知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023006128
(43)【公開日】2023-01-18
(54)【発明の名称】実装システム、可動部及び実装方法
(51)【国際特許分類】
H05K 13/04 20060101AFI20230111BHJP
B25J 15/06 20060101ALI20230111BHJP
【ＦＩ】
H05K13/04 A
B25J15/06 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021108550
(22)【出願日】2021-06-30
(71)【出願人】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】門田 昌三
(72)【発明者】
【氏名】大田 博
(72)【発明者】
【氏名】羽場 直也
(72)【発明者】
【氏名】中井 伸弘
【テーマコード（参考）】
3C707
5E353
【Ｆターム（参考）】
3C707AS08
3C707FS01
3C707HS27
3C707KS03
3C707KT01
3C707KT06
3C707NS17
5E353EE29
5E353EE62
5E353EE63
5E353JJ44
5E353JJ48
5E353JJ52
5E353JJ60
5E353KK01
5E353KK11
5E353KK21
5E353QQ01
(57)【要約】
【課題】作業効率の低下を抑制する。
【解決手段】実装システム１０は、可動部１と、駆動部２と、エア調整部３１と、電力供給部３２と、を備える。可動部１は、蓄電池１５、蓄圧容器１３及び蓄圧容器１３のエアを利用して部品を保持する保持部１２を含み、保持部１２に保持させた部品を対象物の実装面に実装する。駆動部２は、特定平面を有する固定子２１を含み、固定子２１の特定平面に沿って可動部１が移動するように可動部１を駆動する。保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器１３のエアによって部品を保持可能である。可動部１は、第２位置に位置していない状態において、蓄電池１５に蓄えられた電力によって特定平面に沿って移動可能である。
【選択図】図１
【解決手段】実装システム１０は、可動部１と、駆動部２と、エア調整部３１と、電力供給部３２と、を備える。可動部１は、蓄電池１５、蓄圧容器１３及び蓄圧容器１３のエアを利用して部品を保持する保持部１２を含み、保持部１２に保持させた部品を対象物の実装面に実装する。駆動部２は、特定平面を有する固定子２１を含み、固定子２１の特定平面に沿って可動部１が移動するように可動部１を駆動する。保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器１３のエアによって部品を保持可能である。可動部１は、第２位置に位置していない状態において、蓄電池１５に蓄えられた電力によって特定平面に沿って移動可能である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する可動部と、
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整するエア調整部と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する電力供給部と、を備え、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記可動部は、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
実装システム。
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整するエア調整部と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する電力供給部と、を備え、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記可動部は、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
実装システム。
【請求項2】
前記第１位置と前記第２位置とが同じ位置である、
請求項１に記載の実装システム。
請求項１に記載の実装システム。
【請求項3】
前記蓄圧容器は、前記エア調整部によって前記内圧が負圧に調整される、
請求項１又は２に記載の実装システム。
請求項１又は２に記載の実装システム。
【請求項4】
前記可動部は、前記蓄圧容器としての第１蓄圧容器とは異なる第２蓄圧容器を更に含み、
前記第２蓄圧容器は、前記エア調整部によって前記内圧が正圧に調整される、
請求項３に記載の実装システム。
前記第２蓄圧容器は、前記エア調整部によって前記内圧が正圧に調整される、
請求項３に記載の実装システム。
【請求項5】
前記可動部は、前記第１位置において特定動作を行う、
請求項１～４のいずれか１項に記載の実装システム。
請求項１～４のいずれか１項に記載の実装システム。
【請求項6】
前記特定動作は、前記部品を供給する部品供給部から前記保持部により前記部品を取り出す動作である、
請求項５に記載の実装システム。
請求項５に記載の実装システム。
【請求項7】
前記可動部は、前記エア調整部に設けられた第１接続面に接続可能な第２接続面が設けられた突出部を更に含み、
前記エア調整部は、前記特定平面の法線方向からの平面視において、前記特定平面の外縁よりも外側に位置し、
前記可動部が前記特定動作を行っている状態では、前記特定平面の前記法線方向からの平面視において、前記突出部の少なくとも一部が前記特定平面の前記外縁よりも外側に位置し、前記第１接続面に設けられている通気口と前記第２接続面に設けられている通気口とが対向している、
請求項６に記載の実装システム。
前記エア調整部は、前記特定平面の法線方向からの平面視において、前記特定平面の外縁よりも外側に位置し、
前記可動部が前記特定動作を行っている状態では、前記特定平面の前記法線方向からの平面視において、前記突出部の少なくとも一部が前記特定平面の前記外縁よりも外側に位置し、前記第１接続面に設けられている通気口と前記第２接続面に設けられている通気口とが対向している、
請求項６に記載の実装システム。
【請求項8】
前記特定動作は、
前記保持部に保持させた前記部品の廃棄と、
前記保持部の清掃と、の少なくとも一方を含む、
請求項５に記載の実装システム。
前記保持部に保持させた前記部品の廃棄と、
前記保持部の清掃と、の少なくとも一方を含む、
請求項５に記載の実装システム。
【請求項9】
前記可動部を複数備え、
前記駆動部は、前記複数の可動部における複数の前記保持部にそれぞれ保持されている複数の前記部品が前記対象物の前記実装面において互いに異なる複数の実装予定位置に実装されるように、前記複数の可動部のうち少なくとも２つを同時に駆動する、
請求項１～８のいずれか１項に記載の実装システム。
前記駆動部は、前記複数の可動部における複数の前記保持部にそれぞれ保持されている複数の前記部品が前記対象物の前記実装面において互いに異なる複数の実装予定位置に実装されるように、前記複数の可動部のうち少なくとも２つを同時に駆動する、
請求項１～８のいずれか１項に記載の実装システム。
【請求項10】
前記可動部を複数備え、
前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
前記駆動部は、前記特定平面の法線方向からの平面視において、前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第１可動部が移動する第１移動経路と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第２可動部が移動する第２移動経路とが交差するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１～９のいずれか１項に記載の実装システム。
前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
前記駆動部は、前記特定平面の法線方向からの平面視において、前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第１可動部が移動する第１移動経路と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第２可動部が移動する第２移動経路とが交差するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１～９のいずれか１項に記載の実装システム。
【請求項11】
前記対象物が載置される載置部を更に備え、
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向に沿って配置されている、
請求項１０に記載の実装システム。
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向に沿って配置されている、
請求項１０に記載の実装システム。
【請求項12】
前記可動部を複数備え、
前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
前記駆動部は、
前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
前記第１可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１～９のいずれか１項に記載の実装システム。
前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
前記駆動部は、
前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
前記第１可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１～９のいずれか１項に記載の実装システム。
【請求項13】
前記対象物が載置される載置部を更に備え、
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向である第１方向と交差する第２方向において前記載置部の両側に配置されている、
請求項１２に記載の実装システム。
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向である第１方向と交差する第２方向において前記載置部の両側に配置されている、
請求項１２に記載の実装システム。
【請求項14】
前記複数の可動部は、第３可動部及び第４可動部を更に含み、
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部とは異なり、前記部品をそれぞれ供給する第３部品供給部及び第４部品供給部を更に備え、
前記駆動部は、
前記第３可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
前記第３可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１０又は１１に記載の実装システム。
前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部とは異なり、前記部品をそれぞれ供給する第３部品供給部及び第４部品供給部を更に備え、
前記駆動部は、
前記第３可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
前記第３可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第１可動部及び前記第２可動部を駆動する、
請求項１０又は１１に記載の実装システム。
【請求項15】
前記対象物が載置される載置部を更に備え、
前記第３部品供給部及び前記第４部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向である第１方向と交差する第２方向において前記載置部の両側に配置されている、
請求項１４に記載の実装システム。
前記第３部品供給部及び前記第４部品供給部は、前記載置部に対して前記対象物が搬入される方向である第１方向と交差する第２方向において前記載置部の両側に配置されている、
請求項１４に記載の実装システム。
【請求項16】
蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含む可動部であって、
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整するエア調整部と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する電力供給部と、を備える実装システムに用いられ、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
可動部。
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整するエア調整部と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する電力供給部と、を備える実装システムに用いられ、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
可動部。
【請求項17】
蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含む可動部と、
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、を備える実装システムに用いられる実装方法であって、
前記部品を供給する部品供給部から前記保持部により前記部品を取り出す取り出し工程と、
前記取り出し工程で前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する実装工程と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、エア調整部によって前記蓄圧容器の内圧を調整する調整工程と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、電力供給部から供給される電力を前記蓄電池に蓄える蓄電工程と、を有し、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記可動部は、前記取り出し工程の後に、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
実装方法。
特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する駆動部と、を備える実装システムに用いられる実装方法であって、
前記部品を供給する部品供給部から前記保持部により前記部品を取り出す取り出し工程と、
前記取り出し工程で前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する実装工程と、
前記可動部が第１位置に位置している状態において、エア調整部によって前記蓄圧容器の内圧を調整する調整工程と、
前記可動部が第２位置に位置している状態において、電力供給部から供給される電力を前記蓄電池に蓄える蓄電工程と、を有し、
前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能であり、
前記可動部は、前記取り出し工程の後に、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である、
実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、一般に実装システム、可動部及び実装方法に関し、より詳細には、対象物の実装面に部品を実装する実装システム、可動部及び実装方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、リニアモータを用いてヘッド部（可動部）を平面内で移動可能とし、ヘッド部に設けられた吸着ノズル（保持部）により吸着した電子部品（部品）をプリント基板（対象物）に実装する電子部品実装装置（実装システム）が記載されている。
【0003】
ヘッド部には、吸着ノズル駆動用の動力を供給する動力供給手段から上記動力を受け入れる動力受入れ手段が設けられている。動力供給手段と動力受入れ手段とは、吸着ノズル駆動用の電気配線、空気配管等のケーブルを介して接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平１０－２８４８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載の電子部品実装装置では、上述したように、ヘッド部に設けられている動力受入れ手段は、ケーブルを介して動力供給手段に接続されている。そのため、例えば、複数のヘッド部を平面内で相互に移動させようとした場合、ケーブルによりヘッド部の移動経路が阻害されて作業効率が低下する場合がある。
【0006】
本開示の目的は、作業効率の低下を抑制することが可能な実装システム、可動部及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示の一態様に係る実装システムは、可動部と、駆動部と、エア調整部と、電力供給部と、を備える。前記可動部は、蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する。前記駆動部は、特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する。前記エア調整部は、前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整する。前記電力供給部は、前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する。前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能である。前記可動部は、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である。
【0008】
本開示の一態様に係る可動部は、蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含む可動部である。前記可動部は、駆動部と、エア調整部と、電力供給部と、を備える実装システムに用いられる。前記駆動部は、特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する。前記エア調整部は、前記可動部が第１位置に位置している状態において、前記蓄圧容器の内圧を調整する。前記電力変換部は、前記可動部が第２位置に位置している状態において、前記蓄電池に電力を供給する。前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能である。前記可動部は、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である。
【0009】
本開示の一態様に係る実装方法は、可動部と、駆動部と、を備える実装システムに用いられる実装方法である。前記可動部は、蓄電池、蓄圧容器及び前記蓄圧容器のエアを利用して部品を保持する保持部を含む。前記駆動部は、特定平面を有する固定子を含み、前記固定子の前記特定平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を駆動する。前記実装方法は、取り出し工程と、実装工程と、調整工程と、蓄電工程と、を有する。前記取り出し工程は、前記部品を供給する部品供給部から前記保持部により前記部品を取り出す工程である。前記実装工程は、前記取り出し工程で前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する工程である。前記調整工程は、前記可動部が第１位置に位置している状態において、エア調整部によって前記蓄圧容器の内圧を調整する工程である。前記蓄電工程は、前記可動部が第２位置に位置している状態において、電力供給部から供給される電力を前記蓄電池に蓄える工程である。前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器の前記エアによって前記部品を保持可能である。前記可動部は、前記取り出し工程の後に、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記特定平面に沿って移動可能である。
【発明の効果】
【0010】
本開示の一態様に係る実装システム、可動部及び実装方法によれば、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
（実施形態）
以下、実施形態に係る実装システム、可動部及び実装方法について、図面を参照して説明する。下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。また、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
以下、実施形態に係る実装システム、可動部及び実装方法について、図面を参照して説明する。下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。また、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【0013】
（１）実装システムの概要
まず、本実施形態に係る実装システム１０の概要について説明する。
まず、本実施形態に係る実装システム１０の概要について説明する。
【0014】
本実施形態に係る実装システム１０は、図２及び図３に示すように、部品１００を対象物２０に実装するための実装装置（実装機）である。実装システム１０は、例えば、工場、研究所、事務所及び教育施設等の施設において、電子機器、自動車、衣料品、食料品、医薬品及び工芸品等の種々の製品の製造のための作業に用いられる。
【0015】
本実施形態では、実装システム１０が、工場での電子機器の製造に用いられる場合について説明する。一般的な電子機器は、例えば、電源回路及び制御回路等の各種の回路基板を有している。これらの回路基板の製造にあたっては、一例として、はんだ塗布工程、実装工程、及びはんだ付け工程が、この順で行われる。はんだ塗布工程では、基板（プリント配線板を含む）にクリーム状はんだが塗布（又は印刷）される。実装工程では、基板に部品（電子部品を含む）が実装（搭載）される。はんだ付け工程では、例えば、部品が実装された状態の基板を、リフロー炉にて加熱することにより、クリーム状はんだを溶かしてはんだ付けが行われる。実装システム１０は、実装工程において、対象物２０としての基板２００に対して、部品１００を実装する作業を行う。
【0016】
このように、対象物２０（基板２００）への部品１００の実装に用いられる実装システム１０は、図１に示すように、可動部１と、駆動部２と、動力部３と、を備える。
【0017】
可動部１は、蓄電池１５と、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３と、部品１００を保持するための保持部１２と、を含む。また、可動部１は、第２蓄圧容器１４を更に含む。保持部１２は、一例として吸着ノズルからなり、解放（つまり保持を解除）可能な状態で部品１００を保持する。保持部１２は、第１蓄圧容器１３のエアを利用して部品１００を保持する。より詳細には、保持部１２は、第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整されることによって、部品１００を保持（吸着）する。実装システム１０では、可動部１は、保持部１２に部品１００を保持させた状態で、保持部１２を基板２００に近づけるように下降させて、部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する。
【0018】
駆動部２は、固定子２１を含む。固定子２１は、Ｚ軸方向からの平面視においてＸ軸方向に長い矩形の平板状である。固定子２１は、特定平面２１１（図４参照）を有する。特定平面２１１は、Ｚ軸方向からの平面視においてＸ軸方向に長い矩形状である。駆動部２は、固定子２１の特定平面２１１に沿って可動部１が移動するように可動部１を駆動する。
【0019】
動力部３は、エア調整部３１と、電力供給部３２と、を含む。エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、可動部１の第１蓄圧容器１３の内圧を調整する。より詳細には、エア調整部３１は、第１蓄圧容器１３内のエアを吸い込む吸気を行うことにより、第１蓄圧容器１３の内圧を負圧に調整する。また、エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、第２蓄圧容器１４の内圧を調整する。より詳細には、エア調整部３１は、第２蓄圧容器１４に対してエアを供給する排気を行うことにより、第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。第１位置は、少なくとも第１蓄圧容器１３の内圧を調整する内圧調整位置である。
【0020】
電力供給部３２は、可動部１が第２位置に位置している状態において、可動部１の蓄電池１５に電力を供給する。第２位置は、蓄電池１５に電力を供給する給電位置である。本実施形態では、第１位置と第２位置とが同じ位置であり、第１位置及び第２位置は、例えば、可動部１の保持部１２に部品１００を保持させる保持位置（吸着位置）Ｐ１（図４参照）である。
【0021】
保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、第１蓄圧容器１３のエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態において、蓄電池１５に蓄えられた電力によって固定子２１の特定平面２１１に沿って移動可能である。
【0022】
このような実装システム１０では、保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって移動可能である。そのため、例えば、ケーブルを介して可動部に電力が供給され、かつパイプを介して可動部にエアが供給される場合に比べて、可動部１の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0023】
【0024】
（２．１）前提
本実施形態では一例として、表面実装技術（ＳＭＴ：Surface Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられる場合について説明する。つまり、部品１００は、表面実装用の部品（ＳＭＤ：Surface Mount Device）であって、対象物２０としての基板２００の表面（実装面２０１）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（ＩＭＴ：Insertion Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられてもよい。この場合、部品１００は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、対象物２０としての基板２００の孔にリード端子を挿入することをもって、基板２００の表面（実装面２０１）上に実装される。
本実施形態では一例として、表面実装技術（ＳＭＴ：Surface Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられる場合について説明する。つまり、部品１００は、表面実装用の部品（ＳＭＤ：Surface Mount Device）であって、対象物２０としての基板２００の表面（実装面２０１）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（ＩＭＴ：Insertion Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられてもよい。この場合、部品１００は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、対象物２０としての基板２００の孔にリード端子を挿入することをもって、基板２００の表面（実装面２０１）上に実装される。
【0025】
本開示でいう「直交」は、二者間の角度が厳密に９０度である状態だけでなく、二者間の角度が、実質的に効果が得られる公差（例えば、±５度）の範囲内で略直交する状態も含む意味である。また、本開示でいう「平行」についても同様に、二者間の角度が厳密に０度である状態だけでなく、二者間の角度が、実質的に効果が得られる公差（例えば、±５度）の範囲内で略平行する状態も含む意味である。
【0026】
以下では一例として、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸を設定し、対象物２０としての基板２００の表面（実装面２０１）に平行な軸を「Ｘ軸」及び「Ｙ軸」とし、基板２００の厚み方向に平行な軸を「Ｚ」軸とする。さらに、Ｚ軸に沿う両方向のうち一方向を上方向とし、他方向を下方向とする。例えば、可動部１が基板２００の実装面２０１に対向しているとき、基板２００は、可動部１の下方に位置する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、いずれも仮想的な軸であり、図面中の「Ｘ」、「Ｙ」、「Ｚ」を示す矢印は、説明のために表記しているに過ぎず、いずれも実体を伴わない。また、これらの方向は実装システム１０の使用時の方向を限定する趣旨ではない。
【0027】
【0028】
本実施形態に係る実装システム１０は、図１～図３に示すように、複数の可動部１と、駆動部２と、複数の動力部３と、制御部４と、複数の部品供給部５と、部品認識部６と、部品廃棄部７と、ノズル交換部８と、載置部９と、を備えている。ただし、制御部４、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９は、実装システム１０に必須の構成ではない。つまり、制御部４、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９の全部又は一部は、実装システム１０の構成要素に含まれなくてもよい。本実施形態では、複数の動力部３と複数の部品供給部５とが一対一に対応しているが、複数の動力部３と複数の部品供給部５とは一対一に対応していなくてもよい。すなわち、複数の動力部３は、複数の部品供給部５よりも多くてもよいし、少なくてもよい。
【0029】
（２．２．１）可動部
複数の可動部（実装ヘッド）１の各々は、少なくとも１つの保持部１２を有している。本実施形態では、各可動部１は、１つの保持部１２を有している。各可動部１は、保持部１２に部品１００を保持させた状態で、保持部１２を基板２００に近づけるように移動させ、部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する。つまり、各可動部１は、保持部１２を、基板２００に向けて移動可能に保持する。
複数の可動部（実装ヘッド）１の各々は、少なくとも１つの保持部１２を有している。本実施形態では、各可動部１は、１つの保持部１２を有している。各可動部１は、保持部１２に部品１００を保持させた状態で、保持部１２を基板２００に近づけるように移動させ、部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する。つまり、各可動部１は、保持部１２を、基板２００に向けて移動可能に保持する。
【0030】
本実施形態では、各可動部１は、保持部１２に加えて、可動子１１と、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３と、第２蓄圧容器１４と、蓄電池１５と、アクチュエータ１６と、ヘッド１７と、を更に有している。すなわち、各可動部１は、第１蓄圧容器１３に加えて、第１蓄圧容器１３とは異なる第２蓄圧容器１４を更に有している。本実施形態に係る実装システム１０では、１つのヘッド１７に、可動子１１、保持部１２、第１蓄圧容器１３、第２蓄圧容器１４、蓄電池１５及びアクチュエータ１６を１つずつ保持させている。これにより、各可動部１では、１つの保持部１２により１つの部品１００を保持可能である。
【0031】
可動子１１は、後述の固定子２１と共に平面サーボモータを構成する。可動子１１は、Ｚ軸方向において固定子２１と対向している。可動子１１は、後述の制御部４のモータドライバ４１によって制御され、固定子２１の特定平面２１１（図４参照）に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。可動子１１は、突出部１８を有している。突出部１８は、図５に示すように、可動子１１と一体に形成されており、可動子１１からＬ字状に突出している。突出部１８は、第２接続面１８１を有している。第２接続面１８１は、可動部１が第１位置（図５に示す位置）に位置している状態において、後述の動力部３の動力部本体３３に設けられた第１接続面３４に接続可能である。すなわち、可動部１は、エア調整部３１に設けられた第１接続面３４に接続可能な第２接続面１８１が設けられた突出部１８を更に有している。第２接続面１８１には、後述のエア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整する際にエア（空気）が通る通気口１８２が設けられている。通気口１８２は、突出部１８の内部に設けられた流路１８３に繋がっており、通気口１８２及び流路１８３を通るエアによって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧が調整される。ここにおいて、「第１接続面３４と第２接続面１８１とが接続する」とは、第１接続面３４に設けられた通気口３５に繋がる流路３６と第２接続面１８１に設けられた通気口１８２に繋がる流路１８３とが流体的に接続して（繋がって）、流路３６と流路１８３との間にエアの流路を形成することをいう。なお、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、第１接続面３４と第２接続面１８１との間に隙間Ｇ１が設けられている。隙間Ｇ１は、第１接続面３４と第２接続面１８１とを対向させた状態において、エアが漏れない程度の隙間（ギャップ）である。
【0032】
保持部１２は、例えば、吸着ノズルである。保持部１２は、後述の制御部４により制御され、部品１００を保持する保持状態と、部品１００を解放（保持を解除）する解放状態と、を切替可能である。保持部１２による部品１００の保持に関しては、可動部１は、動力としての空圧（真空）の供給を受けて動作する。本実施形態では、可動部１は、第１蓄圧容器１３のバルブを開閉することによって、保持部１２の保持状態と、解放状態と、を切り替える。すなわち、保持部１２は、第１蓄圧容器１３のエアを利用して部品１００を保持する。なお、第１蓄圧容器１３のバルブを開いて部品１００を解放する際には、第２蓄圧容器１４のバルブも開くことが好ましい。この場合、保持部１２から排気されるエアによって保持部１２から離れる向きに部品１００が押し出されるため、部品１００が保持部１２から離れやすくなる。
【0033】
第１蓄圧容器（第１蓄圧室）１３は、例えば、エアタンクである。第１蓄圧容器１３は、エア調整部３１によって内圧が調整される。より詳細には、エア調整部３１がエアを吸い込む吸気を行うことにより、第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整される。第１蓄圧容器１３は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エア調整部３１によって内圧が負圧に調整される。第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整された状態では、保持部１２により部品１００が保持（吸着）される。第１蓄圧容器１３のバルブが開かれて第１蓄圧容器１３内に大気が流れ込むことにより、第１蓄圧容器１３の内圧が負圧から大気圧になり、部品１００を保持する保持状態が解除される。
【0034】
第２蓄圧容器（第２蓄圧室）１４は、第１蓄圧容器１３と同様、例えば、エアタンクである。第２蓄圧容器１４は、エア調整部３１によって内圧が調整される。より詳細には、エア調整部３１がエアを供給する排気を行うことにより、第２蓄圧容器１４の内圧が正圧に調整される。第２蓄圧容器１４は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エア調整部３１によって内圧が正圧に調整される。第２蓄圧容器１４のバルブが開かれて第２蓄圧容器１４内のエアが排気されることにより、第２蓄圧容器１４の内圧が正圧から大気圧になり、第２蓄圧容器１４から排気されるエアによって保持部１２から離れる向きに部品１００が押し出される。
【0035】
蓄電池１５は、例えば、電気二重層キャパシタ（ＥＤＬＣ：Electric Double-Layer Capacitor）である。蓄電池１５は、電力供給部３２によって電力が供給される。電力供給部３２から蓄電池１５への給電は、接触式であってもよいし、非接触式であってもよい。蓄電池１５は、可動部１が第２位置に位置している状態において、電力供給部３２から電力が供給される。本実施形態では、第１位置と第２位置とが同じ位置であり、一例として、第１位置及び第２位置は、保持部１２によって部品１００を保持（吸着）する保持位置（吸着位置）Ｐ１（図４参照）である。
【0036】
アクチュエータ１６は、保持部１２をＺ軸方向に直進移動させる。さらに、アクチュエータ１６は、保持部１２をＺ軸方向に沿った軸線を中心とする回転方向（以下、「θ」方向という）に回転移動させる。本実施形態では一例として、Ｚ軸方向への保持部１２の移動に関しては、アクチュエータ１６は、リニアモータで発生する駆動力にて駆動する。また、θ方向への保持部１２の移動に関しては、アクチュエータ１６は、回転型モータで発生する駆動力にて駆動する。一方で、後述するように、可動部１は、駆動部２の固定子２１の特定平面２１１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に直進移動する。結果的に、可動部１に含まれる保持部１２は、駆動部２及びアクチュエータ１６によって、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向に移動することが可能である。
【0037】
上述の第１蓄圧容器１３、第２蓄圧容器１４、蓄電池１５及びアクチュエータ１６は、ヘッド１７に収納されている。ヘッド１７は、一例として、金属製であって、中空の円管状に形成されている。また、ヘッド１７は、アクチュエータ１６を介して保持部１２を保持している。このようなヘッド１７は、可動子１１に取り付けられており、可動子１１がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することによって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。
【0038】
上述の可動部１では、保持部１２は、可動部１が第１位置（保持位置Ｐ１）に位置していない状態において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって、部品１００を保持（吸着）可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置（保持位置Ｐ１）に位置していない状態において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって、固定子２１の特定平面２１１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。
【0039】
ここで、可動部１は、第１位置において特定動作を行う。本実施形態では、特定動作は、例えば、部品１００を供給する部品供給部５から保持部１２により部品１００を取り出す動作である。すなわち、本実施形態では、可動部１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、保持部１２により部品供給部５から部品１００を取り出す動作を行う。
【0040】
（２．２．２）駆動部
駆動部２は、固定子２１を有している。固定子２１は、Ｚ軸方向からの平面視において、Ｘ軸方向に長い矩形の平板状である。固定子２１は、特定平面２１１を有している。特定平面２１１は、Ｚ軸方向における固定子２１の一面（下面）であって、Ｚ軸方向からの平面視において矩形状である。固定子２１は、上述の可動子１１と共に平面サーボモータを構成する。駆動部２は、後述の制御部４のモータドライバ４１によって制御され、固定子２１の特定平面２１１に沿って可動部１（可動子１１）が移動するように可動部１を駆動する。
駆動部２は、固定子２１を有している。固定子２１は、Ｚ軸方向からの平面視において、Ｘ軸方向に長い矩形の平板状である。固定子２１は、特定平面２１１を有している。特定平面２１１は、Ｚ軸方向における固定子２１の一面（下面）であって、Ｚ軸方向からの平面視において矩形状である。固定子２１は、上述の可動子１１と共に平面サーボモータを構成する。駆動部２は、後述の制御部４のモータドライバ４１によって制御され、固定子２１の特定平面２１１に沿って可動部１（可動子１１）が移動するように可動部１を駆動する。
【0041】
（２．２．３）動力部
複数の動力部３は、図２に示すように、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の動力部３の各々は、エア調整部３１と、電力供給部３２と、動力部本体３３と、を有している。エア調整部３１は、例えば、吸気及び排気の両方が可能なエアーポンプを含む。エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにて吸気を行うことにより、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３の内圧を負圧に調整する。また、エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにて排気を行うことにより、第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。電力供給部３２は、例えば、ＡＣ－ＤＣコンバータを含む。電力供給部３２は、可動部１が第２位置に位置している状態において、蓄電池１５に電力（直流電力）を供給する。
複数の動力部３は、図２に示すように、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の動力部３の各々は、エア調整部３１と、電力供給部３２と、動力部本体３３と、を有している。エア調整部３１は、例えば、吸気及び排気の両方が可能なエアーポンプを含む。エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにて吸気を行うことにより、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３の内圧を負圧に調整する。また、エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにて排気を行うことにより、第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。電力供給部３２は、例えば、ＡＣ－ＤＣコンバータを含む。電力供給部３２は、可動部１が第２位置に位置している状態において、蓄電池１５に電力（直流電力）を供給する。
【0042】
エア調整部３１及び電力供給部３２は、動力部本体３３に収納されている。動力部本体３３は、例えば、直方体状であって、第１接続面３４（図５参照）を有している。第１接続面３４は、可動部１が第１位置（図５に示す位置）に位置している状態において、可動部１の突出部１８に設けられた第２接続面１８１との間に隙間Ｇ１を空けた状態で第２接続面１８１と対向している。第１接続面３４には、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整する際にエアが通る通気口３５が設けられている。通気口３５は、動力部本体３３の内部に設けられた流路３６に繋がっており、通気口３５及び流路３６を通るエアによって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧が調整される。可動部１が第１位置に位置している状態では、第１接続面３４の通気口３５と第２接続面１８１の通気口１８２とがＺ軸方向で対向しており、通気口３５に繋がる流路３６と通気口１８２に繋がる流路１８３とが接続される。これにより、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整することが可能となる。
【0043】
ここで、動力部３は、図４及び図５に示すように、Ｚ軸方向（特定平面２１１の法線方向）からの平面視において、特定平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。すなわち、動力部３に含まれるエア調整部３１は、特定平面２１１の法線方向からの平面視において、特定平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。
【0044】
また、可動部１が第１位置において特定動作を行っている状態では、Ｚ軸方向（特定平面２１１の法線方向）からの平面視において、突出部１８の少なくとも一部が特定平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。本実施形態では、Ｚ軸方向からの平面視において、突出部１８の全部が特定平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。そして、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、動力部３に設けられた第１接続面３４と可動部１の突出部１８に設けられた第２接続面１８１とが接続される。ここで、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、第１接続面３４と第２接続面１８１との間に隙間Ｇ１が設けられている。そのため、可動部１が固定子２１の特定平面２１１に沿って高速で移動して第１位置に向かう場合でも、可動部１と動力部３との衝突を回避することが可能となる。
【0045】
（２．２．４）制御部
制御部４は、実装システム１０の各部を制御する。制御部４は、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するコンピュータシステムにより実現され得る。すなわち、コンピュータシステムの１以上のメモリに記録されたプログラムを、１以上のプロセッサが実行することにより、制御部４として機能する。プログラムは、ここでは制御部４のメモリに予め記録されているが、例えば、インターネット等の電気通信回線を通して提供されてもよいし、メモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。
制御部４は、実装システム１０の各部を制御する。制御部４は、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するコンピュータシステムにより実現され得る。すなわち、コンピュータシステムの１以上のメモリに記録されたプログラムを、１以上のプロセッサが実行することにより、制御部４として機能する。プログラムは、ここでは制御部４のメモリに予め記録されているが、例えば、インターネット等の電気通信回線を通して提供されてもよいし、メモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。
【0046】
制御部４は、図２及び図３に示すように、複数のモータドライバ４１を含む。複数のモータドライバ４１は、駆動部２と電気的に接続されている。複数のモータドライバ４１は、駆動部２に制御信号を出力し、複数の可動部１が特定平面２１１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように、駆動部２を制御する。
【0047】
また、制御部４は、更に、可動部１、動力部３、部品供給部５、部品認識部６及び載置部９の各々と電気的に接続されている。制御部４は、可動部１に制御信号を出力し、保持部１２に保持させた部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１を制御する。また、制御部４は、可動部１及び動力部３に制御信号を出力し、第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整し、かつ蓄電池１５に電力を供給するように、可動部１及び動力部３を制御する。さらに、制御部４は、部品認識部６に制御信号を出力し、部品認識部６を制御したり、部品認識部６で撮像された画像を部品認識部６から取得したりする。また、制御部４は、載置部９に制御信号を出力し、載置部９上に載置された基板２００の位置を調整するように、載置部９を制御する。
【0048】
（２．２．５）部品供給部
複数の部品供給部５は、上述したように、複数の動力部３と一対一に対応しており、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の部品供給部５の各々は、各可動部１の保持部１２により保持される部品１００を供給する。各部品供給部５は、一例として、キャリアテープに収容された部品１００を供給するテープフィーダを有している。各可動部１は、複数の部品供給部５のいずれかから、保持部１２により部品１００を保持する。
複数の部品供給部５は、上述したように、複数の動力部３と一対一に対応しており、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の部品供給部５の各々は、各可動部１の保持部１２により保持される部品１００を供給する。各部品供給部５は、一例として、キャリアテープに収容された部品１００を供給するテープフィーダを有している。各可動部１は、複数の部品供給部５のいずれかから、保持部１２により部品１００を保持する。
【0049】
（２．２．６）部品認識部
部品認識部６は、カメラ６１を有している。カメラ６１は、部品供給部５の上方と、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３（図４参照）の上方と、の間を移動している可動部１を下方から撮像する。したがって、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２に保持されている部品１００が写っている。すなわち、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２と部品１００との相互の位置関係の情報、言い換えると保持部１２に対する部品１００のずれの情報が含まれている。なお、カメラ６１は、常時撮像するのではなく、部品１００を保持している保持部１２がカメラ６１の上方を通過するタイミングで撮像することが好ましい。また、カメラ６１は、部品供給部５の下方に設置されていてもよい。また、実装システム１０は、カメラ６１の撮像領域を照明する照明装置を更に備えていてもよい。図４に示すように、可動部１が部品認識部６の上方に位置しているとき、可動部１は認識位置Ｐ２に位置している。また、複数の可動部１のうち後述の復帰工程ＳＴ１（図８参照）において部品認識部６の上方に復帰する可動部１については、認識位置Ｐ２は原点位置Ｐ０でもある。
部品認識部６は、カメラ６１を有している。カメラ６１は、部品供給部５の上方と、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３（図４参照）の上方と、の間を移動している可動部１を下方から撮像する。したがって、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２に保持されている部品１００が写っている。すなわち、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２と部品１００との相互の位置関係の情報、言い換えると保持部１２に対する部品１００のずれの情報が含まれている。なお、カメラ６１は、常時撮像するのではなく、部品１００を保持している保持部１２がカメラ６１の上方を通過するタイミングで撮像することが好ましい。また、カメラ６１は、部品供給部５の下方に設置されていてもよい。また、実装システム１０は、カメラ６１の撮像領域を照明する照明装置を更に備えていてもよい。図４に示すように、可動部１が部品認識部６の上方に位置しているとき、可動部１は認識位置Ｐ２に位置している。また、複数の可動部１のうち後述の復帰工程ＳＴ１（図８参照）において部品認識部６の上方に復帰する可動部１については、認識位置Ｐ２は原点位置Ｐ０でもある。
【0050】
（２．２．７）部品廃棄部
部品廃棄部７は、保持部１２により部品供給部５から取り出された部品１００のうち、不具合のある部品１００を廃棄するためのスペースである。「不具合のある部品」とは、例えば、表面に傷等が見受けられる部品であって、部品としての機能を果たし得ない可能性がある部品をいう。制御部４は、例えば、部品認識部６のカメラ６１により撮像された画像に基づいて部品１００に傷があると判断した場合、部品１００を部品廃棄部７に廃棄する指示を行う。各可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置している状態において、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブを開くことで保持部１２から排気されるエアによって、保持部１２から離れる方向に部品１００を吹き飛ばす。これにより、部品１００が部品廃棄部７に廃棄される。また、各可動部１は、部品１００を廃棄した後に、保持部（ノズル）１２の清掃を行ってもよい。例えば、第２蓄圧容器１４のバルブを開いて高圧の排気を行うことにより、保持部１２の内部の清掃を行うことが可能となる。すなわち、可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置しているとき、部品１００の廃棄と、保持部１２の清掃と、の少なくとも一方を行う。
部品廃棄部７は、保持部１２により部品供給部５から取り出された部品１００のうち、不具合のある部品１００を廃棄するためのスペースである。「不具合のある部品」とは、例えば、表面に傷等が見受けられる部品であって、部品としての機能を果たし得ない可能性がある部品をいう。制御部４は、例えば、部品認識部６のカメラ６１により撮像された画像に基づいて部品１００に傷があると判断した場合、部品１００を部品廃棄部７に廃棄する指示を行う。各可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置している状態において、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブを開くことで保持部１２から排気されるエアによって、保持部１２から離れる方向に部品１００を吹き飛ばす。これにより、部品１００が部品廃棄部７に廃棄される。また、各可動部１は、部品１００を廃棄した後に、保持部（ノズル）１２の清掃を行ってもよい。例えば、第２蓄圧容器１４のバルブを開いて高圧の排気を行うことにより、保持部１２の内部の清掃を行うことが可能となる。すなわち、可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置しているとき、部品１００の廃棄と、保持部１２の清掃と、の少なくとも一方を行う。
【0051】
（２．２．８）ノズル交換部
ノズル交換部８は、複数種類の保持部（吸着ノズル）１２を有している。複数種類の保持部１２は、部品１００のサイズ（大きさ）にそれぞれ対応している。各可動部１は、保持部１２により保持する部品１００のサイズに応じて保持部１２を交換する。
ノズル交換部８は、複数種類の保持部（吸着ノズル）１２を有している。複数種類の保持部１２は、部品１００のサイズ（大きさ）にそれぞれ対応している。各可動部１は、保持部１２により保持する部品１００のサイズに応じて保持部１２を交換する。
【0052】
（２．２．９）載置部
載置部９は、後述の搬送部により実装スペースに搬送された基板２００（対象物２０）が載置される。載置部９は、図６に示すように、一対の支持部材９１を有している。一対の支持部材９１の各々は、Ｘ軸方向に長い棒状である。一対の支持部材９１は、Ｙ軸方向において所定の間隔を空けて配置されている。所定の間隔は、Ｙ軸方向における基板２００の長さよりも短い。一対の支持部材９１の各々は、２つの偏心ピン９２によってＹ軸方向に揺動可能である。
載置部９は、後述の搬送部により実装スペースに搬送された基板２００（対象物２０）が載置される。載置部９は、図６に示すように、一対の支持部材９１を有している。一対の支持部材９１の各々は、Ｘ軸方向に長い棒状である。一対の支持部材９１は、Ｙ軸方向において所定の間隔を空けて配置されている。所定の間隔は、Ｙ軸方向における基板２００の長さよりも短い。一対の支持部材９１の各々は、２つの偏心ピン９２によってＹ軸方向に揺動可能である。
【0053】
図７Ａ～図７Ｄは、載置部９の動作を説明する説明図である。なお、以下の説明において、一対の支持部材９１のうち一方（図７Ａの上側）の支持部材９１を「第１支持部材９１」と称し、他方（図７Ａの下側）の支持部材９１を「第２支持部材９１」と称することもある。また、第１支持部材９１を保持する２つの偏心ピン９２のうち一方（図７Ａの右側）の偏心ピン９２を「第１偏心ピン９２」と称し、他方（図７Ａの左側）の偏心ピン９２を「第２偏心ピン９２」と称することもある。さらに、第２支持部材９１を保持する２つの偏心ピン９２のうち一方（図７Ａの右側）の偏心ピン９２を「第３偏心ピン９２」と称し、他方（図７Ａの左側）の偏心ピン９２を「第４偏心ピン９２」と称することもある。
【0054】
図７Ａは、載置部９を構成する一対の支持部材９１が初期位置にある状態を示している。この状態では、一対の支持部材９１の各々はＸ軸と平行になっており、Ｙ軸方向における一対の支持部材９１の間隔はＹ軸方向における基板２００の長さよりも狭い。
【0055】
図７Ａに示す初期位置から、第１偏心ピン９２及び第３偏心ピン９２を第１の向きに回転させると、第１支持部材９１は、第２偏心ピン９２を回転中心として反時計回りに回転し、第２支持部材９１は、第４偏心ピン９２を回転中心として反時計回りに回転する。これにより、図７Ｂに示すように、第１支持部材９１の右端部及び第２支持部材９１の右端部がＹ軸方向に変位した状態になる。図７Ｂに示す状態では、一対の支持部材９１は、互いに平行である。
【0056】
図７Ａに示す初期位置から、第２偏心ピン９２及び第４偏心ピン９２を第２の向き（第１の向きと逆の向き）に回転させると、第１支持部材９１は、第１偏心ピン９２を回転中心として時計回りに回転し、第２支持部材９１は、第３偏心ピン９２を回転中心として時計回りに回転する。これにより、図７Ｃに示すように、第１支持部材９１の左端部及び第２支持部材９１の左端部がＹ軸方向に変位した状態になる。図７Ｃに示す状態では、一対の支持部材９１は、互いに平行である。
【0057】
図７Ａに示す初期位置から、第１偏心ピン９２及び第３偏心ピン９２を第１の向きに回転させ、かつ、第２偏心ピン９２及び第４偏心ピン９２を第２の向きに回転させると、第１支持部材９１及び第２支持部材９１は、図７Ｄに示すように、Ｙ軸方向に平行移動した状態になる。図７Ｄに示す状態では、一対の支持部材９１の各々は、Ｘ軸と平行である。
【0058】
このような載置部９では、４つの偏心ピン９２の回転量をそれぞれ調整することにより、一対の支持部材９１の変位量を調整することが可能となる。
【0059】
ここで、本実施形態に係る実装システム１０による実装工程と後段のはんだ付け工程との間に検査工程が設けられていることが好ましい。この場合、検査工程において基板２００に対する部品１００のずれ量を計測し、計測結果を実装システム１０にフィードバックすることにより、計測結果に基づいて基板２００の向きを調整することが可能となる。具体的には、制御部４は、検査工程からフィードバックされた計測結果に基づいて、基板２００が載置される載置部９を構成する一対の支持部材９１の変位量を調整する。これにより、基板２００が載置部９に搬送される前に一対の支持部材９１の変位量を調整することが可能となり、実装スペースに搬入された基板２００の対角の位置をカメラ等で認識し、認識結果に基づいて基板２００の向きを調整する場合に比べて、作業時間を短縮することが可能となる。
【0060】
なお、検査工程は、実装工程とはんだ付け工程との間に限らず、はんだ付け工程の後に設けられていてもよい。この場合、部品１００が基板２００にはんだ付けされた後において基板２００に対する部品１００のずれ量を計測し、計測結果を実装システム１０にフィードバックする。
【0061】
（２．２．１０）筐体
本実施形態に係る実装システム１０は、図２及び図３に示すように、筐体１０１を更に備える。筐体１０１は、複数（図示例では４つ）の支柱１０１１と、天板１０１２と、中板１０１３と、底板１０１４と、を有している。天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４は、複数の支柱１０１１によって支持されており、Ｚ軸方向における一端側（上側）から天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４の順に間隔を空けて並んでいる。
本実施形態に係る実装システム１０は、図２及び図３に示すように、筐体１０１を更に備える。筐体１０１は、複数（図示例では４つ）の支柱１０１１と、天板１０１２と、中板１０１３と、底板１０１４と、を有している。天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４は、複数の支柱１０１１によって支持されており、Ｚ軸方向における一端側（上側）から天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４の順に間隔を空けて並んでいる。
【0062】
上述の複数のモータドライバ４１は、中板１０１３の一面（上面）に取り付けられており、Ｘ軸方向に沿って並んでいる。上述の駆動部２は、中板１０１３の他面（下面）に取り付けられている。上述の部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９は、底板１０１４の一面（上面）に取り付けられている。部品認識部６、部品廃棄部７及びノズル交換部８は、底板１０１４の一面において、Ｘ軸方向における一端側（図２における左側）から部品廃棄部７、部品認識部６、ノズル交換部８の順に並んでいる。
【0063】
（２．２．１１）その他
実装システム１０は、可動部１、駆動部２、動力部３、制御部４、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９の他、搬送部及び通信部を備えていてもよい。
実装システム１０は、可動部１、駆動部２、動力部３、制御部４、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９の他、搬送部及び通信部を備えていてもよい。
【0064】
搬送部は、対象物２０としての基板２００を載置部９へ搬送する。搬送部は、例えば、ベルトコンベヤ等で実現される。搬送部は、基板２００を、例えば、Ｘ軸に沿って搬送する。搬送部は、少なくとも可動部１の下方、つまりＺ軸方向において保持部１２と対向する実装スペースに、基板２００を搬送する。そして、搬送部は、可動部１による基板２００への部品１００の実装が完了するまでは、実装スペースに基板２００を停止させる。
【0065】
通信部は、直接的、又はネットワーク若しくは中継器等を介して間接的に、上位システムと通信するように構成されている。これにより、実装システム１０は、上位システムとの間でデータを授受することが可能となる。
【0066】
【0067】
本実施形態に係る実装方法は、実装システム１０に用いられる実装方法である。実装システム１０は、可動部１と、駆動部２と、を備える。可動部１は、蓄電池１５、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３及び保持部１２を含む。保持部１２は、第１蓄圧容器１３のエアを利用して部品１００を保持する。駆動部２は、特定平面２１１を有する固定子２１を含む。駆動部２は、固定子２１の特定平面２１１に沿って可動部１が移動するように可動部１を駆動する。実装方法は、取り出し工程と、実装工程と、調整工程と、蓄電工程と、を有する。取り出し工程は、部品１００を供給する部品供給部５から保持部１２により部品１００を取り出す工程である。実装工程は、取り出し工程で保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する工程である。調整工程は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３の内圧を調整する工程である。蓄電工程は、可動部１が第２位置に位置している状態において、電力供給部３２から供給される電力を蓄電池１５に蓄える工程である。保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、第１蓄圧容器１３のエアによって部品１００を保持可能である。可動部１は、取り出し工程の後に、可動部１が第２位置に位置していない状態において、蓄電池１５に蓄えられた電力によって固定子２１の特定平面２１１に沿って移動可能である。
【0068】
すなわち、本実施形態に係る実装方法は、本実施形態に係る実装システム１０に用いられる実装方法である。この実装方法では、保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって、固定子２１の特定平面２１１に沿って移動可能である。そのため、例えば、可動部がケーブルを介して給電され、かつ配管を介してエアが供給される場合に比べて可動部１の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0069】
図８は、本実施形態に係る実装方法を含む、実装システム１０の全体動作を表すフローチャートである。実装方法は、図８に示すＳＴ１～ＳＴ７の各工程を含む。また、図９は、本実施形態に係る実装システム１０の動作を表すタイムチャートである。以下、本実施形態に係る実装システム１０の動作について、図８及び図９を参照して説明する。
【0070】
まず、実装システム１０は、復帰工程ＳＴ１を実行する。復帰工程ＳＴ１では、実装システム１０は、各可動部１を原点位置Ｐ０１，Ｐ０２，Ｐ０３，・・・（図６参照）に復帰させる。また、復帰工程ＳＴ１では、図９に示すように、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブが開いた状態にあり、第１蓄圧容器１３の内圧及び第２蓄圧容器１４の内圧は大気圧になっている。
【0071】
次に、実装システム１０は、調整工程ＳＴ２を実行する。調整工程ＳＴ２では、実装システム１０は、各可動部１を保持位置Ｐ１（第１位置、第２位置）に移動させた後、第１蓄圧容器１３の内圧及び第２蓄圧容器１４の内圧をそれぞれ調整する。より詳細には、調整工程ＳＴ２において、図９に示すように、エア調整部３１が第１蓄圧容器１３の内圧を負圧に調整し、かつ第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。
【0072】
次に、実装システム１０は、蓄電工程ＳＴ３を実行する。蓄電工程ＳＴ３では、実装システム１０は、蓄電池１５に電力を蓄える。より詳細には、蓄電工程ＳＴ３において、図９に示すように、電力供給部３２が蓄電池１５に電力を供給する。
【0073】
次に、実装システム１０は、保持工程ＳＴ４を実行する。保持工程ＳＴ４では、実装システム１０は、部品供給部５から供給される部品１００の上方に位置する保持部１２を、部品供給部５に近づく向きに移動（下降）させて、保持部１２により部品１００を保持する。そして、実装システム１０は、部品１００を保持した状態の保持部１２を、部品供給部５から離れる向きに移動（上昇）させる。その後、実装システム１０は、エア調整部３１を停止するとともに、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブを閉じる。つまり、第１蓄圧容器１３の内圧は負圧に調整された状態を維持し、第２蓄圧容器１４の内圧は正圧に調整された状態を維持する。本実施形態では、実装システム１０が複数の保持部１２を備えているため、保持工程ＳＴ４では、実装システム１０は、複数の保持部１２の各々を駆動することにより、複数の保持部１２の各々により部品１００を保持する。本実施形態では、保持工程ＳＴ４が、実装方法における取り出し工程である。
【0074】
次に、実装システム１０は、認識工程ＳＴ５を実行する。認識工程ＳＴ５では、実装システム１０は、図９に示すように、部品認識部６の上方に可動部１を移動させた後、部品認識部６により認識可能な高さまで保持部１２を移動（下降）させる。そして、実装システム１０は、部品認識部６のカメラ６１により保持部１２及び部品１００を含む領域を撮像する。ここで、可動部１は、保持位置Ｐ１から認識位置Ｐ２（図４参照）に移動する際に、実装予定位置Ｐ３に対する部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させてる。これにより、部品認識部６は、基板２００への実装角度に部品１００の角度を合わせた状態で部品１００及び保持部１２を認識するので、例えば、アクチュエータ１６等の寸法精度がよくない場合であっても、部品１００の実装精度を向上させることが可能となる。
【0075】
次に、実装システム１０は、移動工程ＳＴ６を実行する。移動工程ＳＴ６では、実装システム１０は、複数の可動部１を駆動部２により駆動し、各可動部１が対応する実装予定位置Ｐ３（図４参照）の上方に位置するように、各可動部１を移動させる。
【0076】
次に、実装システム１０は、実装工程ＳＴ７を実行する。実装工程ＳＴ７では、実装システム１０は、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３の上方に位置する保持部１２を基板２００に近づく向きに移動（下降）させて、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３に部品１００を実装する。このとき、実装システム１０は、保持部１２による部品１００の保持を解除するために、第１蓄圧容器１３のバルブを開いた後、第２蓄圧容器１４のバルブを開く（図９参照）。これにより、保持部１２による部品１００の保持が解除される。そして、実装システム１０は、部品１００を解放した保持部１２を、基板２００から離れる向きに移動（上昇）させる。本実施形態では、実装システム１０が複数の保持部１２を備えているため、実装工程ＳＴ７では、実装システム１０は、複数の保持部１２の各々を駆動することにより、複数の保持部１２の各々により部品１００を実装する。また、本実施形態では、実装工程ＳＴ７において、実装システム１０は、複数の保持部１２に保持されている複数の部品１００の全てが互いに異なる実装予定位置Ｐ３に同時に実装されるように、複数の可動部１の全てが同時に駆動される。ここにおいて、「同時」とは、時間が完全に同じである場合だけでなく、時間が同じであるとみなされる範囲（例えば、±１秒）で異なっている場合も含む。
【0077】
図８のフローチャートは、実装システム１０の全体動作の一例に過ぎず、処理を適宜省略又は追加してもよいし、処理の順番が適宜変更されていてもよい。例えば、原点位置Ｐ０と保持位置Ｐ１とが同じ位置である場合には、復帰工程ＳＴ１が省略されてもよい。また、例えば、調整工程ＳＴ２は、蓄電工程ＳＴ３と保持工程ＳＴ４との間で実行されてもよい。
【0078】
（４）可動部の動作
次に、本実施形態に係る実装システム１０が備える複数の可動部１の動作について、図１０を参照して説明する。
次に、本実施形態に係る実装システム１０が備える複数の可動部１の動作について、図１０を参照して説明する。
【0079】
複数の部品供給部５は、図１０に示すように、部品供給部５Ａ（第１部品供給部）と、部品供給部５Ｂ（第２部品供給部）と、を含む。部品供給部５Ａ，５Ｂは、載置部９に対して対象物２０が搬入される方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている。より詳細には、部品供給部５Ａは、Ｘ軸方向において、部品供給部５Ｂよりも搬送部側（図１０の左側）に配置されている。
【0080】
複数の可動部１は、図１０に示すように、可動部１Ａ（第１可動部）と、可動部１Ｂ（第２可動部）と、を含む。図１０に示す例では、可動部１Ａは、部品供給部５Ａから部品１００を取り出し、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３１に部品１００を実装する。可動部１Ｂは、部品供給部５Ｂから部品１００を取り出し、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３２に部品１００を実装する。
【0081】
本実施形態に係る実装システム１０では、駆動部２は、図１０に示すように、Ｚ軸方向（特定平面２１１の法線方向）からの平面視において、第１移動経路Ｒ１と第２移動経路Ｒ２とが交差するように、可動部１Ａ，１Ｂを駆動している。第１移動経路Ｒ１は、可動部１Ａが部品供給部５Ａから取り出した部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に可動部１Ａが移動する経路である。第２移動経路Ｒ２は、可動部１Ｂが部品供給部５Ｂから取り出した部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に可動部１Ｂが移動する経路である。
【0082】
本実施形態に係る実装システム１０では、上述したように、可動部１に含まれている可動子１１と駆動部２に含まれている固定子２１とが平面サーボモータを構成している。そのため、上述のように、２つの可動部１Ａ，１Ｂの移動経路（第１移動経路Ｒ１、第２移動経路Ｒ２）が交差するように、２つの可動部１Ａ，１Ｂを移動させることが可能である。また、可動部１Ａ，１Ｂを含む３つ以上の可動部１についても同様である。
【0083】
（５）効果
実施形態に係る実装システム１０では、保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって固定子２１の特定平面２１１に沿って移動可能である。そのため、例えば、可動部がケーブルを介して給電され、かつ配管を介してエアが供給される場合に比べて可動部１の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
実施形態に係る実装システム１０では、保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって固定子２１の特定平面２１１に沿って移動可能である。そのため、例えば、可動部がケーブルを介して給電され、かつ配管を介してエアが供給される場合に比べて可動部１の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0084】
また、実施形態に係る実装システム１０では、第１位置と第２位置とが同じ位置である。これにより、第１位置と第２位置とが異なる位置である場合に比べて作業時間を短縮することが可能となる。
【0085】
また、実施形態に係る実装システム１０では、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整される。これにより、保持部１２に部品１００を保持させることが可能となる。
【0086】
また、実施形態に係る実装システム１０では、エア調整部３１によって第２蓄圧容器１４の内圧が正圧に設定される。これにより、保持部１２による部品１００の保持を解除する際に、第２蓄圧容器１４からのエアによって解除しやすい。
【0087】
また、実施形態に係る実装システム１０では、可動部１は、第１位置において特定動作を行っている。これにより、可動部１が特定動作を行っている間に、少なくとも第１蓄圧容器１３の内圧を調整することが可能となる。
【0088】
また、実施形態に係る実装システム１０では、駆動部２は、複数の部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する際に、複数の可動部１の全てを同時に駆動している。これにより、複数の部品１００を順番に実装する場合に比べて、複数の部品１００の実装に要する時間を短縮することが可能となる。
【0089】
（６）変形例
上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。また、上述の実施形態に係る実装方法と同様の機能は、実装システム１０、（コンピュータ）プログラム、又はプログラムを記録した非一時的記録媒体等で具現化されてもよい。
上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。また、上述の実施形態に係る実装方法と同様の機能は、実装システム１０、（コンピュータ）プログラム、又はプログラムを記録した非一時的記録媒体等で具現化されてもよい。
【0090】
以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。
【0091】
（６．１）変形例１
変形例１に係る実装システム１０について、図１１を参照して説明する。変形例１に係る実装システム１０では、図１１に示すように、部品供給部５Ｃ，５Ｄが第２方向（Ｙ軸方向）において載置部９の両側に配置されている点で、上述の実施形態に係る実装システム１０と相違する。なお、変形例１に係る実装システム１０では、上述の構成以外については上述の実施形態に係る実装システム１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
変形例１に係る実装システム１０について、図１１を参照して説明する。変形例１に係る実装システム１０では、図１１に示すように、部品供給部５Ｃ，５Ｄが第２方向（Ｙ軸方向）において載置部９の両側に配置されている点で、上述の実施形態に係る実装システム１０と相違する。なお、変形例１に係る実装システム１０では、上述の構成以外については上述の実施形態に係る実装システム１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0092】
変形例１に係る実装システム１０は、図１１に示すように、複数の部品供給部５Ｃ（第１部品供給部又は第３部品供給部）と、複数の部品供給部５Ｄ（第２部品供給部又は第４部品供給部）と、を備えている。複数の部品供給部５Ｃ及び複数の部品供給部５Ｄは、図１１に示すように、第２方向（Ｙ軸方向）において載置部９の両側に配置されている。第２方向は、載置部９に対して対象物２０（基板２００）が搬入される方向である第１方向（Ｘ軸方向）と交差（直交）する方向である。また、変形例１に係る実装システム１０では、図１１に示すように、複数の可動部１は、可動部１Ｃ（第１可動部又は第３可動部）と、可動部１Ｄ（第１可動部又は第３可動部）と、を含む。
【0093】
変形例１に係る実装システム１０では、駆動部２は、図１１に示すように、可動部１Ｃが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｃを駆動する。また、駆動部２は、可動部１Ｄが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｄを制御する。すなわち、駆動部２は、可動部１Ｃが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、可動部１Ｄが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、を実行する第１態様を行うように、可動部１Ｃ，１Ｄを駆動する。
【0094】
また、変形例１に係る実装システム１０では、駆動部２は、図１１に示すように、可動部１Ｃが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｃを駆動する。また、駆動部２は、可動部１Ｄが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｄを制御する。すなわち、駆動部２は、可動部１Ｃが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、可動部１Ｄが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、を実行する第２態様を行うように、可動部１Ｃ，１Ｄを駆動する。
【0095】
変形例１に係る実装システム１０では、上述の実施形態に係る実装システム１０と同様、可動部１に含まれている可動子１１と駆動部２に含まれている固定子２１とで平面サーボモータが構成されている。そのため、上述のように、可動部１Ｃ，１Ｄの各々に、部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作、及び、部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作を行わせることが可能となる。
【0096】
（６．２）その他の変形例
本開示における実装システム１０は、例えば、制御部４に、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における実装システム１０としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１乃至複数の電子回路で構成される。ここでいうＩＣ又はＬＳＩ等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又はＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれる集積回路を含む。さらに、ＬＳＩの製造後にプログラムされる、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成若しくはＬＳＩ内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む１乃至複数の電子回路で構成される。
本開示における実装システム１０は、例えば、制御部４に、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における実装システム１０としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１乃至複数の電子回路で構成される。ここでいうＩＣ又はＬＳＩ等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又はＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれる集積回路を含む。さらに、ＬＳＩの製造後にプログラムされる、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成若しくはＬＳＩ内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む１乃至複数の電子回路で構成される。
【0097】
また、実装システム１０における複数の機能が、１つの筐体内に集約されていることは実装システム１０に必須の構成ではない。実装システム１０の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、実装システム１０の少なくとも一部の機能は、クラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。
【0098】
反対に、上述の実施形態において、複数の装置に分散されている実装システム１０の少なくとも一部の機能が、１つの筐体内に集約されていてもよい。例えば、可動部１と制御部４とに分散されている一部の機能が、全て可動部１に集約されてもよい。
【0099】
上述の実施形態では、蓄電池１５が電気二重層キャパシタであるが、蓄電池１５は電気二重層キャパシタに限らず、例えば、二次電池であってもよい。
【0100】
上述の実施形態では、可動部１が第１位置において行う特定動作は、保持部１２により部品供給部５から部品１００を取り出す動作である。これに対して、特定動作は、例えば、保持部１２に保持させた部品１００の廃棄と保持部１２の清掃との少なくとも一方であってもよい。これにより、部品１００を廃棄したり、保持部１２を清掃したりしている間に第１蓄圧容器１３の内圧を調整することが可能となる。
【0101】
また、保持部１２は、吸着用のノズルと排気用のノズルとを別々に有していてもよい。この場合、吸着用のノズルに吸着させた部品１００に付着している異物（例えば、埃等）を、廃棄用のノズルにより除去することが可能となる。
【0102】
上述の実施形態では、各部品供給部５がテープフィーダを有しているが、各部品供給部５は、例えば、複数の部品１００が載せ置かれたトレイを有していてもよい。または、各部品供給部５は、テープフィーダとトレイとの両方を有していてもよい。
【0103】
上述の実施形態では、各可動部１は、１つの保持部１２を有しているが、各可動部１は、可動子１１に対して取付可能な範囲で２つ以上の保持部１２を有していてもよい。
【0104】
上述の実施形態では、第１位置と第２位置とが同じ位置（保持位置Ｐ１）であるが、第１位置と第２位置とは異なる位置であってもよい。例えば、第１位置は保持位置Ｐ１であり、第２位置は原点位置Ｐ０であってもよい。
【0105】
上述の実施形態では、第１蓄圧容器１３に対する吸気、第２蓄圧容器１４に対する排気、及び蓄電池１５の充電を保持位置Ｐ１で行っているが、第２蓄圧容器１４に対する排気、及び蓄電池１５の充電については保持位置Ｐ１に限らない。第２蓄圧容器１４に対する排気については、例えば、可動部１が部品認識部６、部品廃棄部７又はノズル交換部８の上方に位置している状態で行ってもよい。つまり、第２蓄圧容器１４に対する排気については、部品１００の保持、部品１００の認識、部品１００の廃棄又は保持部（ノズル）１２の交換を実行するために停止している状態で行われる。また、第１蓄圧容器１３に対する吸気についても、部品１００の保持を実行するために停止している状態で行われる。一方、蓄電池１５の充電については、上述のいずれかの位置で停止している状態で行ってもよいし、停止していない状態で行ってもよい。すなわち、蓄電池１５の充電については、可動部１を移動させながら行ってもよい。
【0106】
上述の実施形態では、駆動部２は、基板２００の実装面２０１に部品１００を実装する際に複数の可動部１の全部を同時に駆動しているが、複数の可動部１の一部を駆動してもよい。すなわち、駆動部２は、複数の部品１００が対象物２０の実装面２０１において互いに異なる複数の実装予定位置Ｐ３に実装されるように、複数の可動部１のうち少なくとも２つを同時に駆動するように構成されていればよい。
【0107】
上述の実施形態及び変形例１では、１枚の基板２００に対して複数の部品１００を実装しているが、例えば、複数枚の基板２００に対して複数の部品１００を実装してもよい。この場合において、複数枚の基板２００は、載置部９に対する基板２００の搬入方向である第１方向（Ｘ軸方向）に並んでいてもよいし、第１方向と交差（直交）する第２方向（Ｙ軸方向）に並んでいてもよいし、第１方向及び第２方向の両方に並んでいてもよい。
【0108】
上述の実施形態では、固定子２１は１つであるが、固定子２１は複数の部分に分割されていてもよい。この場合において、固定子２１は、Ｘ軸方向において２以上の部分に分割されていてもよいし、Ｙ軸方向において２以上の部分に分割されていてもよいし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方においてそれぞれ２以上の部分に分割されていてもよい。
【0109】
上述の実施形態では、可動部１は、保持位置Ｐ１から認識位置Ｐ２（図４参照）に移動する際に、実装予定位置Ｐ３に対する部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させている。これに対して、可動部１は、認識位置Ｐ２から実装予定位置Ｐ３に移動する際に、部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させてもよい。
【0110】
上述の実施形態では、基板２００の実装面２０１に複数の部品１００を実装する際に、複数の可動部１の全てを同時に駆動して、複数の部品１００の全てを同時に実装しているが、複数の部品１００を順番に実装してもよい。
【0111】
（態様）
本明細書には、以下の態様が開示されている。
本明細書には、以下の態様が開示されている。
【0112】
第１の態様に係る実装システム（１０）は、可動部（１）と、駆動部（２）と、エア調整部（３１）と、電力供給部（３２）と、を備える。可動部（１）は、蓄電池（１５）、蓄圧容器（１３）及び蓄圧容器（１３）のエアを利用して部品（１００）を保持する保持部（１２）を含み、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する。駆動部（２）は、特定平面（２１１）を有する固定子（２１）を含み、固定子（２１）の特定平面（２１１）に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を駆動する。エア調整部（３１）は、可動部（１）が第１位置に位置している状態において、蓄圧容器（１３）の内圧を調整する。電力供給部（３２）は、可動部（１）が第２位置に位置している状態において、蓄電池（１５）に電力を供給する。保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器（１３）のエアによって部品（１００）を保持可能である。可動部（１）は、第２位置に位置していない状態において、蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって特定平面（２１１）に沿って移動可能である。
【0113】
この態様によれば、保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置しているときに蓄圧容器（１３）に蓄えられたエアによって部品（１００）を保持可能である。また、可動部（１）は、可動部（１）が第２位置に位置しているときに蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって移動可能である。そのため、例えば、ケーブルを介して可動部に電力が供給され、かつパイプを介して可動部にエアが供給される場合に比べて、可動部（１）の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0114】
第２の態様に係る実装システム（１０）では、第１の態様において、第１位置と第２位置とが同じ位置である。
【0115】
この態様によれば、第１位置と第２位置とが異なる位置である場合に比べて、部品（１００）の実装に要する時間を短縮することが可能となる。
【0116】
第３の態様に係る実装システム（１０）では、第１又は第２の態様において、蓄圧容器（１３）は、エア調整部（３１）によって内圧が負圧に調整される。
【0117】
この態様によれば、蓄圧容器（１３）の内圧を負圧に調整することにより保持部（１２）に部品（１００）を保持させることが可能となる。
【0118】
第４の態様に係る実装システム（１０）では、第３の態様において、可動部（１）は、第２蓄圧容器（１４）を更に含む。第２蓄圧容器（１４）は、蓄圧容器（１３）としての第１蓄圧容器（１３）とは異なる。第２蓄圧容器（１４）は、エア調整部（３１）によって内圧が正圧に調整される。
【0119】
この態様によれば、第２蓄圧容器（１４）の内圧を正圧に調整することにより保持部（１２）による部品（１００）の保持を解除しやすい。
【0120】
第５の態様に係る実装システム（１０）では、第１～第４の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）は、第１位置において特定動作を行う。
【0121】
この態様によれば、可動部（１）が特定動作を行っている間に蓄圧容器（１３）の内圧を調整することが可能となる。
【0122】
第６の態様に係る実装システム（１０）では、第５の態様において、特定動作は、部品（１００）を供給する部品供給部（５）から保持部（１２）により部品（１００）を取り出す動作である。
【0123】
この態様によれば、保持部（１２）により部品供給部（５）から部品（１００）を取り出している間に蓄圧容器（１３）の内圧を調整することが可能となる。
【0124】
第７の態様に係る実装システム（１０）では、第６の態様において、可動部（１）は、突出部（１８）を更に含む。突出部（１８）には、エア調整部（３１）に設けられた第１接続面（３４）に接続可能な第２接続面（１８１）が設けられている。エア調整部（３１）は、特定平面（２１１）の法線方向からの平面視において、特定平面（２１１）の外縁（２１１１）よりも外側に位置している。可動部（１）が特定動作を行っている状態では、特定平面（２１１）の法線方向からの平面視において、突出部（１８）の少なくとも一部が特定平面（２１１）の外縁（２１１１）よりも外側に位置し、第１接続面（３４）に設けられている通気口（３５）と第２接続面（１８１）に設けられている通気口（１８２）とが対向している。
【0125】
この態様によれば、例えば、可動部（１）の移動速度が速い場合でも、可動部（１）とエア調整部（３１）との衝突を抑制することが可能となる。
【0126】
第８の態様に係る実装システム（１０）では、第５の態様において、特定動作は、保持部（１２）に保持させた部品（１００）の廃棄と、保持部（１２）の清掃と、の少なくとも一方を含む。
【0127】
この態様によれば、部品（１００）を廃棄したり、保持部（１２）を清掃したりしている間に蓄圧容器（１３）の内圧を調整することが可能となる。
【0128】
第９の態様に係る実装システム（１０）は、第１～第８の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。駆動部（２）は、複数の可動部（１）における複数の保持部（１２）にそれぞれ保持されている複数の部品（１００）が対象物（２０）の実装面（２０１）において互いに異なる複数の実装予定位置（Ｐ３）に実装されるように、複数の可動部（１）のうち少なくとも２つを同時に駆動する。
【0129】
この態様によれば、複数の部品（１００）を順番に実装する場合に比べて、部品（１００）の実装に要する時間を短縮することが可能となる。
【0130】
第１０の態様に係る実装システム（１０）は、第１～第９の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第１部品供給部（５Ａ）及び第２部品供給部（５Ｂ）を更に備える。複数の可動部（１）は、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を含む。駆動部（２）は、特定平面（２１１）の法線方向からの平面視において、第１移動経路（Ｒ１）と第２移動経路（Ｒ２）とが交差するように、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を駆動する。第１移動経路（Ｒ１）は、第１可動部（１Ａ）が第１部品供給部（５Ａ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に第１可動部（１Ａ）が移動する経路である。第２移動経路（Ｒ２）は、第２可動部（１Ｂ）が第２部品供給部（５Ｂ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に第２可動部（１Ｂ）が移動する経路である。
【0131】
この態様によれば、第１移動経路（Ｒ１）と第２移動経路（Ｒ２）とが交差するように、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を移動させることが可能となる。
【0132】
第１１の態様に係る実装システム（１０）は、第１０の態様において、対象物（２０）が載置される載置部（９）を更に備える。第１部品供給部（５Ａ）及び第２部品供給部（５Ｂ）は、載置部（９）に対して対象物（２０）が搬入される方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿って配置されている。
【0133】
この態様によれば、第１移動経路（Ｒ１）と第２移動経路（Ｒ２）とが交差するように、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を移動させることが可能となる。
【0134】
第１２の態様に係る実装システム（１０）は、第１～第９の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第１部品供給部（５Ｃ）及び第２部品供給部（５Ｄ）を更に備える。複数の可動部（１）は、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）を含む。駆動部（２）は、第１態様と第２態様とを行うように、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）を駆動する。第１態様は、第１可動部（１Ｃ）が第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第２可動部（１Ｄ）が第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。第２態様は、第１可動部（１Ｃ）が第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第２可動部（１Ｄ）が第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。
【0135】
この態様によれば、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）の各々に、第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。
【0136】
第１３の態様に係る実装システム（１０）は、第１２の態様において、対象物（２０）が載置される載置部（９）を更に備える。第１部品供給部（５Ｃ）及び第２部品供給部（５Ｄ）は、載置部（９）に対して対象物（２０）が搬入される方向である第１方向（例えば、Ｘ軸方向）と交差する第２方向（例えば、Ｙ軸方向）において載置部（９）の両側に配置されている。
【0137】
この態様によれば、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）の各々に、第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。
【0138】
第１４の態様に係る実装システム（１０）では、第１０又は第１１の態様において、複数の可動部（１）は、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）を含む。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第３部品供給部（５Ｃ）及び第４部品供給部（５Ｄ）を更に備える。第３部品供給部（５Ｃ）及び第４部品供給部（５Ｄ）は、第１部品供給部（５Ａ）及び第２部品供給部（５Ｂ）とは異なる。駆動部（２）は、第１態様と第２態様とを行うように、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）を駆動する。第１態様は、第３可動部（１Ｃ）が第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第４可動部（１Ｄ）が第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。第２態様は、第３可動部（１Ｃ）が第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第４可動部（１Ｄ）が第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。
【0139】
この態様によれば、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）の各々に、第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。
【0140】
第１５の態様に係る実装システム（１０）は、第１４の態様において、対象物（２０）が載置される載置部（９）を更に備える。第３部品供給部（５Ｃ）及び第４部品供給部（５Ｄ）は、載置部（９）に対して対象物（２０）が搬入される方向である第１方向（例えば、Ｘ軸方向）と交差する第２方向（例えば、Ｙ軸方向）において載置部（９）の両側に配置されている。
【0141】
この態様によれば、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）の各々に、第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。
【0142】
第１６の態様に係る可動部（１）は、蓄電池（１５）、蓄圧容器（１３）及び蓄圧容器（１３）のエアを利用して部品（１００）を保持する保持部（１２）を含む可動部（１）である。可動部（１）は、駆動部（２）と、エア調整部（３１）と、電力供給部（３２）と、を備える実装システム（１０）に用いられる。駆動部（２）は、特定平面（２１１）を有する固定子（２１）を含み、固定子（２１）の特定平面（２１１）に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を駆動する。エア調整部（３１）は、可動部（１）が第１位置に位置している状態において、蓄圧容器（１３）の内圧を調整する。電力供給部（３２）は、可動部（１）が第２位置に位置している状態において、蓄電池（１５）に電力を供給する。保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器（１３）のエアによって部品（１００）を保持可能である。可動部（１）は、可動部（１）が第２位置に位置していない状態において、蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって特定平面（２１１）に沿って移動可能である。
【0143】
この態様によれば、保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置しているときに蓄圧容器（１３）に蓄えられたエアによって部品（１００）を保持可能である。また、可動部（１）は、可動部（１）が第２位置に位置しているときに蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって移動可能である。そのため、例えば、ケーブルを介して可動部に電力が供給され、かつパイプを介して可動部にエアが供給される場合に比べて、可動部（１）の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0144】
第１７の態様に係る実装方法は、実装システム（１０）に用いられる実装方法である。実装システム（１０）は、可動部（１）と、駆動部（２）と、を備える。可動部（１）は、蓄電池（１５）、蓄圧容器（１３）及び蓄圧容器（１３）のエアを利用して部品（１００）を保持する保持部（１２）を含む。駆動部（２）は、特定平面（２１１）を有する固定子（２１）を含み、固定子（２１）の特定平面（２１１）に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を駆動する。実装方法は、取り出し工程（ＳＴ４）と、実装工程（ＳＴ７）と、調整工程（ＳＴ２）と、蓄電工程（ＳＴ３）と、を有する。取り出し工程（ＳＴ４）は、部品（１００）を供給する部品供給部（５）から保持部（１２）により部品（１００）を取り出す工程である。実装工程（ＳＴ７）は、取り出し工程（ＳＴ４）で保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する工程である。調整工程（ＳＴ２）は、可動部（１）が第１位置に位置している状態において、エア調整部（３１）によって蓄圧容器（１３）の内圧を調整する工程である。蓄電工程（ＳＴ３）は、可動部（１）が第２位置に位置している状態において、電力供給部（３２）から供給される電力を蓄電池（１５）に蓄える工程である。保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器（１３）のエアによって部品（１００）を保持可能である。可動部（１）は、取り出し工程の後に、第２位置に位置していない状態において、蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって特定平面（２１１）に沿って移動可能である。
【0145】
この態様によれば、保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置しているときに蓄圧容器（１３）に蓄えられたエアによって部品（１００）を保持可能である。また、可動部（１）は、可動部（１）が第２位置に位置しているときに蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって移動可能である。そのため、例えば、ケーブルを介して可動部に電力が供給され、かつパイプを介して可動部にエアが供給される場合に比べて、可動部（１）の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。
【0146】
第２～第１５の態様に係る構成については、実装システム（１０）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。
【符号の説明】
【0147】
１ 可動部
１Ａ 可動部（第１可動部）
１Ｂ 可動部（第２可動部）
１Ｃ 可動部（第１可動部、第３可動部）
１Ｄ 可動部（第２可動部、第４可動部）
２ 駆動部
５ 部品供給部
５Ａ 部品供給部（第１部品供給部）
５Ｂ 部品供給部（第２部品供給部）
５Ｃ 部品供給部（第１部品供給部、第３部品供給部）
５Ｄ 部品供給部（第２部品供給部、第４部品供給部）
９ 載置部
１０ 実装システム
１２ 保持部
１３ 第１蓄圧容器（蓄圧容器）
１４ 第２蓄圧容器
１５ 蓄電池
１８ 突出部
２０ 対象物
２１ 固定子
３１ エア調整部
３２ 電力供給部
３４ 第１接続面
３５ 通気口
１００ 部品
１８１ 第２接続面
１８２ 通気口
２００ 基板
２０１ 実装面
２１１ 特定平面
２１１１ 外縁
Ｐ１ 保持位置（第１位置、第２位置）
Ｐ３ 実装予定位置
Ｒ１ 第１移動経路
Ｒ２ 第２移動経路
ＳＴ２ 調整工程
ＳＴ３ 蓄電工程
ＳＴ４ 保持工程（取り出し工程）
ＳＴ７ 実装工程
１Ａ 可動部（第１可動部）
１Ｂ 可動部（第２可動部）
１Ｃ 可動部（第１可動部、第３可動部）
１Ｄ 可動部（第２可動部、第４可動部）
２ 駆動部
５ 部品供給部
５Ａ 部品供給部（第１部品供給部）
５Ｂ 部品供給部（第２部品供給部）
５Ｃ 部品供給部（第１部品供給部、第３部品供給部）
５Ｄ 部品供給部（第２部品供給部、第４部品供給部）
９ 載置部
１０ 実装システム
１２ 保持部
１３ 第１蓄圧容器（蓄圧容器）
１４ 第２蓄圧容器
１５ 蓄電池
１８ 突出部
２０ 対象物
２１ 固定子
３１ エア調整部
３２ 電力供給部
３４ 第１接続面
３５ 通気口
１００ 部品
１８１ 第２接続面
１８２ 通気口
２００ 基板
２０１ 実装面
２１１ 特定平面
２１１１ 外縁
Ｐ１ 保持位置（第１位置、第２位置）
Ｐ３ 実装予定位置
Ｒ１ 第１移動経路
Ｒ２ 第２移動経路
ＳＴ２ 調整工程
ＳＴ３ 蓄電工程
ＳＴ４ 保持工程（取り出し工程）
ＳＴ７ 実装工程
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】