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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023049922
(43)【公開日】2023-04-10
(54)【発明の名称】多層構造体
(51)【国際特許分類】
B32B 3/14 20060101AFI20230403BHJP
H01L 23/36 20060101ALI20230403BHJP
B32B 7/027 20190101ALI20230403BHJP
【ＦＩ】
B32B3/14
H01L23/36 Z
B32B7/027
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021159947
(22)【出願日】2021-09-29
(71)【出願人】
【識別番号】000002174
【氏名又は名称】積水化学工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100207756
【弁理士】
【氏名又は名称】田口 昌浩
(74)【代理人】
【識別番号】100129746
【弁理士】
【氏名又は名称】虎山 滋郎
(74)【代理人】
【識別番号】100165021
【弁理士】
【氏名又は名称】千々松 宏
(72)【発明者】
【氏名】星山 裕希
(72)【発明者】
【氏名】乾 延彦
(72)【発明者】
【氏名】土屋 賢人
【テーマコード（参考）】
4F100
5F136
【Ｆターム（参考）】
4F100AA12B
4F100AA13B
4F100AK01B
4F100AK03B
4F100AK25B
4F100AK29B
4F100AK42A
4F100AK51B
4F100AK52B
4F100AL09B
4F100AT00A
4F100BA02
4F100CA23B
4F100DC21B
4F100DC22B
4F100DC23B
4F100DE01B
4F100DE02B
4F100DJ01B
4F100EA02
4F100GB41
4F100JJ01B
4F100JK02B
4F100JK05B
4F100JK12B
5F136BC07
5F136FA14
5F136FA16
5F136FA17
5F136FA18
5F136FA53
5F136FA62
5F136FA63
5F136FA82
(57)【要約】
【課題】放熱シート上に配置されるシート部材に放熱シートが付着することを抑制できる多層構造体を提供する。
【解決手段】本発明の多層構造体１は、フィルム２０と、フィルム２０の一方の主面２０ａ上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シート１０と、フィルムの一方の主面２０ａ上において放熱シート１０に並ぶように配置されるスペーサ３０とを備え、スペーサ３０が、放熱シート１０上に配置されるシート部材と放熱シート１０との接触を規制する。
【選択図】図１
【解決手段】本発明の多層構造体１は、フィルム２０と、フィルム２０の一方の主面２０ａ上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シート１０と、フィルムの一方の主面２０ａ上において放熱シート１０に並ぶように配置されるスペーサ３０とを備え、スペーサ３０が、放熱シート１０上に配置されるシート部材と放熱シート１０との接触を規制する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
フィルムと、前記フィルムの一方の主面上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シートと、前記フィルムの一方の主面上において前記放熱シートに並ぶように配置されるスペーサとを備え、
前記スペーサが、前記放熱シート上に配置されるシート部材と前記放熱シートとの接触を規制する、多層構造体。
前記スペーサが、前記放熱シート上に配置されるシート部材と前記放熱シートとの接触を規制する、多層構造体。
【請求項2】
前記多層積層体がロール状に巻き取られてなるものであり、
前記スペーサが、前記フィルムの前記一方の主面とは反対側の主面と前記放熱シートが接触することを規制する請求項１に記載の多層構造体。
前記スペーサが、前記フィルムの前記一方の主面とは反対側の主面と前記放熱シートが接触することを規制する請求項１に記載の多層構造体。
【請求項3】
前記スペーサが前記フィルムの前記一方の主面上に載置される請求項１又は２に記載の多層構造体。
【請求項4】
前記スペーサの厚み（ｄ１）及び前記放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が２５～１７５０μｍである請求項１～３のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項5】
前記スペーサの２５％圧縮強度は３０～３００ｋＰａである請求項１～４のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項6】
前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、前記長さ方向に並ぶ放熱シートの片側又は両側で、前記長さ方向に連続的にまたは断続的に設けられる請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、前記長さ方向に並ぶ放熱シートの片側又は両側で、前記長さ方向に連続的にまたは断続的に設けられる請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項7】
前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、個々の前記放熱シートを囲む請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、個々の前記放熱シートを囲む請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項8】
前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、隣接する前記放熱シートの間の間隔の中に設けられる請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、隣接する前記放熱シートの間の間隔の中に設けられる請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項9】
前記スペーサが発泡体である請求項１～８のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項10】
前記発泡体が、ポリオレフィン系樹脂発泡体又はポリウレタン系樹脂発泡体である請求項９に記載の多層構造体。
【請求項11】
前記放熱シートの表面のアスカーＣ硬度が１５以上である請求項１～１０のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項12】
前記放熱シートの引張強度が０．０５ＭＰａ以上である請求項１～１１のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項13】
前記放熱シートの３０％圧縮強度が２０００ｋＰａ以下である請求項１～１２のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項14】
前記放熱シートの前記樹脂がエラストマー樹脂、シリコーン樹脂又はアクリル樹脂である請求項１～１３のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項15】
前記放熱シートの前記熱伝導粒子が窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも１種の熱伝導粒子を含む請求項１～１４のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項16】
前記熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含み、
前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の角度で配向している請求項１～１５のいずれか１項に記載の多層構造体。
前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の角度で配向している請求項１～１５のいずれか１項に記載の多層構造体。
【請求項17】
前記放熱シートは真空吸着によりピックアップできる請求項１～１６のいずれか１項に記載の多層構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、放熱シートを備える多層構造体に関する。
【背景技術】
【0002】
長尺のテープ状フィルムにデバイスを一列に仮付けした多層構造体が従来技術として知られている（例えば、特許文献１参照）。この多層構造体では、ナイフエッジを備えたデバイス実装用フィーダーによって、デバイスがフィルムから剥離され、移載ヘッドによって、吸着、移載及び貼着が行われる。これにより、デバイスのアッセンブリを自動化することができる。
【0003】
放熱シートは、主に、半導体パッケージのような発熱体と、アルミニウムや銅等の放熱体との間に配置して、発熱体で発生する熱を放熱体に速やかに移動させる機能を有する（例えば、特許文献２、３参照）。上記デバイスと同様に、長尺のテープ状フィルムに放熱シートを一列に仮付けした多層構造体に、放熱シートも包装することにより、放熱シートのアッセンブリを自動化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－５０３８２号公報
【特許文献2】特開２０１２－３８７６３号公報
【特許文献3】特開２０１３－２５４８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、放熱シートの多層構造体が、放熱シートが一列に仮付けした長尺のテープ状フィルムがリールに巻かれているテーピングの形態である場合、フィルムに仮付けされていた放熱シートがフィルムの背面に付着してしまうという問題が生じる場合があった。
そこで、本発明は、長尺のテープ状フィルムをリールに巻くなどして放熱シートを載置したフィルム同士が重なっても、フィルムの背面に放熱シートが付着することを抑制できる放熱シートの多層構造体を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、長尺のテープ状フィルムをリールに巻くなどして放熱シートを載置したフィルム同士が重なっても、フィルムの背面に放熱シートが付着することを抑制できる放熱シートの多層構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明者は、鋭意検討の結果、放熱シートを載置したフィルムに所定のスペーサを設けることにより、上記の課題を解決できることを見出し、以下の発明を完成させた。本発明は、以下の［１］～［１７］を提供する。
［１］フィルムと、前記フィルムの一方の主面上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シートと、前記フィルムの一方の主面上において前記放熱シートに並ぶように配置されるスペーサとを備え、
前記スペーサが、前記放熱シート上に配置されるシート部材と前記放熱シートとの接触を規制する、多層構造体。
［２］前記多層積層体がロール状に巻き取られてなるものであり、
前記スペーサが、前記フィルムの前記一方の主面とは反対側の主面と前記放熱シートが接触することを規制する上記［１］に記載の多層構造体。
［３］前記スペーサが前記フィルムの前記一方の主面上に載置される上記［１］又は［２］に記載の多層構造体。
［４］前記スペーサの厚み（ｄ１）及び前記放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が２５～１，７５０μｍである上記［１］～［３］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［５］前記スペーサの２５％圧縮強度は３０～３００ｋＰａである上記［１］～［４］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［６］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、前記長さ方向に並ぶ放熱シートの片側又は両側で、前記長さ方向に連続的にまたは断続的に設けられる上記［１］～［５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［７］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、個々の前記放熱シートを囲む上記［１］～［６］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［８］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、隣接する前記放熱シートの間の間隔の中に設けられる上記［１］～［５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［９］前記スペーサが発泡体である上記［１］～［８］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１０］前記発泡体が、ポリオレフィン系樹脂発泡体又はポリウレタン系樹脂発泡体である上記［９］に記載の多層構造体。
［１１］前記放熱シートの表面のアスカーＣ硬度が１５以上である上記［１］～［１０］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１２］前記放熱シートの引張強度が０．０５ＭＰａ以上である上記［１］～［１１］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１３］前記放熱シートの３０％圧縮強度が２０００ｋＰａ以下である上記［１］～［１２］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１４］前記放熱シートの前記樹脂がエラストマー樹脂、シリコーン樹脂又はアクリル樹脂である上記［１］～［１３］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１５］前記放熱シートの前記熱伝導粒子が窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも１種の熱伝導粒子を含む上記［１］～［１４］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１６］前記熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含み、
前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の角度で配向している上記［１］～［１５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１７］前記放熱シートは真空吸着によりピックアップできる上記［１］～［１６］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１］フィルムと、前記フィルムの一方の主面上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シートと、前記フィルムの一方の主面上において前記放熱シートに並ぶように配置されるスペーサとを備え、
前記スペーサが、前記放熱シート上に配置されるシート部材と前記放熱シートとの接触を規制する、多層構造体。
［２］前記多層積層体がロール状に巻き取られてなるものであり、
前記スペーサが、前記フィルムの前記一方の主面とは反対側の主面と前記放熱シートが接触することを規制する上記［１］に記載の多層構造体。
［３］前記スペーサが前記フィルムの前記一方の主面上に載置される上記［１］又は［２］に記載の多層構造体。
［４］前記スペーサの厚み（ｄ１）及び前記放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が２５～１，７５０μｍである上記［１］～［３］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［５］前記スペーサの２５％圧縮強度は３０～３００ｋＰａである上記［１］～［４］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［６］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、前記長さ方向に並ぶ放熱シートの片側又は両側で、前記長さ方向に連続的にまたは断続的に設けられる上記［１］～［５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［７］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、個々の前記放熱シートを囲む上記［１］～［６］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［８］前記フィルムは、長さ方向と幅方向を有する長尺のテープ状フィルムであり、
複数の前記放熱シートが所定の間隔で前記長さ方向に並び、
前記スペーサは、隣接する前記放熱シートの間の間隔の中に設けられる上記［１］～［５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［９］前記スペーサが発泡体である上記［１］～［８］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１０］前記発泡体が、ポリオレフィン系樹脂発泡体又はポリウレタン系樹脂発泡体である上記［９］に記載の多層構造体。
［１１］前記放熱シートの表面のアスカーＣ硬度が１５以上である上記［１］～［１０］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１２］前記放熱シートの引張強度が０．０５ＭＰａ以上である上記［１］～［１１］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１３］前記放熱シートの３０％圧縮強度が２０００ｋＰａ以下である上記［１］～［１２］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１４］前記放熱シートの前記樹脂がエラストマー樹脂、シリコーン樹脂又はアクリル樹脂である上記［１］～［１３］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１５］前記放熱シートの前記熱伝導粒子が窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも１種の熱伝導粒子を含む上記［１］～［１４］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１６］前記熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含み、
前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の角度で配向している上記［１］～［１５］のいずれか１つに記載の多層構造体。
［１７］前記放熱シートは真空吸着によりピックアップできる上記［１］～［１６］のいずれか１つに記載の多層構造体。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、放熱シート上に配置されるシート部材に放熱シートが付着することを抑制できる多層構造体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図を参照して本発明の一実施形態の多層構造体１を説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態の多層構造体の斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の本発明の一実施形態の多層構造体のＡＡ断面図である。なお、本発明の多層構造体は、以下に説明する本発明の一実施形態の多層構造体１に何ら限定されるものではない。
【0010】
本発明の一実施形態の多層構造体１は、フィルム２０と、フィルム２０の一方の主面（第１の主面２０ａ）上に載置され、熱伝導粒子及び樹脂を含む放熱シート１０と、フィルム２０の一方の主面（第１の主面２０ａ）上において放熱シート１０に並ぶように配置されるスペーサ３０とを備える。スペーサ３０は、放熱シート１０上に配置されるシート部材と放熱シート１０との接触を規制する。
【0011】
本実施形態において、多層構造体１は、リール４０に巻かれてロール状に巻き取られてなるものである。したがって、本実施形態における多層構造体１の熱伝導性シート１０上には、フィルム２０がシート部材として配置され、スペーサ３０は、巻き取られたフィルム２０の一方の主面２０ａ上の放熱シート１０が、フィルム２０の反対側の主面２０ｂ（第２の主面２０ｂ、「背面」ともいう）に接触することを規制する。このような構成により、スペーサ３０は、例えば多層構造体１が巻き取られフィルム２０同士が重ね合わされても、放熱シート１０がフィルム２０の第２の主面（背面）２０ｂに付着することを防止する。
【0012】
図１（ａ）に示すように、フィルム２０は、長さ方向（Ｌ方向）と幅方向（Ｗ方向）を有する長尺のテープ状フィルムである。フィルム２０には、複数の放熱シート１０が載置され、複数の放熱シート１０は、所定の間隔で長さ方向（Ｌ方向）に並んでいる。スペーサ３０は、長さ方向（Ｌ方向）に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向（Ｌ方向）に連続的に延びている。これにより、放熱シート１０を載置したフィルム２０を重ねたとき、フィルム２０の背面（第２の主面２０ｂ）に放熱シート１０が付着することをより確実に抑制することができる。
【0013】
［放熱シート］
上述したように、放熱シート１０は熱伝導粒子及び樹脂を含む。
上述したように、放熱シート１０は熱伝導粒子及び樹脂を含む。
【0014】
（熱伝導粒子）
熱伝導粒子は、熱伝導率の高い粒子であれば特に限定されない。しかし、少ない使用量で、放熱シートの熱伝導率を効果的に向上させることができるという観点から、熱伝導粒子は、熱伝導性板状フィラーであることが好ましい。熱伝導性板状フィラーは、最大長／厚みが２．０より大きい形状を有する熱伝導性板状フィラーである。
熱伝導性フィラーの材質としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、水酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。
熱伝導粒子は、熱伝導率の高い粒子であれば特に限定されない。しかし、少ない使用量で、放熱シートの熱伝導率を効果的に向上させることができるという観点から、熱伝導粒子は、熱伝導性板状フィラーであることが好ましい。熱伝導性板状フィラーは、最大長／厚みが２．０より大きい形状を有する熱伝導性板状フィラーである。
熱伝導性フィラーの材質としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、水酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。
【0015】
炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
酸化物としては、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）（酸化アルミニウムの水和物（ベーマイトなど）を含む。）、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどが挙げられる。また、酸化物として、チタン酸バリウムなどの遷移金属酸化物などや、さらには、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。
水酸化物としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられる。
金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。
上記した中では、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも１種であることが好ましい。
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
酸化物としては、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）（酸化アルミニウムの水和物（ベーマイトなど）を含む。）、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどが挙げられる。また、酸化物として、チタン酸バリウムなどの遷移金属酸化物などや、さらには、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。
水酸化物としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられる。
金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。
上記した中では、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【0016】
これら熱伝導性板状フィラーは、単独使用または２種類以上併用することができる。熱伝導性の観点からは、窒化ホウ素、薄片化黒鉛の少なくとも何れかであることが好ましい。さらに電気絶縁性が要求される用途では、窒化ホウ素がより好ましい。
【0017】
熱伝導性板状フィラーの平均粒子径は、特に限定されないが、好ましくは１～４００μｍであり、より好ましくは５～３００μｍである。なお、熱伝導性板状フィラーの平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定により求められ、体積基準で、積算粒子量が５０％である粒子径を表す。
熱伝導性板状フィラーのアスペクト比は、上記の通り２以上であるが、好ましくは３以上となるものである。ここで、板状熱伝導粒子のアスペクト比は、粒子の最大長の厚みに対する比（最大長／厚み）を意味する。なお、アスペクト比は走査型電子顕微鏡で、十分な数（例えば２５０個）の熱伝導粒子を観察して平均値として求めるとよい。
熱伝導性板状フィラーのアスペクト比は、上記の通り２以上であるが、好ましくは３以上となるものである。ここで、板状熱伝導粒子のアスペクト比は、粒子の最大長の厚みに対する比（最大長／厚み）を意味する。なお、アスペクト比は走査型電子顕微鏡で、十分な数（例えば２５０個）の熱伝導粒子を観察して平均値として求めるとよい。
【0018】
熱伝導性板状フィラーは、市販品またはそれを加工した加工品を用いることができる。市販品としては、例えば、窒化ホウ素粒子の市販品などが挙げられる。窒化ホウ素粒子の市販品として、具体的には、例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製の「ＰＴ」シリーズ（例えば、「ＰＴ－１１０」など）、昭和電工社製の「ショービーエヌＵＨＰ」シリーズ（例えば、「ショービーエヌＵＨＰ－１」など）、デンカ株式会社製の「ＸＧＰ」、「ＳＧＰ」、「ＭＧＰ」及び「ＧＰ」などが挙げられる。
【0019】
熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含む場合、放熱シート１０では、樹脂中の熱伝導性板状フィラーは、その長軸が、放熱シート１０の主面１０ａに対して、好ましくは６０°以上の角度で配向している。熱伝導粒子の長軸が、放熱シート１０の主面１０ａに対して６０°以上の角度で配向している場合は、放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率を高くすることができる。放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率を高める観点から、熱伝導性板状フィラーの長軸が、放熱シート１０の主面１０ａに対して７０°以上の角度で配向していることがより好ましく、８０°以上の角度で配向していることがさらに好ましい。
上記角度を求める方法は特に限定されない。例えば、放熱シート１０において、熱伝導性板状フィラーの最も配向している方向、通常成形時の樹脂流動方向と平行な方向に、厚み方向の中央部分の薄膜切片を作製し、該薄膜切片を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により倍率３，０００倍で熱伝導性板状フィラーを観察する。観察された熱伝導性板状フィラーの長軸と、放熱シート１０において主面１０ａを構成する面とのなす角度を測定することにより、上記角度を求めることができる。本明細書において、６０°以上の角度とは、上記のように測定された値の平均値が６０°以上の角度であることを意味し、配向角度が６０°未満の熱伝導粒子の存在を否定するものではない。なお、なす角度が９０°を超える場合は、その補角を測定値とする。
上記角度を求める方法は特に限定されない。例えば、放熱シート１０において、熱伝導性板状フィラーの最も配向している方向、通常成形時の樹脂流動方向と平行な方向に、厚み方向の中央部分の薄膜切片を作製し、該薄膜切片を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により倍率３，０００倍で熱伝導性板状フィラーを観察する。観察された熱伝導性板状フィラーの長軸と、放熱シート１０において主面１０ａを構成する面とのなす角度を測定することにより、上記角度を求めることができる。本明細書において、６０°以上の角度とは、上記のように測定された値の平均値が６０°以上の角度であることを意味し、配向角度が６０°未満の熱伝導粒子の存在を否定するものではない。なお、なす角度が９０°を超える場合は、その補角を測定値とする。
【0020】
本発明の熱伝導シートは、熱伝導性粒子として熱伝導性板状フィラー以外のフィラーを使用してもよく、熱伝導性板状フィラーと、熱伝導性板状フィラー以外のフィラーを含有してもよい。また、熱伝導性シートは、熱伝導性粒子として、熱伝導性板状フィラーを含有せずに、熱伝導性板状フィラー以外のフィラーのみを含有してもよい。
熱伝導性板状フィラー以外のフィラーには、例えば、球状フィラーが挙げられる。球状フィラーの材質は上記の通りであるが、好ましくは、アルミナ、カーボンブラック、天然シリカ、乾式合成シリカ、湿式合成シリカ、炭酸カルシウム（パテライト）、ガラス系ビーズ、シリカ系ビーズ、球状金属系フィラーなどが挙げられる。これらのフィラーは、1種単独で使用してもよいし、２種類以上を併用することができる。
熱伝導性板状フィラー以外のフィラーには、例えば、球状フィラーが挙げられる。球状フィラーの材質は上記の通りであるが、好ましくは、アルミナ、カーボンブラック、天然シリカ、乾式合成シリカ、湿式合成シリカ、炭酸カルシウム（パテライト）、ガラス系ビーズ、シリカ系ビーズ、球状金属系フィラーなどが挙げられる。これらのフィラーは、1種単独で使用してもよいし、２種類以上を併用することができる。
【0021】
放熱シート１０における熱伝導粒子の含有量は、樹脂の１００質量部に対し、好ましくは５０～１，０００質量部、より好ましくは１００～５００質量部、さらに好ましくは１５０～４５０質量部である。
【0022】
（樹脂）
樹脂としては、特に限定されず、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エラストマー樹脂などの様々な樹脂を用いることができる。これらの樹脂の中で、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、及びエラストマー樹脂からなる群から選択された少なくとも一種の樹脂が好ましく、エラストマー樹脂がより好ましい。アクリル樹脂もしくはシリコーン樹脂を用いることにより、フィルムに粘着剤層を形成しなくても、フィルムに対する放熱シートの適切な面密着強度を得られる。また、エラストマー樹脂を用いることにより、放熱シートの引張強度等の機械的強度を改善することができる。
樹脂としては、特に限定されず、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エラストマー樹脂などの様々な樹脂を用いることができる。これらの樹脂の中で、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、及びエラストマー樹脂からなる群から選択された少なくとも一種の樹脂が好ましく、エラストマー樹脂がより好ましい。アクリル樹脂もしくはシリコーン樹脂を用いることにより、フィルムに粘着剤層を形成しなくても、フィルムに対する放熱シートの適切な面密着強度を得られる。また、エラストマー樹脂を用いることにより、放熱シートの引張強度等の機械的強度を改善することができる。
【0023】
エラストマー樹脂としては、例えば、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレン－プロピレン－ジエンゴム、エチレン－プロピレンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ポリブタジエンゴム、水素添加ポリブタジエンゴム、スチレン－ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン－ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン－ブタジエン－スチレンブロック共重合体、水素添加スチレン－イソプレンブロック共重合体、水素添加スチレン－イソプレン－スチレンブロック共重合体等が挙げられる。これらのエラストマー樹脂の中で、水素添加ポリブタジエンゴムが好ましい。
【0024】
上記アクリル樹脂の種類としては、特に制限されないが、アクリレート、メタクリレート、及びこれらの両方を含むモノマーを重合した重合体である。なお、以下では、アクリレート及びメタクリレートの一方又は両方を、（メタ）アクリレートと総称する。
アクリル樹脂は、通常、アルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位を有する。アルキル（メタ）アクリレートは、通常、アルキル基の炭素数が１２以下のものが使用され、好ましくはアルキル基の炭素数が３～１２のものが使用される。具体的には、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、ｎ－アミル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。
アクリル樹脂は、１種のみを用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
アクリル樹脂は、通常、アルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位を有する。アルキル（メタ）アクリレートは、通常、アルキル基の炭素数が１２以下のものが使用され、好ましくはアルキル基の炭素数が３～１２のものが使用される。具体的には、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、ｎ－アミル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。
アクリル樹脂は、１種のみを用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
【0025】
シリコーン樹脂の種類としては、特に制限されないが、縮合硬化型シリコーン樹脂、付加反応硬化型シリコーン樹脂のいずれでもよいが、付加反応硬化型シリコーン樹脂が好ましい。シリコーン樹脂は、シリコーン化合物を架橋剤により架橋させて硬化させたものが好ましい。シリコーン化合物としては、ビニル基などのアルケニル基を２つ以上有するオルガノポリシロキサンを使用することが好ましく、両末端にビニル基を有するオルガノポリシロキサンがより好ましい。両末端にビニル基を有するオルガノポリシロキサンとしては、ビニル両末端ポリジメチルシロキサン、ビニル両末端ポリフェニルメチルシロキサン、ビニル両末端ジメチルシロキサン－ジフェニルシロキサンコポリマー、ビニル両末端ジメチルシロキサン－フェニルメチルシロキサンコポリマー、ビニル両末端ジメチルシロキサン－ジエチルシロキサンコポリマーなどが挙げられる。
架橋剤としては、上記したシリコーン化合物を架橋できるものであれば限定されないが、ヒドロシリル基（ＳｉＨ）を２つ以上有する化合物が挙げられ、中でもヒドロシリル基を２つ以上有するポリオルガノシロキサン（以下、「ヒドロシリル基含有ポリオルガノシロキサン」ともいう）が好ましい。
ヒドロシリル基含有ポリオルガノシロキサンとしては、メチルヒドロシロキサン－ジメチルシロキサンコポリマー、ポリメチルヒドロシロキサン、ポリエチルヒドロシロキサン、メチルヒドロシロキサン－フェニルメチルシロキサンコポリマーなどが挙げられる。これらは、末端にヒドロシリル基を含有していてもよいが、含有していなくてもよく、例えば、両末端がトリメチルシリル基、トリエチルシリル基などによって封鎖されてもよい。シリコーン樹脂は、１種のみを用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
架橋剤としては、上記したシリコーン化合物を架橋できるものであれば限定されないが、ヒドロシリル基（ＳｉＨ）を２つ以上有する化合物が挙げられ、中でもヒドロシリル基を２つ以上有するポリオルガノシロキサン（以下、「ヒドロシリル基含有ポリオルガノシロキサン」ともいう）が好ましい。
ヒドロシリル基含有ポリオルガノシロキサンとしては、メチルヒドロシロキサン－ジメチルシロキサンコポリマー、ポリメチルヒドロシロキサン、ポリエチルヒドロシロキサン、メチルヒドロシロキサン－フェニルメチルシロキサンコポリマーなどが挙げられる。これらは、末端にヒドロシリル基を含有していてもよいが、含有していなくてもよく、例えば、両末端がトリメチルシリル基、トリエチルシリル基などによって封鎖されてもよい。シリコーン樹脂は、１種のみを用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
【0026】
また、樹脂は、常温で液状の樹脂を含むことが好ましい。また、常温で液状の樹脂と固体状の樹脂の双方を含んでもよいが、常温で液状の樹脂のみからなることがより好ましい。液状の樹脂を含むことで、放熱シートの製造時における熱伝導粒子との混練負荷を低減できるため、熱伝導粒子を均一に分散させやすくなり、熱伝導性が向上する。なお、常温で液状の樹脂とは、２０℃、１気圧（１．０１×１０－１ＭＰａ）の条件下において液状の樹脂のことを意味する。
液状の樹脂としては、例えば上記した樹脂の液状のものを用いることができ、好適な具体例として、液状アクリロニトリルブタジエンゴム、液状エチレンプロピレン共重合体、液状天然ゴム、液状ポリイソプレンゴム、液状ポリブタジエンゴム、液状水素化ポリブタジエンゴム、液状スチレン－ブタジエンブロック共重合体、液状水素化スチレン－ブタジエンブロック共重合体、液状アクリル樹脂、液状シリコーン樹脂などが挙げられる。
液状の樹脂としては、例えば上記した樹脂の液状のものを用いることができ、好適な具体例として、液状アクリロニトリルブタジエンゴム、液状エチレンプロピレン共重合体、液状天然ゴム、液状ポリイソプレンゴム、液状ポリブタジエンゴム、液状水素化ポリブタジエンゴム、液状スチレン－ブタジエンブロック共重合体、液状水素化スチレン－ブタジエンブロック共重合体、液状アクリル樹脂、液状シリコーン樹脂などが挙げられる。
【0027】
（放熱シートの熱伝導率）
放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率は、放熱シート１０の放熱性を良好とする観点から、好ましくは３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、より好ましくは５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、さらに好ましくは８Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。また、放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率は、通常、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以下であり、好ましくは７０Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。放熱シート１０の熱伝導率は、実施例に記載の方法で測定することができる。
放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率は、放熱シート１０の放熱性を良好とする観点から、好ましくは３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、より好ましくは５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、さらに好ましくは８Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。また、放熱シート１０の厚み方向の熱伝導率は、通常、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以下であり、好ましくは７０Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。放熱シート１０の熱伝導率は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0028】
（放熱シートの表面のアスカーＣ硬度）
放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、例えば１０以上、好ましくは１５以上であり、より好ましくは２５以上であり、さらに好ましくは３５以上である。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度が１５以上であると、真空ノズルを用いて、放熱シート１０を真空吸着でピックアップしたとき、放熱シートの表面にキズが発生することを抑制できる。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、好ましくは７０以下であり、より好ましくは６０以下であり、さらに好ましくは５０以下である。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度が７０以下であると、放熱シート１０の柔軟性が良好になる。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、例えば１０以上、好ましくは１５以上であり、より好ましくは２５以上であり、さらに好ましくは３５以上である。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度が１５以上であると、真空ノズルを用いて、放熱シート１０を真空吸着でピックアップしたとき、放熱シートの表面にキズが発生することを抑制できる。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、好ましくは７０以下であり、より好ましくは６０以下であり、さらに好ましくは５０以下である。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度が７０以下であると、放熱シート１０の柔軟性が良好になる。放熱シート１０の表面のアスカーＣ硬度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0029】
（放熱シートの引張強度）
放熱シート１０の引張強度は、例えば０．０３ＭＰａ以上、好ましくは０．０５ＭＰａ以上である。放熱シート１０の引張強度が０．０５ＭＰａ以上であると、真空ノズルを用いて、放熱シート１０を真空吸着でピックアップしたとき、放熱シートが変形することを抑制できる。このような観点から、放熱シート１０の引張強度は、より好ましくは０．１ＭＰａ以上であり、さらに好ましくは０．２ＭＰａ以上であり、よりさらに好ましくは０．４５ＭＰａ以上である。また、放熱シート１０の柔軟性の観点から、放熱シート１０の引張強度は、好ましくは２．０ＭＰａ以下であり、より好ましくは１．５ＭＰａ以下であり、さらに好ましくは１．０ＭＰａ以下である。放熱シート１０の引張強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
放熱シート１０の引張強度は、例えば０．０３ＭＰａ以上、好ましくは０．０５ＭＰａ以上である。放熱シート１０の引張強度が０．０５ＭＰａ以上であると、真空ノズルを用いて、放熱シート１０を真空吸着でピックアップしたとき、放熱シートが変形することを抑制できる。このような観点から、放熱シート１０の引張強度は、より好ましくは０．１ＭＰａ以上であり、さらに好ましくは０．２ＭＰａ以上であり、よりさらに好ましくは０．４５ＭＰａ以上である。また、放熱シート１０の柔軟性の観点から、放熱シート１０の引張強度は、好ましくは２．０ＭＰａ以下であり、より好ましくは１．５ＭＰａ以下であり、さらに好ましくは１．０ＭＰａ以下である。放熱シート１０の引張強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0030】
（放熱シートの３０％圧縮強度）
放熱シート１０の３０％圧縮強度は、例えば２５００ｋＰａ以下、好ましくは２０００ｋＰａ以下である。放熱シート１０の３０％圧縮強度が２０００ｋＰａ以下であると、放熱シート１０の柔軟性がさらに良好になる。このような観点から、放熱シート１０の３０％圧縮強度は、より好ましくは１，５００ｋＰａ以下であり、さらに好ましくは１，０００ｋＰａ以下である。また、放熱シート１０の取り扱い性を良好にするという観点から、本発明の熱伝導シートの３０％圧縮強度は、好ましくは１００ｋＰａ以上であり、より好ましくは２００ｋＰａ以上であり、さらに好ましくは５００ｋＰａ以上である。放熱シート１０の３０％圧縮強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
放熱シート１０の３０％圧縮強度は、例えば２５００ｋＰａ以下、好ましくは２０００ｋＰａ以下である。放熱シート１０の３０％圧縮強度が２０００ｋＰａ以下であると、放熱シート１０の柔軟性がさらに良好になる。このような観点から、放熱シート１０の３０％圧縮強度は、より好ましくは１，５００ｋＰａ以下であり、さらに好ましくは１，０００ｋＰａ以下である。また、放熱シート１０の取り扱い性を良好にするという観点から、本発明の熱伝導シートの３０％圧縮強度は、好ましくは１００ｋＰａ以上であり、より好ましくは２００ｋＰａ以上であり、さらに好ましくは５００ｋＰａ以上である。放熱シート１０の３０％圧縮強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0031】
（放熱シートの大きさ）
放熱シート１０の大きさは、放熱シート１０の上に搭載するデバイスに応じて、適宜変更することができる。放熱シートの上記長手方向（Ｌ方向）の長さは、通常０．５～１００ｍｍであり、上記幅方向（Ｗ方向）の長さは、通常０．５～１００ｍｍである。また、放熱シート１０の厚みは、通常５０～１０，０００μｍ、好ましくは１００～８，０００μｍである。放熱シート１０の形状は、特に限定されないが、矩形形状又は方形などであるとよい。
放熱シート１０の大きさは、放熱シート１０の上に搭載するデバイスに応じて、適宜変更することができる。放熱シートの上記長手方向（Ｌ方向）の長さは、通常０．５～１００ｍｍであり、上記幅方向（Ｗ方向）の長さは、通常０．５～１００ｍｍである。また、放熱シート１０の厚みは、通常５０～１０，０００μｍ、好ましくは１００～８，０００μｍである。放熱シート１０の形状は、特に限定されないが、矩形形状又は方形などであるとよい。
【0032】
（面密着強度）
フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、好ましくは１．０Ｎ／ｍｍ以下である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度が１．０Ｎ／ｍｍ以上であると、より確実に、フィルム２０に載置された放熱シート１０を真空吸着でフィルム１０からピックアップすることができる。このような観点から、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、より好ましくは０．８Ｎ／ｍｍ以下であり、さらに好ましくは０．６Ｎ／ｍｍ以下である。また、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、好ましくは０．０５Ｎ／ｍｍ以上である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度が０．０５Ｎ／ｍｍ以上であると、放熱シート１０をフィルム２０に、より確実に仮接着することができる。このような観点から、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、より好ましくは０．０７Ｎ／ｍｍ以上であり、さらに好ましくは０．０９Ｎ／ｍｍ以上である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、好ましくは１．０Ｎ／ｍｍ以下である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度が１．０Ｎ／ｍｍ以上であると、より確実に、フィルム２０に載置された放熱シート１０を真空吸着でフィルム１０からピックアップすることができる。このような観点から、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、より好ましくは０．８Ｎ／ｍｍ以下であり、さらに好ましくは０．６Ｎ／ｍｍ以下である。また、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、好ましくは０．０５Ｎ／ｍｍ以上である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度が０．０５Ｎ／ｍｍ以上であると、放熱シート１０をフィルム２０に、より確実に仮接着することができる。このような観点から、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、より好ましくは０．０７Ｎ／ｍｍ以上であり、さらに好ましくは０．０９Ｎ／ｍｍ以上である。フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0033】
（放熱シートの製造方法）
本発明の熱伝導シートの製造方法としては、特に限定されないが、例えば、樹脂と熱伝導粒子を混練して熱伝導性樹脂組成物を作製する混練工程と、前記熱伝導性樹脂組成物を積層して積層体を作製する積層工程を含む。
本発明の熱伝導シートの製造方法としては、特に限定されないが、例えば、樹脂と熱伝導粒子を混練して熱伝導性樹脂組成物を作製する混練工程と、前記熱伝導性樹脂組成物を積層して積層体を作製する積層工程を含む。
【0034】
本実施形態では、下記の各＜混練工程＞、＜積層工程＞を含む方法を用いて熱伝導シート１を得る。
さらに必要に応じて、＜スライス工程＞及び＜架橋工程＞を用いることも可能である。
さらに必要に応じて、＜スライス工程＞及び＜架橋工程＞を用いることも可能である。
【0035】
＜混練工程＞
熱伝導粒子と樹脂を混練して、熱伝導性樹脂組成物を作製する。
前記の混練は、例えば樹脂と熱伝導粒子とを、プラストミル等の二軸スクリュー混練機や二軸押出機等を用いて、加熱下において混練することが好ましく、これにより、熱伝導粒子が樹脂中に均一に分散された熱伝導性樹脂組成物を得ることができる。
熱伝導粒子と樹脂を混練して、熱伝導性樹脂組成物を作製する。
前記の混練は、例えば樹脂と熱伝導粒子とを、プラストミル等の二軸スクリュー混練機や二軸押出機等を用いて、加熱下において混練することが好ましく、これにより、熱伝導粒子が樹脂中に均一に分散された熱伝導性樹脂組成物を得ることができる。
【0036】
＜積層工程＞
積層工程では、混練工程で得た熱伝導性樹脂組成物を複数層に積層して積層体を作製する。
積層方法としては、例えば、混練工程で作製した熱伝導性樹脂組成物を複数層に積層して積層体を作製後、熱プレスを行い、その後、更に、分割と積層と上記の熱プレスを繰り返して、積層体の層数を増やす方法を用いることができる。
積層工程では、混練工程で得た熱伝導性樹脂組成物を複数層に積層して積層体を作製する。
積層方法としては、例えば、混練工程で作製した熱伝導性樹脂組成物を複数層に積層して積層体を作製後、熱プレスを行い、その後、更に、分割と積層と上記の熱プレスを繰り返して、積層体の層数を増やす方法を用いることができる。
【0037】
このように、複数回の成形によって、熱伝導性樹脂層の幅方向長さを狭めていく手法によれば、各回における成形圧を、１回の成形で行う場合に比べて、小さくすることができるため、成形に起因する積層構造の破壊等の現象を回避することができる。
【0038】
その他の積層方法として、例えば、多層形成ブロックを備える押出機を用い、前記多層形成ブロックを調製して、共押出し成形により、積層体を得る方法を用いることもできる。
【0039】
具体的には、第１の押出機及び第２の押出機の双方に混練工程で得た熱伝導性樹脂組成物を導入し、第１の押出機及び第２の押出機から熱伝導性樹脂組成物を同時に押出す。第１の押出機及び第２の押出機から押出された熱伝導性樹脂組成物は、フィードブロックに送られる。フィードブロックでは、第１の押出機及び上記第２の押出機から押出された熱伝導性樹脂組成物が合流する。それによって、熱伝導性樹脂組成物が積層された２層体を得ることができる。次に、上記の２層体を多層形成ブロックへと移送し、押出し方向に平行な方向であり、かつ積層面に垂直な複数の面に沿って２層体を複数に分割後、積層して、積層体を作製することができる。
本積層工程により、熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含む場合、熱伝導性板状フィラーの長軸は、積層体の各層の面方向の一方向に沿って配向させることができる。そのため、熱伝導性板状フィラーは、後述するスライス工程を経ることで、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の高い角度で配向させることができる。
本積層工程により、熱伝導粒子が熱伝導性板状フィラーを含む場合、熱伝導性板状フィラーの長軸は、積層体の各層の面方向の一方向に沿って配向させることができる。そのため、熱伝導性板状フィラーは、後述するスライス工程を経ることで、前記放熱シートの主面に対して６０°以上の高い角度で配向させることができる。
【0040】
＜スライス工程＞
積層工程で得た積層体を必要に応じて所望の高さになるよう積層し、圧力を掛けて合着した後、積層方向に対して平行方向にスライスすることにより、放熱シート１０を作製する。
積層工程で得た積層体を必要に応じて所望の高さになるよう積層し、圧力を掛けて合着した後、積層方向に対して平行方向にスライスすることにより、放熱シート１０を作製する。
【0041】
＜架橋工程＞
架橋工程では、電離性放射線を放熱シート１０に照射して、放熱シート１０を架橋する。これにより、放熱シート１０の粘着性を抑制することができる。電離性放射線としては、例えば、光、γ線、電子線等が挙げられる。電離性放射線の照射量は、１００～１，０００ｋＶの加速電圧で５０～８００ｋＧｙが好ましく、２００～８００ｋＶの加速電圧で１００～７００ｋＧｙがより好ましい。架橋工程は、樹脂がエラストマー樹脂である場合に行うことが好ましい。
架橋工程では、電離性放射線を放熱シート１０に照射して、放熱シート１０を架橋する。これにより、放熱シート１０の粘着性を抑制することができる。電離性放射線としては、例えば、光、γ線、電子線等が挙げられる。電離性放射線の照射量は、１００～１，０００ｋＶの加速電圧で５０～８００ｋＧｙが好ましく、２００～８００ｋＶの加速電圧で１００～７００ｋＧｙがより好ましい。架橋工程は、樹脂がエラストマー樹脂である場合に行うことが好ましい。
【0042】
上記工程を経ることにより、熱伝導粒子の長軸が、放熱シート１０の主面１０ａに対して６０°以上の角度で配向した放熱シート１０を得ることができる。
【0043】
［スペーサ］
上述したように、スペーサ３０は、放熱シート１０と、フィルム上に配置されるシート部材（本実施形態では、フィルム２０自体）との間の接触を規制する。
上述したように、スペーサ３０は、放熱シート１０と、フィルム上に配置されるシート部材（本実施形態では、フィルム２０自体）との間の接触を規制する。
【0044】
（厚み）
スペーサ３０の厚み（ｄ１）は、放熱シートの厚み（ｄ２）よりも大きいことが好ましい。厚み（ｄ１）を厚み（ｄ２）より大きくすることで、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制しやすくなる。
スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の間の差（ｄ１－ｄ２）は、シート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制することができれば特に限定されない。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）は、例えば２５～２，５００μｍであるが、好ましくは２５～１，７５０μｍである。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が２５μｍ以上であると、放熱シート１０及びシート部材（フィルム２０）の間の接触を防止して、例えば、放熱シート１０を載置したフィルム２０をリール４０に巻き取ったとき、フィルム２０の背面（主面２０ｂ）に放熱シート１０が付着することをより確実に抑制することができる。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が１，７５０μｍ以下であると、巻き巣、ピーキング等の巻き取り不良の発生を抑制して、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０などに巻き取ることができる。このような観点から、スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）は、より好ましくは４０～１，６００μｍであり、さらに好ましくは５０～１，５００μｍである。
スペーサ３０の厚み（ｄ１）は、放熱シートの厚み（ｄ２）よりも大きいことが好ましい。厚み（ｄ１）を厚み（ｄ２）より大きくすることで、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制しやすくなる。
スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の間の差（ｄ１－ｄ２）は、シート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制することができれば特に限定されない。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）は、例えば２５～２，５００μｍであるが、好ましくは２５～１，７５０μｍである。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が２５μｍ以上であると、放熱シート１０及びシート部材（フィルム２０）の間の接触を防止して、例えば、放熱シート１０を載置したフィルム２０をリール４０に巻き取ったとき、フィルム２０の背面（主面２０ｂ）に放熱シート１０が付着することをより確実に抑制することができる。スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）が１，７５０μｍ以下であると、巻き巣、ピーキング等の巻き取り不良の発生を抑制して、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０などに巻き取ることができる。このような観点から、スペーサ３０の厚み（ｄ１）及び放熱シートの厚み（ｄ２）の差（ｄ１－ｄ２）は、より好ましくは４０～１，６００μｍであり、さらに好ましくは５０～１，５００μｍである。
【0045】
（スペーサの幅）
スペーサ３０の幅は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制できれば、特に限定されないが、例えば１～５００ｍｍである。
スペーサ３０の幅は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制できれば、特に限定されないが、例えば１～５００ｍｍである。
【0046】
（２５％圧縮強度）
スペーサ３０の２５％圧縮強度は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制することができれば特に限定されない。スペーサ３０の２５％圧縮強度は、例えば３０～４００ｋＰａであり、好ましくは３０～３００ｋＰａである。スペーサ３０の２５％圧縮強度が３０ｋＰａ以上であると、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０に巻き取ったとき、スペーサ３０が潰れてフィルム２０の背面２０ｂに放熱シート１０が付着することを、より確実に抑制することができる。スペーサ３０の２５％圧縮強度が３００ｋＰａ以下であると、巻き巣、ピーキング等の巻き取り不良の発生を抑制して、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０に巻き取ることができる。また、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０から安定的に巻き出すことができる。このような観点から、スペーサ３０の２５％圧縮強度は、より好ましくは３５～２７０ｋＰａであり、さらに好ましくは４０～２５０ｋＰａである。スペーサ３０の２５％圧縮強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
スペーサ３０の２５％圧縮強度は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制することができれば特に限定されない。スペーサ３０の２５％圧縮強度は、例えば３０～４００ｋＰａであり、好ましくは３０～３００ｋＰａである。スペーサ３０の２５％圧縮強度が３０ｋＰａ以上であると、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０に巻き取ったとき、スペーサ３０が潰れてフィルム２０の背面２０ｂに放熱シート１０が付着することを、より確実に抑制することができる。スペーサ３０の２５％圧縮強度が３００ｋＰａ以下であると、巻き巣、ピーキング等の巻き取り不良の発生を抑制して、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０に巻き取ることができる。また、スペーサ３０を設けたフィルム２０をリール４０から安定的に巻き出すことができる。このような観点から、スペーサ３０の２５％圧縮強度は、より好ましくは３５～２７０ｋＰａであり、さらに好ましくは４０～２５０ｋＰａである。スペーサ３０の２５％圧縮強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0047】
（発泡体）
スペーサ３０の材質は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制できるものであれば、特に限定されない。スペーサ３０を容易に厚くできるという観点及びスペーサ３０を軽くできるという観点から、スペーサ３０は、好ましくは発泡体である。弾性に優れ、強度が比較的高く、製造コストが低いという観点から、発泡体の中でもポリオレフィン系樹脂発泡体及びポリウレタン系樹脂発泡体が好ましく、ポリウレタン系樹脂発泡体がより好ましい。
スペーサ３０の材質は、フィルム２０の上に配置されるシート部材（フィルム２０）と放熱シート１０との間の接触を規制できるものであれば、特に限定されない。スペーサ３０を容易に厚くできるという観点及びスペーサ３０を軽くできるという観点から、スペーサ３０は、好ましくは発泡体である。弾性に優れ、強度が比較的高く、製造コストが低いという観点から、発泡体の中でもポリオレフィン系樹脂発泡体及びポリウレタン系樹脂発泡体が好ましく、ポリウレタン系樹脂発泡体がより好ましい。
【0048】
［フィルム］
フィルム２０は、デバイスのテーピングの形態に通常使用されるものであれば、特に限定されない。テーピングの形態に通常使用されるフィルムには、例えば、ポリスチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどのポリオレフィンフィルムが挙げられる。これらのフィルムの中で、ポリエチレンテレフタレートフィルム、及びポリエチレンフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。
フィルム２０は、デバイスのテーピングの形態に通常使用されるものであれば、特に限定されない。テーピングの形態に通常使用されるフィルムには、例えば、ポリスチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどのポリオレフィンフィルムが挙げられる。これらのフィルムの中で、ポリエチレンテレフタレートフィルム、及びポリエチレンフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。
【0049】
（フィルムの厚み）
ナイフエッジにおいて、放熱シート１０がフィルム２０からより確実に剥離できるようにするために、フィルム２０から放熱シート１０を剥離するときに使用するナイフエッジの形状にフィルム２０が追従できることが好ましい。また、ナイフエッジの形状にフィルム２０が追従させるために、フィルム２０にテンションを与えるので、ナイフエッジによりフィルム２０が切断されにくいことが好ましい。このような観点から、フィルム２０の厚みは、例えば５～２５０μｍ、好ましくは２０～２００μｍであり、より好ましくは５０～２００μｍであり、さらに好ましくは５０～１５０μｍである。なお、フィルム２０のナイフエッジの形状への追従が不十分であると、放熱シート１０はフィルム２０から剥離しない場合がある。
ナイフエッジにおいて、放熱シート１０がフィルム２０からより確実に剥離できるようにするために、フィルム２０から放熱シート１０を剥離するときに使用するナイフエッジの形状にフィルム２０が追従できることが好ましい。また、ナイフエッジの形状にフィルム２０が追従させるために、フィルム２０にテンションを与えるので、ナイフエッジによりフィルム２０が切断されにくいことが好ましい。このような観点から、フィルム２０の厚みは、例えば５～２５０μｍ、好ましくは２０～２００μｍであり、より好ましくは５０～２００μｍであり、さらに好ましくは５０～１５０μｍである。なお、フィルム２０のナイフエッジの形状への追従が不十分であると、放熱シート１０はフィルム２０から剥離しない場合がある。
【0050】
（フィルムの幅）
フィルム２０の幅は、特に限定されないが、例えば１～５００ｍｍである。
フィルム２０の幅は、特に限定されないが、例えば１～５００ｍｍである。
【0051】
（フィルムのヤング率）
フィルムのヤング率は、特に限定されないが、例えば１～１０，０００ＭＰａである。また、フィルム２０から放熱シート１０を剥離するときに使用するナイフエッジの形状にフィルム２０が追従できるようにする観点から、フィルム２０のヤング率は、好ましくは１～６，０００ＭＰａであり、より好ましくは１００～５，０００ＭＰａであり、さらに好ましくは１０００～４，５００ＭＰａである。フィルム２０のヤング率は、実施例に記載の方法で測定することができる。
フィルムのヤング率は、特に限定されないが、例えば１～１０，０００ＭＰａである。また、フィルム２０から放熱シート１０を剥離するときに使用するナイフエッジの形状にフィルム２０が追従できるようにする観点から、フィルム２０のヤング率は、好ましくは１～６，０００ＭＰａであり、より好ましくは１００～５，０００ＭＰａであり、さらに好ましくは１０００～４，５００ＭＰａである。フィルム２０のヤング率は、実施例に記載の方法で測定することができる。
【0052】
（フィルムの凹凸）
フィルム２０は、放熱シート１０が載置されるフィルムの主面２０ａに凹凸が設けられてもよい。凹凸は、例えばエンボス加工により形成されるとよい。これにより、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度をより的確に調整することができる。例えば、エンボス加工により形成されたフィルム２０の凹部の深さ、凹部の面積等を調節することにより、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を調整できる。
例えば、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を１．０Ｎ／ｍｍ以下とする観点から、主面２０ａにおける凹部の深さは、好ましくは５～８０μｍであり、より好ましくは１０～７０μｍであり、さらに好ましくは２０～６０μｍである。また、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を１．０Ｎ／ｍｍ以下とする観点から、フィルム２０の主面２０ａにおいて、フィルム全体の面積対する凹部の占有面積の割合は、好ましくは５～９５％であり、より好ましくは１０～９０％であり、さらに好ましくは２０～８０％である。凹部の深さ及び凹部の占有面積の割合は、例えば、レーザー顕微鏡で表面形状解析することにより測定することができる。
フィルム２０は、放熱シート１０が載置されるフィルムの主面２０ａに凹凸が設けられてもよい。凹凸は、例えばエンボス加工により形成されるとよい。これにより、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度をより的確に調整することができる。例えば、エンボス加工により形成されたフィルム２０の凹部の深さ、凹部の面積等を調節することにより、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を調整できる。
例えば、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を１．０Ｎ／ｍｍ以下とする観点から、主面２０ａにおける凹部の深さは、好ましくは５～８０μｍであり、より好ましくは１０～７０μｍであり、さらに好ましくは２０～６０μｍである。また、フィルム２０に対する放熱シート１０の面密着強度を１．０Ｎ／ｍｍ以下とする観点から、フィルム２０の主面２０ａにおいて、フィルム全体の面積対する凹部の占有面積の割合は、好ましくは５～９５％であり、より好ましくは１０～９０％であり、さらに好ましくは２０～８０％である。凹部の深さ及び凹部の占有面積の割合は、例えば、レーザー顕微鏡で表面形状解析することにより測定することができる。
【0053】
（粘着剤層）
フィルム２０に放熱シート１０、又は放熱シート１０及びスペーサ３０を接着するために、フィルム２０の表面に、不図示の粘着剤層を形成してもよい。粘着剤層には、例えば、ゴム系粘着剤層、アクリル系粘着剤層、シリコーン系粘着剤層、ウレタン系粘着剤層などが挙げられる。これらの粘着剤層の中で、粘着性が優れているという観点及び安価に提供できるという観点から、アクリル系粘着剤層及びゴム系粘着剤層が好ましく、ゴム系粘着剤層がより好ましい。ゴム系粘着剤層に使用されるゴム系粘着剤には、例えば、天然ゴム系粘着剤、スチレン－ブタジエン（ＳＢＲ）系粘着剤、再生ゴム系粘着剤、ポリイソブチレンゴム系粘着剤、ブチルゴム系粘着剤、ブロックコポリマー系粘着剤等が挙げられる。粘着剤層の厚みは、例えば、１～２００μｍであり、好ましくは５～１００μｍである。
フィルム２０に放熱シート１０、又は放熱シート１０及びスペーサ３０を接着するために、フィルム２０の表面に、不図示の粘着剤層を形成してもよい。粘着剤層には、例えば、ゴム系粘着剤層、アクリル系粘着剤層、シリコーン系粘着剤層、ウレタン系粘着剤層などが挙げられる。これらの粘着剤層の中で、粘着性が優れているという観点及び安価に提供できるという観点から、アクリル系粘着剤層及びゴム系粘着剤層が好ましく、ゴム系粘着剤層がより好ましい。ゴム系粘着剤層に使用されるゴム系粘着剤には、例えば、天然ゴム系粘着剤、スチレン－ブタジエン（ＳＢＲ）系粘着剤、再生ゴム系粘着剤、ポリイソブチレンゴム系粘着剤、ブチルゴム系粘着剤、ブロックコポリマー系粘着剤等が挙げられる。粘着剤層の厚みは、例えば、１～２００μｍであり、好ましくは５～１００μｍである。
【0054】
なお、放熱シート１０が粘着性を有する場合は、フィルム２０の表面に粘着剤層を設けなくてもよい。また、放熱シート１０が強い粘着性を有する場合、放熱シート１０をフィルム２０から容易に剥離できるようにするために、フィルム２０の表面に剥離層を設けてもよい。また、粘着剤層を設けない場合、放熱シート１０及びフィルム２０との間の接着力を弱めるために、上記の通りフィルム２０の主面２０ａには、凹凸を設けることが好ましい。
【0055】
（多層構造体の使用方法）
本発明の一実施形態の多層構造体１は、例えば、リール４０から巻き出され、フィルム２０に載置されている放熱シート１０は、真空ノズルによりピックアップされる。巻き出されたフィルム２０は、ナイフエッジによって進行方向を鋭角に折り返されてもよく、折り返されることでフィルム２０から放熱シート１０が剥離され、剥離された放熱シート１０を真空ノズルによりピックアップすることも好ましい。放熱シート１０は、半導体デバイスのような剛性を有さないので、ナイフエッジにより剥離されながら真空ノズルにより吸着されることで適切にピックアップされる。
本発明の一実施形態の多層構造体１は、例えば、リール４０から巻き出され、フィルム２０に載置されている放熱シート１０は、真空ノズルによりピックアップされる。巻き出されたフィルム２０は、ナイフエッジによって進行方向を鋭角に折り返されてもよく、折り返されることでフィルム２０から放熱シート１０が剥離され、剥離された放熱シート１０を真空ノズルによりピックアップすることも好ましい。放熱シート１０は、半導体デバイスのような剛性を有さないので、ナイフエッジにより剥離されながら真空ノズルにより吸着されることで適切にピックアップされる。
【0056】
（多層構造体の製造方法）
本発明の一実施形態の多層構造体１の製造方法は、特に限定されない。多層構造体１は、例えば、表面に粘着剤層を形成したフィルムにスペーサを設けた後、フィルムの上に放熱シートを配置することにより作製することができる。また、本発明の一実施形態の多層構造体１を、例えば、以下のように作製してもよい。図２（ａ）に示すように、放熱シートを構成する放熱組成物の放熱組成物シート状成形体５０を、表面に粘着層を形成したフィルムに貼り付ける。次に、図２（ｂ）に示すように、放熱シートの輪郭に対応する部分５１が切断されるように、フィルムを除いて放熱組成物シート状成形体５０を打ち抜く（ハーフカット）。次に、図２（ｃ）に示すように、放熱組成物シート状成形体５０の不要部分を除去して、フィルム２０上に放熱シート１０を形成する。そして、図２（ｄ）に示すように、フィルム２０における放熱組成物シート状成形体の不要部分を除去した領域にスペーサ３０を貼り付けて、本発明の一実施形態の多層構造体１を作製してもよい。本製造方法では、粘着層の形成を省略してもよい。
本発明の一実施形態の多層構造体１の製造方法は、特に限定されない。多層構造体１は、例えば、表面に粘着剤層を形成したフィルムにスペーサを設けた後、フィルムの上に放熱シートを配置することにより作製することができる。また、本発明の一実施形態の多層構造体１を、例えば、以下のように作製してもよい。図２（ａ）に示すように、放熱シートを構成する放熱組成物の放熱組成物シート状成形体５０を、表面に粘着層を形成したフィルムに貼り付ける。次に、図２（ｂ）に示すように、放熱シートの輪郭に対応する部分５１が切断されるように、フィルムを除いて放熱組成物シート状成形体５０を打ち抜く（ハーフカット）。次に、図２（ｃ）に示すように、放熱組成物シート状成形体５０の不要部分を除去して、フィルム２０上に放熱シート１０を形成する。そして、図２（ｄ）に示すように、フィルム２０における放熱組成物シート状成形体の不要部分を除去した領域にスペーサ３０を貼り付けて、本発明の一実施形態の多層構造体１を作製してもよい。本製造方法では、粘着層の形成を省略してもよい。
【0057】
［本発明の一実施形態の多層構造体の変形例］
本発明の一実施形態の多層構造体１は、次のように変形することができる。
（変形例１）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図３（ａ）に示す多層構造体１Ａのように、スペーサ３０Ａは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の片側で、長さ方向に連続的に延びていてもよい。
本発明の一実施形態の多層構造体１は、次のように変形することができる。
（変形例１）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図３（ａ）に示す多層構造体１Ａのように、スペーサ３０Ａは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の片側で、長さ方向に連続的に延びていてもよい。
【0058】
（変形例２）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図３（ｂ）に示す多層構造体１Ｂ及び図３（ｃ）に示す多層構造体１Ｃのように、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に沿って断続的に配置されてもよい。なお、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の片側で、長さ方向に沿って断続的に配置されてもよい。ただし、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に沿って断続的に配置されることが好ましい。
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図３（ｂ）に示す多層構造体１Ｂ及び図３（ｃ）に示す多層構造体１Ｃのように、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に沿って断続的に配置されてもよい。なお、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の片側で、長さ方向に沿って断続的に配置されてもよい。ただし、スペーサ３０Ｂ，３０Ｃは、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に沿って断続的に配置されることが好ましい。
【0059】
（変形例３）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図４（ａ）に示す多層構造体１Ｄのように、スペーサ３０Ｄは、隣接する放熱シート１０の間の間隔の中に設けられてもよい。この場合、スペーサ３０Ｄは、幅方向に延び、長さ方向に並ぶ、隣接する放熱シート１０の間の間隔において、それぞれの間隔の中に設けられてもよい。また、図４（ｂ）に示す多層構造体１Ｅのように、スペーサ３０Ｅは、全ての間隔の中に設けられる必要はなく、隣接する放熱シート１０の間の間隔の中で幅方向に延び、長さ方向に並ぶ上記間隔において、例えば１つおきの間隔の中に、スペーサ３０Ｄが設けられてもよい。さらに、図示しないが、スペーサは、隣接する放熱シートの間の間隔の中で幅方向に延び、長さ方向に並ぶ、隣接する放熱シート１０の間の間隔において、２つ以上おきの間隔の中に、スペーサが設けられてもよい。
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図４（ａ）に示す多層構造体１Ｄのように、スペーサ３０Ｄは、隣接する放熱シート１０の間の間隔の中に設けられてもよい。この場合、スペーサ３０Ｄは、幅方向に延び、長さ方向に並ぶ、隣接する放熱シート１０の間の間隔において、それぞれの間隔の中に設けられてもよい。また、図４（ｂ）に示す多層構造体１Ｅのように、スペーサ３０Ｅは、全ての間隔の中に設けられる必要はなく、隣接する放熱シート１０の間の間隔の中で幅方向に延び、長さ方向に並ぶ上記間隔において、例えば１つおきの間隔の中に、スペーサ３０Ｄが設けられてもよい。さらに、図示しないが、スペーサは、隣接する放熱シートの間の間隔の中で幅方向に延び、長さ方向に並ぶ、隣接する放熱シート１０の間の間隔において、２つ以上おきの間隔の中に、スペーサが設けられてもよい。
【0060】
（変形例４）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図５に示す多層構造体１Ｆのように、スペーサ３０Ｆは、個々の放熱シート１０を囲んでもよい。この場合、多層構造体の製造時に放熱シート１０よりも先にスペーサ３０Ｆをフィルム上に配置することにより、放熱シート１０の位置合わせが容易になり、放熱シート１０を所定の位置に少ない誤差で配置できるようになる。そのため、放熱シート１０のピックアップなどを確実に行えるようになる。
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、長さ方向に並ぶ放熱シート１０の両側で、長さ方向に連続的に延びていた。しかし、図５に示す多層構造体１Ｆのように、スペーサ３０Ｆは、個々の放熱シート１０を囲んでもよい。この場合、多層構造体の製造時に放熱シート１０よりも先にスペーサ３０Ｆをフィルム上に配置することにより、放熱シート１０の位置合わせが容易になり、放熱シート１０を所定の位置に少ない誤差で配置できるようになる。そのため、放熱シート１０のピックアップなどを確実に行えるようになる。
【0061】
（変形例５）
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、フィルム２０の第１の主面２０ａ上に載置されていた。しかし、スペーサは、フィルム２０の第１の主面２０ａ上において前記放熱シートに並ぶように配置できる限り別の態様でもよい。
例えば、図６に示すように、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０の第２の主面２０ｂ上に載置されてもよい。この場合、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０がロール状に巻き取られることにより、フィルム２０の第１の主面２０ａ上において放熱シート１０に並ぶように配置される。そして、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０の第１の主面２０ａ上に載置された放熱シート１０が、フィルム２０自体（すなわち、フィルムの第２の主面２０ｂ）に接触することを規制することができる。
本発明の一実施形態の多層構造体１のスペーサ３０は、フィルム２０の第１の主面２０ａ上に載置されていた。しかし、スペーサは、フィルム２０の第１の主面２０ａ上において前記放熱シートに並ぶように配置できる限り別の態様でもよい。
例えば、図６に示すように、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０の第２の主面２０ｂ上に載置されてもよい。この場合、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０がロール状に巻き取られることにより、フィルム２０の第１の主面２０ａ上において放熱シート１０に並ぶように配置される。そして、スペーサ３０Ｇは、フィルム２０の第１の主面２０ａ上に載置された放熱シート１０が、フィルム２０自体（すなわち、フィルムの第２の主面２０ｂ）に接触することを規制することができる。
【0062】
（変形例６）
本発明の一実施形態の多層構造体１はテーピングの形態であった。しかし、本発明の一実施形態の多層構造体の形態は、放熱シート、フィルム及びスペーサを備える多層構造体の形態であれば、特に限定されない。例えば、図７に示す多層構造体１Ｈのように、放熱シート１０が縦方向及び横方向に並ぶトレイの形態であってもよい。
この場合、別の多層構造体（シート部材）にスペーサが設けられてもよい。例えば、別の多層構造体１Ｈの放熱シート１０が設けられる主面とは反対側の主面２０ｂにスペーサ３０Ｈが設けられてもよい。このような構成によれば、多層構造体１Ｈを他の多層構造体１Ｈに重ねたとき、スペーサ３０Ｈは、放熱シート１０と、他の多層構造体１Ｈのフィルム２０Ｈとの間の接触を規制することができる。
本発明の一実施形態の多層構造体１はテーピングの形態であった。しかし、本発明の一実施形態の多層構造体の形態は、放熱シート、フィルム及びスペーサを備える多層構造体の形態であれば、特に限定されない。例えば、図７に示す多層構造体１Ｈのように、放熱シート１０が縦方向及び横方向に並ぶトレイの形態であってもよい。
この場合、別の多層構造体（シート部材）にスペーサが設けられてもよい。例えば、別の多層構造体１Ｈの放熱シート１０が設けられる主面とは反対側の主面２０ｂにスペーサ３０Ｈが設けられてもよい。このような構成によれば、多層構造体１Ｈを他の多層構造体１Ｈに重ねたとき、スペーサ３０Ｈは、放熱シート１０と、他の多層構造体１Ｈのフィルム２０Ｈとの間の接触を規制することができる。
【0063】
本発明の一実施形態の多層構造体及び本発明の一実施形態の多層構造体の変形例１～６は、任意に組み合わせることができる。
なお、リールから巻き出す際の安定性の観点からは、放熱シート１０それぞれの両側にスペーサを配置し、両側に配置されたスペーサで放熱シート１０を挟み込むように配置することが好ましい。すなわち、図３（ａ）、図３（ｃ）のように放熱シート１０がスペーサにより挟まれない態様や、図４（ｂ）に示すように、複数の放熱シート１０がスペーサにより挟まれる態様に比べて、図２（ｄ）、図４（ａ）、図５、図３（ｂ）に示す通り、各々の放熱シート１０がスペーサにより挟み込まれるように配置されることでリールから巻き出す際の安定性を確保しやすくなる。
なお、リールから巻き出す際の安定性の観点からは、放熱シート１０それぞれの両側にスペーサを配置し、両側に配置されたスペーサで放熱シート１０を挟み込むように配置することが好ましい。すなわち、図３（ａ）、図３（ｃ）のように放熱シート１０がスペーサにより挟まれない態様や、図４（ｂ）に示すように、複数の放熱シート１０がスペーサにより挟まれる態様に比べて、図２（ｄ）、図４（ａ）、図５、図３（ｂ）に示す通り、各々の放熱シート１０がスペーサにより挟み込まれるように配置されることでリールから巻き出す際の安定性を確保しやすくなる。
【0064】
本発明の一実施形態の多層構造体及び本発明の一実施形態の多層構造体の変形例１～６は、本発明の多層構造体の一例にすぎない。したがって、本発明の多層構造体は、本発明の一実施形態の多層構造体及び本発明の一実施形態の多層構造体の変形例１～６に限定されない。
【実施例0065】
以下に本発明の実施例を説明する。ただし、本発明は実施例に限定されるものではない。
【0066】
（実施例１）
（放熱シートの作製）
水素添加ポリブタジエンゴム（商品名「Ｌ－１２０３」、株式会社クラレ製、液状）１００質量部、窒化ホウ素（デンカ株式会社製、商品名「ＳＧＰ」、板状（鱗片状）、平均粒子径１８μｍ、アスペクト比８１）３４０質量部を溶融混練後、これを多層成型ブロック製造用押出機で押出し、１層あたりの厚みが１，０００μｍ（熱伝導性樹脂層の幅が１，０００μｍ）であり、これが１０層積層された多層成形ブロックを得た。該多層成形ブロックの積層面に垂直な面がシート面となるようにして、多層成型ブロックをスライスして、１，０００μｍの厚みを有する放熱シートを得た。得られた放熱シートに加速電圧７５０ｋＶの電子線を１５０ｋＧｙ照射し、さらに加速電圧３００ｋＶの電子線を６００ｋＧｙ照射して、放熱シートを得た。
（放熱シートの作製）
水素添加ポリブタジエンゴム（商品名「Ｌ－１２０３」、株式会社クラレ製、液状）１００質量部、窒化ホウ素（デンカ株式会社製、商品名「ＳＧＰ」、板状（鱗片状）、平均粒子径１８μｍ、アスペクト比８１）３４０質量部を溶融混練後、これを多層成型ブロック製造用押出機で押出し、１層あたりの厚みが１，０００μｍ（熱伝導性樹脂層の幅が１，０００μｍ）であり、これが１０層積層された多層成形ブロックを得た。該多層成形ブロックの積層面に垂直な面がシート面となるようにして、多層成型ブロックをスライスして、１，０００μｍの厚みを有する放熱シートを得た。得られた放熱シートに加速電圧７５０ｋＶの電子線を１５０ｋＧｙ照射し、さらに加速電圧３００ｋＶの電子線を６００ｋＧｙ照射して、放熱シートを得た。
【0067】
（多層構造体の作製）
フィルムの原反ロール（ポリエチレンテレフタレート、商品名「ルミラー #１００-Ｓ１０」、東レ社製、厚み：１００μｍ、ヤング率：４，１００ＭＰａ）を用意した。スリッターを用いて原反ロールを１００ｍｍの幅に切断し、長尺のテープ状フィルムを作製した。このテープ状フィルムの表面にゴム系粘着剤（商品名「オリバイン ＢＰＳ５０７９－１」、トーヨーケム社製）を塗布し、１００℃の温度で乾燥して、１０μｍの厚みを有する粘着剤層を表面に備えたフィルムを作製した。
フィルムの原反ロール（ポリエチレンテレフタレート、商品名「ルミラー #１００-Ｓ１０」、東レ社製、厚み：１００μｍ、ヤング率：４，１００ＭＰａ）を用意した。スリッターを用いて原反ロールを１００ｍｍの幅に切断し、長尺のテープ状フィルムを作製した。このテープ状フィルムの表面にゴム系粘着剤（商品名「オリバイン ＢＰＳ５０７９－１」、トーヨーケム社製）を塗布し、１００℃の温度で乾燥して、１０μｍの厚みを有する粘着剤層を表面に備えたフィルムを作製した。
【0068】
このフィルムの全面に放熱シートを貼り付けた。次に、抜き刃を使用して、放熱シートを貼り付けたフィルムを２．０ｍｍ×２．０ｍｍの大きさにハーフカットした。そして、放熱シートの不要部分をフィルムから剥がして、長さ方向に並ぶ複数の２．０ｍｍ×２．０ｍｍの大きさの放熱シートを表面に備えたフィルムを作製した。
【0069】
発泡体の原反ロール（ポリオレフィン系発泡体、商品名「ＷＬ１０」、積水化学工業社製、厚み：１，０５０μｍ、２５％圧縮強度：５０ｋＰａ）を用意した。スリッターを用いて原反ロールを１００ｍｍの幅に切断して、テープ状発泡体を作製した。フィルムにおける長さ方向に並ぶ、隣接する放熱シートの間の間隔において、それぞれの間隔の中に幅方向に延びるようにテープ状発泡体を貼り付けた後、放熱シート及び長尺のテープ状発泡体を貼り付けたフィルムを３０ｋＰａの線圧を有する加圧ローラを通過させ、リールに巻いて、実施例１の多層構造体を作製した。多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状は、図４（ａ）に示す通りであった。
【0070】
（実施例２）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例２の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例２の多層構造体を作製した。
【0071】
（実施例３）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例２の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例２の多層構造体を作製した。
【0072】
（実施例４）
（放熱シートの作製）
放熱シートの厚みを１，０００μｍから２，０００μｍに変更した以外は、上記放熱シートと同様な方法で放熱シートを作製した。
（放熱シートの作製）
放熱シートの厚みを１，０００μｍから２，０００μｍに変更した以外は、上記放熱シートと同様な方法で放熱シートを作製した。
【0073】
（多層構造体の作製）
厚みを１，０００μｍから２，０００μｍに変更した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｌ-２４」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例４の多層構造体を作製した。
厚みを１，０００μｍから２，０００μｍに変更した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｌ-２４」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例４の多層構造体を作製した。
【0074】
（実施例５）
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ-４８」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：２５０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例５の多層構造体を作製した。
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ-４８」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：２５０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例５の多層構造体を作製した。
【0075】
（実施例６）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例６の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例６の多層構造体を作製した。
【0076】
（実施例７）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図２（ｄ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例７の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図２（ｄ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例７の多層構造体を作製した。
【0077】
（実施例８）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図５に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例８の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図５に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例８の多層構造体を作製した。
【0078】
（実施例９）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ｂ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例８の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ｂ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例８の多層構造体を作製した。
【0079】
（実施例１０）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：３，０００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１０の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：３，０００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１０の多層構造体を作製した。
【0080】
（実施例１１）
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「ＨＨ-４８」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：３９０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１１の多層構造体を作製した。
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「ＨＨ-４８」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：３９０ｋＰａ）を使用した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１１の多層構造体を作製した。
【0081】
（実施例１２）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ａ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１２の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ａ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１２の多層構造体を作製した。
【0082】
（実施例１３）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図４（ｂ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１３の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図４（ｂ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１３の多層構造体を作製した。
【0083】
（実施例１４）
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ｃ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１４の多層構造体を作製した。
ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「Ｈ－３２」、ロジャースイノアック社製、厚み：１，５００μｍ、２５％圧縮強度：１４０ｋＰａ）を使用した。そして、フィルムにおけるテープ状発泡体の貼り付け位置を、多層構造体の平面形状として、放熱シートに対するスペーサの配置の関係で決定する開口形状が、図３（ｃ）に示す通りとなるように変更した。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、実施例１４の多層構造体を作製した。
【0084】
（比較例１）
発泡体の原反ロール（ポリオレフィン系発泡体、商品名「ＷＬ１０」、積水化学工業社製、厚み：１，０２０μｍ、２５％圧縮強度：５０ｋＰａ）を使用した。スペーサの厚みを薄くしたことで、スペーサが、放熱シート上に配置されるシート部材と放熱シートとの接触を規制できなくなった。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、比較例１の多層構造体を作製した。
発泡体の原反ロール（ポリオレフィン系発泡体、商品名「ＷＬ１０」、積水化学工業社製、厚み：１，０２０μｍ、２５％圧縮強度：５０ｋＰａ）を使用した。スペーサの厚みを薄くしたことで、スペーサが、放熱シート上に配置されるシート部材と放熱シートとの接触を規制できなくなった。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、比較例１の多層構造体を作製した。
【0085】
（比較例２）
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「ＬＥ-２０」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：２０ｋＰａ）を使用した。スペーサの材料を変更したことで、スペーサが、放熱シート上に配置されるシート部材と放熱シートとの接触を規制できなくなった。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、比較例２の多層構造体を作製した。
実施例４と同様の方法で製造した放熱シートを使用し、ポリオレフィン系発泡体の原反ロールの代わりに発泡体の原反ロール（ポリウレタン系発泡体、商品名「ＬＥ-２０」、ロジャースイノアック社製、厚み：２，１００μｍ、２５％圧縮強度：２０ｋＰａ）を使用した。スペーサの材料を変更したことで、スペーサが、放熱シート上に配置されるシート部材と放熱シートとの接触を規制できなくなった。それ以外は、実施例１の多層構造体と同様な方法で、比較例２の多層構造体を作製した。
【0086】
（放熱シートの評価）
（１）熱伝導粒子の配向角度の測定
放熱シートの断面を走査型電子顕微鏡（株式会社日立製作所製 Ｓ－４７００）で観察した。倍率３０００倍の観察画像から、任意の２０個の熱伝導粒子について、シート面とのなす角を測定し、その平均値を配向角度とした。
（１）熱伝導粒子の配向角度の測定
放熱シートの断面を走査型電子顕微鏡（株式会社日立製作所製 Ｓ－４７００）で観察した。倍率３０００倍の観察画像から、任意の２０個の熱伝導粒子について、シート面とのなす角を測定し、その平均値を配向角度とした。
【0087】
（２）熱伝導率の測定
２５ｍｍ角の放熱シートのセラミックヒーターと水冷式放熱板の間に挟み、加熱した。２０分間経過した後、セラミックヒーターの温度Ｔ１と水冷式放熱板の温度Ｔ２を測定し、セラミックヒーターの印加電力Ｗ、放熱シートの厚さｔ、放熱シートの面積Ｓを下記式に代入して熱伝導率λを算出した。
λ＝ｔ×Ｗ／｛Ｓ×（Ｔ１‐Ｔ２）｝
（３）３０％圧縮強度
得られた放熱シートの３０％圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を２ｍｍ×１５ｍｍ×１５ｍｍに調整し、測定温度を２３℃、圧縮速度を１ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（４）引張強度
得られた放熱シートの引張強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を１．５ｍｍ×１０ｍｍ×６０ｍｍ、測定温度を２３℃、引張速度を５００ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（５）アスカーＣ硬度
２５ｍｍ角の放熱シートを、厚み１０ｍｍ以上となるように積層し、アスカーゴム硬度計Ｃ型（高分子計器株式会社製）で２３℃にて測定した。
（６）面密着強度
放熱シートの面密着強度を以下（ｉ）～（ｉｉｉ）により測定した。
（ｉ）厚さ１０ｍｍ大きさ５０ｍｍ×５０ｍｍのポリカーボネート板２１１、平板部２１３ａ（大きさ２５ｍｍ×２５ｍｍ）と、平板部２１３ａの中心部から鉛直上に固定された板状部材２１３ｂ（長さ２５ｍｍ）とからなるＴ型アルミ治具（Ａ５０５２）２１３を準備した（図８参照）。さらに、両面粘着テープ２１２（商品名「ダブルタックテープ Ｎｏ．５７０Ｅ」、積水化学工業株式会社製）、及びフィルム２０上に仮接着した放熱シート１０のサンプルを準備した（図８参照）。
（ｉｉ）図８に示すように、ポリカーボネート板２１１と、Ｔ型アルミ治具２１３の平板部２１３ａにそれぞれ両面粘着テープ２１２を用いて放熱シート１０とフィルム２０をそれぞれ貼付けた。
（ｉｉｉ）上記（ｉｉ）の状態で２３℃、1時間養生させた後、ポリカーボネート板を引張試験機（Ａ＆Ｄ製、テンシロンＲＴＧ－１３１０）に固定し、Ｔ型アルミ治具１３を上方に１．０ｍｍ／分で引張り、放熱シート１０とフィルム２０の界面で剥離する、もしくは放熱シート１０が凝集破壊する際の応力（Ｎ／ｍｍ２）を測定した。なお、測定はチャック間距離０．１７ｍｍ、標線間距離０．１７ｍｍの条件で行い、両面粘着テープ２１２の界面など上記以外の箇所で剥離が起こった場合にはより密着力の強い両面粘着テープを使用することとした。そして、この測定において、応力の最大値を「面密着強度」とした。
２５ｍｍ角の放熱シートのセラミックヒーターと水冷式放熱板の間に挟み、加熱した。２０分間経過した後、セラミックヒーターの温度Ｔ１と水冷式放熱板の温度Ｔ２を測定し、セラミックヒーターの印加電力Ｗ、放熱シートの厚さｔ、放熱シートの面積Ｓを下記式に代入して熱伝導率λを算出した。
λ＝ｔ×Ｗ／｛Ｓ×（Ｔ１‐Ｔ２）｝
（３）３０％圧縮強度
得られた放熱シートの３０％圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を２ｍｍ×１５ｍｍ×１５ｍｍに調整し、測定温度を２３℃、圧縮速度を１ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（４）引張強度
得られた放熱シートの引張強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を１．５ｍｍ×１０ｍｍ×６０ｍｍ、測定温度を２３℃、引張速度を５００ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（５）アスカーＣ硬度
２５ｍｍ角の放熱シートを、厚み１０ｍｍ以上となるように積層し、アスカーゴム硬度計Ｃ型（高分子計器株式会社製）で２３℃にて測定した。
（６）面密着強度
放熱シートの面密着強度を以下（ｉ）～（ｉｉｉ）により測定した。
（ｉ）厚さ１０ｍｍ大きさ５０ｍｍ×５０ｍｍのポリカーボネート板２１１、平板部２１３ａ（大きさ２５ｍｍ×２５ｍｍ）と、平板部２１３ａの中心部から鉛直上に固定された板状部材２１３ｂ（長さ２５ｍｍ）とからなるＴ型アルミ治具（Ａ５０５２）２１３を準備した（図８参照）。さらに、両面粘着テープ２１２（商品名「ダブルタックテープ Ｎｏ．５７０Ｅ」、積水化学工業株式会社製）、及びフィルム２０上に仮接着した放熱シート１０のサンプルを準備した（図８参照）。
（ｉｉ）図８に示すように、ポリカーボネート板２１１と、Ｔ型アルミ治具２１３の平板部２１３ａにそれぞれ両面粘着テープ２１２を用いて放熱シート１０とフィルム２０をそれぞれ貼付けた。
（ｉｉｉ）上記（ｉｉ）の状態で２３℃、1時間養生させた後、ポリカーボネート板を引張試験機（Ａ＆Ｄ製、テンシロンＲＴＧ－１３１０）に固定し、Ｔ型アルミ治具１３を上方に１．０ｍｍ／分で引張り、放熱シート１０とフィルム２０の界面で剥離する、もしくは放熱シート１０が凝集破壊する際の応力（Ｎ／ｍｍ２）を測定した。なお、測定はチャック間距離０．１７ｍｍ、標線間距離０．１７ｍｍの条件で行い、両面粘着テープ２１２の界面など上記以外の箇所で剥離が起こった場合にはより密着力の強い両面粘着テープを使用することとした。そして、この測定において、応力の最大値を「面密着強度」とした。
【0088】
（スペーサの評価）
（１）２５％圧縮強度
得られたスペーサの２５％圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を２ｍｍ×１５ｍｍ×１５ｍｍに調整し、測定温度を２３℃、圧縮速度を１ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（２）開口形状
開口形状は、放熱シートにおけるスペーサの配置されていない箇所の平面形状であり、放熱シートに対するスペーサの配置の関係性を以下により分類した。
開口形状Ａ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図４（ａ）に示す形状。
開口形状Ｂ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図２（ｄ）に示す形状。
開口形状Ｃ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図５に示す形状。
開口形状Ｄ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ｂ）に示す形状。
開口形状Ｅ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ａ）に示す形状。
開口形状Ｆ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図４（ｂ）に示す形状。
開口形状Ｇ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ｃ）に示す形状。
（１）２５％圧縮強度
得られたスペーサの２５％圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」を用いて測定した。サンプル寸法を２ｍｍ×１５ｍｍ×１５ｍｍに調整し、測定温度を２３℃、圧縮速度を１ｍｍ／ｍｉｎとして測定を行った。
（２）開口形状
開口形状は、放熱シートにおけるスペーサの配置されていない箇所の平面形状であり、放熱シートに対するスペーサの配置の関係性を以下により分類した。
開口形状Ａ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図４（ａ）に示す形状。
開口形状Ｂ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図２（ｄ）に示す形状。
開口形状Ｃ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図５に示す形状。
開口形状Ｄ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ｂ）に示す形状。
開口形状Ｅ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ａ）に示す形状。
開口形状Ｆ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図４（ｂ）に示す形状。
開口形状Ｇ：放熱シートに対するスペーサの配置の関係が図３（ｃ）に示す形状。
【0089】
（フィルムの評価）
（１）ヤング率
２３℃の雰囲気下、幅２５mmのフィルムをエー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」にて引張速度３００ｍｍ／分、チャック間隔１００ｍｍの条件で引張り、そのＳ－Ｓ曲線の応力の立上り部の接線からヤング率（引張弾性率）を求めた。
（１）ヤング率
２３℃の雰囲気下、幅２５mmのフィルムをエー・アンド・ディ社製「ＲＴＧ－１２５０」にて引張速度３００ｍｍ／分、チャック間隔１００ｍｍの条件で引張り、そのＳ－Ｓ曲線の応力の立上り部の接線からヤング率（引張弾性率）を求めた。
【0090】
（多層構造体の評価）
（１）フィルム背面への転写評価
リールからフィルムを巻き出し、フィルムの背面に放熱シートが付着しているかを調べた。
Ａ：フィルムの背面への放熱シートの付着なし。
Ｂ：フィルムの背面への放熱シートの付着あり。
（２）巻き不良評価
巻き取り不良なくフィルムがリールに巻き取られているかを調べた。
Ａ：巻き取り不良なし。
Ｂ：巻き取り不良あり。
（３）搬送安定性
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いてリールからフィルムを巻き出したとき、安定的に巻き出すことができるかを調べた。
Ａ：フィルムの巻き出しが安定していた。
Ｂ：フィルムの巻き出しが不安定であった。
（４）ナイフエッジでのフィルム剥離評価
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いてナイフエッジ部において、放熱シートがフィルムから剥離されているかを調べた。
Ａ：全ての放熱シートがフィルムから剥離された。
Ｂ：フィルムから剥離されない放熱シートがあった。
（５）ピックアップ評価
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、フィルムから放熱シートを、吸着ノズルを用いてピックアップできるかを調べた。
Ａ：放熱シートをピックアップできた。
Ｂ：放熱シートをピックアップできなかった。
（６）放熱シートのピックアップ後の表面のキズの有無。
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、吸着ノズル用いてピックアップした後の放熱シートの表面のキズの有無を目視で調べた。
Ａ：放熱シートの表面にキズがなかった。
Ｂ：放熱シートの表面にキズがあった。
（７）放熱シートのピックアップ後の変形の有無。
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、吸着ノズル用いてピックアップした後の放熱シートの変形の有無を調べた。
Ａ：放熱シートの変形がなかった。
Ｂ：放熱シートの変形があった。
（８）総合評価
Ａ：転写評価がＡであり、他の評価も全てＡであった。
Ｂ：転写評価がＡであり、他の評価が１つでもＢであった。
Ｃ：転写評価がＢであった。
（１）フィルム背面への転写評価
リールからフィルムを巻き出し、フィルムの背面に放熱シートが付着しているかを調べた。
Ａ：フィルムの背面への放熱シートの付着なし。
Ｂ：フィルムの背面への放熱シートの付着あり。
（２）巻き不良評価
巻き取り不良なくフィルムがリールに巻き取られているかを調べた。
Ａ：巻き取り不良なし。
Ｂ：巻き取り不良あり。
（３）搬送安定性
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いてリールからフィルムを巻き出したとき、安定的に巻き出すことができるかを調べた。
Ａ：フィルムの巻き出しが安定していた。
Ｂ：フィルムの巻き出しが不安定であった。
（４）ナイフエッジでのフィルム剥離評価
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いてナイフエッジ部において、放熱シートがフィルムから剥離されているかを調べた。
Ａ：全ての放熱シートがフィルムから剥離された。
Ｂ：フィルムから剥離されない放熱シートがあった。
（５）ピックアップ評価
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、フィルムから放熱シートを、吸着ノズルを用いてピックアップできるかを調べた。
Ａ：放熱シートをピックアップできた。
Ｂ：放熱シートをピックアップできなかった。
（６）放熱シートのピックアップ後の表面のキズの有無。
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、吸着ノズル用いてピックアップした後の放熱シートの表面のキズの有無を目視で調べた。
Ａ：放熱シートの表面にキズがなかった。
Ｂ：放熱シートの表面にキズがあった。
（７）放熱シートのピックアップ後の変形の有無。
フィルムキャリア部品用フィーダー（三井金属計測機工株式会社製）を用いて、吸着ノズル用いてピックアップした後の放熱シートの変形の有無を調べた。
Ａ：放熱シートの変形がなかった。
Ｂ：放熱シートの変形があった。
（８）総合評価
Ａ：転写評価がＡであり、他の評価も全てＡであった。
Ｂ：転写評価がＡであり、他の評価が１つでもＢであった。
Ｃ：転写評価がＢであった。
【0091】
【表1】
【0092】
【表2】
【0093】
【表3】
【0094】
以上の実施例及び比較例から、多層構造体が、放熱シート上に配置されるシート部材と放熱シートとの間の接触を規制するスペーサを備えることにより、シート部材に放熱シートが付着することを抑制できることがわかった。
【符号の説明】
【0095】
１，１Ａ～１Ｈ 多層構造体
１０ 放熱シート
２０，２０Ｈ フィルム（シート部材）
３０，３０Ａ～３０Ｈ スペーサ
４０ リール
５０ 放熱組成物シート状成形体
２１１ ポリカーボネート板
２１２ 両面粘着テープ
２１３ Ｔ型アルミ治具
１０ 放熱シート
２０，２０Ｈ フィルム（シート部材）
３０，３０Ａ～３０Ｈ スペーサ
４０ リール
５０ 放熱組成物シート状成形体
２１１ ポリカーボネート板
２１２ 両面粘着テープ
２１３ Ｔ型アルミ治具
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
