(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023097306
(43)【公開日】2023-07-07
(54)【発明の名称】多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
C22C 38/00 20060101AFI20230630BHJP
C21D 6/00 20060101ALI20230630BHJP
C22B 9/16 20060101ALI20230630BHJP
【ＦＩ】
C22C38/00 303S
C21D6/00 C
C22B9/16
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022037301
(22)【出願日】2022-03-10
(31)【優先権主張番号】202111618066.3
(32)【優先日】2021-12-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(71)【出願人】
【識別番号】505072650
【氏名又は名称】浙江大学
【氏名又は名称原語表記】ＺＨＥＪＩＡＮＧ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ
(74)【代理人】
【識別番号】100205936
【弁理士】
【氏名又は名称】崔 海龍
(74)【代理人】
【識別番号】100132805
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 貴之
(72)【発明者】
【氏名】厳 密
(72)【発明者】
【氏名】呉 ▲ちん▼
(72)【発明者】
【氏名】陳 起明
(72)【発明者】
【氏名】金 佳瑩
(72)【発明者】
【氏名】姜 銀珠
【テーマコード（参考）】
4K001
【Ｆターム（参考）】
4K001AA07
4K001AA08
4K001AA10
4K001AA19
4K001AA23
4K001AA28
4K001BA23
4K001FA00
4K001FA10
4K001GA16
4K001GA17
(57)【要約】
【課題】本発明は多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金及びその製造方法に関するものである。
【解決手段】本発明の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金において、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素である。多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金中の各合金元素の百分率の総合は１００％であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％である。前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法は、合金の組成成分の比例により原料を秤量して取った後、真空環境または保護ガスにおいて溶錬とアニーリング処理をするステップを含む。本発明は、多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の含量を適当にすることにより、磁気結晶異方性常数を低減し、磁歪係数をゼロに接近させ、高い飽和磁化強度と小さい抗磁力を獲得することができる。
【選択図】なし
【解決手段】本発明の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金において、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素である。多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金中の各合金元素の百分率の総合は１００％であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％である。前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法は、合金の組成成分の比例により原料を秤量して取った後、真空環境または保護ガスにおいて溶錬とアニーリング処理をするステップを含む。本発明は、多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の含量を適当にすることにより、磁気結晶異方性常数を低減し、磁歪係数をゼロに接近させ、高い飽和磁化強度と小さい抗磁力を獲得することができる。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金であって、前記軟磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ及び遷移金属元素Ｍで組成され、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％であることを特徴とする多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金。
【請求項2】
請求項１に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金を製造する方法であって、原料を用意するステップと、溶錬をするステップと、アニーリング処理をするステップとを含み、
原料を用意するステップにおいて、原料を洗浄した後合金の組成成分の比例により原料を秤量し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をすることを特徴とする多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
原料を用意するステップにおいて、原料を洗浄した後合金の組成成分の比例により原料を秤量し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をすることを特徴とする多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項3】
前記原料を用意するステップにおいて採用する原料は純度が９９．９％以上である純金属であるか或いは非金属材料であることを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項4】
前記原料を洗浄するとき、前記原料を無水酒精またはアセトンに送入した後、超音波洗浄方法により原料の表面のグリージーダートと有機物を除去することを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項5】
前記溶錬をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはニトロゲンを採用することを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項6】
前記溶錬をする過程において電磁撹拌を採用し、合金鋳塊に対して４～６回の溶錬をすることを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項7】
前記アニーリングの温度は７００～９００℃であり、保温の時間は１～３時間であり、保温が終わると炉を冷却させることを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【請求項8】
前記アニーリング処理をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはアルゴンと５～１０ｖｏｌ％の水素の混合気体を採用することを特徴とする請求項２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、軟磁性材料の技術に関し、具体的に、多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
ＦｅＳｉ軟磁性合金は、使用量が最も多く、いろいろ分野に幅広く使用されている軟磁性材料である。例えば、電力の輸送、電子部品及び国防産業等の分野に幅広く使用されている。飽和磁束密度（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｆｌｕｘ Ｄｅｎｓｉｔｙ）と抗磁力（ｃｏｅｒｃｉｖｅ ｆｏｒｃｅ）は、軟磁性合金の性能を決定する重要なパラメーターであり、かつ材料の変換効率とパワー損失（ｐｏｗｅｒ ｌｏｓｓ）を決定することができる。ＦｅＳｉ軟磁性合金において、Ｓｉ元素を添加することにより磁歪係数と磁気結晶異方性常数を有効に低減し、合金の抵抗を有効に増加させることができる。Ｓｉが非磁性元素であることにより合金の飽和磁化強度を大幅に低減することができる。他の元素を添加することによりＦｅＳｉ合金の磁性性能を更に調節することもできる。ＦｅＳｉＡｌ合金は磁歪係数と磁気結晶異方性常数がゼロに接近しており、現在の段階において最も成功する三次元システムである。しかしながら、大量の非磁性元素ＳｉとＡＩを添加することによりＦｅＳｉＡｌ合金の導磁率（ｍａｇｎｅｔｉｃ ｐｅｒｍｅａｂｉｌｉｔｙ）と抗磁力を向上させることができるが、飽和磁化強度を低減してしまうおそれがある。
【0003】
ＦｅＳｉ軟磁性合金の総合的な軟磁性性能を向上させるため、本発明は下記２つの方法により合金の成分を決定する。（１）磁性元素例えばＣｏ等を添加することにより磁気結合（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｃｏｕｐｌｉｎｇ）と合金の飽和磁化強度を向上させる。（２）遷移金属元素または非金属元素を添加することにより飽和磁歪係数λｓと磁気結晶異方性常数Ｋ１を同時にゼロに接近させ、かつより小さい抗磁力を獲得する。本発明はＦｅＳｉ合金中のいろいろな磁性と遷移元素（ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｅｌｅｍｅｎｔ）の組成比例を適合にすることにより、合金の飽和磁化強度、磁歪及び磁気結晶異方性を調節し、かつ多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法を改良することにより合金の総合的な軟磁性性能を向上させることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の目的は、多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の組成比例及びその製造方法を提供することにある。本発明の合金は、高い飽和磁化強度と低い抗磁力を具備し、かつ総合的な軟磁性性能を向上させることができる。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明はつぎの技術的事項により実施される。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金であって、前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ及び遷移金属元素Ｍで組成され、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％である。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金であって、前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ及び遷移金属元素Ｍで組成され、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％である。
【0006】
前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法であって、原料を用意するステップと、溶錬をするステップと、アニーリング処理をするステップとを含み、
原料を用意するステップにおいて、原料を洗浄した後合金の組成成分の比例により原料を秤量し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊（ｉｎｇｏｔ ｍａｋｉｎｇ）を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をする。
原料を用意するステップにおいて、原料を洗浄した後合金の組成成分の比例により原料を秤量し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊（ｉｎｇｏｔ ｍａｋｉｎｇ）を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をする。
【0007】
前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法において、前記原料を用意するステップにおいて採用する原料は純度が９９．９％以上である純金属であるか或いは非金属材料であり、前記原料を洗浄するとき、前記原料を無水酒精またはアセトン（ａｃｅｔｏｎｅ）に送入した後、超音波洗浄方法により原料の表面のグリージーダート（ｇｒｅａｓｙ ｄｉｒｔ）と有機物を除去する。
【0008】
前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法において、前記溶錬をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはニトロゲンを採用し、かつ前記溶錬をする過程において電磁撹拌を採用し、合金鋳塊に対して４～６回の溶錬をすることによりセグリゲーション（ｓｅｇｒｅｇａｔｉｏｎ）を減少させる。
【0009】
前記多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法において、前記アニーリングの温度は７００～９００℃であり、保温の時間は１～３時間であり、保温が終わると炉を冷却させる。前記アニーリング処理をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはアルゴンと５～１０ｖｏｌ％の水素の混合気体を採用する。
【発明の効果】
【0010】
本発明の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金中のＳｉの含量は１５～１８ａｔ％である。従来のＦｅ－６．５ｗｔ％Ｓｉ（１２．５ａｔ％Ｓｉ）合金と比較してみると、本発明は、磁気結晶異方性常数をより低減し、磁歪係数を負数にし、磁性元素を添加することにより磁歪係数と磁気結晶異方性常数を容易に調節することができる。また、Ｓｉが添加されることにより、合金の抵抗を向上させ、高周波を採用することによる渦電流損（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ ｌｏｓｓ）を低減することができる。
【0011】
本発明の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金中のＣｏの含量は４～１２ａｔ％である。Ｃｏが添加されることにより、合金の飽和磁化強度を向上させ、Ｓｉの磁気希釈（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｄｉｌｕｔｉｏｎ）を低減し、かつ合金の磁歪係数と磁気結晶異方性常数を一定の範囲に調節することができる。また、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ元素を添加され、合金中のＳｉ、Ｃｏと複数の遷移元素が協力することにより、合金の磁歪係数と磁気結晶異方性常数をゼロに接近させ、かつ合金の飽和磁化強度を確保することができる。
【0012】
以上のとおり、本発明の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金は、高い飽和磁化強度と小さい抗磁力を具備し、かつ優れている軟磁性性能を有している。
【発明を実施するための形態】
【0013】
実施例１
多成分（ｐｏｌｙｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金（ｓｏｆｔ－ｍａｇｎｅｔｉｃ ａｌｌｏｙ）の各成分の百分率において、Ｆｅは７６ａｔ％であり、Ｓｉは１５％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｖは３ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分（ｐｏｌｙｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金（ｓｏｆｔ－ｍａｇｎｅｔｉｃ ａｌｌｏｙ）の各成分の百分率において、Ｆｅは７６ａｔ％であり、Ｓｉは１５％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｖは３ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0014】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９５％であるＶ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン（Ｐｕｒｅ Ｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎ）塊状原料を用意し、それらを無水酒精（ａｂｓｏｌｕｔｅ ａｌｃｏｈｏｌ）に送入して５分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を９０ｇにする。
【0015】
（２）合金の溶錬（ｓｍｅｌｔｉｎｇ）を実施するステップにおいて、真空型アーク溶解炉（Ｅｌｅｃｔｒｉｃ ａｒｃ ｍｅｌｔｉｎｇ ｆｕｒｎａｃｅ）内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、保護ガスとして０．０５ＭＰａの高純度アルゴン（Ａｒｇｏｎ）をアーク溶解炉内に注入した後、溶錬を一回に３分ずつ実施し、かつその溶錬を６回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0016】
（３）アニーリング（ａｎｎｅａｌｉｎｇ）処理において、溶錬後の合金を管状炉（Ｔｕｂｕｌａｒ ｆｕｒｎａｃｅ）内に送入し、保護ガスとして高純度アルゴンを管状炉内に注入し、９００℃の温度下においてアニーリング処理を１時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0017】
製造した合金を静的ヒステリシスループ（ｓｔａｔｉｃ ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｌｏｏｐ）で測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度（ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｍａｇｎｅｔｉｚａｔｉｏｎ）が１７１．０ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力（ｃｏｅｒｃｉｖｅ ｆｏｒｃｅ）が０．３２０ｅに達することがわかる。
【0018】
実施例２
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８ａｔ％であり、Ｓｉは１８％であり、Ｃｏは１０ａｔ％であり、Ｃｒは４ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８ａｔ％であり、Ｓｉは１８％であり、Ｃｏは１０ａｔ％であり、Ｃｒは４ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0019】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９５％であるＣｒ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン塊状原料を用意し、それらを無水酒精に送入して５分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を４０ｇにする。
【0020】
（２）合金の溶錬を実施するステップにおいて、真空誘導溶錬炉（ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ ｍｅｌｔｉｎｇ ｆｕｒｎａｃｅ）の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にした後、溶錬を一回に５分ずつ実施し、かつその溶錬を４回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0021】
（３）アニーリング処理において、溶錬後の合金を真空管状炉内に送入し、真空管状炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、７５０℃の温度下においてアニーリング処理を３時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0022】
製造した合金を静的ヒステリシスループで測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度が１６３．５ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力が０．２５０ｅに達することがわかる。
【0023】
実施例３
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７８ａｔ％であり、Ｓｉは１５％であり、Ｃｏは４ａｔ％であり、Ｎｉは３ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７８ａｔ％であり、Ｓｉは１５％であり、Ｃｏは４ａｔ％であり、Ｎｉは３ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0024】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９％であるＮｉ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン塊状原料を用意し、それらを無水酒精に送入して５分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を４０ｇにする。
【0025】
（２）合金の溶錬を実施するステップにおいて、真空型アーク溶解炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、保護ガスとして０．０５ＭＰａの高純度ニトロゲン（ｎｉｔｒｏｇｅｎ）をアーク溶解炉内に注入した後、溶錬の過程において電磁撹拌（ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ ｓｔｉｒｒｉｎｇ）を採用する。溶錬を一回に４分ずつ実施し、かつその溶錬を６回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0026】
（３）アニーリング処理において、溶錬後の合金を真空管状炉内に送入し、真空管状炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、９００℃の温度下においてアニーリング処理を１時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0027】
製造した合金を静的ヒステリシスループで測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度が１７５．０ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力が０．３００ｅに達することがわかる。
【0028】
実施例４
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７４ａｔ％であり、Ｓｉは１７％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｎｉは２ａｔ％であり、Ｃｒは１ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７４ａｔ％であり、Ｓｉは１７％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｎｉは２ａｔ％であり、Ｃｒは１ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0029】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９％であるＮｉ粒子、純度が９９．９５％であるＣｒ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン塊状原料を用意し、それらを無水酒精に送入して１０分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を５０ｇにする。
【0030】
（２）合金の溶錬を実施するステップにおいて、真空型アーク溶解炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、保護ガスとして０．０６ＭＰａの高純度アルゴンをアーク溶解炉内に注入した後、溶錬の過程において電磁撹拌を採用する。溶錬を一回に５分ずつ実施し、かつその溶錬を５回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0031】
（３）アニーリング処理において、溶錬後の合金を真空管状炉内に送入し、保護ガスとして高純度アルゴンを管状炉内に注入し、８００℃の温度下においてアニーリング処理を１．５時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0032】
製造した合金を静的ヒステリシスループで測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度が１６６．５ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力が０．３５０ｅに達することがわかる。
【0033】
実施例５
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７６ａｔ％であり、Ｓｉは１８％であり、Ｃｏは４ａｔ％であり、Ｎｉは４ａｔ％であり、Ｖは２ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７６ａｔ％であり、Ｓｉは１８％であり、Ｃｏは４ａｔ％であり、Ｎｉは４ａｔ％であり、Ｖは２ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0034】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９％であるＮｉ粒子、純度が９９．９５％であるＶ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン塊状原料を用意し、それらを無水酒精に送入して５分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を５０ｇにする。
【0035】
（２）合金の溶錬を実施するステップにおいて、真空型アーク溶解炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、保護ガスとして０．０５ＭＰａの高純度アルゴンをアーク溶解炉内に注入した後、溶錬の過程において電磁撹拌を採用する。溶錬を一回に５分ずつ実施し、かつその溶錬を４回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0036】
（３）アニーリング処理において、溶錬後の合金を真空管状炉内に送入し、保護ガスとしてアルゴンと１０ｖｏｌ％の水素の混合気体を管状炉内に注入し、７５０℃の温度下においてアニーリング処理を３時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0037】
製造した合金を静的ヒステリシスループで測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度が１６８．０ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力が０．２８０ｅに達することがわかる。
【0038】
実施例６
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７３ａｔ％であり、Ｓｉは１６％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｃｒは３ａｔ％であり、Ｖは２ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の各成分の百分率において、Ｆｅは７３ａｔ％であり、Ｓｉは１６％であり、Ｃｏは６ａｔ％であり、Ｃｒは３ａｔ％であり、Ｖは２ａｔ％である。その軟磁性合金の製造方法はつぎのステップを含む。
【0039】
（１）原料を用意するステップにおいて、純度が９９．９５％であるＦｅ粒子、純度が９９．９５％であるＣｏ粒子、純度が９９．９％であるＮｉ粒子、純度が９９．９５％であるＶ粒子、純度が９９．９９９％である多結晶シリコン塊状原料を用意し、それらを無水酒精に送入して５分間の超音波洗浄を実施した後、それらを乾燥させる。つぎに、組成成分の比例によりそれらの原料を秤量することによりそれらの総重量を５０ｇにする。
【0040】
（２）合金の溶錬を実施するステップにおいて、真空型アーク溶解炉内の気圧を５×１０－３Ｐａより小さい真空にし、保護ガスとして０．０５ＭＰａの高純度アルゴンをアーク溶解炉内に注入した後、溶錬の過程において電磁撹拌を採用する。溶錬を一回に５分ずつ実施し、かつその溶錬を４回実施することにより成分が均等に混ぜられる軟磁性合金を獲得する。
【0041】
（３）アニーリング処理において、溶錬後の合金を真空管状炉内に送入し、保護ガスとして高純度アルゴンを管状炉内に注入し、８５０℃の温度下においてアニーリング処理を３時間実施した後、管状炉を冷却させる。
【0042】
製造した合金を静的ヒステリシスループで測定した結果、製造された合金の飽和磁化強度が１６８．０ｅｍｕ／ｇに達し、抗磁力が０．３６０ｅに達することがわかる。
【0043】
＜付記１＞
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金であって、前記軟磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ及び遷移金属元素Ｍで組成され、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％であることを特徴とする多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金。
多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金であって、前記軟磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ及び遷移金属元素Ｍで組成され、Ｍは、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉのうち一種または複数の元素であり、合金の各成分の百分率において、Ｆｅは６８～７８ａｔ％であり、Ｃｏは４～１２ａｔ％であり、Ｓｉは１４～１８ａｔ％であり、Ｖは０～４ａｔ％であり、Ｃｒは０～４ａｔ％であり、Ｎｉは０～４ａｔ％であることを特徴とする多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金。
【0044】
＜付記２＞
原料を用意するステップと、溶錬をするステップと、アニーリング処理をするステップとを含み、
原料を用意するステップにおいて、合金の組成成分の比例により原料を秤量して取った後、秤量される原料を洗浄し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をすることを特徴とする付記１に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
原料を用意するステップと、溶錬をするステップと、アニーリング処理をするステップとを含み、
原料を用意するステップにおいて、合金の組成成分の比例により原料を秤量して取った後、秤量される原料を洗浄し、
溶錬をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいてアーク溶解または誘導加熱溶解をすることにより合金鋳塊を獲得し、
アニーリング処理をするステップにおいて、真空環境または保護ガスにおいて合金鋳塊に対してアニーリング処理をすることを特徴とする付記１に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0045】
＜付記３＞
前記原料を用意するステップにおいて採用する原料は純度が９９．９％以上である純金属であるか或いは非金属材料であることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記原料を用意するステップにおいて採用する原料は純度が９９．９％以上である純金属であるか或いは非金属材料であることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0046】
＜付記４＞
前記原料を洗浄するとき、前記原料を無水酒精またはアセトンに送入した後、超音波洗浄方法により原料の表面のグリージーダートと有機物を除去することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記原料を洗浄するとき、前記原料を無水酒精またはアセトンに送入した後、超音波洗浄方法により原料の表面のグリージーダートと有機物を除去することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0047】
＜付記５＞
前記溶錬をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはニトロゲンを採用することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記溶錬をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはニトロゲンを採用することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0048】
＜付記６＞
前記溶錬をする過程において電磁撹拌を採用し、合金鋳塊に対して４～６回の溶錬をすることによりセグリゲーションを減少させることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記溶錬をする過程において電磁撹拌を採用し、合金鋳塊に対して４～６回の溶錬をすることによりセグリゲーションを減少させることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0049】
＜付記７＞
前記アニーリングの温度は７００～９００℃であり、保温の時間は１～３時間であり、保温が終わると炉を冷却させることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記アニーリングの温度は７００～９００℃であり、保温の時間は１～３時間であり、保温が終わると炉を冷却させることを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
【0050】
＜付記８＞
前記アニーリング処理をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはアルゴンと５～１０ｖｏｌ％の水素の混合気体を採用することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。
前記アニーリング処理をするステップにおいて、気圧が５×１０－３Ｐａより小さい真空環境を形成し、前記保護ガスとして純度が９９．９ｖｏｌ％以上であるアルゴンまたはアルゴンと５～１０ｖｏｌ％の水素の混合気体を採用することを特徴とする付記２に記載の多成分ＦｅＣｏＳｉＭ軟磁性合金の製造方法。