特開 2023-146512 部品搬送処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023146512

(43)【公開日】2023-10-12

(54)【発明の名称】部品搬送処理装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20231004BHJP

   G01R 31/00 20060101ALI20231004BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 Z

G01R31/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022053725

(22)【出願日】2022-03-29

(71)【出願人】

【識別番号】501410137

【氏名又は名称】アキム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112689

【弁理士】

【氏名又は名称】佐原 雅史

(74)【代理人】

【識別番号】100128934

【弁理士】

【氏名又は名称】横田 一樹

(72)【発明者】

【氏名】今井 ▲しょう▼二郎

【テーマコード（参考）】

2G003

2G036

【Ｆターム（参考）】

2G003AC03

2G003AD01

2G003AG03

2G003AG11

2G003AH01

2G036AA18

2G036BA35

2G036CA03

(57)【要約】      （修正有）

【課題】部品の移載時や部品の出力特性の測定時の取り扱いの精度を向上可能な部品搬送処理装置を提供する。
【解決手段】搬送経路上において部品供給領域の下流側に位置する処理領域に配置されて、部品に対して所定の処理を施す処理装置７０を備える部品搬送処理装置１である。処理装置７０は、部品保持機構４５によって部品が載置される載置台５０と、載置台５０に熱を移送する熱移送部材１３０と、載置台５０に載置された部品に接触することで部品の出力特性を測定する測定部９５と、を有し、載置台５０には、部品を負圧によって載置台５０側に吸引保持可能な吸引機構としての吸引路が設けられている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品を保持する部品保持機構を有し、搬送経路に沿って前記部品を搬送する搬送装置と、
前記搬送経路上の部品供給領域において、前記部品を前記部品保持機構に供給する部品供給装置と、
前記搬送経路上において前記部品供給領域の下流側に位置する処理領域に配置されて、前記部品に対して所定の処理を施す処理装置と、
前記搬送経路上において前記処理領域の下流側に位置する部品搬出領域に配置されて、前記部品を搬出する搬出装置と、
を備え、
前記処理装置は、
前記部品保持機構によって前記部品が載置される載置台と、
前記載置台に熱を移送する熱移送部材と、
前記載置台に載置された前記部品に接触することで該部品の出力特性を測定する測定部と、
を有し、
前記載置台における前記部品が載置される載置範囲には、前記部品を負圧によって前記載置台側に吸引保持可能な吸引機構が設けられている部品搬送処理装置。

【請求項2】

少なくとも前記部品が前記載置範囲に載置されるタイミング（以下、載置タイミング）、および、少なくとも前記測定部が前記部品の出力特性を測定するタイミング（以下、測定タイミング）のうちの少なくとも一方のタイミングで、前記吸引機構を動作させることで、前記部品を前記載置台に吸引保持させる制御装置をさらに備える請求項１に記載の部品搬送処理装置。

【請求項3】

前記制御装置は、前記載置タイミング及び前記測定タイミングの双方で、前記吸引機構により前記部品を前記載置台に吸引保持させるようにし、
更に、前記制御装置は、前記載置タイミングの後から前記測定タイミングの前までの少なくとも一部の期間、前記吸引機構による前記部品の吸引を停止又は低減させる請求項２に記載の部品搬送処理装置。

【請求項4】

前記制御装置は、前記載置タイミングにおいて、少なくとも前記部品が前記部品保持機構および前記載置範囲の双方に接触する状態から、前記部品が前記載置範囲に接触しかつ該部品が前記部品保持機構と離間する状態となるまでの間、前記吸引機構によって吸引を継続させる請求項２又は請求項３に記載の部品搬送処理装置。

【請求項5】

前記測定部は、
前記部品の電極に接触可能な測定プローブと、
前記測定プローブを前記電極に対して近接離間させるプローブ動作部と、
を有し、
前記制御装置は、前記測定タイミングとして、少なくとも前記測定プローブが前記電極に接触している最中の状態から、前記測定プローブが前記電極から離間するまでの間、前記吸引機構によって吸引を継続させる請求項２～４のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項6】

前記制御装置は、前記測定部が前記部品に接触した状態で該部品の出力特性の測定が開始されてから完了するまでは、前記吸引機構によって吸引を行わせない請求項５に記載の部品搬送処理装置。

【請求項7】

前記制御装置は、前記載置範囲に前記部品が載置されない期間（以下、非載置期間）において、前記吸引機構による吸引を行う請求項１～６のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項8】

前記載置台における前記部品が載置される載置範囲には、正圧気体を吐出可能な吐出機構が設けられており、
前記制御装置は、前記載置範囲に前記部品が載置されない期間（以下、非載置期間）において、前記吐出機構による吐出を行う請求項１～７のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項9】

前記吸引機構における負圧を案内する吸引経路が、前記吐出機構の前記正圧気体の供給経路を兼ねる請求項８に記載の部品搬送処理装置。

【請求項10】

前記載置台の前記載置範囲には、前記部品と係合可能な載置部が設けられ、かつ、前記吸引機構として前記載置部に連通する吸引路が形成される請求項１から９のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項11】

前記載置部は、前記載置台の上面から凹むとともに前記部品を収容可能な収容凹部であり、
前記吸引路は、前記収容凹部の内側面および底面のうちの少なくとも一方に開口している請求項１０に記載の部品搬送処理装置。

【請求項12】

前記載置部は、上方から下方に向かって前記部品を案内する傾斜面を有する請求項１０又は１１に記載の部品搬送処理装置。

【請求項13】

前記載置台には、複数の前記載置部が設けられ、
前記吸引路が複数の前記載置部の各々に対して形成され、
複数の前記吸引路は、互いに独立している請求項１０～１２のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項14】

前記吸引路における前記載置部側の第一端とは反対側の第二端は、前記載置台の表面に開口しており、
前記載置台の周囲に配置され、前記吸引路の前記第二端に対してポンプによって負圧を導入するための負圧導入路をさらに備える請求項１０～１３のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【請求項15】

前記負圧導入路として、
前記部品が前記載置範囲に載置されるタイミングで前記吸引路に負圧を導入する載置側負圧導入路、および、前記測定部によって前記部品の出力特性が測定されるタイミングで前記吸引路に負圧を導入する測定側負圧導入路を、別々に備える請求項１４に記載の部品搬送処理装置。

【請求項16】

前記処理装置は、前記載置台の前記載置部を移動させる移動機構をさらに有し、
前記移動機構は、少なくとも、
前記部品保持機構が前記載置部に前記部品を搬入する位置となる載置位置から、前記測定部によって前記部品の出力特性が測定される測定位置まで、前記載置部を移動させるようになっており、
前記載置側負圧導入路は前記載置位置の近傍に配置され、前記測定側負圧導入路は前記測定位置の近傍に配置される請求項１５に記載の部品搬送処理装置。

【請求項17】

前記移動機構は、前記載置台を鉛直方向に沿って延びる軸線を中心に回転させることで前記載置位置と前記測定位置との間で前記部品を移動させる回転駆動部を有し、
前記載置側負圧導入路と前記測定側負圧導入路とは、前記軸線回りに互いに離れた位置に配置されている請求項１６に記載の部品搬送処理装置。

【請求項18】

前記搬送装置は、複数の前記部品保持機構によって複数の前記部品を保持して、環状の前記搬送経路の一部に沿って、複数の前記部品を搬送するターレット型回転搬送装置であり、
前記載置台は、前記搬送装置の周方向に並んで複数設けられている請求項１から１７のいずれか一項に記載の部品搬送処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、様々な部品を処理する工程、例えば電子部品の温度特性を検査する検査工程に好適な部品搬送処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

水晶振動子やサーミスタ素子は、温度に対してその物性を大きく変化させるため、部品として出荷する前に、温度特性の評価、検査をすることが必要である。これらの部品は、大量に使用され、且つ、極めて小さなパッケージに実装されており、検査装置と呼ばれる自動で特性を測定、評価する装置で検査される。

【0003】

この種の検査装置（以下、部品搬送処理装置とする）は例えば特許文献１に記載されており、搬送装置により部品を搬送し、その搬送経路上に測定装置を配置して順次検査をおこなっていく構造となっている。具体的には、部品保持機構によって保持された検査対象の部品を載置プレート上に載置し、部品に測定装置のプローブを接触させることで部品の温度特性が検査されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－６６３９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、検査対象の部品は非常に小さく軽いものであるため、従来の部品搬送処理装置においては載置プレートに部品を載置する際に静電気等の影響によって部品保持機構に部品が吸着してしまい、部品保持機構から載置プレートの所定の位置およびタイミングで部品を移載することができない場合がある。同様に測定プローブを部品に接触させて部品の温度特性を検査した後、測定プローブを部品から離間させる際にも静電気等の影響によって部品が測定プローブに吸着してしまい、予期せず部品が載置プレートから脱落してしまう場合がある。

【0006】

そこで本発明は、部品の移載時や部品の出力特性の測定時の取り扱いの精度を向上可能な部品搬送処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る部品搬送処理装置は、部品を保持する部品保持機構を有し、搬送経路に沿って前記部品を搬送する搬送装置と、前記搬送経路上の部品供給領域において、前記部品を前記部品保持機構に供給する部品供給装置と、前記搬送経路上において前記部品供給領域の下流側に位置する処理領域に配置されて、前記部品に対して所定の処理を施す処理装置と、前記搬送経路上において前記処理領域の下流側に位置する部品搬出領域に配置されて、前記部品を搬出する搬出装置と、を備え、前記処理装置は、前記部品保持機構によって前記部品が載置される載置台と、前記載置台に熱を移送する熱移送部材と、前記載置台に載置された前記部品に接触することで該部品の出力特性を測定する測定部と、を有し、前記載置台における前記部品が載置される載置範囲には、前記部品を負圧によって前記載置台側に吸引保持可能な吸引機構が設けられている。

【0008】

また上記の部品搬送処理装置は、少なくとも前記部品が前記載置範囲に載置されるタイミング（以下、載置タイミング）、および、少なくとも前記測定部が前記部品の出力特性を測定するタイミング（以下、測定タイミング）のうちの少なくとも一方のタイミングで、前記吸引機構を動作させることで、前記部品を前記載置台に吸引保持させる制御装置をさらに備えてもよい。

【0009】

また上記の部品搬送処理装置において、前記制御装置は、前記載置タイミング及び前記測定タイミングの双方で、前記吸引機構により前記部品を前記載置台に吸引保持させるようにし、更に、前記制御装置は、前記載置タイミングの後から前記測定タイミングの前までの少なくとも一部の期間、前記吸引機構による前記部品の吸引を停止又は低減させてもよい。

【0010】

また上記の部品搬送処理装置において、前記制御装置は、前記載置タイミングにおいて、少なくとも前記部品が前記部品保持機構および前記載置範囲の双方に接触する状態から、前記部品が前記載置範囲に接触しかつ該部品が前記部品保持機構と離間する状態となるまでの間、前記吸引機構によって吸引を継続させてもよい。

【0011】

また上記の部品搬送処理装置において、前記測定部は、前記部品の電極に接触可能な測定プローブと、前記測定プローブを前記電極に対して近接離間させるプローブ動作部と、を有し、前記制御装置は、前記測定タイミングとして、少なくとも前記測定プローブが前記電極に接触している最中の状態から、前記測定プローブが前記電極から離間するまでの間、前記吸引機構によって吸引を継続させてもよい。

【0012】

また上記の部品搬送処理装置において、前記制御装置は、前記測定部が前記部品に接触した状態で該部品の出力特性の測定が開始されてから完了するまでは、前記吸引機構によって吸引を行わせないようにしてもよい。

【0013】

また上記の部品搬送処理装置において、前記制御装置は、前記載置範囲に前記部品が載置されない期間（以下、非載置期間）において、前記吸引機構による吸引を行うようにしてもよい。

【0014】

また上記の部品搬送処理装置において、前記載置台における前記部品が載置される載置範囲には、正圧気体を吐出可能な吐出機構が設けられており、前記制御装置は、前記載置範囲に前記部品が載置されない期間（以下、非載置期間）において、前記吐出機構による吐出を行うようにしてもよい。

【0015】

また上記の部品搬送処理装置では、前記吸引機構における負圧を案内する吸引経路が、前記吐出機構の前記正圧気体の供給経路を兼ねてもよい。

【0016】

また上記の部品搬送処理装置において、前記載置台の前記載置範囲には、前記部品と係合可能な載置部が設けられ、かつ、前記吸引機構として前記載置部に連通する吸引路が形成されてもよい。

【0017】

また上記の部品搬送処理装置において、前記載置部は、前記載置台の上面から凹むとともに前記部品を収容可能な収容凹部であり、前記吸引路は、前記収容凹部の内側面および底面のうちの少なくとも一方に開口してもよい。

【0018】

また上記の部品搬送処理装置において、前記載置部は、上方から下方に向かって前記部品を案内する傾斜面を有してもよい。

【0019】

また上記の部品搬送処理装置において、前記載置台には、複数の前記載置部が設けられ、前記吸引路が複数の前記載置部の各々に対して形成され、複数の前記吸引路は、互いに独立していてもよい。

【0020】

また上記の部品搬送処理装置において、前記吸引路における前記載置部側の第一端とは反対側の第二端は、前記載置台の表面に開口しており、前記載置台の周囲に配置され、前記吸引路の前記第二端に対してポンプによって負圧を導入するための負圧導入路をさらに備えてもよい。

【0021】

また上記の部品搬送処理装置では、前記負圧導入路として、前記部品が前記載置範囲に載置されるタイミングで前記吸引路に負圧を導入する載置側負圧導入路、および、前記測定部によって前記部品の出力特性が測定されるタイミングで前記吸引路に負圧を導入する測定側負圧導入路を、別々に備えてもよい。

【0022】

また上記の部品搬送処理装置において、前記処理装置は、前記載置台の前記載置部を移動させる移動機構をさらに有し、前記移動機構は、少なくとも、前記部品保持機構が前記載置部に前記部品を搬入する位置となる載置位置から、前記測定部によって前記部品の出力特性が測定される測定位置まで、前記載置部を移動させるようになっており、前記載置側負圧導入路は前記載置位置の近傍に配置され、前記測定側負圧導入路は前記測定位置の近傍に配置されてもよい。

【0023】

また上記の部品搬送処理装置において、前記移動機構は、前記載置台を鉛直方向に沿って延びる軸線を中心に回転させることで前記載置位置と前記測定位置との間で前記部品を移動させる回転駆動部を有し、前記載置側負圧導入路と前記測定側負圧導入路とは、前記軸線回りに互いに離れた位置に配置されてもよい。

【0024】

また上記の部品搬送処理装置において、前記搬送装置は、複数の前記部品保持機構によって複数の前記部品を保持して、環状の前記搬送経路の一部に沿って、複数の前記部品を搬送するターレット型回転搬送装置であり、前記載置台は、前記搬送装置の周方向に並んで複数設けられてもよい。

【発明の効果】

【0025】

本発明の部品搬送処理装置によれば、部品の移載時や部品特性の測定時の取り扱いの精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の実施形態に係る部品搬送処理装置の平面図である。

【図2】本発明の実施形態に係る部品搬送処理装置の側面図である。

【図3】上記部品搬送処理装置における処理装置の側面図である。

【図4】上記処理装置における載置台の平面図である。

【図5】上記処理装置の要部の縦断面図である。

【図6】上記処理装置の載置台の縦断面図であって、吸引機構による空気の吸引の様子を示す図である。

【図7】（Ａ）～（Ｄ）は上記処理装置の載置台の縦断面図であって、載置位置における部品の載置手順を示す部分拡大図である。

【図8】（Ａ）～（Ｄ）は上記処理装置の載置台の縦断面図であって、測定位置における部品の測定手順を示す部分拡大図である。

【図9】上記処理装置における載置台の変形例を示す平面図である。

【図10】（Ａ）～（Ｃ）は上記処理装置の載置台の変形例の縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。

【0028】

図面は本発明を実施する形態の一例であって、図中、同一の符号を付した部分は同一物を表わす。なお、各図において一部の構成を適宜省略して、図面を簡略化する。そして、部の大きさ、形状、厚みなどを適宜誇張して表現する。

【0029】

＜全体構成＞
本発明の一実施形態に係る部品搬送処理装置１について説明する。本実施形態の部品搬送処理装置１は、部品を搬送しつつその特性等を評価するものであり、具体的には、電子部品（例えばサーミスタ素子など）について、出力の温度依存性等を評価するために用いられる。

【0030】

図１に示すように部品搬送処理装置１は、部品を搬送する搬送装置１０と、搬送装置１０に部品を供給する部品供給装置６５と、部品に対して所定の処理を施す処理装置７０と、処理装置７０に設けられた吸引機構５００と、処理後の部品を搬出する搬出装置５と、搬送装置１０、部品供給装置６５、処理装置７０、吸引機構５００、および搬出装置５を制御する制御装置２５（図２参照）とを備えている。

【0031】

＜搬送装置＞

【0032】

本実施形態の搬送装置１０は、円盤状をなすターレット型の回転搬送装置であって、環状の搬送経路Ｔ（同図に破線で示す）の一部に沿って、複数の部品を搬送可能となっている。具体的には図２に示すように、搬送装置１０は、水平面方向に広がるターレットテーブル１２と、ターレットテーブル１２を鉛直方向に延びる軸線回りに回転可能に支持するターレットテーブル回転軸１５と、ターレットテーブル回転軸１５を回転駆動するターレットテーブル駆動装置２０とを有する。さらに搬送装置１０は、ターレットテーブル１２の周縁において、ターレットテーブル回転軸１５の周方向に等間隔に固定配置される複数の部品保持機構４５を有する。ターレットテーブル１２は鉛直方向には移動不可となっている。

【0033】

図１に戻って、各々の部品保持機構４５は、後述する部品供給領域５１、処理領域５２、部品搬出領域５３において、後述する昇降付勢機構４０と協働して、部品の回収（保持）、及び／または、解放を行う。また複数の部品保持機構４５は互いに同期されて周方向（例えば、図１において反時計回りの方向Ｒ）に部品を移動させ、環状の搬送経路Ｔに沿って複数の部品を同時搬送する。

【0034】

具体的には図２に示すように各々の部品保持機構４５は、部品保持具１４５と、部品保持具１４５を鉛直方向に昇降させる保持具昇降部１４７と、部品保持具１４５の平面方向の位置を調整する部品保持具位置決め機構１８０とを有する。

【0035】

部品保持具１４５は、後述する載置台５０から部品を吸着保持して取り出したり、また、部品を載置台５０へ解放（載置）したりする。部品保持具１４５は、例えば、部品を吸着して保持し、あるいは吸着を解除して部品を解放可能なノズルである。具体的には、部品保持具１４５は中空のチューブ状（円筒状）をなし、それぞれがダイヤフラムポンプ（図示省略）に接続されている。ダイヤフラムポンプは、後述する制御装置２５によって制御され、部品を吸着する場合には部品保持具１４５の内部空間を減圧（負圧を導入）し、部品を解放する場合には部品保持具１４５の内部空間を部品搬送処理装置１の雰囲気圧力（大気圧）に戻す。

【0036】

保持具昇降部１４７は部品保持具１４５を鉛直方向に案内する。また保持具昇降部１４７に隣接して昇降付勢機構４０が設けられている。昇降付勢機構４０としては、モータおよび斜板カムを有する構造や、エアシリンダ、油圧シリンダ、および電磁ソレノイド等の直動動力源を有する構造などを採用可能である。昇降付勢機構４０は搬送装置１０とは独立して設けられる架台３５に設けられている。

【0037】

そして保持具昇降部１４７が、下降した昇降付勢機構４０に当接して昇降付勢機構４０によって下方に付勢されると、保持具昇降部１４７が部品保持具１４５を鉛直方向下向きに案内する。また昇降付勢機構４０が上昇すると保持具昇降部１４７は、自ら内蔵する付勢手段（例えばバネ）によって、部品保持具１４５を上昇するように案内する。

【0038】

部品保持具位置決め機構１８０は、鉛直方向に昇降可能な部品保持具位置決め用係合部１８２と、部品保持具位置決め用係合部１８２を昇降させる係合部昇降機構１８１と、部品保持具位置決め用係合部１８２を水平面方向に移動させる係合部平面移動機構１８４を有する。

【0039】

部品保持具位置決め用係合部１８２は、鉛直方向に延びるピン状をなしている。部品保持具１４５による部品の保持または解放に先立って、部品保持具位置決め用係合部１８２が降下されて、後述する部品保持具位置決め孔１０４に係合されることで、部品保持具１４５が位置決めされる。

【0040】

係合部平面移動機構１８４は、ターレットテーブル１２に対して部品保持具位置決め機構１８０および部品保持具１４５を水平面方向に移動可能とする。例えば、係合部平面移動機構１８４は、ターレットテーブル１２の表面（上面）に設けられたスライド部品２２２（例えば転動自在のボール状部材）と、このスライド部品２２２を介してターレットテーブル１２上に配置されてターレットテーブル１２に対して水平面方向に移動自在な平面移動体１８３などにより構成される。

【0041】

係合部昇降機構１８１は、平面移動体１８３に対して鉛直方向に移動自在に搭載される。係合部昇降機構１８１に外力が付勢されない状態では、係合部昇降機構１８１は不図示の付勢手段により鉛直方向上向きに付勢されている。係合部昇降機構１８１に対して鉛直方向に移動自在に保持具昇降部１４７が搭載されている。保持具昇降部１４７に外力が付与されていない状態では、保持具昇降部１４７は不図示の付勢手段により鉛直方向上向きに付勢されている。係合部昇降機構１８１における上向きの付勢力は、保持具昇降部１４７における上向きの付勢力と比較して小さい。

【0042】

従って、昇降付勢機構４０によって、保持具昇降部１４７を下方に付勢すると、まず、係合部昇降機構１８１が優先的に下降して下死点で停止し、その後、停止した係合部昇降機構１８１に対して、保持具昇降部１４７が単独で下降するようになっている。これにより、部品保持具１４５は、部品保持具位置決め用係合部とは別のタイミングで独立して昇降自在となっている。

【0043】

＜部品供給装置＞

【0044】

図１に戻って、部品供給装置６５は例えばパーツフィーダであって、部品供給領域５１において部品を搬送装置１０の部品保持機構４５に供給する。ここで部品供給領域５１とは、搬送経路Ｔ上における上流側に位置する領域のことを意味する。

【0045】

＜処理装置＞

【0046】

処理装置７０は、搬送経路Ｔ上の処理領域５２において部品に対して所定の処理（例えば出力特性の測定）を行なうものである。本実施形態では処理装置７０は温度特性の測定を行う。ここで処理領域５２とは、搬送経路Ｔにおける部品供給領域５１の下流側に位置する領域のことを意味する。処理装置７０は、ターレットテーブル回転軸１５の周方向に沿って間隔をあけて配置された複数の処理領域５２において、一つずつ設けられている。よって処理装置７０は、ターレットテーブル回転軸１５の周方向に沿って間隔をあけて複数配置されている。

【0047】

図３に示すように各々の処理装置７０は、部品が載置される載置台５０と、載置台５０に熱を移送する熱移送部材１３０と、載置台５０に載置された部品を移動させる移動機構１２５と、載置台５０に載置された部品の温度特性の測定を行う測定部９５とを有する。本実施形態では各々の処理装置７０はそれぞれ独立して異なる処理を行うことができる。具体的には例えば、それぞれの処理装置７０は、部品を処理装置７０毎に異なる設定温度（付近）になるように制御（昇温または冷却）するとともに、当該設定温度における部品の温度特性を測定する。

【0048】

＜載置台＞

【0049】

図３および図４に示すように載置台５０は本実施形態では円盤状をなしている。また載置台５０には、部品がそれぞれ個別に載置される複数の載置範囲５０Ｘに、載置部１００が設けられている。載置部１００は、載置台５０の周方向に沿って均等間隔で配置される。本実施形態の載置部１００は、載置台５０の上面に開口して上面から下方に凹むように形成された収容凹部となっている。載置部１００の内寸は、部品の外寸と略一致するとよい。

【0050】

載置部１００の外周側には、周方向に並ぶ複数のプローブ位置決め孔１０３が載置台５０に形成されている。プローブ位置決め孔１０３は、本実施形態では各載置部１００に個々に（１対１で）対応して載置部１００と同数設けられる。ここで本実施形態では、複数の処理装置７０において、載置台５０は同サイズで載置部１００の数も同数となっている。

【0051】

＜吸引機構＞

【0052】

図３に示すように吸引機構５００は、載置部１００に載置された部品を、載置台５０側に吸引保持可能とする。本実施形態では吸引機構５００として、載置台５０に形成される複数の吸引路８０を有する。図６に拡大して示すように、吸引路８０は、載置部１００の底面１００ａにその第一端８０ａが開口するとともに、第一端８０ａとは反対側の第二端８０ｂが載置台５０の外周面に開口する。各吸引路８０は載置部１００毎に一つずつ独立して形成され、各載置部１００の底面と外周面を連通させている。

【0053】

図４及び図５に示すように、吸引機構５００は、各載置台５０に対して、負圧導入路８１、導入切換え弁８２を有する。負圧導入路８１の第一端（下流端）は、回転が停止した載置台５０の吸引路８０の第二端８０ｂに近接し、対向するように配置されている。これにより、負圧導入路８１と吸引路８０は、負圧を案内するための一つの導管となる。この負圧導入路８１の第一端とは反対側の第二端（上流端）に導入切換え弁８２が設けられている。導入切換え弁８２は、負圧供給路８３を介して負圧発生源となるポンプＰＰに接続される。なお、負圧導入路８１の第一端には例えば吸引ノズルを設けておくことも好ましい。負圧導入路８１は、例えばチューブ式の配管であり、載置台５０毎に設けられている。

【0054】

本実施形態では負圧導入路８１として、載置台５０における後述する載置位置Ｐ１に固定配置される載置側負圧導入路８１Ａと、後述する測定位置Ｐ２に固定配置される測定側負圧導入路８１Ｂを有する。載置側負圧導入路８１Ａと測定側負圧導入路８１Ｂとは、各載置台５０において周方向に離れた位置に配置されている。すなわち本実施形態の各載置台５０には、複数（ここでは一対）の負圧導入路８１Ａ，８１Ｂが配置されていることになる。負圧導入路８１に負圧を供給するポンプＰＰは、例えばダイヤフラムポンプ等を採用可能である。なお、図１では図示の都合上、一つの処理装置７０のみに対して、負圧導入路８１、導入切換え弁８２、負圧供給路８３が設けられる状態を示しているが、実際には全ての処理装置７０に負圧導入路、導入切換え弁、負圧供給路がそれぞれ設けられる。一方、ポンプＰＰは、複数の処理装置７０で共有される態様を示しているが、個別に設けても良い。

【0055】

図３及び図４に戻って、導入切換え弁８２は、載置側負圧導入路８１Ａに配置される載置側導入切換え弁８２Ａと、測定側負圧導入路８１Ｂに配置される測定側導入切換え弁８２Ｂを有する。この導入切換え弁８２は、後述する制御装置２５によって制御される。載置側導入切換え弁８２Ａは、載置側負圧導入路８１Ａに対する負圧の導入のＯＮ・ＯＦＦを切り替えることで、吸引路８０を介して、載置位置Ｐ１に停止する載置部１００の凹部底面に対する負圧のＯＮ・ＯＦＦを切り替える。測定側導入切換え弁８２Ｂは、測定側負圧導入路８１Ｂに対する負圧の導入のＯＮ・ＯＦＦを切り替えることで、吸引路８０を介して、測定位置Ｐ２に停止する載置部１００の凹部底面に対する負圧のＯＮ・ＯＦＦを切り替える。ここで負圧とは、載置台５０が設置された環境の雰囲気圧力よりも低い圧力を意味する。

【0056】

＜熱移送部材＞

【0057】

図５に示すように熱移送部材１３０は、各々の載置台５０の背面側（下側）に隣接して配置され、載置台５０に熱を移送する。熱移送部材１３０の構造は特に限定されるものではないが、載置台５０と略同型（略円盤状）であるとよく、複数に分散配置されていてもよい。なお、熱伝達効率を向上させるため、載置台５０と熱移送部材１３０とは面接触していることが好ましく、載置台５０と熱移送部材１３０との間に熱伝導性シートなどを介在させてもよい。熱移送部材１３０は、例えば、載置台５０の背面から離れる方向、すなわち下方に向かって順に並んで配置された熱伝達プレート１３０Ａとペルチェ素子１３０Ｂと熱交換部１３５とを有している。

【0058】

そして熱移送部材１３０によって、各載置台５０の全体が均一（単一）の温度となるように制御される。熱伝達プレート１３０Ａを温度監視し、その監視結果を利用してペルチェ素子１３０Ｂの出力を制御する。例えば載置台５０の温度を降下させて、常温よりも低い温度に部品を制御したい場合には、熱移送部材１３０の載置台５０側が低温となり、熱交換部１３５側が高温になる。その場合は、熱交換部１３５から熱が放熱されやすいように、熱交換部１３５をファン（不図示）で空冷したり、外部に設けられた熱交換器であるチラー（不図示）から冷水を供給して水冷したりしてもよい。逆に載置台５０の温度を上昇させて、部品を常温よりも高い温度に制御したい場合には、熱移送部材１３０の載置台５０側が高温に、熱交換部１３５側が低温になる。この場合には、熱交換部１３５に熱水を接触させて温めることも考えられる。

【0059】

これらの温度制御は、温度制御装置１３７によって行なわれる。温度制御装置１３７は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭを含む）、ハードディスクドライブ等の記憶装置などから構成される。ＣＰＵはいわゆる中央演算処理装置であり、各種プログラムが実行されて様々な機能を実現する。ＲＡＭはＣＰＵの作業領域、記憶領域として使用され、ＲＯＭはＣＰＵで実行されるオペレーティングシステムやプログラムを記憶する。なお、これらは汎用制御装置を用いても良い。温度制御装置１３７による温度制御は、例えばＰＩＤ制御によって行われる。

【0060】

さらに熱移送部材１３０は、載置台５０とともに下方から支持台１１９によって支持されている。支持台１１９の上面は、熱移送部材１３０および載置台５０と重ならない（熱移送部材１３０および載置台５０から露出する）領域を有している。この領域において、かつ、後述する載置台５０における載置位置Ｐ１の近傍において支持台１１９には部品保持具位置決め孔１０４が形成されている。部品保持具位置決め孔１０４は、載置位置Ｐ１に配置された載置部１００に対応して、この載置部１００の外周側に設けられている。

【0061】

＜移動機構＞

【0062】

移動機構１２５は支持台１１９に支持されているとともに、熱移送部材１３０と載置台５０とを一体として回転軸５５と、回転軸５５を該回転軸５５の軸線を中心として回転させる回転駆動部６０とを有する。回転軸５５の軸線は鉛直方向に延びている。移動機構１２５は載置台５０を回転させることで収容凹部（載置部１００）を周方向に移動させ、収容凹部に収容された部品を周方向に移動させる。本実施形態では載置台５０の回転方向Ｒ１（図４参照）はターレットテーブル１２の回転方向Ｒ（図１参照）とは反対方向となっている。なお、この回転方向Ｒの方向は、いずれの方向であっても構わない。

【0063】

具体的には図４に戻って、移動機構１２５は部品保持機構４５によって部品が載置される載置台５０における載置位置Ｐ１と、部品の出力特性が測定される載置台５０における測定位置Ｐ２との間で、収容凹部（載置部１００）に載置された部品を移動させる。載置位置Ｐ１とは、部品保持機構４５から部品が解放されて載置台５０に部品が載置される載置台５０上の位置である。測定位置Ｐ２とは、後述する測定部９５（図３参照）によって部品の出力特性の測定が行われる載置台５０上の位置である。

【0064】

さらに移動機構１２５は、測定位置Ｐ２から取り出し位置Ｐ３まで載置台５０に載置された部品を移動させる。取り出し位置Ｐ３は、出力特性を測定済の部品が部品保持機構４５によって載置台５０から取り出される位置であって、ここでは載置位置Ｐ１に一致させている。しかし、回転方向Ｒにおける載置位置Ｐ１の手前側（上流側）に取り出し位置Ｐ３を設けても良い。この場合、各々の部品保持機構４５が、２つの部品保持具１４５を備えるダブルノズル構造とすることで、一方の吸引ノズルを取り出し位置Ｐ３に停止させると同時に、他方の吸引ノズルを載置位置Ｐ１に停止させることで、測定済みの部品の取り出し動作と、未測定の部品の載置動作を同時に実行することができる。

【0065】

更に、取り出し位置Ｐ３における部品の取り出しタイミングにおいて、少なくとも、部品保持具１４５が部品に接触する前から接触するまでの間、吸引機構によって部品の吸引を行い、部品保持具１４５と部品が接触した後に吸引解除することが好ましい。部品を取り出すために、部品保持具１４５が部品に向かって接近（下降）すると、その途中で静電気が作用して部品が部品保持具１４５に向かって浮上し、部品保持具１４５の部品保持姿勢が誤った状態となる場合がある。上述のように、取り出し位置Ｐ３においても部品の吸引を行うことで、静電気による部品の自発的な浮上を抑制できる。

【0066】

本実施形態では載置位置Ｐ１と測定位置Ｐ２とは載置台５０の周方向に１８０度離れている。よって、時計回りに載置位置Ｐ１から測定位置Ｐ２までの半周分の載置部１００に配置されている部品は測定前の部品であり、部品が測定位置Ｐ２に位置すると後述する測定部９５（図３参照）によって部品の出力特性が測定される。なお載置位置Ｐ１と測定位置Ｐ２との位置関係は特に限定されない。本実施形態では、複数の処理装置７０間において、それぞれの載置台５０は等速で回転させられる。

【0067】

＜測定部＞

【0068】

図３に戻って、測定部９５は、測定位置Ｐ２において部品に所定の行為（ここでは出力特性の測定行為）を行う。測定部９５は、部品の電極（不図示）に電気的な接触を行う測定プローブ１１０と、測定プローブ１１０を昇降させるプローブ昇降部１１１と、測定プローブ１１０の水平面方向の位置を調整するプローブ位置決め機構２００とを有する。

【0069】

測定プローブ１１０はプローブ昇降部１１１によって保持されている。測定プローブ１１０は、プローブ昇降部１１１を介して、プローブ位置決め機構２００によって平面方向に位置調整される。結果、測定プローブ１１０はプローブ昇降部１１１によって載置台５０の上面に対して垂直方向（鉛直方向）に昇降したり、プローブ位置決め機構２００によって載置台５０の面方向（水平面方向）に移動したりして、測定位置Ｐ２にある部品の電極に上方から接触可能となっている。

【0070】

プローブ位置決め機構２００は、載置台５０（又は載置台５０の基準位置となる部材）と係合して、載置台５０を基準とした相対位置を調整するプローブ位置決め用係合部２１０と、プローブ位置決め用係合部２１０を昇降させる係合部昇降機構２１１と、プローブ位置決め用係合部２１０を水平面方向に移動させる係合部平面移動機構２０１とを有する。なお、係合部昇降機構２１１や係合部平面移動機構２０１による移動は、測定プローブ１１０（プローブ昇降部１１１）が部品と接触する前に先行して行われる。具体的には、プローブ位置決め用係合部２１０によるプローブ位置決め孔１０３との係合が完了してから、測定プローブ１１０（プローブ昇降部１１１）が部品と接触する。

【0071】

係合部平面移動機構２０１は、床面に固定載置される測定部支持台９９に対して、水平面方向に移動可能となっている。例えば、係合部平面移動機構２０１は、測定部支持台９９に配置されるスライド部品２０２（例えば転動自在のボール状部材）と、このスライド部品２０２を介して測定部支持台９９上に配置されて測定部支持台９９に対して水平面方向に移動自在な平面移動体２０３とを有する。

【0072】

係合部昇降機構２１１は、平面移動体２０３に対して、鉛直方向に移動自在に搭載される。プローブ昇降部１１１は、係合部昇降機構２１１に対して、鉛直方向に移動自在に搭載される。測定時には、まず係合部昇降機構２１１によってプローブ位置決め用係合部２１０を所定位置（プローブ位置決め孔１０３）に降下させて位置決めを行なった後に、プローブ昇降部１１１が測定プローブ１１０のみを降下させる。

【0073】

＜搬出装置＞

【0074】

図１に戻って、搬出装置５は、搬送経路Ｔにおける処理領域５２の下流側に位置する部品搬出領域５３に配置されている。すなわち搬出装置５は、搬送経路Ｔの上流側から下流側に向かって複数の処理装置７０を順次経由することで複数回にわたって出力特性の測定が行われた部品を搬出する。例えば搬出装置５は供給リール（不図示）を有している。供給リールに巻かれている梱包用の樹脂テープに向けて、部品保持機構４５によって部品が搬出され、部品がパッケージングされるようになっている。

【0075】

＜制御装置＞

【0076】

制御装置２５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスクドライブ等の記憶装置などから構成され、搬送装置１０による部品の搬送制御、部品保持機構４５による部品の解放・回収制御、部品の処理（出力測定）制御、吸引機構５００における負圧制御などの各種制御を実行する。ＣＰＵはいわゆる中央演算処理装置であり、各種プログラムが実行されて様々な機能を実現する。ＲＡＭはＣＰＵの作業領域、記憶領域として使用され、ＲＯＭはＣＰＵで実行されるオペレーティングシステムやプログラムを記憶する。

【0077】

次に図６～図８を参照して、各処理装置７０において、制御装置２５によって載置台５０に対象部品Ｘを載置してから、載置台５０から同じ対象部品Ｘを取り出すまでの制御手順について説明する。

【0078】

まず載置位置Ｐ１（図４参照）の収容凹部（載置部１００）に対象部品Ｘを載置するタイミング（以下、載置タイミング）の動作工程を図７に示す。図７（Ａ）は、部品保持機構４５が対象部品Ｘを載置位置Ｐ１まで移送した状態を示す。ここでは対象部品Ｘが載置部（載置範囲）１００の上方に位置決めされる。次の図７（Ｂ）は、部品保持機構４５が下降して、載置台５０の載置位置Ｐ１にある収容凹部（載置部１００）に対象部品Ｘを載置した状態を示す。この状態では、部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５の負圧が解除されて、部品保持具（ノズル）１４５から対象部品Ｘが解放される。次いで図７（Ｃ）では、部品保持機構４５のみが上昇して対象部品Ｘから部品保持具（ノズル）１４５が離反する。結果、対象部品Ｘを収容凹部（載置部１００）に残存させる。図７（Ｄ）は、載置位置Ｐ１において図７（Ｃ）から所定時間が経過した状態を示している。

【0079】

制御装置２５は、「載置台５０に対象部品Ｘが載置される載置タイミング」で載置側切換え弁８２Ａを動作させ、載置側負圧導入路８１Ａおよび吸引路８０を介して、載置位置Ｐ１にある対象部品Ｘを、載置台５０側に吸引保持させる。

【0080】

本実施形態において、「対象部品Ｘが載置台５０に載置されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」という概念には、少なくとも、図７（Ｂ）に示すように、対象部品Ｘが部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５および載置台５０の双方に接触する状態（双方接触状態）の途中から、図７（Ｃ）に示すように、対象部品Ｘが載置台５０に残存し、かつ、部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５が対象部品Ｘから離間する状態（載置完了状態）となるまでの時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含む。同様に、「対象部品Ｘが載置台５０に載置されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」という概念は、部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５の上昇開始前から上昇開始後の時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含む。

【0081】

更に「対象部品Ｘが載置台５０に載置されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」の広い概念には、図７（Ａ）に示すように、部品Ｘが部品保持機構４５に接触し、かつ載置台５０には非接触の状態（載置台５０へ部品を載置する前の状態、即ち、上記双方接触状態となる前の状態）から、図７（Ｂ）の状態を経て、図７（Ｃ）に示すように、部品Ｘが載置台５０に残存し、かつ、部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５が部品Ｘから離間する状態（載置完了状態）となるまでの時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含むことができる。

【0082】

一方で図７（Ａ）の状態では、吸引路８０の負圧印加を停止して、周囲の空気を吸引しないようにすることで、下降中の対象部品Ｘの姿勢を不安定にさせないようにし、図７（Ｂ）の状態になってから、吸引路８０による吸引を開始することも好ましい。更に制御装置２５は、図７（Ｃ）の状態の後、所定時間経過したら、素早く、図７（Ｄ）に示すように載置側切換え弁８２Ａを動作させて、載置側負圧導入路８１Ａおよび吸引路８０による負圧吸引を終了させることが好ましい。即ち「対象部品Ｘが載置台５０に載置されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」の狭い概念には、上記双方接触状態となった後に、吸引路８０による対象部品Ｘの吸引を開始し、載置完了状態となった後、且つ後述する「測定タイミング」に移行する前に、一端、吸引路８０による対象部品Ｘの吸引を停止することを含む。

【0083】

以上のようにすると、部品保持具（ノズル）１４５が上昇する際に、静電気等によって、対象部品Ｘが部品保持具（ノズル）１４５と一緒に上昇することを回避できる。

【0084】

その後、制御装置２５は、移動機構１２５（図３参照）を動作させて載置台５０を回転させることで、載置位置Ｐ１の対象部品Ｘを測定プローブ１１０の直下となる測定位置Ｐ２（図４参照）まで移動させてから載置台５０の回転を停止させる。この対象部品Ｘが、載置位置Ｐ１から測定位置Ｐ２まで移動する間の少なくとも一部区間では、吸引路８０による負圧吸引を行わない（或いは、吸引力を極力小さくする）ことが望ましい。特に本実施形態では、載置位置Ｐ１と測定位置Ｐ２を除いた載置位置Ｐ１から測定位置Ｐ２までの全移動区間において、吸引路８０による負圧吸引を行わないようにしている。吸引路８０による吸引を行うと、対象部品Ｘの周囲に気流が形成されるため、対象部品Ｘの温度制御に誤差が生じやすくなるからである。なお、この部品Ｘが載置位置Ｐ１から測定位置Ｐ２まで移動する間も、順次、他の部品Ｘが載置位置Ｐ１と測定位置Ｐ２に順次位置決めされるので、その都度、載置台５０の回転が停止する。

【0085】

測定位置Ｐ２まで対象部品Ｘが移動したら、測定プローブ１１０を降下させて、測定プローブ１１０を対象部品Ｘの電極に接触させることで、測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定される（以下、測定タイミングと称する）。この測定タイミングにおける測定工程を図８に示す。

【0086】

図８（Ａ）は、対象部品Ｘが載置位置Ｐ２まで移送された状態を示す。この状態では、測定プローブ１１０が対象部品Ｘの上方の離れた位置に待機している。次の図８（Ｂ）は、測定プローブ１１０が下降して、測定プローブ１１０が対象部品Ｘの電極に接触して、対象部品Ｘの出力特性を測定する（測定実施中状態）。次の図８（Ｃ）は、測定プローブ１１０による対象部品Ｘの出力特性の測定が完了した状態を示す（測定完了直後状態）。測定完了直後状態は、外見上は、測定プローブ１１０が対象部品Ｘの電極に接触しているため、測定実施中状態と同じである。図８（Ｄ）は、測定プローブ１１０のみが上昇して、測定プローブ１１０が対象部品Ｘから離反した状態（プローブ離反状態）を示す。結果、対象部品Ｘは収容凹部（載置部１００）に残存する。

【0087】

その後、制御装置２５は載置台５０を再び回転させて、次の部品Ｘが測定プローブ１１０の直下となる測定位置Ｐ２に移動されて、その部品Ｘの出力特性が測定される。

【0088】

そして制御装置２５は、測定位置Ｐ２において「測定タイミング」で測定側切換え弁８２Ｂを動作させ、測定側負圧導入路８１Ｂおよび吸引路８０を介して、測定位置Ｐ２にある部品Ｘを載置台５０側に吸引保持させる。

【0089】

本実施形態において「測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」という概念には、少なくとも、図８（Ｃ）に示すように、測定プローブ１１０が対象部品Ｘの電極に接触しているものの、既に出力特性の測定を完了させた状態（測定完了直後状態）から、図８（Ｄ）に示すように、測定プローブ１１０が上昇して対象部品Ｘの電極から離間する状態（プローブ離反状態）となるまでの時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含む。「測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」という概念を換言すると、測定プローブ１１０による測定完了後において、測定プローブ１１０の上昇開始前から上昇開始後の時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含む。

【0090】

この「測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」の広い概念には、図８（Ｂ）の測定プローブ１１０が対象部品Ｘの電極に接触して出力特性を測定中の状態（測定実施中状態）に吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持することを含めても良く、測定実施中の対象部品Ｘの姿勢を安定させることができる。一方で、吸引路８０の負圧によって生じる空気対流の影響に鑑みて、図８（Ｂ）の測定実施中状態は、吸引路８０の負圧を停止しておくことが好ましい。

【0091】

「測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」の更に広い概念には、図８（Ａ）の状態、即ち、測定プローブ１１０が対象部品Ｘに接触する前の状態において、吸引路８０を介して吸引を開始することを含めても良い。測定プローブ１１０の下降途中で、静電気等によって測定プローブ１１０側に対象部品Ｘが吸引浮上する事態を抑制できる。この場合、測定実施中状態になったら、空気対流の影響を抑制するために吸引を一時停止することも可能である。

【0092】

「測定部９５によって部品Ｘの出力特性が測定されるタイミングで吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」の一層広い概念には、測定プローブ１１０が部品Ｘに接触する前の状態から吸引を開始し、測定プローブ１１０が部品Ｘに接触した測定実施中状態、及び、測定完了直後状態を経て、測定プローブ１１０が部品Ｘから離間した後のプローブ離反状態までの時間に亘って、吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含んでもよい。また、この場合においても、測定実施中状態の時間帯に限っては、吸引路８０による吸引を一時停止してもよい。

【0093】

その後、制御装置２５は、移動機構１２５を動作させて載置台５０を回転させることで、測定位置Ｐ２の対象部品Ｘを取り出し位置Ｐ３（ここでは載置位置Ｐ１と同じ位置）に移動させて載置台５０の回転を停止させた後、部品保持機構４５によって載置台５０から対象部品Ｘを取り出させる（取り出しタイミング）。

【0094】

「部品保持機構４５によって載置台５０から対象部品Ｘを取り出させるタイミング（取り出しタイミング）」において、制御装置２５は、載置側切換え弁８２Ａを動作させ、載置側負圧導入路８１Ａおよび吸引路８０を介して、取り出し位置Ｐ３にある対象部品Ｘを、載置台５０側に吸引保持させる。

【0095】

「取り出しタイミングにおいて吸引路８０による対象部品Ｘを吸引保持する」という概念には、少なくとも、取り出し位置Ｐ３の対象部品Ｘに対して、部品保持機構４５の部品保持具（ノズル）１４５が接触する前の状態から、部品保持機構４５が下降して部品保持具（ノズル）１４５が対象部品Ｘに接触する状態までの時間に亘って吸引状態（負圧印加状態）を継続することを含む。このようにすると、部品保持具（ノズル）１４５の下降途中で、静電気等によって部品保持具（ノズル）１４５側に対象部品Ｘが吸引浮上する事態を抑制できる。制御装置２５は、対象部品Ｘを保持した部品保持具（ノズル）１４５が上昇する前に、吸引路８０による吸引を停止する。

【0096】

なお、本実施形態では、載置位置Ｐ１と取り出し位置Ｐ３を一致させていることから、載置位置Ｐ１の載置側負圧導入路８１Ａが、取り出し位置Ｐ３における吸引機構を兼ねる。しかし、本発明はこれに限定されず、載置位置Ｐ１よりも移送方向の上流側に取り出し位置Ｐ３を設ける場合は、別途、その近傍に、取り出し側負圧導入路を配置すれば良い。

【0097】

載置台５０から対象部品Ｘが取り出された後は、一時的に、収容凹部（載置部１００）が空となった状態、即ち、対象部品Ｘが載置されていない時間帯（非載置期間）が生じる。載置位置Ｐ１と取り出し位置Ｐ３が同一位置の場合、非載置期間は、次の部品保持機構４５が載置位置Ｐ１の上方に到着するまでの待機時間となる。この非載置期間において、制御装置２５は、載置側切換え弁８２Ａを動作させ、載置側負圧導入路８１Ａおよび吸引路８０を介して、取り出し位置Ｐ３又はその後の載置位置Ｐ１に存在する（空の）収容凹部に対して、載置側負圧導入路８１Ａおよび吸引路８０によって吸引動作を短時間で実行する。この動作によって、収容凹部（載置部１００）内に存在する塵埃等の異物を、吸引路８０から吸引して外部に取り出す（清掃動作）。清掃動作により、対象部品Ｘと収容凹部（載置部１００）の密着度合いを高めることができ、対象部品Ｘの温度制御の精度を向上させることができる。ちなみに、対象部品Ｘを収容凹部（載置部１００）に載置する際に、仮に、収容凹部（載置部１００）の底面に異物が存在すると、対象部品Ｘと収容凹部の底面に隙間が形成されるため、対象部品Ｘに対する熱移送部材１３０の熱伝達が不十分となり、温度制御の精度が低下する。なお、本実施形態では、非載置期間において、収容凹部（載置部１００）内の気体（空気）を吸引する動作を例示したが、本発明はこれに限定されず、吸引路８０から収容凹部（載置部１００）内に正圧を印加して、収容凹部（載置部１００）内の異物を上方に放出させても良い。

【0098】

そして、取り出しタイミングにおいて、部品保持機構４５に保持された対象部品Ｘは、部品保持機構４５によって、搬送経路Ｔの上流側から下流側の処理装置７０に、この対象部品Ｘを受け渡し、下流側の処理装置７０によって対象部品Ｘの出力特性の測定を行わせる。最後に、制御装置２５は、搬出装置５によって対象部品Ｘを搬出させ、対象部品Ｘのパッケージングが完了する（図１参照）。

【0099】

以上説明した本実施形態の部品搬送処理装置１によれば、電子部品の出力特性を測定するために処理装置７０の載置台５０に部品が載置される載置タイミングにおいて、載置側切換え弁８２Ａによって吸引路８０に負圧を印加して、部品を載置台５０側に吸引保持可能となっている。したがって部品保持機構４５が載置台５０に部品を載置する際に、静電気等によって部品保持機構４５側に部品が吸着してしまい、載置位置Ｐ１における収容凹部（載置部１００）に部品を適切に移載できなくなってしまうことを回避できる。よって部品の移載時の取り扱いの精度を向上することができる。

【0100】

さらに測定部９５（測定プローブ１１０）によって部品の出力特性を測定する測定タイミングにおいても、測定側切換え弁８２Ｂによって吸引路８０に負圧を印加して、部品を載置台５０側に吸引保持可能となっている。したがって測定部９５における測定プローブ１１０が部品の電極に接触する際に、静電気等によって測定プローブ１１０側に部品が吸着してしまい、測定位置Ｐ２における収容凹部（載置部１００）から部品が脱落してしまうことを回避できる。よって部品特性の測定時の部品の取り扱いの精度を向上することができる。

【0101】

さらに、少なくとも測定プローブ１１０が部品の電極に接触した状態で、部品の出力特性の測定の開始から完了までの間は、吸引機構５００を通じて空気の吸引を行わないことで、吸引によって生じる気流に起因する測定誤差が生じてしまうことを回避できる。

【0102】

また負圧導入路８１の第一端の開口を、載置台５０と共に載置位置Ｐ１および測定位置Ｐ２まで回転する吸引路８０の第二端８０ｂの開口に対向する場所に配置しておき、載置台５０の移動によって、自動的に負圧導入路８１と吸引路８０が連通される。結果、負圧発生源となるポンプを載置台５０毎に設ける必要がなくなる。すなわちポンプを載置台５０とともに回転させる必要がなくなる。よって、載置台５０をコンパクトに構成できるとともに、設計強度を抑えることができ、コストダウンにつながるとともにポンプのレイアウトの自由度が高まる。

【0103】

更に、載置台５０において、複数の載置部１００に対して、吸引路８０が互いに独立して（互いにつながっていない状態で）設けられている。よって特定の載置部１００の吸引路８０に負圧を印加する最中であっても、他の載置部１００の吸引路８０に負圧が印加されないので、気流の影響が及ばないようになっている。更に、載置位置Ｐ１側の載置側負圧導入路８１Ａと、測定位置Ｐ２側の測定側負圧導入路８１Ｂが互いに独立している（連動動作しない）。よって部品の載置台５０への載置時と、部品の測定時とで、吸引動作開始、および吸引動作終了のタイミングを独立して制御可能となる。したがって部品の載置と測定とを同時に行う必要がなくなり、部品搬送処理装置１の制御の自由度が高まる。

【0104】

以上、本発明の部品搬送処理装置１は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、吸引路８０（吸引機構５００）の一端８０ａは、収容凹部（載置部１００）の側面に開口していてもよい。また、吸引機構５００は上記のような載置台５０に形成された吸引路である必要はない。例えば、吸引機構５００は収容凹部に連通するように接続された吸引管であってもよい。

【0105】

さらに、複数の吸引路８０（吸引機構５００）は互いに連通し、一つの負圧導入路８１によって複数の吸引路８０（複数の載置部１００）に負圧を導入しても良い。例えば、複数の部品を同時に測定プローブ１１０で測定する場合に有効である。この際、載置台５０のすべての吸引路８０（載置部１００）に同時に負圧を導入してもよい。

【0106】

更に、本実施形態では載置側負圧導入路８１Ａおよび測定側負圧導入路８１Ｂに独立した電磁弁（載置側導入切換え弁８２Ａ、測定側導入切換え弁８２Ｂ）を設けて、制御装置２５によって電磁弁を開閉制御する場合を例示したが、例えば、載置側ポンプおよび測定側ポンプ８２Ｂを別々に設けてもよい。これにより、載置側の負圧レベルと、測定側の負圧レベルを独立制御できる。この際、電磁弁の代わりに、各ポンプのＯＮ・ＯＦＦによって、負圧の印加タイミングを制御してもよい。

【0107】

また吸引路８０の第二端８０ｂは、載置台５０の円筒状の外周面に開口する場合に限られず、例えば載置台５０の背面や上面に開口していてもよい。

【0108】

なお、ここでは、載置位置Ｐ１において載置側切換え弁８２Ａを動作させて、吸引路８０に負圧を印加したり、負圧を停止したりする場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図９に示すように、載置側負圧導入路８１Ａに対して常に負圧を印加しておき、載置台５０を回転させて吸引路８０を載置位置Ｐ１に案内し、吸引路８０の第二端８０ｂを載置側負圧導入路８１Ａに対向させることで吸引路８０に自動的に負圧を印加しても良い。更に、載置台５０を回転させて、吸引路８０を載置位置Ｐ１から離反させることで、その第二端８０ｂを載置側負圧導入路８１Ａから非対向状態にして吸引路８０の負圧を停止してもよい。つまり、載置台５０の回転制御によって、吸引路８０の負圧のＯＮ・ＯＦＦを制御できる。測定位置Ｐ２においても同様に構成できる。

【0109】

また、ここでは載置範囲５０Ｘに形成される載置部１００が収容凹部である場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。載置部１００の構造は、搬送中の部品の位置ずれを抑制できる構造であれば良い。例えば載置部１００は、部品の周壁（角部を含む）に係合可能な複数の係合突起などで構成されても良い。この場合、載置部１００は、部品の搬送方向（ここでは載置台５０の周方向）の前後方向に部品と係合することで、搬送時の慣性による位置ずれを抑制することが好ましい。更に、載置台５０が回転する場合は、部品に作用する遠心力に抗するために、径方向の外側から部品と係合することも好ましい。

【0110】

更に、本実施形態では、図４及び図５に示すように、負圧導入路８１に導入切換え弁８２を設けることで、負圧導入路８１の負圧のＯＮ・ＯＦＦを切り替える構造を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、負圧導入路８１には負圧を常時案内しておき、負圧導入路８１の第一端（下流端）を往復移動自在とすることで、この第一端（下流端）を、吸引路８０の第二端８０ｂに近接させたり離反させたりすることで、負圧導入路８１と吸引路８０を連続・分離させることができる。

【0111】

また更に、本実施形態では、図７及び図８に示すように、収容凹部（載置部１００）が、直方体となる部品に合わせて、直方体形状の空間となる場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、収容凹部（載置部１００）の形状の変形例として、図１０（Ａ）に示すような、四角錐台を反転させた形状とすることができる。収容凹部（載置部１００）の４つの周壁は、上方から下方に向かって、対象部品Ｘを底面１００ａまで案内する傾斜面１００ｚとなる。これにより、収容凹部（載置部１００）の底面１００ａの外形と、対象部品Ｘの外形のクリアランスを小さく設定しつつも、収容凹部（載置部１００）の上縁開口１００ｗの外形は、対象部品Ｘの外形よりも大きく設定できるので、部品保持機構４５による対象部品Ｘの収容凹部（載置部１００）への載置時の要求精度を緩和させることができる。この際、図１０（Ｂ）に示すように、部品保持機構４５によって下降する対象部品Ｘが、収容凹部（載置部１００）の傾斜面１００ｚに干渉したとしても、吸引路８０による対象部品Ｘを吸引によって、図１０（Ｃ）のように、対象部品Ｘが底面１００ａに密着するまで案内される。

【0112】

例えば、代表的な電子部品である水晶発振器は、直方体の縦・横・高さの各辺寸法が１．０ｍｍ以下（具体的には縦外形寸法１．０ｍｍ以下、横外形寸法０．８ｍｍ以下、高さ外形寸法０．３ｍｍ以下）となる。このような小型の水晶発振器の表面に形成される矩形端子は、更に小さいサイズ（０．５ｍｍ角以下）となる。それ故に、測定プローブ１１０と部品の端子位置を合わせるために、収容凹部（載置部１００）内における部品の位置決め精度を高める必要があるものの、収容凹部（載置部１００）の上縁の開口と、部品の外形のクリアランスを小さくすると、部品保持機構４５によって、部品を収容凹部（載置部１００）内に導入すること自体の難易度が高まる。そこで、図１０のようにすれば、上縁開口１００ｗを大きく、底面１００ａを小さくして、周壁をテーパ構造にすることで、載置タイミングにおいて吸引路８０の負圧を組み合わせた部品案内機構を構成できる。

【0113】

さらに搬送装置１０の搬送経路Ｔが環状をなす場合には限定されない。例えば、搬送装置１０が直線状の搬送経路を有する直線コンベアであってもよい。

【符号の説明】

【0114】

１ 部品搬送処理装置
５ 搬出装置
１０ 搬送装置
２５ 制御装置
４５ 部品保持機構
５０ 載置台
５１ 部品供給領域
５２ 処理領域
５３ 部品搬出領域
６５ 部品供給装置
７０ 処理装置
８０ 吸引機構
８１ 負圧導入路
８１Ａ 載置側負圧導入路
８１Ｂ 測定側負圧導入路
８２Ａ 載置側切換え弁
８２Ｂ 測定側切換え弁
９５ 測定部
１００ 載置部
１１０ 測定プローブ
１２５ 移動機構
１３０ 熱移送部材
ＰＰ ポンプ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】