイミング等を制御する処理部である。制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0046】

制御部１６０は、例えば、シート供給機構１２０がシート保持部２０に保持されたシート４００を引き出す際の引き出し速度を制御することで、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0047】

図３は、実施の形態に係る部品圧着装置１００が備えるシート供給機構１２０のシート４００の引き出し速度の第１例を示す図である。なお、図３に示すグラフの横軸は時間（時刻）を示し、縦軸はシート４００の引き出し速度（シート速度）を示す。

【0048】

まず、制御部１６０は、例えば、シート供給機構１２０を制御することで、図３に一点鎖線で示すように、第１速度で予め定められた時間シート４００を供給させて、さらに予め定められた時間シート４００の供給を停止させることを繰り返す。制御部１６０は、シート供給機構１２０にシート４００の供給を停止させている間に、圧着ツール１３０を制御することで部品３００を基板２００に圧着させる。

【0049】

ここで、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、シート供給機構１２０のシート４００の引き出し速度を図３に一点鎖線で示す状態から図３に実線で示す状態に変更させる。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定させるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、引き出し速度を第１速度から、当該第１速度より低い速度である第２速度に変更する。また、制御部１６０は、第１速度から第２速度への変更に伴い、シート４００を第１速度で引き出していた際と同じ距離移動させるために、引き出し時間を長くする。

【0050】

なお、所定の閾値は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。所定の閾値を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0051】

また、シート供給機構１２０がシート４００を供給し続ける時間及びシート４００の供給を停止し続ける時間は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。これらの時間は、同じでもよいし、異なっていてもよい。これらの時間を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0052】

また、シート４００の供給を停止し続ける時間は、停止を開始する時点で予め定められていなくてもよい。例えば、制御部１６０は、シート４００の供給が停止されている間に行われる圧着ツール１３０による圧着が完了した時に停止を解除してもよい。

【0053】

また、制御部１６０は、シート供給機構１２０を制御することで、シート４００の供給を停止させてから圧着ツール１３０による圧着が行われるまでの間に、シート４００を弛ませてもよい。シート４００を弛ませることにより、圧着ツール１３０による圧着動作がシート４００により阻害されることを抑制できる。

【0054】

また、第１速度及び第２速度は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。これらの速度を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0055】

或いは、制御部１６０は、例えば、シート供給機構１２０がシート保持部２０に保持されたシート４００を引き出す処理を停止している時間（所定の時間）を制御することで、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0056】

図４は、実施の形態に係る部品圧着装置１００が備えるシート供給機構１２０のシート４００の引き出し速度の第２例を示す図である。なお、図４に示すグラフの横軸は時間（時刻）を示し、縦軸はシート４００の引き出し速度（シート速度）を示す。

【0057】

まず、制御部１６０は、例えば、シート供給機構１２０を制御することで、図４に一点鎖線で示すように、予め定められた時間シート４００を供給させて、さらに第１時間シート４００の供給を停止させることを繰り返す。

【0058】

ここで、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、シート供給機構１２０のシート４００の引き出しの停止時間を図４に一点鎖線で示す状態から図４に実線で示す状態に変更させる。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定させるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、引き出しを停止させる時間を第１時間から、当該第１時間より長い時間である第２時間に変更する。

【0059】

このように、制御部１６０は、例えば、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、所定の時間を決定し、シート供給機構１２０に、圧着ツール１３０と部品３００との間にシート４００を供給させた後にシート４００の供給を当該所定の時間停止させるように、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0060】

なお、所定の時間は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。所定の時間を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。具体的には、第１時間及び第２時間は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。これらの時間を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0061】

制御部１６０は、圧着ツール１３０に、上記のように制御したシート供給機構１２０により供給されたシート４００とともに部品３００を基板２００に押圧させることにより、基板２００に部品３００を圧着させる。

【0062】

また、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を変更する。

【0063】

図５は、実施の形態に係る部品圧着装置１００が備えるイオナイザ１５０が噴出するガスの風量の第１例を示す図である。なお、図５に示すグラフの横軸は時間（時刻）を示し、縦軸はイオナイザ１５０が噴出するガスの風量（イオナイザ風量）を示す。

【0064】

まず、制御部１６０は、例えば、イオナイザ１５０を制御することで、図５に一点鎖線で示すように、第１風量でガスを噴出させる。

【0065】

ここで、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を図５に一点鎖線で示す状態から図５に実線で示す状態に変更させる。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定させるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、ガスの風量を第１風量から、当該第１風量より多い風量である第２風量に変更する。

【0066】

なお、第１風量及び第２風量は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。これらの風量を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0067】

なお、イオナイザ１５０は、例えば、シート４００における特定の位置（例えば、圧着ツール１３０に押圧される位置）にガスを吹き付ける位置が固定されている。そのため、イオナイザ１５０がガスをシート４００に不要に吹き付けることを抑制するために、例えば、シート４００の供給が停止されている状態（言い換えると、圧着ツール１３０により圧着が行われている状態）においては、風量を少なくしてもよい。

【0068】

図６は、実施の形態に係る部品圧着装置１００が備えるイオナイザ１５０が噴出するガスの風量の第２例を示す図である。なお、図６に示すグラフの横軸は時間（時刻）を示し、縦軸はイオナイザ１５０が噴出するガスの風量（イオナイザ風量）を示す。

【0069】

まず、制御部１６０は、例えば、イオナイザ１５０を制御することで、図６に一点鎖線で示すように、圧着ツール１３０が圧着している場合には第５風量でガスを噴出させ、圧着ツール１３０が圧着していない場合には第４風量でガスを噴出させる。

【0070】

ここで、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を図６に一点鎖線で示す状態から図６に実線で示す状態に変更させる。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定させるシート４００の帯電量が所定の閾値を超えた場合、圧着ツール１３０が圧着していないときに噴出するガスの風量を第４風量から、当該第４風量より多い風量である第３風量に変更する。

【0071】

なお、例えば、第５風量は、第３風量及び第４風量よりも少ない風量である。

【0072】

また、第３風量、第４風量及び第５風量は、予め任意に定められてよく、特に限定されない。これらの風量を示す情報は、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。

【0073】

以上のように、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、例えば、シート供給機構１２０及びイオナイザ１５０を制御する。

【0074】

なお、上記した制御部１６０がシート４００の帯電量に基づく処理は、所定の閾値を超えるか否かではなく、第１閾値を超えるか否か、且つ、第１閾値とは値が異なる第２閾値を超えるか否か等の複数の閾値の条件によって変更されてもよい。

【0075】

また、例えば、シート４００の帯電量とシート４００の引き出し速度との対応関係を示す情報が記憶部１７０に予め記憶されており、制御部１６０は、帯電量測定部１４０によるシート４００の帯電量の測定結果と、上記対応関係を示す情報とに基づいて、シート４００の引き出し速度を決定してもよい。

【0076】

或いは、例えば、シート４００の帯電量とシート４００の引き出しの停止時間との対応関係を示す情報が記憶部１７０に予め記憶されており、制御部１６０は、帯電量測定部１４０によるシート４００の帯電量の測定結果と、上記対応関係を示す情報とに基づいて、シート４００の引き出しの停止時間（所定の時間）を決定してもよい。

【0077】

或いは、例えば、シート４００の帯電量とガスの風量との対応関係を示す情報が記憶部１７０に予め記憶されており、制御部１６０は、帯電量測定部１４０によるシート４００の帯電量の測定結果と、上記対応関係を示す情報とに基づいて、ガスの風量を決定してもよい。

【0078】

また、シート供給機構１２０がシート４００を引き出している際のシート４００の引き出し速度、及び、イオナイザ１５０がガスを噴出している際のガスの風量は、一定でもよいし、一定でなくてもよい。

【0079】

また、上記した制御部１６０がシート４００の帯電量に基づくそれぞれの処理に用いられる閾値は、同じでもよいし、異なっていてもよい。

【0080】

制御部１６０は、例えば、コンピュータ９０が有する、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサ、当該プロセッサが実行する、コンピュータ９０が有するメモリ等に記憶された制御プログラム、及び、基板支持部１１０、シート供給機構１２０、圧着ツール１３０等と通信するための通信インターフェース等で実現される。

【0081】

記憶部１７０は、基板２００、部品３００及びシート４００のそれぞれのサイズ等の種類を示す情報、圧着位置、圧着方向、各構成要素の動作、当該動作のタイミング、基板２００を部品圧着装置１００の後段に位置する部品圧着装置等に移送するタイミング等を示す各種データ、制御部１６０等が実行する制御プログラム等を記憶する記憶装置である。記憶部１７０は、例えば、フラッシュメモリ、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）等により実現される。

【0082】

［処理手順］
続いて、実施の形態に係る部品圧着装置１００の処理手順について詳細に説明する。

【0083】

図７は、実施の形態に係る部品圧着装置１００の処理手順を示すフローチャートである。

【0084】

まず、制御部１６０は、部品３００が配置された基板２００をステージ７０に支持させる（Ｓ１０１）。例えば、制御部１６０は、基板２００を搬送する図示しない基板搬送部を制御することで、基板２００をステージ７０に保持させる。このとき、ステージ７０は、図１に示されている位置よりもバックアップステージ８０に対して離間した位置にある。そのため、帯電量測定部１４０は、ステージ７０およびステージ７０に保持される基板２００に遮られることなくシート４００の帯電量を測定することができる。

【0085】

次に、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量に基づき、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を制御する（Ｓ１０２）。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量に基づき、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を決定し、決定した風量でイオナイザ１５０からガスを噴出させるように、イオナイザ１５０を制御する。

【0086】

なお、制御部１６０は、例えば、部品圧着装置１００が起動された直後等、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量が存在しない場合、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を、記憶部１７０に予め記憶された所定の風量を示す風量情報に基づいて制御してもよい。また、制御部１６０は、例えば、部品圧着装置１００が停止される際には、帯電量測定部１４０が最後に測定したシート４００の帯電量を示す帯電量情報を記憶部１７０に記憶させてもよい。この場合、例えば、制御部１６０は、部品圧着装置１００が起動された直後等に、帯電量情報に基づいて、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を制御してもよい。

【0087】

次に、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が前回測定したシートの帯電量に基づき、シート４００の供給を制御する（Ｓ１０３）。例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量に基づき、送りローラ２１によるシート４００の供給速度を制御する。或いは、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量に基づき、シート４００を供給するタイミング（より具体的には、シート４００の供給の停止時間である所定の時間）を決定し、決定したタイミングで送りローラ２１を回動させることで、シート保持部２０に保持されているシート４００を移動させる。

【0088】

なお、制御部１６０は、例えば、部品圧着装置１００が起動された直後等、帯電量測定部１４０が前回測定したシート４００の帯電量が存在しない場合、記憶部１７０に予め記憶された所定のシート供給速度或いはシート供給タイミングを示すシート供給情報に基づいて、シート４００の供給を制御してもよい。また、制御部１６０は、例えば、部品圧着装置１００が停止される際には、帯電量測定部１４０が最後に測定したシート４００の帯電量を示す帯電量情報を記憶部１７０に記憶させてもよい。この場合、例えば、制御部１６０は、部品圧着装置１００が起動された直後等に、帯電量情報に基づいて、シート４００の供給を制御してもよい。

【0089】

次に、帯電量測定部１４０は、シート４００の帯電量を測定する（Ｓ１０４）。制御部１６０は、帯電量測定部１４０が測定した帯電量を示す情報を取得する。

【0090】

次に、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が測定した情報により示される帯電量を基準値と比較する。具体的には、制御部１６０は、帯電量測定部１４０が測定したシート４００の帯電量が、予め定められる基準値未満であるか否かを判定する（Ｓ１０５）。

【0091】

なお、基準値を示す情報は、例えば、記憶部１７０に予め記憶されていてもよい。また、ここでは基準値未満としているが、基準値以下でもよい。

【0092】

制御部１６０は、帯電量が基準値未満の場合（ステップＳ１０５でＹｅｓ）、基板支持部１１０と圧着ツール１３０とを制御することで、シート供給機構１２０により供給されたシート４００とともに部品３００を基板２００に押圧させることにより、基板２００に部品３００を圧着させる（Ｓ１０６）。具体的には、制御部１６０は、ステージ７０を制御することで、基板２００の縁部がバックアップステージ８０に載置されるように、つまり、圧着ツール１３０（より具体的には、圧着ヘッド５０）の下方に位置するように基板２００を移動させる。そして、シート供給機構１２０を制御することでシート４００の供給を停止させ、シート４００の供給を停止させた状態で、圧着ヘッド５０を下降させることにより、シート４００を介して部品３００を押圧することにより、部品３００を基板２００に圧着させる。

【0093】

一方、制御部１６０は、帯電量が基準値以上の場合（Ｓ１０５でＮｏ）、シート４００の帯電量の測定（Ｓ１０４）を再び行う。ステップＳ１０５でＮｏの場合には、ステップＳ１０６が実行されず、イオナイザ１５０からのガスがシート４００に噴出される状態が維持されることとなる。したがって、帯電量が基準値未満に低下するまで、基板２００への部品３００の圧着（Ｓ１０６）は、行われない。

【0094】

ステップＳ１０６以降では、部品３００が圧着された基板２００がステージ７０から搬出され、再びステップＳ１０１に処理が戻り、図７に示すフローが繰り返し実行されることとなる。

【0095】

なお、ステップＳ１０２とステップＳ１０３との行われる順序は、逆であってもよい。

【0096】

［効果等］
以上説明したように、実施の形態に係る部品圧着装置１００は、基板２００を支持する基板支持部１１０と、基板支持部１１０により支持された基板２００に部品３００を圧着する圧着ツール１３０と、圧着ツール１３０（より具体的には、圧着ヘッド５０）と部品３００との間にシート４００を供給するシート供給機構１２０と、シート４００の帯電量を測定する帯電量測定部１４０と、シート供給機構１２０及び圧着ツール１３０を制御する制御部１６０と、を備える。制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御し、圧着ツール１３０に、シート供給機構１２０により供給されたシート４００とともに部品３００を基板２００に押圧させることにより、基板２００に部品３００を圧着させる。

【0097】

これによれば、制御部１６０は、例えば、シート４００の帯電量が多い場合には、シート供給機構１２０によるシート４００の供給速度を遅くしたり、イオナイザ１５０が噴出するガスの風量を多くさせたりする等して、シート４００を帯電させにくくしたり、つまり、シート４００に静電気を発生させにくくしたり、シート４００の帯電量を低減させたりすることができる。そのため、部品圧着装置１００は、静電気による基板２００へのダメージを抑制できる。

【0098】

また、例えば、シート４００は、ロール状に巻かれた状態でシート供給機構１２０に保持されている。この場合、例えば、シート供給機構１２０は、ロール状に巻かれたシート４００を引き出すことにより、圧着ツール１３０と部品３００との間にシート４００を供給する。また、この場合、制御部１６０は、例えば、シート供給機構１２０がシート４００を引き出す際の引き出し速度を制御することで、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0099】

シート４００がロール状に保持されることで、シート供給機構１２０（より具体的には、シート保持部２０）に収容しやすくしつつ、且つ、取り出し（引き出し）やすくできる。しかしながら、ロール状に保持された状態のシート４００を引き出す際には、シート４００が帯電しやすい。ここで、部品圧着装置１００は、シート４００の帯電量に基づき、シート４００の引き出し速度を制御できるため、シート４００を帯電させにくくできる。そのため、部品圧着装置１００は、このようにロール状に保持されたシート４００が引き出されて供給される構成において特に効果を奏する。

【0100】

また、例えば、制御部１６０は、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、所定の時間を決定し、シート供給機構１２０に、圧着ツール１３０と部品３００との間にシート４００を供給させた後にシート４００の供給を所定の時間停止させるように、シート供給機構１２０によるシート４００の供給を制御する。

【0101】

シート４００の帯電量は、時間経過又はイオナイザ１５０から噴出されるガス等により、低減される。そこで、制御部１６０は、シート４００の帯電量に基づき、シート４００を停止させる時間である所定の時間を決定する。これによれば、シート４００の帯電量を適切に低減させることができる。

【0102】

また、例えば、イオン化されたガスを噴出することによりシート４００の帯電量を低減するイオナイザ１５０をさらに備える。この場合、制御部１６０は、例えば、帯電量測定部１４０により測定されるシート４００の帯電量に基づき、イオナイザ１５０から噴出させるガスの風量を変更する。

【0103】

これによれば、イオナイザ１５０からガスを不要に噴出させることを抑制しつつ、且つ、適切にシート４００の帯電量を低減させることができる。

【0104】

また、実施の形態に係る部品圧着方法は、基板２００を基板支持部１１０で支持する基板支持ステップ（Ｓ１０１）と、圧着ツール１３０と部品３００との間にシート４００を供給するシート供給ステップ（Ｓ１０３）と、圧着ツール１３０に、シート供給ステップで供給したシート４００とともに部品を基板２００に押圧させることにより、基板支持部１１０により支持された基板２００に部品３００を圧着する圧着ステップ（Ｓ１０６）と、シート４００の帯電量を測定する帯電量測定ステップ（Ｓ１０５）と、を含む。シート供給ステップでは、帯電量測定ステップで測定されるシート４００の帯電量に基づき、シートの供給を制御する。

【0105】

これによれば、部品圧着装置１００と同様の効果を奏する。

【0106】

（その他の実施の形態）
以上、本実施の形態に係る部品圧着装置等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。

【0107】

例えば、部品圧着装置が備える制御部等の処理部の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ＨＤＤ又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【0108】

また、部品圧着装置が備える処理部の構成要素は、１つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。１つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。

【0109】

１つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ又はＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等が含まれてもよい。ＩＣ又はＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣ又はＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、又は、ＵＬＳＩ（Ｕｌｔｒａ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）も同じ目的で使うことができる。

【0110】

なお、本発明は、部品圧着装置として実現できるだけでなく、部品圧着装置の各構成要素が行う処理をステップとして含むプログラム、及び、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）等の記録媒体として実現することもできる。つまり、上述した包括的又は具体的な態様は、システム、装置、集積回路、コンピュータプログラム又はコンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体で実現されてもよく、システム、装置、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【0111】

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0112】

本発明に係る部品圧着装置は、ディスプレイパネル等の基板に部品を圧着する部品圧着装置に利用可能である。

【符号の説明】

【0113】

２０ シート保持部
２１ 送りローラ
５０ 圧着ヘッド
５１ モータ
５２ ガイド
７０ ステージ
８０ バックアップステージ
９０ コンピュータ
１００ 部品圧着装置
１１０ 基板支持部
１２０ シート供給機構
１３０ 圧着ツール
１４０ 帯電量測定部
１５０ イオナイザ
１６０ 制御部
１７０ 記憶部
２００ 基板
３００ 部品
４００ シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】