(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023129254
(43)【公開日】2023-09-14
(54)【発明の名称】積層型電子部品及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01G 4/30 20060101AFI20230907BHJP
【FI】
H01G4/30 201G
H01G4/30 201F
H01G4/30 513
H01G4/30 516
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023002337
(22)【出願日】2023-01-11
(31)【優先権主張番号】10-2022-0027532
(32)【優先日】2022-03-03
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド.
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人RYUKA国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】リー、カン ハ
(72)【発明者】
【氏名】パク、ユーン ア
(72)【発明者】
【氏名】パク、ジン スー
(72)【発明者】
【氏名】スン、ウー キュン
(72)【発明者】
【氏名】パク、ウン ミ
(72)【発明者】
【氏名】キム、ジュン ミン
(72)【発明者】
【氏名】ハン、ジ ヒェ
(72)【発明者】
【氏名】リー、ジョン ホ
【テーマコード(参考)】
5E001
5E082
【Fターム(参考)】
5E001AB03
5E001AF06
5E082AA01
5E082AB03
5E082EE01
5E082FF05
5E082FG26
5E082GG10
5E082GG11
5E082GG12
(57)【要約】 (修正有)
【課題】高温信頼性が向上させる積層型電子部品を提供する。
【解決手段】積層型電子部品は、誘電体層111と内部電極121、122が積層されたむ本体110と、第3面に配置される第1下地電極層131a、第1下地電極層上に配置される第1中間電極層131b並びに第1中間電極層上に配置され、第1面及び第2面に延長して配置される第1導電性樹脂層131cを含む第1外部電極131と、第4面に配置される第2下地電極層132a、第2下地電極層上に配置される第2中間電極層132b並びに第2中間電極層上に配置され、第1面及び第2面に延長して配置される第2導電性樹脂層132cを含む第2外部電極132と、を含む。第1下地電極層及び第2下地電極層は、ガラス及びNiを含み、第1中間電極層及び第2中間電極層はSn及びNiを含む合金を含み、第1導電性樹脂層及び第2導電性樹脂層は樹脂及び金属を含む。
【選択図】
図2
【特許請求の範囲】
【請求項1】
誘電体層及び前記誘電体層を間に挟んで第1方向に交互に配置される第1内部電極及び第2内部電極を含み、前記第1方向に対向する第1面及び第2面、前記第1面及び前記第2面と連結され、第2方向に対向する第3面及び第4面、前記第1面~前記第4面と連結され、第3方向に対向する第5面及び第6面を含む本体と、
前記第3面に配置される第1下地電極層、前記第1下地電極層上に配置される第1中間電極層、前記第1中間電極層上に配置され、前記第1面及び前記第2面に延長して配置される第1導電性樹脂層を含む第1外部電極と、
前記第4面に配置される第2下地電極層、前記第2下地電極層上に配置される第2中間電極層、前記第2中間電極層上に配置され、前記第1面及び前記第2面に延長して配置される第2導電性樹脂層を含む第2外部電極と、を含み、
前記第1下地電極層及び前記第2下地電極層はガラス及びNiを含み、
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層はSn及び前記Niを含む合金を含み、
前記第1導電性樹脂層及び前記第2導電性樹脂層は樹脂及び金属を含む、積層型電子部品。
【請求項2】
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層は前記ガラスをさらに含む、請求項1に記載の積層型電子部品。
【請求項3】
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層は、
前記合金及び前記ガラスを含む第1層、並びに前記第1層上に配置され、
前記ガラス及び前記Snを含む第2層を含む、請求項1に記載の積層型電子部品。
【請求項4】
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層は、前記第2層上に配置される第3層をさらに含み、
前記第3層はSnめっき層である、請求項3に記載の積層型電子部品。
【請求項5】
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層は、前記第2層上に配置される第3層をさらに含み、
前記第3層を構成する元素の総モル数に対する前記Snのモル数は0.95以上である、請求項3に記載の積層型電子部品。
【請求項6】
前記第1中間電極層及び前記第2中間電極層の平均厚さは0.1μm以上である、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項7】
前記本体の前記第1方向の中央で測定した前記第1下地電極層の厚さをt1、前記本体の前記第1方向の最外殻に配置された内部電極で測定した前記第1下地電極層の厚さをt1'とするとき、
t1'/t1は0.7以上1.0以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項8】
前記第1下地電極層及び前記第2下地電極層の平均厚さは0.1μm以上である、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項9】
前記第1下地電極層及び前記第2下地電極層は、前記第1面の延長線と前記第2面の延長線との間に配置される、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項10】
前記本体は、前記第1面と前記第3面を連結する第1-3コーナー、前記第1面と前記第4面を連結する第1-4コーナー、前記第2面と前記第3面を連結する第2-3コーナー、前記第2面と前記第4面を連結する第2-4コーナーを含み、
前記第1-3コーナー及び前記第2-3コーナーは、前記第3面に近づくほど、前記本体の前記第1方向の中央に収縮した形態を有し、
前記第1-4コーナー及び前記第2-4コーナーは、前記第4面に近づくほど、前記本体の前記第1方向の中央に収縮した形態を有し、
前記第1下地電極層は、前記第1-3コーナー及び前記第2-3コーナーに延長して配置され、
前記第2下地電極層は、前記第1-4コーナー及び前記第2-4コーナーに延長して配置される、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項11】
前記第1導電性樹脂層及び前記第2導電性樹脂層上に配置されるめっき層をさらに含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項12】
前記第1導電性樹脂層及び前記第2導電性樹脂層は前記Snを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の積層型電子部品。
【請求項13】
誘電体層及び内部電極を含む本体を準備する段階と、
ガラス及びNiを含むシートに前記本体を圧着して前記シートを前記本体に付着させた後、焼成して下地電極層を形成する段階と、
前記下地電極層上にSnめっき層を形成する段階と、
前記Snめっき層が形成された前記本体を樹脂及び導電性金属を含むペーストにディッピングして前記Snめっき層上に前記ペーストを塗布する段階と、
前記ペーストが塗布された前記本体を硬化熱処理して外部電極を形成する段階と、を含み、
前記外部電極は、前記本体上に配置される下地電極層、前記下地電極層上に配置される中間電極層、及び前記中間電極層上に配置される導電性樹脂層を含み、
前記外部電極の下地電極層は前記ガラス及び前記Niを含み、
前記中間電極層はSn及び前記Niを含む合金を含み、
前記導電性樹脂層は前記樹脂及び金属を含む、積層型電子部品の製造方法。
【請求項14】
前記硬化熱処理は150℃以上300℃以下の温度で行う、請求項13に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項15】
前記中間電極層は前記ガラスをさらに含む、請求項13又は14に記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項16】
前記中間電極層は、
前記合金及び前記ガラスを含む第1層、並びに前記第1層上に配置され、前記ガラス及び前記Snを含む第2層を含む、請求項15に記載の積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、積層型電子部品及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
積層型電子部品の一つである積層セラミックキャパシタ(MLCC:Multi-Layered Ceramic Capacitor)は、液晶表示装置(LCD:Liquid Crystal Display)及びプラズマ表示装置パネル(PDP:Plasma Display Panel)などの映像機器、コンピュータ、スマートフォン及び携帯電話など、様々な電子製品の印刷回路基板に装着され、電気を充電又は放電させる役割を果たすチップ型のコンデンサである。
【0003】
このような積層セラミックキャパシタは、小型でありながらも高容量が保障され、実装が容易であるという利点により、様々な電子装置の部品として使用されることができる。コンピュータ、モバイル機器など、各種の電子機器の小型化、高出力化に伴い、積層セラミックキャパシタに対する小型化及び高容量化への要求が増大している。また、最近、flexible/foldable deviceが開発されて普及するにつれて、これらの機器に使用されるMLCCにも様々な機能が求められている。このために、MLCCは同じサイズにおいて従来よりも遥かに高い容量が求められているとともに、リフロー(reflow)熱処理過程で発生し得る実装クラック及び実装後に基板に加わる応力による曲げクラックを防止できなければならない。
【0004】
また、高温でもMLCCの特性の変化がなく、信頼性を保障することができるMLCCの開発が求められている。高温での信頼性劣化現象は、めっき過程中に発生する水素による影響を受けるようになるが、これを防止するためにはめっき中に発生する水素が本体の内部に浸透することを極力防止可能な技術が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明のいくつかの目的の一つは、高温信頼性が向上した積層型電子部品を提供することである。
【0006】
本発明のいくつかの目的の一つは、実装クラック及び曲げクラックの発生が抑制された積層型電子部品を提供することである。
【0007】
本発明のいくつかの目的の一つは、下地電極層と導電性樹脂層間の物理的連結性及び電気的連結性を向上させることである。
【0008】
本発明のいくつかの目的の一つは、放射クラックの発生が抑制された積層型電子部品を提供することである。
【0009】
但し、本発明の目的は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解することができる。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一実施形態による積層型電子部品は、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで第1方向に交互に配置される第1及び第2内部電極を含み、上記第1方向に対向する第1及び第2面、上記第1及び第2面と連結され、第2方向に対向する第3及び第4面、上記第1~第4面と連結され、第3方向に対向する第5及び第6面を含む本体と、上記第3面に配置される第1下地電極層、上記第1下地電極層上に配置される第1中間電極層、上記第1中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第1導電性樹脂層を含む第1外部電極と、上記第4面に配置される第2下地電極層、上記第2下地電極層上に配置される第2中間電極層、上記第2中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第2導電性樹脂層を含む第2外部電極と、を含み、上記第1及び第2下地電極層はガラス及びNiを含み、上記第1及び第2中間電極層はSn及びNiを含む合金を含み、上記第1及び第2導電性樹脂層は樹脂及び金属を含むことができる。
【0011】
本発明の一実施形態による積層型電子部品の製造方法は、誘電体層及び内部電極を含む本体を準備する段階と、ガラス及びNiを含むシートに上記本体を圧着して上記シートを本体に付着させた後、焼成して下地電極層を形成する段階と、上記下地電極層上にSnめっき層を形成する段階と、上記Snめっき層が形成された本体を樹脂及び導電性金属を含むペーストにディッピングして上記1次Snめっき層上に上記ペーストを塗布する段階と、上記ペーストが塗布された本体を熱処理して外部電極を形成する段階と、を含み、上記外部電極は、上記本体上に配置される下地電極層、上記下地電極層上に配置される中間電極層及び上記中間電極層上に配置される導電性樹脂層を含み、上記外部電極の下地電極層はガラス及びNiを含み、上記中間電極層はSn及びNiを含む合金を含み、上記導電性樹脂層は樹脂及び金属を含むことができる。
【発明の効果】
【0012】
本発明のいくつかの効果の一つは、下地電極層と導電性樹脂層との間に、Sn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することにより、水素が本体の内部に浸透することを抑制させたことである。
【0013】
本発明のいくつかの効果の一つは、下地電極層と導電性樹脂層との間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することにより、下地電極層と導電性樹脂層間の物理的連結性及び電気的連結性を向上させたことである。
【0014】
本発明のいくつかの効果の一つは、実装クラック及び曲げクラックの発生を抑制したことである。
【0015】
本発明のいくつかの効果の一つは、放射クラックの発生を抑制したことである。
【0016】
但し、本発明の多様かつ有益な利点及び効果は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【
図1】本発明の一実施形態による積層型電子部品の斜視図を概略的に示すものである。
【
図3】
図1のII-II'線に沿った断面図である。
【
図4】本発明の一実施形態による積層型電子部品の本体を分解して概略的に示す分解斜視図である。
【
図7】本発明の一変形例による外部電極に対する拡大図であって、
図2のK2領域に対応する領域を拡大した拡大図である。
【
図8】本発明の他の変形例による外部電極に対する拡大図であって、
図2のK2領域に対応する領域を拡大した拡大図である。
【
図9】下地電極層を形成する段階を説明するための図である。
【
図10】ペーストを塗布する段階を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下では、具体的な実施形態及び添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形することができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどは、より明確な説明のために誇張することができ、図面上の同じ符号で示される要素は同じ要素である。
【0019】
そして、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、図面に示した各構成の大きさ及び厚さは説明の便宜上、任意に示しているため、本発明は必ずしも図示されたものに限定されるものではない。なお、同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素については、同一の参照符号を用いて説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」と言うとき、これは、特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【0020】
図面において、第1方向は積層方向又は厚さT方向、第2方向は長さL方向、第3方向は幅W方向と定義することができる。
【0021】
図1は、本発明の一実施形態による積層型電子部品の斜視図を概略的に示すものであり、
図2は、
図1のI-I'線に沿った断面図であり、
図3は、
図1のII-II'線に沿った断面図であり、
図4は、本発明の一実施形態による積層型電子部品の本体を分解して概略的に示す分解斜視図であり、
図5は、
図2のK1領域を拡大した拡大図であり、
図6は、
図2のK2領域を拡大した拡大図である。
【0022】
以下、
図1~
図6を参照して、本発明の一実施形態による積層型電子部品100について説明する。
【0023】
本発明の一実施形態による積層型電子部品100は、誘電体層111、上記誘電体層を間に挟んで交互に配置される第1及び第2内部電極121、122を含み、第1方向に対向する第1及び第2面1、2、上記第1及び第2面と連結され、第2方向に対向する第3及び第4面3、4、上記第1~第4面と連結され、第3方向に対向する第5及び第6面5、6を含む本体110と、上記第3面に配置される第1下地電極層131a、上記第1下地電極層上に配置される第1中間電極層131b、上記第1中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第1導電性樹脂層131cを含む第1外部電極131と、上記第4面に配置される第2下地電極層132a、上記第2下地電極層上に配置される第2中間電極層132b、上記第2中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第2導電性樹脂層132cを含む第2外部電極132と、を含み、上記第1及び第2下地電極層131a、132aはガラス及びNiを含み、上記第1及び第2中間電極層131b、132bはSn及びNiを含む合金を含み、上記第1及び第2導電性樹脂層131c、132cは樹脂及び金属を含むことができる。
【0024】
実装クラック及び曲げクラックの発生を抑制するために、本体上に金属及びガラスを含む下地電極層を配置し、上記下地電極層上に金属及び樹脂を含む導電性樹脂層を配置した2層構造の外部電極を適用することができる。
【0025】
しかし、上記2層構造の外部電極は、下地電極層と導電性樹脂層間の結合力が不十分であり、リフロー(reflow)熱処理などの高温工程を経ることで下地電極層と導電性樹脂層間の剥離が発生する可能性があり、等価直列抵抗(ESR)が増加するおそれがあった。また、上記2層構造の外部電極は、めっき中に発生する水素が本体の内部に浸透することを抑制し難く、高温信頼性が低下するという問題が発生することがあった。
【0026】
そこで、本発明では、下地電極層131a、132aと導電性樹脂層131c、132cとの間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層131b、132bを配置することにより、水素が本体の内部に浸透することを抑制し、下地電極層131a、132aと導電性樹脂層131c、132c間の物理的連結性及び電気的連結性を向上させ、上記2層構造の外部電極が有する問題点を解決しようとした。以下では、本発明の一実施形態による積層型電子部品100の各構成別に詳細に説明する。
【0027】
本体110は、誘電体層111及び内部電極121、122が交互に積層されている。本体110の具体的な形状に特に制限はないが、図示のように、本体110は六面体形状又はこれと類似の形状からなることができる。焼成過程で本体110に含まれたセラミック粉末の収縮により、本体110は完全な直線を有する六面体形状ではないが、実質的に六面体形状を有することができる。
【0028】
本体110は、第1方向に互いに対向する第1及び第2面1、2、上記第1及び第2面1、2と連結され、第2方向に互いに対向する第3及び第4面3、4、第1及び第2面1、2と連結され、第3及び第4面3、4と連結され、第3方向に互いに対向する第5及び第6面5、6を有することができる。
【0029】
一実施形態において、本体110は、第1面と第3面を連結する第1-3コーナーc1-3、上記第1面と第4面を連結する第1-4コーナーc1-4、上記第2面と第3面を連結する第2-3コーナーc2-3、上記第2面と第4面を連結する第2-4コーナーc2-4を含み、上記第1-3コーナー及び第2-3コーナーは、上記第3面に近づくほど、上記本体の第1方向の中央に収縮した形態を有し、上記第1-4コーナー及び第2-4コーナーは、上記第4面に近づくほど、上記本体の第1方向の中央に収縮した形態を有することができる。
【0030】
誘電体層111上に内部電極121、122が配置されていないマージン領域が重なることによって、内部電極121、122の厚さによる段差が発生して第1面と第3~第5面を連結するコーナー及び/又は第2面と第3~第5面を連結するコーナーは、第1面又は第2面を基準としてみたとき、本体110の第1方向の中央側に収縮した形態を有することができる。あるいは、本体の焼結過程における収縮挙動により、第1面1と第3~第6面3、4、5、6を連結するコーナー及び/又は第2面2と第3~第6面3、4、5、6を連結するコーナーは、第1面又は第2面を基準としてみたとき、本体110の第1方向の中央側に収縮した形態を有することができる。あるいは、チッピング不良などを防止するために、本体110の各面を連結する角を別途の工程を行ってラウンド処理することにより、第1面と第3~第6面を連結するコーナー及び/又は第2面と第3~第6面を連結するコーナーはラウンド形状を有することができる。
【0031】
上記コーナーは、第1面と第3面を連結する第1-3コーナー、第1面と第4面を連結する第1-4コーナー、第2面と第3面を連結する第2-3コーナー、第2面と第4面を連結する第2-4コーナーを含むことができる。また、コーナーは、第1面と第5面を連結する第1-5コーナー、第1面と第6面を連結する第1-6コーナー、第2面と第5面を連結する第2-5コーナー、第2面と第6面を連結する第2-6コーナーを含むことができる。本体110の第1~第6面は概して平坦な面であることができ、平坦でない領域をコーナーと見なすことができる。以下、各面の延長線とは、各面の平坦な部分を基準として延長した線を意味することができる。
【0032】
一方、内部電極121、122による段差を抑制するために、積層後の内部電極が本体の第5及び第6面5、6に露出するように切断した後、単一の誘電体層又は2つ以上の誘電体層を容量形成部Acの両側面に第3方向(幅方向)に積層してマージン部114、115を形成する場合には、第1面と第5及び第6面を連結する部分、並びに第2面と第5及び第6面を連結する部分が収縮した形態を有さなくてもよい。
【0033】
本体110を形成する複数の誘電体層111は焼成された状態であって、隣接する誘電体層111間の境界は走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を利用せずには確認しにくいほど一体化することができる。
【0034】
本発明の一実施形態によると、上記誘電体層111を形成する原料は、十分な静電容量が得られる限り、特に制限されない。例えば、チタン酸バリウム系材料、鉛複合ペロブスカイト系材料、又はチタン酸ストロンチウム系材料などを使用することができる。上記チタン酸バリウム系材料は、BaTiO3系セラミック粉末を含むことができ、上記セラミック粉末の例示として、BaTiO3、BaTiO3にCa(カルシウム)、Zr(ジルコニウム)などが一部固溶した(Ba1-xCax)TiO3(0<x<1)、Ba(Ti1-yCay)O3(0<y<1)、(Ba1-xCax)(Ti1-yZry)O3(0<x<1、0<y<1)又はBa(Ti1-yZry)O3(0<y<1)などが挙げられる。
【0035】
また、上記誘電体層111を形成する原料としては、チタン酸バリウム(BaTiO3)などのパウダーに、本発明の目的に応じて様々なセラミック添加剤、有機溶剤、結合剤、分散剤などを添加することができる。
【0036】
一方、誘電体層111の平均厚さtdは特に限定する必要はない。但し、一般的に、誘電体層を0.6μm未満の厚さで薄く形成する場合、特に、誘電体層の厚さが0.35μm以下である場合には、信頼性が低下するおそれがあった。
【0037】
本発明の一実施形態によると、下地電極層と導電性樹脂層との間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することで信頼性を向上させることができるため、誘電体層111の平均厚さが0.35μm以下の場合であっても優れた信頼性を確保することができる。したがって、誘電体層111の平均厚さが0.35μm以下である場合に、本発明による信頼性向上効果がより顕著になることができる。
【0038】
上記誘電体層111の平均厚さtdは、上記第1及び第2内部電極121、122の間に配置される誘電体層111の平均厚さを意味することができる。
【0039】
誘電体層111の平均厚さは、本体110の長さ及び厚さ方向(L-T)の断面を1万倍率の走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)でイメージをスキャンして測定することができる。より具体的に、スキャンされたイメージにおいて、1つの誘電体層を長さ方向に等間隔である30個の地点でその厚さを測定して平均値を測定することができる。上記等間隔である30個の地点は容量形成部Acで指定することができる。また、このような平均値の測定を10個の誘電体層に拡張して平均値を測定すると、誘電体層の平均厚さをさらに一般化することができる。
【0040】
本体110は本体110の内部に配置され、誘電体層111を間に挟んで互いに対向するように配置される第1内部電極121及び第2内部電極122を含んで容量が形成される容量形成部Acと、上記容量形成部Acの第1方向の上部及び下部に形成されたカバー部112、113とを含むことができる。また、上記容量形成部Acは、キャパシタの容量形成に寄与する部分であって、誘電体層111を間に挟んで複数の第1及び第2内部電極121、122を繰り返し積層して形成されることができる。
【0041】
カバー部112、113は、上記容量形成部Acの第1方向の上部に配置される上部カバー部112及び上記容量形成部Acの第1方向の下部に配置される下部カバー部113を含むことができる。
【0042】
上記上部カバー部112及び下部カバー部113は、単一の誘電体層又は2つ以上の誘電体層を容量形成部Acの上下面にそれぞれ厚さ方向に積層して形成することができ、基本的に物理的又は化学的ストレスによる内部電極の損傷を防止する役割を果たすことができる。
【0043】
上記上部カバー部112及び下部カバー部113は内部電極を含まず、誘電体層111と同じ材料を含むことができる。すなわち、上記上部カバー部112及び下部カバー部113はセラミック材料を含むことができ、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)系セラミック材料を含むことができる。
【0044】
一方、カバー部112、113の平均厚さは特に限定する必要はない。但し、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、カバー部112、113の平均厚さtcは15μm以下であってもよい。また、本発明の一実施形態によると、下地電極層と導電性樹脂層との間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することにより信頼性を向上させることができるため、カバー部112、113の平均厚さtcが15μm以下の場合でも優れた信頼性を確保することができる。
【0045】
カバー部112、113の平均厚さtcは第1方向のサイズを意味することができ、容量形成部Acの上部又は下部において等間隔の5個の地点で測定したカバー部112、113の第1方向のサイズを平均した値であることができる。
【0046】
また、上記容量形成部Acの側面には、マージン部114、115が配置されることができる。マージン部114、115は、本体110の第5面5に配置された第1マージン部114と、第6面6に配置された第2マージン部115とを含むことができる。すなわち、マージン部114、115は、上記本体110の幅方向の両端面(end surfaces)に配置されることができる。
【0047】
マージン部114、115は、
図3に示すように、上記本体110を幅-厚さ(W-T)方向に切断した断面(cross-section)において、第1及び第2内部電極121、122の両端と本体110の境界面との間の領域を意味することができる。マージン部114、115は、基本的に物理的又は化学的ストレスによる内部電極の損傷を防止する役割を果たすことができる。
【0048】
マージン部114、115は、セラミックグリーンシート上にマージン部が形成される箇所を除いて、導電性ペーストを塗布して内部電極を形成することにより形成されたものであってもよい。また、内部電極121、122による段差を抑制するために、積層後の内部電極が本体の第5及び第6面5、6に露出するように切断した後、単一の誘電体層又は2つ以上の誘電体層を容量形成部Acの両側面に第3方向(幅方向)に積層してマージン部114、115を形成することもできる。
【0049】
一方、マージン部114、115の幅は特に限定する必要はない。但し、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成するために、マージン部114、115の平均幅は15μm以下であってもよい。また、本発明の一実施形態によると、下地電極層と導電性樹脂層との間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することにより信頼性を向上させることができるため、マージン部114、115の平均幅が15μm以下の場合であっても優れた信頼性を確保することができる。
【0050】
マージン部114、115の平均幅は、マージン部114、115の第3方向の平均サイズを意味することができ、容量形成部Acの側面において等間隔の5個の地点で測定したマージン部114、115の第3方向のサイズを平均した値であることができる。
【0051】
内部電極121、122は誘電体層111と交互に積層されてもよい。内部電極121、122は、第1及び第2内部電極121、122を含むことができる。第1及び第2内部電極121、122は、本体110を構成する誘電体層111を間に挟んで互いに対向するように交互に配置され、本体110の第3及び第4面3、4にそれぞれ露出することができる。
【0052】
図3を参照すると、第1内部電極121は第4面4と離隔し、第3面3を介して露出し、第2内部電極122は第3面3と離隔し、第4面4を介して露出することができる。本体の第3面3には第1外部電極131が配置されて第1内部電極121と連結され、本体の第4面4には第2外部電極132が配置されて第2内部電極122と連結されることができる。
【0053】
すなわち、第1内部電極121は第2外部電極132とは連結されずに第1外部電極131と連結され、第2内部電極122は第1外部電極131とは連結されずに第2外部電極132と連結される。したがって、第1内部電極121は第4面4において一定距離離隔して形成され、第2内部電極122は第3面3において一定距離離隔して形成されることができる。
【0054】
このとき、第1及び第2内部電極121、122は、中間に配置された誘電体層111によって互いに電気的に分離されてもよい。本体110は、第1内部電極121が印刷されたセラミックグリーンシートと第2内部電極122が印刷されたセラミックグリーンシートとを交互に積層した後、焼成して形成することができる。
【0055】
内部電極121、122を形成する材料は特に制限されず、電気伝導性に優れた材料を使用することができる。例えば、内部電極121、122は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、錫(Sn)、タングステン(W)、チタン(Ti)及びこれらの合金のうち1つ以上を含むことができる。
【0056】
また、内部電極121、122は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、錫(Sn)、タングステン(W)、チタン(Ti)及びこれらの合金のうち1つ以上を含む内部電極用導電性ペーストをセラミックグリーンシートに印刷して形成することができる。上記内部電極用導電性ペーストの印刷方法としては、スクリーン印刷法又はグラビア印刷法などを使用することができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0057】
一方、内部電極121、122の平均厚さteは特に限定する必要はない。但し、一般的に内部電極を0.6μm未満の厚さで薄く形成する場合、特に内部電極の厚さが0.35μm以下である場合には、信頼性が低下するおそれがあった。
【0058】
本発明の一実施形態によると、下地電極層と導電性樹脂層との間にSn及びNiを含む合金を含む中間電極層を配置することにより、信頼性を向上させることができるため、内部電極121、122の平均厚さが0.35μm以下の場合であっても優れた信頼性を確保することができる。
【0059】
したがって、内部電極121、122の厚さが平均0.35μm以下である場合に、本発明による効果がより顕著となることができ、積層型電子部品の小型化及び高容量化をより容易に達成することができる。
【0060】
上記内部電極121、122の平均厚さteは、内部電極121、122の平均厚さを意味することができる。内部電極121、122の平均厚さは、本体110の長さ及び厚さ方向(L-T)の断面を1万倍率の走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)でイメージをスキャンして測定することができる。より具体的に、スキャンされたイメージにおいて、1つの内部電極を長さ方向に等間隔である30個の地点でその厚さを測定して平均値を測定することができる。上記等間隔である30個の地点は、容量形成部Acで指定することができる。また、このような平均値の測定を10個の内部電極に拡張して平均値を測定すると、内部電極の平均厚さをさらに一般化することができる。
【0061】
外部電極131、132は、本体110の第3面3及び第4面4に配置されることができる。外部電極131、132は、本体110の第3及び第4面3、4にそれぞれ配置され、第1及び第2内部電極121、122とそれぞれ連結された第1及び第2外部電極131、132を含むことができる。
【0062】
第1外部電極131は、上記第3面に配置される第1下地電極層131a、上記第1下地電極層上に配置される第1中間電極層131b、上記第1中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第1導電性樹脂層131cを含むことができ、第2外部電極132は、上記第4面に配置される第2下地電極層、上記第2下地電極層上に配置される第2中間電極層、上記第2中間電極層上に配置され、上記第1及び第2面に延長して配置される第2導電性樹脂層を含むことができる。
【0063】
第1及び第2下地電極層131a、132aはNi及びガラスを含むことができる。下地電極層131a、132aがNiを含むことにより、放射クラックが発生することを抑制することができ、下地電極層131a、132aがガラスを含むことにより、本体110との結合力を向上させることができる。
【0064】
下地電極層に含まれた金属としてCuを使用し、内部電極がNiを含む場合、NiがCuに拡散する速度に比べてCuがNiに拡散する速度が遥かに速いため、大量のCuが内部電極側へ拡散することによって内部電極の体積が膨張し、これにより放射クラックが発生するおそれがある。
【0065】
本発明では、下地電極層131a、132aがNiを含むことで、下地電極層131a、132aがCuを含む場合に比べて内部電極の体積が膨張することを抑制することができる。これにより、放射クラックが発生することを抑制することができる。また、内部電極がNi以外の金属を含む場合でも、Agを除くほとんどの金属よりもCuの拡散速度が速いため、下地電極層131a、132aがNiを含むことで、下地電極層131a、132aがCuを含む場合に比べて内部電極の体積が膨張することを抑制することができる。
【0066】
一実施形態において、本体110の第1方向の中央で測定した第1下地電極層131aの厚さをt1、本体110の第1方向の最外殻に配置された内部電極で測定した上記第1下地電極層131aの厚さをt1'とするとき、t1'/t1は0.7以上1.0以下であってもよい。第1下地電極層131aが均一な厚さを有することによって、第1下地電極層の厚さを薄く形成することができ、積層型電子部品の単位体積当たりの容量を向上させることができる。また、第2下地電極層131bは、第1下地電極層131aと第2方向に対称な関係であり得るため、第2下地電極層131bにも同様に適用することができる。
【0067】
一方、t1'/t1を0.7以上1.0以下に制御する方法は特に限定する必要はない。例えば、後述するようにNi及びガラスを含むシートを用いて形成することにより、t1'/t1を0.7以上1.0以下に制御することができる。
【0068】
なお、t1及びt1'は、本体の第3方向の中央において第1及び第2方向に切断した断面を走査電子顕微鏡(SEM)により2000倍以上の倍率で観察して測定したものであってもよい。
【0069】
一実施形態において、第1及び第2下地電極層131a、132aの平均厚さはそれぞれ0.1μm以上であってもよい。すなわち、第1下地電極層131aの平均厚さは0.1μm以上であり、第2下地電極層132aの平均厚さも0.1μm以上であることができる。
【0070】
第1及び第2下地電極層131a、132aの平均厚さが0.1μm未満の場合には、中間電極層131b、132bのSnが内部電極に拡散して積層型電子部品の容量が低下するおそれがある。
【0071】
第1及び第2下地電極層131a、132aの平均厚さは、積層型電子部品を本体の第3方向の中央において第1及び第2方向に切断した断面で測定したものであってもよく、第1方向に均等な間隔を有する5個の地点で測定した厚さを平均した値であってもよい。また、走査電子顕微鏡(SEM)により2000倍以上の倍率で観察して測定したものであってもよい。
【0072】
一方、第1及び第2下地電極層131a、132aの平均厚さの上限は特に限定する必要はない。例えば、第1及び第2下地電極層131a、132aの平均厚さはそれぞれ10μm以下であってもよい。
【0073】
一実施形態において、第1及び第2下地電極層131a、132aは、本体の第1面の延長線E1と第2面の延長線E2との間に配置されることができる。これにより、本発明による曲げ強度の強化効果がより向上することができ、積層型電子部品のサイズが大きくなることを防止し、単位体積当たりの容量を向上させることができる。
【0074】
第1及び第2下地電極層131a、132aが第1面の延長線E1を越えて第1面まで延長されるか、又は第2面の延長線E2を越えて第2面まで延長される場合には、曲げ強度及び単位体積当たりの容量が低下するおそれがある。
【0075】
一実施形態において、本体は、上記第1面と第3面を連結する第1-3コーナー、上記第1面と第4面を連結する第1-4コーナー、上記第2面と第3面を連結する第2-3コーナー、上記第2面と第4面を連結する第2-4コーナーを含み、上記第1-3コーナー及び第2-3コーナーは、上記第3面に近づくほど、上記本体の第1方向の中央に収縮した形態を有し、上記第1-4コーナー及び第2-4コーナーは、上記第4面に近づくほど、上記本体の第1方向の中央に収縮した形態を有し、上記第1下地電極層は、上記第1-3コーナー及び第2-3コーナーに延長して配置され、上記第2下地電極層は、上記第1-4コーナー及び第2-4コーナーに延長して配置されることができる。
【0076】
第1及び第2下地電極層131a、132aが、第1-3コーナー及び第1-4コーナーを越えて第1面まで延長されるか、又は第1-4コーナー及び第2-4コーナーを越えて第2面まで延長される場合には、曲げ強度及び単位体積当たりの容量が低下するおそれがある。
【0077】
第1及び第2中間電極層131b、132bは、Sn及びNiを含む合金を含むことができる。Snは融点が低く、150℃以上300℃以下の低温でも下地電極層に含まれた金属と合金を形成して、下地電極層131a、132aと導電性樹脂層131c、132c間の物理的連結性及び電気的連結性を向上させることができる。また、Sn及びSnを含む合金は、他の金属に比べて、水素に対する透過度(水素拡散係数)が低いため、水素が浸透することを防止することができる。本体110の内部に水素が拡散すると、誘電体層111の還元反応を促進させ、絶縁抵抗の劣化を引き起こす原因となる可能性があり、高温信頼性が低下するおそれがある。
【0078】
したがって、第1及び第2中間電極層131b、132bは、Sn及びNiを含む合金を含むことにより、水素が本体の内部に浸透することを抑制し、下地電極層131a、132aと導電性樹脂層131c、132c間の物理的連結性及び電気的連結性を向上させることができる。
【0079】
第1及び第2中間電極層131b、132bは、第1及び第2下地電極層131a、132a上にSnめっき層を配置し、Snめっき層上に樹脂及び金属を含むペーストを塗布した後、熱処理することにより、Snめっき層のSnが第1及び第2下地電極層に拡散して第1及び第2下地電極層のNiと合金を形成することで形成されたものであってもよい。下地電極層131a、132a上にSnめっき層を配置せずに下地電極層上に樹脂、金属及びSnを含むペーストを塗布した後、熱処理することにより、中間電極層を形成する方案も考慮してみることができるが、この場合、十分な中間電極層を形成するためには、350℃以上の高温で熱処理を行う必要があるため、樹脂などの有機物の熱分解を誘発する可能性があり、これによる外部電極の強度の減少、曲げ強度の低下などの問題点が発生する可能性がある。
【0080】
一実施形態において、第1及び第2中間電極層131b、132bの平均厚さt2は1μm以上であってもよい。第1及び第2中間電極層131b、132bの平均厚さt2が1μm未満の場合には、下地電極層131a、132aの表面全体をカバーすることができない可能性があり、第1及び第2中間電極層131b、132bの途切れが発生する可能性があるため、水素浸透の抑制効果及び下地電極層と導電性樹脂層間の連結性向上効果が不十分となるおそれがある。
【0081】
一方、第1及び第2中間電極層131b、132bの平均厚さt2の上限は特に限定されない。例えば、第1及び第2中間電極層131b、132bの平均厚さt2は10μm以下であってもよい。
【0082】
第1及び第2中間電極層131b、132bの平均厚さt2は、積層型電子部品100を本体110の第3方向の中央において第1及び第2方向に切断した断面で測定したものであってもよく、第1方向に均等な間隔を有する5個の地点で測定した厚さを平均した値であってもよい。また、走査電子顕微鏡(SEM)により2000倍以上の倍率で観察して測定したものであってもよい。
【0083】
一実施形態において、第1及び第2中間電極層131b、132bはガラスをさらに含むことができる。これは、硬化熱処理前の下地電極層131a-1、132a-1上に配置されたSnめっき層131b-1、132b-1のSnが、熱処理過程で下地電極層131a-1、132a-1に拡散して中間電極層131b、132bの一部又は全部を形成するためであり、第1及び第2中間電極層131b、132bに含まれたガラスは、硬化熱処理前の下地電極層131a-1、132a-1に含まれたガラスであることができる。
【0084】
図7を参照すると、第1中間電極層131b'は、上記合金及びガラスを含む第1層131b1及び上記第1層上に配置され、ガラス及びSnを含む第2層131b2を含むことができる。また、第2中間電極層も、上記合金及びガラスを含む第1層及び上記第1層上に配置され、ガラス及びSnを含む第2層を含むことができる。
【0085】
硬化熱処理前の下地電極層131a-1、132a-1上に配置したSnめっき層131b-1、132b-1のSnが、熱処理過程で下地電極層131a-1、132a-1に拡散して一部は下地電極層131a-1、132a-1のNiと合金を形成して第1層131b1を構成し、拡散したSnの一部は、Niと合金を形成せずに第2層131b2を構成することができる。
【0086】
また、
図8を参照すると、第1中間電極層131b''は、第2層131b2上に配置される第3層131b3をさらに含むことができる。なお、第2中間電極層も、第2層上に配置される第3層をさらに含むことができる。
【0087】
このとき、第3層131b3はSnめっき層であってもよい。硬化熱処理前のSnめっき層131b-1、132b-1の一部は、下地電極層131a-1、132a-1に拡散せず、Snめっき層として残存し得るためである。また、第3層131b3は、第3層131b3を構成する元素の総モル数に対するSnのモル数が0.95以上であってもよい。すなわち、不純物を除けばSnからなることができる。
【0088】
第1及び第2導電性樹脂層131c、132cは、樹脂及び金属を含むことができる。第1及び第2導電性樹脂層131c、132cに含まれる金属は、中間電極層131b、132bと電気的に連結できる材質であれば、特に制限されず、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、錫(Sn)、タングステン(W)、チタン(Ti)、及びこれらの合金からなる群から選択された1つ以上を含むことができる。
【0089】
第1及び第2導電性樹脂層131c、132cに含まれる金属は、球状粉末及びフレーク状粉末のうち1つ以上を含むことができる。すなわち、金属はフレーク状粉末のみからなるか、又は球状粉末のみからなってもよく、フレーク状粉末と球状粉末とが混合された形態であってもよい。ここで、球状粉末は、完全な球状ではない形態も含むことができ、例えば、長軸と短軸の長さ比率(長軸/短軸)が1.45以下である形態を含むことができる。フレーク状粉末とは、平たい且つ細長い形状を有する粉末を意味し、特に制限されるものではないが、例えば、長軸と短軸の長さ比率(長軸/短軸)が1.95以上であってもよい。上記球状粉末及びフレーク状粉末の長軸と短軸の長さは、積層型電子部品の第3方向の中央部で切断した第1及び第2方向の断面(L-T断面)を走査電子顕微鏡(Scanning Eletron Microscope、SEM)でスキャンして得られたイメージから測定することができる。
【0090】
第1及び第2導電性樹脂層131c、132cに含まれる樹脂は、接合性の確保及び衝撃吸収の役割を果たす。第1及び第2導電性樹脂層131c、132cに含まれる樹脂は、接合性及び衝撃吸収性を有し、導電性金属粉末と混合してペーストを作製可能なものであれば、特に制限されない。例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、エチルセルロース(Ethyl Cellulose)等から選択された1種以上を含むことができる。
【0091】
また、第1及び第2導電性樹脂層131c、132cは、複数の金属粒子、金属間化合物及び樹脂を含むことができる。上記金属間化合物を含むことにより、第1電極層131a、132aとの電気的連結性をより向上させることができる。上記金属間化合物は、複数の金属粒子を連結して電気的連結性を向上させる役割を果たし、複数の金属粒子を囲んで互いに連結する役割を果たすことができる。
【0092】
このとき、上記金属間化合物は、樹脂の硬化温度より低い融点を有する金属を含むことができる。すなわち、上記金属間化合物が樹脂の硬化温度より低い融点を有する金属を含むため、樹脂の硬化温度より低い融点を有する金属が乾燥及び硬化工程を経る過程で溶融し、金属粒子の一部と金属間化合物を形成して金属粒子を囲むようになる。このとき、金属間化合物は、好ましくは300℃以下の低融点金属を含むことができる。
【0093】
一実施形態において、第1及び第2導電性樹脂層131c、132cはSnを含むことができる。第1及び第2導電性樹脂層131c、132cに含まれたSnは、Snめっき層131b-1、132b-1のSnが、熱処理過程で拡散したものであるか、又は導電性樹脂層を形成するためのペーストに追加されたSnであることができる。乾燥及び硬化工程を経る過程でSnが溶融し、溶融したSnがAg、Ni又はCuのような高融点の金属粒子を毛細管現象によって濡らせ、Ag、Ni又はCu金属粒子の一部と反応してAg3Sn、Ni3Sn4、Cu6Sn5、Cu3Snなどの金属間化合物を形成するようになる。反応に関与しなかったAg、Ni又はCuは金属粒子の形態で残るようになる。
【0094】
したがって、上記複数の金属粒子は、Ag、Ni及びCuのうち1つ以上を含み、上記金属間化合物は、Ag3Sn、Ni3Sn4、Cu6Sn5及びCu3Snのうち1つ以上を含むことができる。
【0095】
導電性樹脂層131c、132cは、中間電極層131b、132b上に配置され、第1及び第2面に延長して配置されることができる。これにより、曲げ強度を向上させることができ、実装クラック及び曲げクラックの発生を抑制することができる。
【0096】
一実施形態において、第1及び第2導電性樹脂層131c、132c上に配置されるめっき層131d、132dをさらに含むことができる。めっき層131d、132dは実装特性を向上させる役割を果たす。めっき層131d、132dの種類は特に限定されず、Ni、Sn、Pd及びこれらの合金のうち1つ以上を含むめっき層であってもよく、複数の層で形成されてもよい。
【0097】
めっき層131d、132dに対するより具体的な例を挙げると、めっき層131d、132dは、Niめっき層又はSnめっき層であってもよく、導電性樹脂層131c、132c上にNiめっき層及びSnめっき層が順次に形成された形態であってもよく、Snめっき層、Niめっき層及びSnめっき層が順次に形成された形態であってもよい。また、めっき層131d、132dは、複数のNiめっき層及び/又は複数のSnめっき層を含むこともできる。
【0098】
積層型電子部品100のサイズは特に限定する必要はない。但し、小型化及び高容量化を同時に達成するためには、誘電体層及び内部電極の厚さを薄くして積層数を増加させなければならないため、1005(長さ×幅、1.0mm×0.5mm)以下のサイズを有する積層型電子部品100において、本発明による信頼性及び単位体積当たりの容量向上効果がより顕著になることができる。
【0099】
したがって、製造誤差、外部電極サイズ等を考慮すると、積層型電子部品100の長さが1.1mm以下であり、幅が0.55mm以下である場合、本発明による信頼性向上効果がより顕著になることができる。ここで、積層型電子部品100の長さは、積層型電子部品100の第2方向の最大サイズを意味し、積層型電子部品100の幅は、積層型電子部品100の第3方向の最大サイズを意味することができる。
【0100】
以下では、上述した積層型電子部品の製造方法について説明する。但し、これに制限されるものではなく、上述した内容と重複する内容については、重複説明を避けるために省略することができる。
【0101】
本発明の一実施形態による積層型電子部品の製造方法は、誘電体層及び内部電極を含む本体を準備する段階と、ガラス及びNiを含むシートに上記本体を圧着して上記シートを本体に付着させた後、焼成して下地電極層を形成する段階と、上記下地電極層上にSnめっき層を形成する段階と、上記Snめっき層が形成された本体を樹脂及び金属を含むペーストにディッピングして上記Snめっき層上に上記ペーストを塗布する段階と、上記ペーストが塗布された本体を硬化熱処理して外部電極を形成する段階と、を含み、上記外部電極は、上記本体上に配置される下地電極層、上記下地電極層上に配置される中間電極層及び上記中間電極層上に配置される導電性樹脂層を含み、上記外部電極の下地電極層はガラス及びNiを含み、上記中間電極層はSn及びNiを含む合金を含み、上記導電性樹脂層は樹脂及び金属を含むことができる。
【0102】
誘電体層及び内部電極を含む本体110は、内部電極121、122が印刷されたセラミックグリーンシートを積層した後、焼成して形成することができる。また、第1内部電極121が印刷されたセラミックグリーンシートと第2内部電極122が印刷されたセラミックグリーンシートとを交互に積層した後、焼成して形成することができる。
【0103】
その後、
図9を参照すると、支持台300上にガラス及びNiを含むシート130aを設けた後、シート130aに本体110を圧着してシート130aを本体110の一面に付着させることができる。その後、上記一面の反対面にも同様にシートを圧着してシート130aを本体110の反対面に付着させることができる。その後、シートが付着した本体110を焼成して下地電極層131a-1を形成することができる。
【0104】
シート130aは、焼結前の状態であって、バインダー、有機溶媒などの成分を含むことができる。また、下地電極層131a-1は、硬化熱処理前の状態であって、硬化熱処理後にはSnの拡散により下地電極層131a-1の一部は中間電極層131bを構成するため、硬化熱処理前後の厚さが異なることがある。
【0105】
シートを転写する方法を用いるため、下地電極層131a-1は、本体の第1面の延長線E1と第2面の延長線E2との間に配置されてもよく、本体の第1及び第2面には配置されなくてもよい。
【0106】
その後、下地電極層131a-1、132a-2上にSnめっき層131b-1、132b-1を形成することができる。Snめっき層131b-1、132b-1を形成する方法としては、電解めっき法又は無電解めっき法を用いることができる。
【0107】
その後、
図10に示すように、定盤400上に樹脂及び金属を含むペースト500を設け、Snめっき層131b-1、132b-1が形成された本体110をペースト500にディッピング(dipping)して、Snめっき層131b-1、132b-1上に上記ペースト500を塗布することができる。
【0108】
その後、ペースト500が塗布された本体110を硬化熱処理して外部電極131、132を形成することができる。硬化熱処理によってSnめっき層131b-1、132b-1のSnが下地電極層131a-1、132a-2に拡散し、下地電極層131a-1、132a-2に含まれたNiと合金を形成することにより、Sn及びNi合金を含む中間電極層131b、132bが形成されることができる。また、硬化熱処理によってSnめっき層131b-1、132b-1を形成しながら吸収されためっき液、水分、水素などを除去することができ、信頼性を強化することができる。また、Snめっき層131b-1、132b-1の一部のSnは、導電性樹脂層131c、132cに拡散して合金を形成することもできる。
【0109】
このとき、硬化熱処理は150℃以上300℃以下の温度で行われることができる。本発明によると、硬化熱処理前の下地電極層131a-1、132a-2上にSnめっき層131b-1、132b-1を配置するため、150℃以上300℃以下の低い温度でも十分な中間電極層131b、132bを形成することができる。
【0110】
300℃を超える温度で硬化熱処理を行う場合、樹脂など有機物の熱分解を誘発する可能性があり、これによる外部電極の強度の低下、曲げ強度の低下などの問題が発生する可能性がある。150℃未満の温度で硬化熱処理を行う場合には、硬化が不十分となる可能性があり、中間電極層131b、132bの形成が不十分となるおそれがある。
【0111】
次に、導電性樹脂層131c、132c上にめっきを施してめっき層131d、132dを形成することができる。本発明の一実施形態によると、中間電極層131b、132bが配置されることにより、めっき層131d、132dを形成するためのめっき工程時に発生する水素が本体の内部に浸透することを抑制することができるため、高温信頼性を向上させることができる。
【0112】
以上のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定されるものとする。したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で、当技術分野における通常の知識を有する者により様々な形態の置換、変形及び変更が可能であり、これも本発明の範囲に属すると言える。
【0113】
また、本発明において使用される「一実施形態」という表現は、互いに同じ実施形態を意味するものではなく、それぞれ異なる固有の特徴を強調して説明するために提供されたものである。しかし、上記提示された一実施形態は、他の一実施形態の特徴と結合して実現されることを排除しない。例えば、特定の一実施形態で説明された事項が、他の一実施形態に説明されていなくても、他の一実施形態においてその事項と反対又は矛盾する説明がない限り、他の一実施形態に係る説明として理解されることができる。
【0114】
本発明において使用される用語は、単に一実施形態を説明するために使用されたものであって、本発明を限定しようとする意図ではない。このとき、単数の表現は、文脈上明らかに異なる意味ではない限り、複数の表現を含む。
【符号の説明】
【0115】
100:積層型電子部品
110:本体
111:誘電体層
112、113:カバー部
114、115:マージン部
121、122:内部電極
131、132:外部電極
131a、132a:下地電極層
131b、132b:中間電極層
131c、132c:樹脂電極層
131d、132d:めっき層