(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024100721
(43)【公開日】2024-07-26
(54)【発明の名称】イメージセンサ
(51)【国際特許分類】
H01L 27/146 20060101AFI20240719BHJP
【ＦＩ】
H01L27/146 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024002086
(22)【出願日】2024-01-10
(31)【優先権主張番号】10-2023-0005527
(32)【優先日】2023-01-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．
【住所又は居所原語表記】１２９，Ｓａｍｓｕｎｇ－ｒｏ，Ｙｅｏｎｇｔｏｎｇ－ｇｕ，Ｓｕｗｏｎ－ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ，Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000051
【氏名又は名称】弁理士法人共生国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ムン サンヒョク
(72)【発明者】
【氏名】パク ジュウン
(72)【発明者】
【氏名】キム ヒョンチョル
(72)【発明者】
【氏名】シム ウンソプ
【テーマコード（参考）】
4M118
【Ｆターム（参考）】
4M118AA01
4M118AA05
4M118AB01
4M118BA14
4M118CA02
4M118CA22
4M118DD04
4M118DD09
4M118FA06
4M118FA27
4M118FA33
4M118FA38
4M118GA09
4M118GC07
4M118GD03
4M118GD04
4M118GD13
(57)【要約】
【課題】共有ピクセル構造のイメージセンサを提供する。
【解決手段】フローティング拡散領域を金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセル（ＰＸ）と、フローティング拡散領域を囲み共有ＰＸ内に配置され前面ディープトレンチ分離を介し分離され、フォトダイオードを備える複数の単位ＰＸと、フローティング拡散領域に隣接し単位ＰＸに配置される伝送トランジスタ（ＴＲ）と、単位ＰＸの内の第１四分面の第１単位ＰＸに配置されるリセットＴＲ及び選択ＴＲと、単位ＰＸの内の第２四分面の第２単位ＰＸに配置される変換利得ＴＲと、単位ＰＸの内の第３四分面の第３単位ＰＸと第４四分面の第４単位ＰＸに配置されるソースフォロワＴＲと、を有し、金属配線はフローティング拡散領域を変換利得ＴＲのソース領域とソースフォロワＴＲのゲートに接続し、フローティング拡散領域が金属配線と接触してなす角度は鋭角である。
【選択図】図３
【解決手段】フローティング拡散領域を金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセル（ＰＸ）と、フローティング拡散領域を囲み共有ＰＸ内に配置され前面ディープトレンチ分離を介し分離され、フォトダイオードを備える複数の単位ＰＸと、フローティング拡散領域に隣接し単位ＰＸに配置される伝送トランジスタ（ＴＲ）と、単位ＰＸの内の第１四分面の第１単位ＰＸに配置されるリセットＴＲ及び選択ＴＲと、単位ＰＸの内の第２四分面の第２単位ＰＸに配置される変換利得ＴＲと、単位ＰＸの内の第３四分面の第３単位ＰＸと第４四分面の第４単位ＰＸに配置されるソースフォロワＴＲと、を有し、金属配線はフローティング拡散領域を変換利得ＴＲのソース領域とソースフォロワＴＲのゲートに接続し、フローティング拡散領域が金属配線と接触してなす角度は鋭角である。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルのそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第１四分面（ｆｉｒｓｔ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第１単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第２四分面（ｓｅｃｏｎｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第３四分面（ｔｈｉｒｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第３単位ピクセルと第４四分面（ｆｏｕｒｔｈ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第４単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とするイメージセンサ。
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルのそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第１四分面（ｆｉｒｓｔ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第１単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第２四分面（ｓｅｃｏｎｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第３四分面（ｔｈｉｒｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第３単位ピクセルと第４四分面（ｆｏｕｒｔｈ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第４単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とするイメージセンサ。
【請求項2】
前記金属配線は、
前記変換利得トランジスタのソース領域で第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記ソースフォロワトランジスタのゲートで前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、を含み、
前記第１金属配線の端部及び前記第２金属配線の端部が接触してなす角度は、直角であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
前記変換利得トランジスタのソース領域で第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記ソースフォロワトランジスタのゲートで前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、を含み、
前記第１金属配線の端部及び前記第２金属配線の端部が接触してなす角度は、直角であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項3】
前記フローティング拡散領域は、前記第２金属配線と接触するように配置されることを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項4】
前記フローティング拡散領域が前記第２金属配線と接触してなす角度は、４５°であることを特徴とする請求項３に記載のイメージセンサ。
【請求項5】
前記伝送トランジスタは、前記第２金属配線に対して斜線方向に配置されることを特徴とする請求項３に記載のイメージセンサ。
【請求項6】
前記第２金属配線は、前記単位ピクセルの境界線に沿って配置されることを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項7】
前記第２金属配線は、前記ソースフォロワトランジスタのゲートの中央に接続されることを特徴とする請求項６に記載のイメージセンサ。
【請求項8】
前記金属配線の少なくとも一部は、前記前面ディープトレンチ分離と垂直方向にオーバーラップされることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項9】
前記第１～第４単位ピクセルのそれぞれに、接地領域が配置されることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項10】
前記第２及び第３単位ピクセルに接地領域が配置され、
前記第１及び第４単位ピクセルに接地領域が配置されないことを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
前記第１及び第４単位ピクセルに接地領域が配置されないことを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項11】
それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第１四分面に位置する第１単位ピクセルに配置される第１ソースフォロワトランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第２四分面に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第３四分面に位置する第３単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第４四分面に位置する第４単位ピクセルに配置される第２ソースフォロワトランジスタと、有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記第１ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、直角であることを特徴とするイメージセンサ。
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第１四分面に位置する第１単位ピクセルに配置される第１ソースフォロワトランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第２四分面に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第３四分面に位置する第３単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の第４四分面に位置する第４単位ピクセルに配置される第２ソースフォロワトランジスタと、有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記第１ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、直角であることを特徴とするイメージセンサ。
【請求項12】
前記金属配線は、
前記変換利得トランジスタのソース領域で前記第１ソースフォロワトランジスタのゲートまで第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、を含み、
前記フローティング拡散領域は、前記第２金属配線の一端部及び他端部に接続されることを特徴とする請求項１１に記載のイメージセンサ。
前記変換利得トランジスタのソース領域で前記第１ソースフォロワトランジスタのゲートまで第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、を含み、
前記フローティング拡散領域は、前記第２金属配線の一端部及び他端部に接続されることを特徴とする請求項１１に記載のイメージセンサ。
【請求項13】
前記伝送トランジスタは、前記第２金属配線に対して平行に配置されることを特徴とする請求項１２に記載のイメージセンサ。
【請求項14】
前記金属配線の少なくとも一部は、前記前面ディープトレンチ分離と垂直方向にオーバーラップされることを特徴とする請求項１１に記載のイメージセンサ。
【請求項15】
前記金属配線は、十字状に配置され、
前記十字状の中心点は、前記共有ピクセルの中心点と一致することを特徴とする請求項１４に記載のイメージセンサ。
前記十字状の中心点は、前記共有ピクセルの中心点と一致することを特徴とする請求項１４に記載のイメージセンサ。
【請求項16】
それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する２×２構造の４個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備え、第１行に４個及び第２行に４個が配置される複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の前記第１行の１つの単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の前記第２行の２つの単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とするイメージセンサ。
前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備え、第１行に４個及び第２行に４個が配置される複数の単位ピクセルと、
前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の前記第１行の１つの単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、
前記単位ピクセルの内の前記第２行の２つの単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、
前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、
前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とするイメージセンサ。
【請求項17】
前記金属配線は、
前記変換利得トランジスタのソース領域で第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記ソースフォロワトランジスタのゲートで前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、
前記第２金属配線の中心近傍で前記第１方向に沿って直線状に形成される第３金属配線と、
前記第３金属配線の端部で前記第２方向に沿って直線状に形成される第４金属配線と、を含み、
前記第１～第４金属配線は、電気的に接続されることを特徴とする請求項１６に記載のイメージセンサ。
前記変換利得トランジスタのソース領域で第１方向に沿って直線状に形成される第１金属配線と、
前記ソースフォロワトランジスタのゲートで前記第１方向と交差する第２方向に沿って直線状に形成される第２金属配線と、
前記第２金属配線の中心近傍で前記第１方向に沿って直線状に形成される第３金属配線と、
前記第３金属配線の端部で前記第２方向に沿って直線状に形成される第４金属配線と、を含み、
前記第１～第４金属配線は、電気的に接続されることを特徴とする請求項１６に記載のイメージセンサ。
【請求項18】
前記フローティング拡散領域は、前記第２及び第４金属配線と接触するように配置されることを特徴とする請求項１７に記載のイメージセンサ。
【請求項19】
前記フローティング拡散領域が前記第２及び第４金属配線と接触してなす角度は、４５°であることを特徴とする請求項１７に記載のイメージセンサ。
【請求項20】
前記伝送トランジスタは、前記第２及び第４金属配線に対して斜線方向に配置されることを特徴とする請求項１７に記載のイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、イメージセンサに関し、特に、フォトダイオードとフローティング拡散領域を含むイメージセンサに関する。
【背景技術】
【0002】
イメージセンサは、光学イメージ信号を電気信号に変換させる装置である。
イメージセンサは、複数のピクセルを有し、それぞれのピクセルは、入射される光を受光して電気信号に切り換えるフォトダイオードと、フォトダイオードで生成された電荷を用いてピクセル信号に出力するピクセル回路を含む。
イメージセンサは、複数のピクセルを有し、それぞれのピクセルは、入射される光を受光して電気信号に切り換えるフォトダイオードと、フォトダイオードで生成された電荷を用いてピクセル信号に出力するピクセル回路を含む。
【0003】
イメージセンサの集積度が増加することにより、それぞれのピクセルサイズが小さくなる。
このようにピクセルサイズの微細化が進められることにより、フォトダイオードの面積を広げることが課題となっており、そのために、複数のピクセルがトランジスタを共有する共有ピクセル構造がイメージセンサに適用されている。
このようにピクセルサイズの微細化が進められることにより、フォトダイオードの面積を広げることが課題となっており、そのために、複数のピクセルがトランジスタを共有する共有ピクセル構造がイメージセンサに適用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表２０１８－５０４０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は上記従来のイメージセンサにおける課題に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、フローティング拡散領域を基板のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線の長さを減少させ、高い変換利得を保持しながら、固定パターンノイズを最小化することができる共有ピクセル構造のイメージセンサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するためになされた本発明によるイメージセンサは、それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルのそれぞれに配置される伝送トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第１四分面（ｆｉｒｓｔ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第１単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第２四分面（ｓｅｃｏｎｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第３四分面（ｔｈｉｒｄ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第３単位ピクセルと第４四分面（ｆｏｕｒｔｈ ｑｕａｄｒａｎｔ）に位置する第４単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とする。
【0007】
また、上記目的を達成するためになされた本発明によるイメージセンサは、それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する１×２構造の２個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備える複数の単位ピクセルと、前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第１四分面に位置する第１単位ピクセルに配置される第１ソースフォロワトランジスタと、前記単位ピクセルの内の第２四分面に位置する第２単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第３四分面に位置する第３単位ピクセルに配置されるリセットトランジスタ及び選択トランジスタと、前記単位ピクセルの内の第４四分面に位置する第４単位ピクセルに配置される第２ソースフォロワトランジスタと、有し、前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記第１ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、直角であることを特徴とする。
【0008】
また、上記目的を達成するためになされた本発明によるイメージセンサは、それぞれに配置されたフローティング拡散領域を、金属配線を介して共有する２×２構造の４個のサブピクセルを備える共有ピクセルと、前記フローティング拡散領域を取り囲み、前記共有ピクセル内に配置され、前面ディープトレンチ分離を介して互いに分離され、それぞれフォトダイオードを備え、第１行に４個及び第２行に４個が配置される複数の単位ピクセルと、前記フローティング拡散領域に隣接して前記単位ピクセルそれぞれに配置される伝送トランジスタと、前記単位ピクセルの内の前記第１行の１つの単位ピクセルに配置される変換利得トランジスタと、前記単位ピクセルの内の前記第２行の２つの単位ピクセルに配置されるソースフォロワトランジスタと、を有し、前記金属配線は、前記フローティング拡散領域を前記変換利得トランジスタのソース領域と前記ソースフォロワトランジスタのゲートに接続し、前記フローティング拡散領域が前記金属配線と接触してなす角度は、鋭角であることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
本発明に係るイメージセンサによれば、フローティング拡散領域を基板のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線の長さを減少させ、高い変換利得を保持しながら、固定パターンノイズを最小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の実施形態によるイメージセンサの概略構成を説明するためのブロック図である。
【図2】本発明の実施形態によるイメージセンサに含まれるピクセルユニットの例示的な回路図である。
【図9】本発明の実施形態によるイメージセンサに含まれるピクセルユニットの例示的な回路図である。
【図15】マルチカメラモジュールを含む電子装置の概略構成を示すブロック図である。
【図17】本発明の実施形態によるイメージセンサの概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
次に、本発明に係るイメージセンサを実施するための形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【0012】
図１は、本発明の実施形態によるイメージセンサの概略構成を説明するためのブロック図である。
図１を参照すると、本発明の実施形態によるイメージセンサ１００は、ピクセルアレイ１０、及びピクセルアレイ１０を制御するための多数の回路を含む。
一実施形態において、ピクセルアレイ１０を制御するための回路は、カラムドライバ２０、ロウドライバ３０、タイミングコントローラ４０、及びリードアウト回路５０を含み得る。
図１を参照すると、本発明の実施形態によるイメージセンサ１００は、ピクセルアレイ１０、及びピクセルアレイ１０を制御するための多数の回路を含む。
一実施形態において、ピクセルアレイ１０を制御するための回路は、カラムドライバ２０、ロウドライバ３０、タイミングコントローラ４０、及びリードアウト回路５０を含み得る。
【0013】
イメージセンサ１００は、イメージプロセッサ７０から受信する制御命令によって動作し、外部の客体（ｏｂｊｅｃｔ）から伝達される光を電気信号に変換し、イメージプロセッサ７０に出力する。
イメージセンサ１００は、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサであり得る。
ピクセルアレイ１０は、複数の行（ｒｏｗ）ライン及び複数の列（ｃｏｌｕｍｎ）ラインに沿ってマトリックス状に配列された２次元アレイ構造を有する複数のピクセルユニットＰＸＵを含む。
本明細書において、行（又はロウ）は、ピクセルアレイ３４に含まれた複数の単位ピクセルの内の横方向に配置された複数の単位ピクセルの集合を意味し、列（又は、カラム）は、ピクセルアレイ３４に含まれた複数の単位ピクセルの内の縦方向に配置された複数の単位ピクセルの集合を意味する。
イメージセンサ１００は、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサであり得る。
ピクセルアレイ１０は、複数の行（ｒｏｗ）ライン及び複数の列（ｃｏｌｕｍｎ）ラインに沿ってマトリックス状に配列された２次元アレイ構造を有する複数のピクセルユニットＰＸＵを含む。
本明細書において、行（又はロウ）は、ピクセルアレイ３４に含まれた複数の単位ピクセルの内の横方向に配置された複数の単位ピクセルの集合を意味し、列（又は、カラム）は、ピクセルアレイ３４に含まれた複数の単位ピクセルの内の縦方向に配置された複数の単位ピクセルの集合を意味する。
【0014】
複数のピクセルユニットＰＸＵは、それぞれ複数のフォトダイオードを含むマルチピクセル構造を有する。
複数のピクセルユニットＰＸＵのそれぞれで、複数のフォトダイオードは、客体から伝達される光を受光して電荷を生成する。
イメージセンサ１００は、複数のピクセルユニットＰＸＵそれぞれに含まれた複数のフォトダイオードから生成されるピクセル信号の位相差を用いて自動焦点（ａｕｔｏ－ｆｏｃｕｓ）機能を実行する。
複数のピクセルユニットＰＸＵそれぞれは、複数のフォトダイオードで生成される電荷からピクセル信号を生成するためのピクセル回路を含む。
複数のピクセルユニットＰＸＵのそれぞれで、複数のフォトダイオードは、客体から伝達される光を受光して電荷を生成する。
イメージセンサ１００は、複数のピクセルユニットＰＸＵそれぞれに含まれた複数のフォトダイオードから生成されるピクセル信号の位相差を用いて自動焦点（ａｕｔｏ－ｆｏｃｕｓ）機能を実行する。
複数のピクセルユニットＰＸＵそれぞれは、複数のフォトダイオードで生成される電荷からピクセル信号を生成するためのピクセル回路を含む。
【0015】
カラムドライバ２０は、相関二重サンプラ（Ｃｏｒｒｅｌａｔｅｄ Ｄｏｕｂｌｅ Ｓａｍｐｌｅｒ）、アナログ－デジタルコンバータ（Ａｎａｌｏｇ－ｔｏ－Ｄｉｇｉｔａｌ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）などを含む。
相関二重サンプラは、ロウドライバ３０が供給する行選択信号によって選択される行に含まれるピクセルユニットＰＸＵとカラムラインを介して接続され、相関二重サンプリングを実行してリセット電圧及びピクセル電圧を検出する。
アナログ－デジタルコンバータは、相関二重サンプラが検出したリセット電圧及びピクセル電圧をデジタル信号に変換してリードアウト回路５０に伝達する。
相関二重サンプラは、ロウドライバ３０が供給する行選択信号によって選択される行に含まれるピクセルユニットＰＸＵとカラムラインを介して接続され、相関二重サンプリングを実行してリセット電圧及びピクセル電圧を検出する。
アナログ－デジタルコンバータは、相関二重サンプラが検出したリセット電圧及びピクセル電圧をデジタル信号に変換してリードアウト回路５０に伝達する。
【0016】
リードアウト回路５０は、デジタル信号を臨時に保存するラッチ又はバッファ回路や増幅回路などを含み、カラムドライバ２０から受信したデジタル信号を臨時保存するか、増幅してイメージデータを生成する。
カラムドライバ２０、ロウドライバ３０、及びリードアウト回路５０の動作タイミングは、タイミングコントローラ４０によって決定され、タイミングコントローラ４０は、イメージプロセッサ７０が伝送する制御命令によって動作する。
カラムドライバ２０、ロウドライバ３０、及びリードアウト回路５０の動作タイミングは、タイミングコントローラ４０によって決定され、タイミングコントローラ４０は、イメージプロセッサ７０が伝送する制御命令によって動作する。
【0017】
イメージプロセッサ７０は、リードアウト回路５０が出力するイメージデータを信号処理してディスプレイ装置に出力するか、メモリのような保存装置に保存する。
イメージセンサ１００が自律走行車両に搭載される場合、イメージプロセッサ７０は、イメージデータを信号処理して自律走行車両を制御するメインコントローラなどに伝送される。
イメージセンサ１００が自律走行車両に搭載される場合、イメージプロセッサ７０は、イメージデータを信号処理して自律走行車両を制御するメインコントローラなどに伝送される。
【0018】
図２は、本発明の実施形態によるイメージセンサに含まれるピクセルユニットの例示的な回路図であり、図３は、図２の回路図に対応する本発明の一実施形態によるイメージセンサの共有ピクセルの概略構成を示す平面図であり、図４は、図３のＣＸ１部分の拡大図である。
図２～図４を共に参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ａは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
図２～図４を共に参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ａは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
【0019】
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含み得る。
それぞれの単位ピクセルＰＵは、ディープトレンチ分離（ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）ＤＴＩを介して互いに分離される。
一実施形態において、ディープトレンチ分離ＤＴＩは、前面ディープトレンチ分離（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）である。
前面ディープトレンチ分離は、基板１０１の前面から垂直な第３方向（Ｚ方向）に基板１０１の内部に形成される。
また、それぞれの単位ピクセルＰＵの内部には、フォトダイオード１１０が配置される。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含み得る。
それぞれの単位ピクセルＰＵは、ディープトレンチ分離（ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）ＤＴＩを介して互いに分離される。
一実施形態において、ディープトレンチ分離ＤＴＩは、前面ディープトレンチ分離（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ ｄｅｅｐ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）である。
前面ディープトレンチ分離は、基板１０１の前面から垂直な第３方向（Ｚ方向）に基板１０１の内部に形成される。
また、それぞれの単位ピクセルＰＵの内部には、フォトダイオード１１０が配置される。
【0020】
共有ピクセルＳＰは、全体として直射角形態を有し、１つのカラーフィルタ（図示せず）に対応する領域を含む。
すなわち、共有ピクセルＳＰを構成する単位ピクセルＰＵの全てのフォトダイオード１１０の上部に、同一の１つのカラーフィルタ（図示せず）が配置される。
それにより、共有ピクセルＳＰの単位ピクセルＰＵのフォトダイオード１１０には、同じ波長範囲の光が入射される。
一方、共有ピクセルＳＰは、複数のサブピクセルＳＢＰを含む。
サブピクセルＳＢＰは、１つのマイクロレンズ（図示せず）によってカバーされる範囲内のピクセルを意味する。
サブピクセルＳＢＰは、１つの単位ピクセルＰＵを含み、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
すなわち、共有ピクセルＳＰを構成する単位ピクセルＰＵの全てのフォトダイオード１１０の上部に、同一の１つのカラーフィルタ（図示せず）が配置される。
それにより、共有ピクセルＳＰの単位ピクセルＰＵのフォトダイオード１１０には、同じ波長範囲の光が入射される。
一方、共有ピクセルＳＰは、複数のサブピクセルＳＢＰを含む。
サブピクセルＳＢＰは、１つのマイクロレンズ（図示せず）によってカバーされる範囲内のピクセルを意味する。
サブピクセルＳＢＰは、１つの単位ピクセルＰＵを含み、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
【0021】
本実施形態のイメージセンサ１００Ａにおいて、それぞれの共有ピクセルＳＰは、１×２構造の２個のサブピクセルＳＢＰを含む。
また、それぞれのサブピクセルＳＢＰは、２個の単位ピクセルＰＵを含む。
すなわち、１つの共有ピクセルＳＰは、４個の単位ピクセルＰＵを含む。
但し、１つの共有ピクセルＳＰに含むサブピクセルＳＢＰの個数と１つのサブピクセルＳＢＰに含まれる単位ピクセルＰＵの個数が、それに限定されるものではない。
また、それぞれのサブピクセルＳＢＰは、２個の単位ピクセルＰＵを含む。
すなわち、１つの共有ピクセルＳＰは、４個の単位ピクセルＰＵを含む。
但し、１つの共有ピクセルＳＰに含むサブピクセルＳＢＰの個数と１つのサブピクセルＳＢＰに含まれる単位ピクセルＰＵの個数が、それに限定されるものではない。
【0022】
単位ピクセルＰＵは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、及び伝送トランジスタ１３０を含む概念である。
また、垂直な形態において、伝送トランジスタ１３０と多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）は、基板１０１の表面部分に配置され、フォトダイオード１１０は、基板１０１の表面下部、例えば、伝送トランジスタ１３０と多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）の下側に配置される。
一実施形態において、伝送トランジスタ１３０は、垂直ゲート構造を有し、フォトダイオード１１０に接続される。
また、垂直な形態において、伝送トランジスタ１３０と多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）は、基板１０１の表面部分に配置され、フォトダイオード１１０は、基板１０１の表面下部、例えば、伝送トランジスタ１３０と多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）の下側に配置される。
一実施形態において、伝送トランジスタ１３０は、垂直ゲート構造を有し、フォトダイオード１１０に接続される。
【0023】
それぞれのフローティング拡散領域１２０は、それぞれの単位ピクセルＰＵの中心部分に配置される。
しかし、互いに異なる位置に配置されたフローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬを介して共有ピクセルＳＰの全てのフォトダイオード１１０によって互いに共有される。
すなわち、共有ピクセルＳＰの全てのフォトダイオード１１０で生成された電荷は、フローティング拡散領域１２０に保存されてイメージ信号に用いられる。
フローティング拡散領域１２０の平面的な形態を具体的に説明すれば、それぞれのフローティング拡散領域１２０は、単位ピクセルＰＵを互いに分けるディープトレンチ分離ＤＴＩによって取り囲まれた形態を有する。
また、サブピクセルＳＢＰ内で２個の単位ピクセルＰＵを互いに分けるディープトレンチ分離ＤＴＩの一部が途切れた基板１０１のシリコン領域で互いに接触し、それぞれの単位ピクセルＰＵで斜線方向に拡張した形態を有する。
しかし、互いに異なる位置に配置されたフローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬを介して共有ピクセルＳＰの全てのフォトダイオード１１０によって互いに共有される。
すなわち、共有ピクセルＳＰの全てのフォトダイオード１１０で生成された電荷は、フローティング拡散領域１２０に保存されてイメージ信号に用いられる。
フローティング拡散領域１２０の平面的な形態を具体的に説明すれば、それぞれのフローティング拡散領域１２０は、単位ピクセルＰＵを互いに分けるディープトレンチ分離ＤＴＩによって取り囲まれた形態を有する。
また、サブピクセルＳＢＰ内で２個の単位ピクセルＰＵを互いに分けるディープトレンチ分離ＤＴＩの一部が途切れた基板１０１のシリコン領域で互いに接触し、それぞれの単位ピクセルＰＵで斜線方向に拡張した形態を有する。
【0024】
一方、本実施形態のイメージセンサ１００Ａの共有ピクセルＳＰは、高画素モードと高感度モードとを互いに切り変えながら用いられ得る。
ここで、高画素モードは、それぞれの単位ピクセルＰＵ又はそれぞれのサブピクセルＳＢＰの光感知信号を独立して使用するモードを意味し、高感度モードは、共有ピクセルＳＰを構成する単位ピクセルＰＵの光感知信号を併合して使用するモードを意味する。
すなわち、高画素モードの場合、共有ピクセルＳＰ内の単位ピクセルＰＵそれぞれ、又はサブピクセルＳＢＰそれぞれのフォトダイオード１１０で発生した電荷がフローティング拡散領域１２０を経てそれぞれのイメージ信号に用いられる。
これと異なって、高感度モードの場合、共有ピクセルＳＰ内の単位ピクセルＰＵの全フォトダイオード１１０で発生した全ての電荷が、フローティング拡散領域１２０に共に蓄積され、全体電荷が１つのイメージ信号に用いられる。
ここで、高画素モードは、それぞれの単位ピクセルＰＵ又はそれぞれのサブピクセルＳＢＰの光感知信号を独立して使用するモードを意味し、高感度モードは、共有ピクセルＳＰを構成する単位ピクセルＰＵの光感知信号を併合して使用するモードを意味する。
すなわち、高画素モードの場合、共有ピクセルＳＰ内の単位ピクセルＰＵそれぞれ、又はサブピクセルＳＢＰそれぞれのフォトダイオード１１０で発生した電荷がフローティング拡散領域１２０を経てそれぞれのイメージ信号に用いられる。
これと異なって、高感度モードの場合、共有ピクセルＳＰ内の単位ピクセルＰＵの全フォトダイオード１１０で発生した全ての電荷が、フローティング拡散領域１２０に共に蓄積され、全体電荷が１つのイメージ信号に用いられる。
【0025】
共有ピクセルＳＰ内のそれぞれの単位ピクセルＰＵには、伝送トランジスタ１３０が配置される。
例えば、共有ピクセルＳＰが４個の単位ピクセルＰＵを含むことにより、共有ピクセルＳＰ内に４個の伝送トランジスタ１３０が配置される。
伝送トランジスタ１３０は、対応するフォトダイオード１１０で生成された電荷をフローティング拡散領域１２０に伝達する。
図面には、伝送トランジスタ１３０の伝送ゲートＴＧを示しており、伝送ゲートＴＧ、それに対応するフォトダイオード１１０、及びそれに対応するフローティング拡散領域１２０が伝送トランジスタ１３０を構成する。
共有ピクセルＳＰは、フローティング拡散領域１２０に保存された電荷に対応する信号を伝達するための多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）を含む。
例えば、共有ピクセルＳＰが４個の単位ピクセルＰＵを含むことにより、共有ピクセルＳＰ内に４個の伝送トランジスタ１３０が配置される。
伝送トランジスタ１３０は、対応するフォトダイオード１１０で生成された電荷をフローティング拡散領域１２０に伝達する。
図面には、伝送トランジスタ１３０の伝送ゲートＴＧを示しており、伝送ゲートＴＧ、それに対応するフォトダイオード１１０、及びそれに対応するフローティング拡散領域１２０が伝送トランジスタ１３０を構成する。
共有ピクセルＳＰは、フローティング拡散領域１２０に保存された電荷に対応する信号を伝達するための多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）を含む。
【0026】
多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）は、例えば、変換利得トランジスタ１４０、ソースフォロワトランジスタ１５０、リセットトランジスタ１６０、及び選択トランジスタ１７０を含む。
図面には、変換利得トランジスタ１４０の変換利得ゲートＣＧを示し、ソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦを示している。
変換利得ゲートＣＧとその両側に形成された高濃度ドーピング領域が変換利得トランジスタ１４０を構成し、ソースフォロワゲートＳＦとその両側に形成された高濃度ドーピング領域がソースフォロワトランジスタ１５０を構成する。
一方、変換利得トランジスタ１４０は、共有ピクセルＳＰのデュアル変換利得（Ｄｕａｌ Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ Ｇａｉｎ）やトリプル変換利得（Ｔｒｉｐｌｅ Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ Ｇａｉｎ）の具現のために用いられる。
ここで、変換利得とは、フォトダイオード１１０で生成された電荷がフローティング拡散領域１２０に移されて蓄積され、蓄積された電荷が電圧に変わる割合を意味する。
図面には、変換利得トランジスタ１４０の変換利得ゲートＣＧを示し、ソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦを示している。
変換利得ゲートＣＧとその両側に形成された高濃度ドーピング領域が変換利得トランジスタ１４０を構成し、ソースフォロワゲートＳＦとその両側に形成された高濃度ドーピング領域がソースフォロワトランジスタ１５０を構成する。
一方、変換利得トランジスタ１４０は、共有ピクセルＳＰのデュアル変換利得（Ｄｕａｌ Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ Ｇａｉｎ）やトリプル変換利得（Ｔｒｉｐｌｅ Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ Ｇａｉｎ）の具現のために用いられる。
ここで、変換利得とは、フォトダイオード１１０で生成された電荷がフローティング拡散領域１２０に移されて蓄積され、蓄積された電荷が電圧に変わる割合を意味する。
【0027】
本実施形態のイメージセンサ１００Ａの共有ピクセルＳＰでフローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬを介して変換利得トランジスタ１４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦに接続される。
そのような接続関係は、回路図を通じて理解され得る。
参考までに、金属配線ＭＬは、垂直コンタクト（図示せず）を通じて当該構成要素に接続される。
本実施形態のイメージセンサ１００Ａを構成するそれぞれの構成要素の配置関係を説明すれば、次の通りである。
理解の便宜上、座標平面を基準にする第１～第４四分面を借用して説明する。
ここで、単位ピクセルＰＵの内の第１四分面（丸１）に位置する単位ピクセルＰＵを第１単位ピクセルＰＵ１と称し、第２四分面（丸２）に位置する単位ピクセルＰＵを第２単位ピクセルＰＵ２と称し、第３四分面（丸３）に位置する単位ピクセルＰＵを第３単位ピクセルＰＵ３と称し、第４四分面（丸４）に位置する単位ピクセルＰＵを第４単位ピクセルＰＵ４と称する。
そのような接続関係は、回路図を通じて理解され得る。
参考までに、金属配線ＭＬは、垂直コンタクト（図示せず）を通じて当該構成要素に接続される。
本実施形態のイメージセンサ１００Ａを構成するそれぞれの構成要素の配置関係を説明すれば、次の通りである。
理解の便宜上、座標平面を基準にする第１～第４四分面を借用して説明する。
ここで、単位ピクセルＰＵの内の第１四分面（丸１）に位置する単位ピクセルＰＵを第１単位ピクセルＰＵ１と称し、第２四分面（丸２）に位置する単位ピクセルＰＵを第２単位ピクセルＰＵ２と称し、第３四分面（丸３）に位置する単位ピクセルＰＵを第３単位ピクセルＰＵ３と称し、第４四分面（丸４）に位置する単位ピクセルＰＵを第４単位ピクセルＰＵ４と称する。
【0028】
第１単位ピクセルＰＵ１にリセットトランジスタ１６０及び選択トランジスタ１７０が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域１８１が配置される。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域１８１が配置される。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
【0029】
第３単位ピクセルＰＵ３と第４単位ピクセルＰＵ４にわたってソースフォロワトランジスタ１５０の併合された（ｍｅｒｇｅｄ）ゲート構造体が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンで構成されるので、ソースフォロワトランジスタ１５０とフローティング拡散領域１２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ得る。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンで構成されるので、ソースフォロワトランジスタ１５０とフローティング拡散領域１２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ得る。
【0030】
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域１８４が配置される。
前述したように金属配線ＭＬは、フローティング拡散領域１２０を変換利得トランジスタ１４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦを電気的に接続する。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域１８４が配置される。
前述したように金属配線ＭＬは、フローティング拡散領域１２０を変換利得トランジスタ１４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦを電気的に接続する。
【0031】
本実施形態のイメージセンサ１００Ａにおいて、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬと接触してなす第１角度θ１が鋭角をなすように配置される。
一実施形態において、金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ１４０のソース領域で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１、及びソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦで第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２を含む。
ここで、第１金属配線ＭＬ１の端部と第２金属配線ＭＬ２の端部が接触してなす角度は直角である。
すなわち、金属配線ＭＬは、Ｌ形状に配置される。
一実施形態において、金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ１４０のソース領域で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１、及びソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦで第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２を含む。
ここで、第１金属配線ＭＬ１の端部と第２金属配線ＭＬ２の端部が接触してなす角度は直角である。
すなわち、金属配線ＭＬは、Ｌ形状に配置される。
【0032】
ここで、フローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬの内の第２金属配線ＭＬ２と接触するように配置される。
すなわち、フローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬの内の第１金属配線ＭＬ１とは接触しない。
フローティング拡散領域１２０が第２金属配線ＭＬ２と接触してなす角度は、約４５°である。
但し、上記角度が、それに限定されるものではない。
これにより、伝送トランジスタ１３０は、第２金属配線ＭＬ２に対して斜線方向に位置する。
すなわち、フローティング拡散領域１２０は、金属配線ＭＬの内の第１金属配線ＭＬ１とは接触しない。
フローティング拡散領域１２０が第２金属配線ＭＬ２と接触してなす角度は、約４５°である。
但し、上記角度が、それに限定されるものではない。
これにより、伝送トランジスタ１３０は、第２金属配線ＭＬ２に対して斜線方向に位置する。
【0033】
また、第２金属配線ＭＬ２は、単位ピクセルＰＵの境界線に沿って配置される。
これにより、第２金属配線ＭＬ２は、ソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦの中央に接続される。
それに付け加えて、金属配線ＭＬの少なくとも一部は、ディープトレンチ分離ＤＴＩと垂直な第３方向（Ｚ方向）にオーバーラップされるように配置される。
そのような配置関係によって、金属配線ＭＬの長さは、相対的に短くなり、フローティング拡散領域１２０と伝送トランジスタ１３０との間の第１距離Ｄ１は、相対的に長くなる。
これに関連する効果は後述する。
これにより、第２金属配線ＭＬ２は、ソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦの中央に接続される。
それに付け加えて、金属配線ＭＬの少なくとも一部は、ディープトレンチ分離ＤＴＩと垂直な第３方向（Ｚ方向）にオーバーラップされるように配置される。
そのような配置関係によって、金属配線ＭＬの長さは、相対的に短くなり、フローティング拡散領域１２０と伝送トランジスタ１３０との間の第１距離Ｄ１は、相対的に長くなる。
これに関連する効果は後述する。
【0034】
一方、図面には、１つの共有ピクセルＳＰのみを示しているが、本実施形態のイメージセンサ１００Ａは、２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含み得る。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ａで共有ピクセルＳＰは、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）によってそれぞれ複数に配置される。
本実施形態のイメージセンサ１００Ａにおいて、金属配線ＭＬによって電気的に接続された複数のフローティング拡散領域１２０が配置され、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬを介して、変換利得トランジスタ１４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦに接続される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ａで共有ピクセルＳＰは、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）によってそれぞれ複数に配置される。
本実施形態のイメージセンサ１００Ａにおいて、金属配線ＭＬによって電気的に接続された複数のフローティング拡散領域１２０が配置され、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬを介して、変換利得トランジスタ１４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦに接続される。
【0035】
一般的なイメージセンサの場合、共有ピクセルが２個のサブピクセルを含むがサブピクセルそれぞれにフローティング拡散領域が配置され、そのフローティング拡散領域がいずれも金属配線を介して接続される構造を有する。
一般的なイメージセンサの場合、フローティング拡散領域に対応する金属配線の長さ増加に起因し、変換利得が減少される問題が発生する。
また、フローティング拡散領域と伝送ゲートとの距離減少に起因して固定パターンノイズが増加する問題が発生する可能性がある。
一般的なイメージセンサの場合、フローティング拡散領域に対応する金属配線の長さ増加に起因し、変換利得が減少される問題が発生する。
また、フローティング拡散領域と伝送ゲートとの距離減少に起因して固定パターンノイズが増加する問題が発生する可能性がある。
【0036】
そのような問題を解決するために、本実施形態のイメージセンサ１００Ａでは、フローティング拡散領域１２０を基板１０１のシリコン領域を介して共有する。
すなわち、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬとなす第１角度θ１を鋭角にデザインすることにより、金属配線ＭＬの長さが相対的に減少して変換利得が相対的に増加する。
また、フローティング拡散領域と伝送ゲートとの第１距離Ｄ１を斜線方向にデザインすることで、固定パターンノイズが相対的に減少する。
究極的に、本発明の実施形態によるイメージセンサ１００Ａは、フローティング拡散領域１２０を基板１０１のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ、高い変換利得を保持しつつも、固定パターンノイズを最小化することができる効果がある。
すなわち、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬとなす第１角度θ１を鋭角にデザインすることにより、金属配線ＭＬの長さが相対的に減少して変換利得が相対的に増加する。
また、フローティング拡散領域と伝送ゲートとの第１距離Ｄ１を斜線方向にデザインすることで、固定パターンノイズが相対的に減少する。
究極的に、本発明の実施形態によるイメージセンサ１００Ａは、フローティング拡散領域１２０を基板１０１のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ、高い変換利得を保持しつつも、固定パターンノイズを最小化することができる効果がある。
【0037】
図５～図８は、図２の回路図に対応する本発明の他の実施形態によるイメージセンサの共有ピクセルの概略構成を示す平面図である。
以下で説明するイメージセンサ（１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ）を構成するほとんどの構成要素及び構成要素をなす物質は、図２～図４で説明したところと実質的に同一であるか、類似している。
したがって、説明の便宜上、前述したイメージセンサ１００Ａとの相違を中心に説明する。
以下で説明するイメージセンサ（１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ）を構成するほとんどの構成要素及び構成要素をなす物質は、図２～図４で説明したところと実質的に同一であるか、類似している。
したがって、説明の便宜上、前述したイメージセンサ１００Ａとの相違を中心に説明する。
【0038】
図５を参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ｂは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
【0039】
第１単位ピクセルＰＵ１にリセットトランジスタ１６０及び選択トランジスタ１７０が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域１８１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域１８１が配置される。
【0040】
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置されうる。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置されうる。
【0041】
第３単位ピクセルＰＵ３に第１ソースフォロワトランジスタ１５１が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４に第２ソースフォロワトランジスタ１５２が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域１８４が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ｂにおいて、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（１５１、１５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態に形成され、分離されたゲート構造体が第３金属配線ＭＬ３を介して互いに電気的に接続される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４に第２ソースフォロワトランジスタ１５２が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域１８４が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ｂにおいて、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（１５１、１５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態に形成され、分離されたゲート構造体が第３金属配線ＭＬ３を介して互いに電気的に接続される。
【0042】
図６を参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ｃは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
【0043】
第１単位ピクセルＰＵ１にリセットトランジスタ１６０及び選択トランジスタ１７０が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に接地領域１８０が配置されない。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に接地領域１８０が配置されない。
【0044】
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
【0045】
第３単位ピクセルＰＵ３と第４単位ピクセルＰＵ４にわたってソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンで構成されるので、ソースフォロワトランジスタ１５０とフローティング拡散領域１２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ１５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンで構成されるので、ソースフォロワトランジスタ１５０とフローティング拡散領域１２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
【0046】
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に接地領域１８０が配置されない。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ｃにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域１８０が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に接地領域１８０が配置されない。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ｃにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域１８０が配置される。
【0047】
図７を参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ｄは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及び接地領域１８０を含む。
【0048】
第１単位ピクセルＰＵ１にリセットトランジスタ１６０及び選択トランジスタ１７０が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に接地領域１８０が配置されない。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に接地領域１８０が配置されない。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域１８２が配置される。
【0049】
第３単位ピクセルＰＵ３に第１ソースフォロワトランジスタ１５１が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４に第２ソースフォロワトランジスタ１５２が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に接地領域１８０が配置されない。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域１８３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４に第２ソースフォロワトランジスタ１５２が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に接地領域１８０が配置されない。
【0050】
すなわち、本実施形態のイメージセンサ１００Ｄで、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（１５１、１５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態に形成され、分離したゲート構造体が第３金属配線ＭＬ３を介して互いに電気的に接続される。
また、本実施形態のイメージセンサ１００Ｄで、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域１８０が配置される。
また、本実施形態のイメージセンサ１００Ｄで、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域１８０が配置される。
【0051】
図８を参照すると、本実施形態のイメージセンサ１００Ｅは、基板１０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及びダミートランジスタ１９０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード１１０、フローティング拡散領域１２０、伝送トランジスタ１３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（１４０、１５０、１６０、１７０）、及びダミートランジスタ１９０を含む。
【0052】
第１単位ピクセルＰＵ１にソースフォロワトランジスタ１５０が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１ダミートランジスタ１９１が配置される。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１フローティング拡散領域１２１及び第１伝送トランジスタ１３１が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１ダミートランジスタ１９１が配置される。
第２単位ピクセルＰＵ２に変換利得トランジスタ１４０が配置される。
変換利得トランジスタ１４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ１４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第２単位ピクセルＰＵ２に第２フローティング拡散領域１２２及び第２伝送トランジスタ１３２が配置される。
【0053】
第３単位ピクセルＰＵ３にリセットトランジスタ１６０及び選択トランジスタ１７０が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４にソースフォロワトランジスタ１５０が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０は、第１単位ピクセルＰＵ１と第４単位ピクセルＰＵ４にそれぞれ配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４ダミートランジスタ１９４が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３フローティング拡散領域１２３及び第３伝送トランジスタ１３３が配置される。
第４単位ピクセルＰＵ４にソースフォロワトランジスタ１５０が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ１５０は、第１単位ピクセルＰＵ１と第４単位ピクセルＰＵ４にそれぞれ配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４フローティング拡散領域１２４及び第４伝送トランジスタ１３４が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４に第４ダミートランジスタ１９４が配置される。
【0054】
本実施形態のイメージセンサ１００Ｅにおいて、フローティング拡散領域１２０が金属配線ＭＬと接触してなす角度は直角である。
金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ１４０のソース領域でソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦまで第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１及び第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２を含む。
フローティング拡散領域１２０は、第２金属配線ＭＬ２の一端部及び他端部に接続されるように配置される。
また、伝送トランジスタ１３０は、第２金属配線ＭＬ２に対して平行に位置する。
金属配線ＭＬの少なくとも一部は、ディープトレンチ分離ＤＴＩと垂直な第３方向（Ｚ方向）にオーバーラップされるように配置される。
また、金属配線ＭＬは、十字状に配置され、十字状の中心点は、共有ピクセルＳＰの中心点と一致するように配置される。
金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ１４０のソース領域でソースフォロワトランジスタ１５０のソースフォロワゲートＳＦまで第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１及び第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２を含む。
フローティング拡散領域１２０は、第２金属配線ＭＬ２の一端部及び他端部に接続されるように配置される。
また、伝送トランジスタ１３０は、第２金属配線ＭＬ２に対して平行に位置する。
金属配線ＭＬの少なくとも一部は、ディープトレンチ分離ＤＴＩと垂直な第３方向（Ｚ方向）にオーバーラップされるように配置される。
また、金属配線ＭＬは、十字状に配置され、十字状の中心点は、共有ピクセルＳＰの中心点と一致するように配置される。
【0055】
図９は、本発明の実施形態によるイメージセンサに含まれるピクセルユニットの例示的な回路図であり、図１０は、図９の回路図に対応する本発明の一実施形態によるイメージセンサの共有ピクセルの概略構成を示す平面図であり、図１１は、図１０のＣＸ２部分の拡大図である。
図９～図１１を共に参照すると、本実施形態のイメージセンサ２００Ａは、基板２０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
図９～図１１を共に参照すると、本実施形態のイメージセンサ２００Ａは、基板２０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
【0056】
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
本実施形態のイメージセンサ２００Ａにおいて、それぞれの共有ピクセルＳＰは、２×２構造の４個のサブピクセルＳＢＰを含む。
また、それぞれのサブピクセルＳＢＰは、２個の単位ピクセルＰＵを含む。
但し、共有ピクセルＳＰに含むサブピクセルＳＢＰの個数とサブピクセルＳＢＰに含まれる単位ピクセルＰＵの個数が、それに限定されるものではない。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
本実施形態のイメージセンサ２００Ａにおいて、それぞれの共有ピクセルＳＰは、２×２構造の４個のサブピクセルＳＢＰを含む。
また、それぞれのサブピクセルＳＢＰは、２個の単位ピクセルＰＵを含む。
但し、共有ピクセルＳＰに含むサブピクセルＳＢＰの個数とサブピクセルＳＢＰに含まれる単位ピクセルＰＵの個数が、それに限定されるものではない。
【0057】
本実施形態のイメージセンサ２００Ａを構成するそれぞれの構成要素の配置関係を説明すれば、次の通りである。
理解の便宜上、図面で上側を第１行１Ｒと称し、図面で下側を第２行２Ｒと称する。
ここで、単位ピクセルＰＵの内の第１行１Ｒに配置される単位ピクセルＰＵを順に第１～第４単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４）と称し、単位ピクセルＰＵの内の第２行２Ｒに配置される単位ピクセルＰＵを順に第５～第８単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６、ＰＵ７、ＰＵ８）と称する。
理解の便宜上、図面で上側を第１行１Ｒと称し、図面で下側を第２行２Ｒと称する。
ここで、単位ピクセルＰＵの内の第１行１Ｒに配置される単位ピクセルＰＵを順に第１～第４単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４）と称し、単位ピクセルＰＵの内の第２行２Ｒに配置される単位ピクセルＰＵを順に第５～第８単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６、ＰＵ７、ＰＵ８）と称する。
【0058】
第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）にそれぞれ変換利得トランジスタ２４０が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２接地領域（２８１、２８２）が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得ゲートＤＣＧ１及び第２変換利得ゲートＤＣＧ２を含むが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２接地領域（２８１、２８２）が配置される。
【0059】
第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）にそれぞれリセットトランジスタ２６０及び選択トランジスタ２７０が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４接地領域（２８３、２８４）が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４接地領域（２８３、２８４）が配置される。
【0060】
第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）にわたってソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンからなるので、ソースフォロワトランジスタ２５０とフローティング拡散領域２２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６接地領域（２８５、２８６）が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンからなるので、ソースフォロワトランジスタ２５０とフローティング拡散領域２２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６接地領域（２８５、２８６）が配置される。
【0061】
第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）にそれぞれダミートランジスタ２９０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８接地領域（２８７、２８８）が配置される。
金属配線ＭＬは、フローティング拡散領域２２０を変換利得トランジスタ２４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ２５０のソースフォロワゲートＳＦに電気的に接続させる。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８接地領域（２８７、２８８）が配置される。
金属配線ＭＬは、フローティング拡散領域２２０を変換利得トランジスタ２４０のソース領域とソースフォロワトランジスタ２５０のソースフォロワゲートＳＦに電気的に接続させる。
【0062】
本実施形態のイメージセンサ２００Ａにおいて、フローティング拡散領域２２０が金属配線ＭＬと接触してなす第２角度θ２が鋭角をなすように配置される。
一実施形態において、金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ２４０のソース領域で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１、ソースフォロワトランジスタ２５０のソースフォロワゲートＳＦで第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２、第２金属配線ＭＬ２の中心近傍で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第３金属配線ＭＬ３、及び第３金属配線ＭＬ３の端部で第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第４金属配線ＭＬ４を含む。
ここで、第１～第４金属配線（ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３、ＭＬ４）は、電気的に接続される。
一実施形態において、金属配線ＭＬは、変換利得トランジスタ２４０のソース領域で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第１金属配線ＭＬ１、ソースフォロワトランジスタ２５０のソースフォロワゲートＳＦで第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第２金属配線ＭＬ２、第２金属配線ＭＬ２の中心近傍で第１方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成される第３金属配線ＭＬ３、及び第３金属配線ＭＬ３の端部で第２方向（Ｙ方向）に沿って直線状に形成される第４金属配線ＭＬ４を含む。
ここで、第１～第４金属配線（ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３、ＭＬ４）は、電気的に接続される。
【0063】
ここで、フローティング拡散領域２２０は、金属配線ＭＬの内の第２及び第４金属配線（ＭＬ２、ＭＬ４）と接触するように配置される。
すなわち、フローティング拡散領域２２０は、金属配線ＭＬの内の第１及び第３金属配線（ＭＬ１、ＭＬ３）とは接触しない。
フローティング拡散領域２２０が第２及び第４金属配線（ＭＬ２、ＭＬ４）と接触してなす角度は、約４５°である。
但し、上記角度が、それに限定されるものではない。
これにより、伝送トランジスタ２３０は、第２及び第４金属配線（ＭＬ２、ＭＬ４）に対して斜線方向に位置する。
そのような配置関係によって、金属配線ＭＬの長さは、相対的に短くなり、フローティング拡散領域２２０と伝送トランジスタ２３０との第２距離Ｄ２は、相対的に長くなる。
これに関連する効果は前述した通りである。
すなわち、フローティング拡散領域２２０は、金属配線ＭＬの内の第１及び第３金属配線（ＭＬ１、ＭＬ３）とは接触しない。
フローティング拡散領域２２０が第２及び第４金属配線（ＭＬ２、ＭＬ４）と接触してなす角度は、約４５°である。
但し、上記角度が、それに限定されるものではない。
これにより、伝送トランジスタ２３０は、第２及び第４金属配線（ＭＬ２、ＭＬ４）に対して斜線方向に位置する。
そのような配置関係によって、金属配線ＭＬの長さは、相対的に短くなり、フローティング拡散領域２２０と伝送トランジスタ２３０との第２距離Ｄ２は、相対的に長くなる。
これに関連する効果は前述した通りである。
【0064】
一方、図面には、１つの共有ピクセルＳＰのみを示しているが、本実施形態のイメージセンサ２００Ａは、２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ａで共有ピクセルＳＰは、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）によってそれぞれ複数に配置される。
究極的に、本発明の実施形態によるイメージセンサ２００Ａは、フローティング拡散領域２２０を基板２０１のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ、高い変換利得を保持しつつも、固定パターンノイズを最小化することができる効果がある。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ａで共有ピクセルＳＰは、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）によってそれぞれ複数に配置される。
究極的に、本発明の実施形態によるイメージセンサ２００Ａは、フローティング拡散領域２２０を基板２０１のシリコン領域を介して共有することにより、それらを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させ、高い変換利得を保持しつつも、固定パターンノイズを最小化することができる効果がある。
【0065】
図１２～図１４は、図９の回路図に対応する本発明の他の実施形態によるイメージセンサの共有ピクセルの概略構成を示す平面図である。
以下で説明するイメージセンサ（２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄ）を構成するほとんどの構成要素及び構成要素をなす物質は、上記図９～図１１で説明したところと実質的に同一であるか、類似している。
したがって、説明の便宜上、前述したイメージセンサ２００Ａとの違いを中心に説明する。
以下で説明するイメージセンサ（２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄ）を構成するほとんどの構成要素及び構成要素をなす物質は、上記図９～図１１で説明したところと実質的に同一であるか、類似している。
したがって、説明の便宜上、前述したイメージセンサ２００Ａとの違いを中心に説明する。
【0066】
図１２を参照すると、本実施形態のイメージセンサ２００Ｂは、基板２０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
【0067】
第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）にそれぞれ変換利得トランジスタ２４０が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域２８１が配置され、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域２８２が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１に第１接地領域２８１が配置され、第２単位ピクセルＰＵ２に第２接地領域２８２が配置される。
【0068】
第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）にそれぞれリセットトランジスタ２６０及び選択トランジスタ２７０が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域２８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域２８４が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第３単位ピクセルＰＵ３に第３接地領域２８３が配置され、第４単位ピクセルＰＵ４に第４接地領域２８４が配置される。
【0069】
第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）にそれぞれ対応するように第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）が配置される。
すなわち、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態で形成され、分離されたゲート構造体が第５金属配線ＭＬ５を介して互いに電気的に接続される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５に第５接地領域２８５が配置され、第６単位ピクセルＰＵ６に第６接地領域２８６が配置される。
すなわち、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態で形成され、分離されたゲート構造体が第５金属配線ＭＬ５を介して互いに電気的に接続される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５に第５接地領域２８５が配置され、第６単位ピクセルＰＵ６に第６接地領域２８６が配置される。
【0070】
第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）にそれぞれダミートランジスタ２９０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第７単位ピクセルＰＵ７に第７接地領域２８７が配置され、第８単位ピクセルＰＵ８に第８接地領域２８８が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第７単位ピクセルＰＵ７に第７接地領域２８７が配置され、第８単位ピクセルＰＵ８に第８接地領域２８８が配置される。
【0071】
図１３を参照すると、本実施形態のイメージセンサ２００Ｃは、基板２０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
【0072】
第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）にそれぞれ変換利得トランジスタ２４０が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１にだけ第１接地領域２８１が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１にだけ第１接地領域２８１が配置される。
【0073】
第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）にそれぞれリセットトランジスタ２６０及び選択トランジスタ２７０が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４にのみ第４接地領域２８４が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４にのみ第４接地領域２８４が配置される。
【0074】
第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）にわたってソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンからなるので、ソースフォロワトランジスタ２５０とフローティング拡散領域２２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５にのみ第５接地領域２８５が配置される。
すなわち、ソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、他のピクセルトランジスタのゲート構造体に比べて、占める平面積がさらに大きくなるが、それに限定されるものではない。
そのようなソースフォロワトランジスタ２５０の併合されたゲート構造体は、導電性を有するポリシリコンからなるので、ソースフォロワトランジスタ２５０とフローティング拡散領域２２０とを接続する金属配線ＭＬの長さを減少させる。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５にのみ第５接地領域２８５が配置される。
【0075】
第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）にそれぞれダミートランジスタ２９０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第８単位ピクセルＰＵ８にのみ第８接地領域２８８が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ｃにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域２８０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第８単位ピクセルＰＵ８にのみ第８接地領域２８８が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ｃにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域２８０が配置される。
【0076】
図１４を参照すると、本実施形態のイメージセンサ２００Ｄは、基板２０１上に２次元アレイ構造に配置された複数の共有ピクセルＳＰを含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
それぞれの共有ピクセルＳＰは、複数の単位ピクセルＰＵを含む。
一実施形態において、共有ピクセルＳＰは、フォトダイオード２１０、フローティング拡散領域２２０、伝送トランジスタ２３０、多様な種類のピクセルトランジスタ（２４０、２５０、２６０、２７０）、接地領域２８０、及びダミートランジスタ２９０を含む。
【0077】
第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）にそれぞれ変換利得トランジスタ２４０が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１にのみ第１接地領域２８１が配置される。
変換利得トランジスタ２４０は、第１変換利得トランジスタ及び第２変換利得トランジスタで構成されるが、それに限定されるものではない。
例えば、変換利得トランジスタ２４０は、１つだけ存在してもよい。
また、第１及び第２単位ピクセル（ＰＵ１、ＰＵ２）に第１及び第２フローティング拡散領域（２２１、２２２）と第１及び第２伝送トランジスタ（２３１、２３２）が配置される。
また、第１単位ピクセルＰＵ１にのみ第１接地領域２８１が配置される。
【0078】
第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）にそれぞれリセットトランジスタ２６０及び選択トランジスタ２７０が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４にのみ第４接地領域２８４が配置される。
また、第３及び第４単位ピクセル（ＰＵ３、ＰＵ４）に第３及び第４フローティング拡散領域（２２３、２２４）と第３及び第４伝送トランジスタ（２３３、２３４）が配置される。
また、第４単位ピクセルＰＵ４にのみ第４接地領域２８４が配置される。
【0079】
第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）にそれぞれ対応するように第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）が配置される。
すなわち、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態で形成され、分離されたゲート構造体が第５金属配線ＭＬ５を介して互いに電気的に接続される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５にのみ第５接地領域２８５が配置される。
すなわち、第１及び第２ソースフォロワトランジスタ（２５１、２５２）は、ゲート構造体がそれぞれ分離された状態で形成され、分離されたゲート構造体が第５金属配線ＭＬ５を介して互いに電気的に接続される。
また、第５及び第６単位ピクセル（ＰＵ５、ＰＵ６）に第５及び第６フローティング拡散領域（２２５、２２６）と第５及び第６伝送トランジスタ（２３５、２３６）が配置される。
また、第５単位ピクセルＰＵ５にのみ第５接地領域２８５が配置される。
【0080】
第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）にそれぞれダミートランジスタ２９０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第８単位ピクセルＰＵ８にのみ第８接地領域２８８が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ｄにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域２８０が配置される。
また、第７及び第８単位ピクセル（ＰＵ７、ＰＵ８）に第７及び第８フローティング拡散領域（２２７、２２８）と第７及び第８伝送トランジスタ（２３７、２３８）が配置される。
また、第８単位ピクセルＰＵ８にのみ第８接地領域２８８が配置される。
すなわち、本実施形態のイメージセンサ２００Ｄにおいて、１つのサブピクセルＳＢＰに１つの接地領域２８０が配置される。
【0081】
図１５は、マルチカメラモジュールを含む電子装置の概略構成を示すブロック図であり、図１６は、図１５のカメラモジュールの詳細ブロック図である。
図１５を参照すると、電子装置１０００は、カメラモジュールグループ１１００、アプリケーションプロセッサ１２００、ＰＭＩＣ１３００、及びストレージ１４００を含む。
カメラモジュールグループ１１００は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）を含む。
たとえば、図面には、３個のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が配置された実施形態を示しているが、実施形態が、それに限定されるものではない。
一実施形態において、カメラモジュールグループ１１００は、２個のカメラモジュールのみを含むか、ｎ個（ここで、ｎは、４以上の自然数）のカメラモジュールを含むように変形されて実施することもできる。
図１５を参照すると、電子装置１０００は、カメラモジュールグループ１１００、アプリケーションプロセッサ１２００、ＰＭＩＣ１３００、及びストレージ１４００を含む。
カメラモジュールグループ１１００は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）を含む。
たとえば、図面には、３個のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が配置された実施形態を示しているが、実施形態が、それに限定されるものではない。
一実施形態において、カメラモジュールグループ１１００は、２個のカメラモジュールのみを含むか、ｎ個（ここで、ｎは、４以上の自然数）のカメラモジュールを含むように変形されて実施することもできる。
【0082】
図１６を参照すると、カメラモジュール１１００ｂは、プリズム１１０５、光学経路フォールディング要素（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｐａｔｈ Ｆｏｌｄｉｎｇ Ｅｌｅｍｅｎｔ：ＯＰＦＥ）１１１０、アクチュエータ１１３０、イメージセンシング装置１１４０、及び保存部１１５０を含む。
ここで、１つのカメラモジュール１１００ｂの詳細構成についてさらに具体的に説明するが、以下の説明は、実施形態によって他のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）についても同一に適用され得る。
ここで、１つのカメラモジュール１１００ｂの詳細構成についてさらに具体的に説明するが、以下の説明は、実施形態によって他のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）についても同一に適用され得る。
【0083】
プリズム１１０５は、光反射物質の反射面１１０７を含めて外部から入射される光Ｌの経路を変更させる。
一実施形態において、プリズム１１０５は、第１方向（Ｘ方向）に入射される光Ｌの経路を第１方向（Ｘ方向）に垂直な第２方向（Ｙ方向）に変更させる。
また、プリズム１１０５は、光反射物質の反射面１１０７を、中心軸１１０６を中心にＡ方向に回転させるか、中心軸１１０６をＢ方向に回転させて第１方向（Ｘ方向）に入射される光Ｌの経路を垂直な第２方向（Ｙ方向）に変更させる。
その場合、ＯＰＦＥ１１１０も第１方向（Ｘ方向）及び第２方向（Ｙ方向）と垂直な第３方向（Ｚ方向）に移動し得る。
一実施形態において、プリズム１１０５は、第１方向（Ｘ方向）に入射される光Ｌの経路を第１方向（Ｘ方向）に垂直な第２方向（Ｙ方向）に変更させる。
また、プリズム１１０５は、光反射物質の反射面１１０７を、中心軸１１０６を中心にＡ方向に回転させるか、中心軸１１０６をＢ方向に回転させて第１方向（Ｘ方向）に入射される光Ｌの経路を垂直な第２方向（Ｙ方向）に変更させる。
その場合、ＯＰＦＥ１１１０も第１方向（Ｘ方向）及び第２方向（Ｙ方向）と垂直な第３方向（Ｚ方向）に移動し得る。
【0084】
一実施形態において、図に示したように、プリズム１１０５のＡ方向最大回転角度は、正（＋）のＡ方向には、１５°以下であり、負（－）のＡ方向には、１５°より大きくなるが、実施形態が、それに限定されるものではない。
一実施形態において、プリズム１１０５は、正（＋）又は負（－）のＢ方向に２０°前後、又は１０°から２０°、又は１５°から２０°の間で動き、ここで、動く角度は、正（＋）又は負（－）のＢ方向に同じ角度で動くか、１°前後の範囲でほぼ類似した角度まで動ける。
一実施形態において、プリズム１１０５は、光反射物質の反射面１１０７を中心軸１１０６の延長方向と平行な第３方向（Ｚ方向）に移動し得る。
一実施形態において、プリズム１１０５は、正（＋）又は負（－）のＢ方向に２０°前後、又は１０°から２０°、又は１５°から２０°の間で動き、ここで、動く角度は、正（＋）又は負（－）のＢ方向に同じ角度で動くか、１°前後の範囲でほぼ類似した角度まで動ける。
一実施形態において、プリズム１１０５は、光反射物質の反射面１１０７を中心軸１１０６の延長方向と平行な第３方向（Ｚ方向）に移動し得る。
【0085】
ＯＰＦＥ１１１０は、例えば、ｍ個（ここで、ｍは、自然数）のグループからなる光学レンズを含む。
ｍ個のレンズは、第２方向（Ｙ方向）に移動してカメラモジュール１１００ｂの光学ズーム倍率（ｏｐｔｉｃａｌ ｚｏｏｍ ｒａｔｉｏ）を変更することができる。
例えば、カメラモジュール１１００ｂの基本光学ズーム倍率をＺとするとき、ＯＰＦＥ１１１０に含まれたｍ個の光学レンズを移動させる場合、カメラモジュール１１００ｂの光学ズーム倍率は、３Ｚ、５Ｚ、又は５Ｚ以上の光学ズーム倍率に変更される。
ｍ個のレンズは、第２方向（Ｙ方向）に移動してカメラモジュール１１００ｂの光学ズーム倍率（ｏｐｔｉｃａｌ ｚｏｏｍ ｒａｔｉｏ）を変更することができる。
例えば、カメラモジュール１１００ｂの基本光学ズーム倍率をＺとするとき、ＯＰＦＥ１１１０に含まれたｍ個の光学レンズを移動させる場合、カメラモジュール１１００ｂの光学ズーム倍率は、３Ｚ、５Ｚ、又は５Ｚ以上の光学ズーム倍率に変更される。
【0086】
アクチュエータ１１３０は、ＯＰＦＥ１１１０又は光学レンズを特定位置に移動させる。
例えば、アクチュエータ１１３０は、正確なセンシングのためにイメージセンサ１１４２が光学レンズの焦点距離（ｆｏｃａｌ ｌｅｎｇｔｈ）に位置するように光学レンズの位置を調整する。
イメージセンシング装置１１４０は、イメージセンサ１１４２、制御ロジック１１４４及びメモリ１１４６を含む。
イメージセンサ１１４２は、光学レンズを介して提供される光Ｌを用いてセンシング対象のイメージをセンシングする。
例えば、アクチュエータ１１３０は、正確なセンシングのためにイメージセンサ１１４２が光学レンズの焦点距離（ｆｏｃａｌ ｌｅｎｇｔｈ）に位置するように光学レンズの位置を調整する。
イメージセンシング装置１１４０は、イメージセンサ１１４２、制御ロジック１１４４及びメモリ１１４６を含む。
イメージセンサ１１４２は、光学レンズを介して提供される光Ｌを用いてセンシング対象のイメージをセンシングする。
【0087】
制御ロジック１１４４は、カメラモジュール１１００ｂの全般的な動作を制御する。
例えば、制御ロジック１１４４は、制御信号ラインＣＳＬｂを介して提供された制御信号によってカメラモジュール１１００ｂの動作を制御する。
メモリ１１４６は、キャリブレーションデータ１１４７のようなカメラモジュール１１００ｂの動作に必要な情報を保存する。
キャリブレーションデータ１１４７は、カメラモジュール１１００ｂが外部から提供された光Ｌを用いてイメージデータの生成に必要な情報を含む。
キャリブレーションデータ１１４７は、例えば、前述した回転度（ｄｅｇｒｅｅ ｏｆ ｒｏｔａｔｉｏｎ）に関する情報、焦点距離に関する情報、光学軸に関する情報などを含み得る。
カメラモジュール１１００ｂが光学レンズの位置によって焦点距離が変わるマルチステート（ｍｕｌｔｉｓｔａｔｅ）カメラ形態に具現される場合、キャリブレーションデータ１１４７は、光学レンズの各位置別（又はステート別）焦点距離値と自動焦点に関連する情報を含み得る。
例えば、制御ロジック１１４４は、制御信号ラインＣＳＬｂを介して提供された制御信号によってカメラモジュール１１００ｂの動作を制御する。
メモリ１１４６は、キャリブレーションデータ１１４７のようなカメラモジュール１１００ｂの動作に必要な情報を保存する。
キャリブレーションデータ１１４７は、カメラモジュール１１００ｂが外部から提供された光Ｌを用いてイメージデータの生成に必要な情報を含む。
キャリブレーションデータ１１４７は、例えば、前述した回転度（ｄｅｇｒｅｅ ｏｆ ｒｏｔａｔｉｏｎ）に関する情報、焦点距離に関する情報、光学軸に関する情報などを含み得る。
カメラモジュール１１００ｂが光学レンズの位置によって焦点距離が変わるマルチステート（ｍｕｌｔｉｓｔａｔｅ）カメラ形態に具現される場合、キャリブレーションデータ１１４７は、光学レンズの各位置別（又はステート別）焦点距離値と自動焦点に関連する情報を含み得る。
【0088】
保存部１１５０は、イメージセンサ１１４２を通じてセンシングされたイメージデータを保存する。
保存部１１５０は、イメージセンシング装置１１４０の外部に配置され、イメージセンシング装置１１４０を構成するセンサチップとスタックされた（ｓｔａｃｋｅｄ）形態に具現される。
一実施形態において、保存部１１５０は、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）によって具現されるが、実施形態がそれに限定されるものではない。
保存部１１５０は、イメージセンシング装置１１４０の外部に配置され、イメージセンシング装置１１４０を構成するセンサチップとスタックされた（ｓｔａｃｋｅｄ）形態に具現される。
一実施形態において、保存部１１５０は、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）によって具現されるが、実施形態がそれに限定されるものではない。
【0089】
図１５及び図１６を共に参照すると、一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれは、アクチュエータ１１３０を含む。
これにより、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれは、その内部に含まれたアクチュエータ１１３０の動作による互いに等しいか、互いに異なるキャリブレーションデータ１１４７を含み得る。
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の１つのカメラモジュール（例えば、１１００ｂ）は、前述したプリズム１１０５とＯＰＦＥ１１１０とを含む折り畳み式レンズ（ｆｏｌｄｅｄ ｌｅｎｓ）形態のカメラモジュールであり、残りのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｃ）は、プリズム１１０５とＯＰＦＥ１１１０が含まれていないバーチカル形態のカメラモジュールであるが、それに限定されるものではない。
これにより、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれは、その内部に含まれたアクチュエータ１１３０の動作による互いに等しいか、互いに異なるキャリブレーションデータ１１４７を含み得る。
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の１つのカメラモジュール（例えば、１１００ｂ）は、前述したプリズム１１０５とＯＰＦＥ１１１０とを含む折り畳み式レンズ（ｆｏｌｄｅｄ ｌｅｎｓ）形態のカメラモジュールであり、残りのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｃ）は、プリズム１１０５とＯＰＦＥ１１１０が含まれていないバーチカル形態のカメラモジュールであるが、それに限定されるものではない。
【0090】
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の１つのカメラモジュール（例えば、１１００ｃ）は、例えば、ＩＲ（Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ｒａｙ）を用いてデプス（ｄｅｐｔｈ）情報を抽出するバーチカル形態のデプスカメラ（ｄｅｐｔｈ ｃａｍｅｒａ）である。
その場合、アプリケーションプロセッサ１２００は、そのようなデプスカメラから提供されたイメージデータと、他のカメラモジュール（例えば、１１００ａ又は１１００ｂ）から提供されたイメージデータとを併合して３次元デプスイメージ（３Ｄ ｄｅｐｔｈ ｉｍａｇｅ）を生成することができる。
その場合、アプリケーションプロセッサ１２００は、そのようなデプスカメラから提供されたイメージデータと、他のカメラモジュール（例えば、１１００ａ又は１１００ｂ）から提供されたイメージデータとを併合して３次元デプスイメージ（３Ｄ ｄｅｐｔｈ ｉｍａｇｅ）を生成することができる。
【0091】
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の少なくとも２つのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｂ）は、互いに異なる観測視野（視野角）（Ｆｉｅｌｄ ｏｆ Ｖｉｅｗ）を有する。
その場合、例えば、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の少なくとも２つのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｂ）の光学レンズが互いに異なるが、それに限定されるものではない。
その場合、例えば、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内の少なくとも２つのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｂ）の光学レンズが互いに異なるが、それに限定されるものではない。
【0092】
また、一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれの視野角は、互いに異なっている。
その場合、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに含まれた光学レンズも互いに異なっているが、それに限定されるものではない。
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれは、互いに物理的に分離されて配置される。
すなわち、１つのイメージセンサ１１４２のセンシング領域を複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が分割して使用するものではなく、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれの内部に独立したイメージセンサ１１４２が配置される。
その場合、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに含まれた光学レンズも互いに異なっているが、それに限定されるものではない。
一実施形態において、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれは、互いに物理的に分離されて配置される。
すなわち、１つのイメージセンサ１１４２のセンシング領域を複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が分割して使用するものではなく、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれの内部に独立したイメージセンサ１１４２が配置される。
【0093】
また、図１５を参照すると、アプリケーションプロセッサ１２００は、イメージ処理装置１２１０、メモリコントローラ１２２０、内部メモリ１２３０を含む。
アプリケーションプロセッサ１２００は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）と分離されて具現される。
例えば、アプリケーションプロセッサ１２００と複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、別途の半導体チップで互いに分離されて具現される。
アプリケーションプロセッサ１２００は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）と分離されて具現される。
例えば、アプリケーションプロセッサ１２００と複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、別途の半導体チップで互いに分離されて具現される。
【0094】
イメージ処理装置１２１０は、複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）、イメージ生成器１２１４、及びカメラモジュールコントローラ１２１６を含む。
イメージ処理装置１２１０は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の個数に対応する個数の複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃを）含む。
それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータは、互いに分離されたイメージ信号ライン（ＩＳＬａ、ＩＳＬｂ、ＩＳＬｃ）を通じて対応するサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）に提供される。
イメージ処理装置１２１０は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の個数に対応する個数の複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃを）含む。
それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータは、互いに分離されたイメージ信号ライン（ＩＳＬａ、ＩＳＬｂ、ＩＳＬｃ）を通じて対応するサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）に提供される。
【0095】
例えば、カメラモジュール１１００ａから生成されたイメージデータは、イメージ信号ラインＩＳＬａを介してサブイメージプロセッサ１２１２ａに提供され、カメラモジュール１１００ｂから生成されたイメージデータは、イメージ信号ラインＩＳＬｂを介してサブイメージプロセッサ１２１２ｂに提供され、カメラモジュール１１００ｃから生成されたイメージデータは、イメージ信号ラインＩＳＬｃを介してサブイメージプロセッサ１２１２ｃに提供される。
そのようなイメージデータ伝送は、例えば、ＭＩＰＩ（Ｍｏｂｉｌｅ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）に基づいたカメラ直列インターフェース（Ｃａｍｅｒａ Ｓｅｒｉａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ：ＣＳＩ）を用いて実行されるが、それに限定されるものではない。
そのようなイメージデータ伝送は、例えば、ＭＩＰＩ（Ｍｏｂｉｌｅ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）に基づいたカメラ直列インターフェース（Ｃａｍｅｒａ Ｓｅｒｉａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ：ＣＳＩ）を用いて実行されるが、それに限定されるものではない。
【0096】
一方、一実施形態において、１つのサブイメージプロセッサが複数のカメラモジュールに対応するように配置される。
例えば、サブイメージプロセッサ１２１２ａとサブイメージプロセッサ１２１２ｃが図に示したように互いに分離されて具現されるものではなく、１つのサブイメージプロセッサに統合されて具現され、カメラモジュール１１００ａとカメラモジュール１１００ｃから提供されたイメージデータは、選択素子（例えば、マルチプレクサ）などを通じて選択された後、統合されたサブイメージプロセッサに提供される。
例えば、サブイメージプロセッサ１２１２ａとサブイメージプロセッサ１２１２ｃが図に示したように互いに分離されて具現されるものではなく、１つのサブイメージプロセッサに統合されて具現され、カメラモジュール１１００ａとカメラモジュール１１００ｃから提供されたイメージデータは、選択素子（例えば、マルチプレクサ）などを通じて選択された後、統合されたサブイメージプロセッサに提供される。
【0097】
それぞれのサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）に提供されたイメージデータは、イメージ生成器１２１４に提供される。
イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報（Ｇｅｎｅｒａｔｉｎｇ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ）又はモード信号（Ｍｏｄｅ Ｓｉｇｎａｌ）によってそれぞれのサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）から提供されたイメージデータを用いて出力イメージを生成する。
具体的には、イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報又はモード信号によって、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータの内の少なくとも一部を併合（ｍｅｒｇｅ）して出力イメージを生成する。
また、イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報又はモード信号によって、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータの内のいずれか１つを選択して出力イメージを生成する。
イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報（Ｇｅｎｅｒａｔｉｎｇ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ）又はモード信号（Ｍｏｄｅ Ｓｉｇｎａｌ）によってそれぞれのサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）から提供されたイメージデータを用いて出力イメージを生成する。
具体的には、イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報又はモード信号によって、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータの内の少なくとも一部を併合（ｍｅｒｇｅ）して出力イメージを生成する。
また、イメージ生成器１２１４は、イメージ生成情報又はモード信号によって、互いに異なる視野角を有するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から生成されたイメージデータの内のいずれか１つを選択して出力イメージを生成する。
【0098】
一実施形態において、イメージ生成情報は、ズーム信号（ｚｏｏｍ ｓｉｇｎａｌ ｏｒ ｚｏｏｍ ｆａｃｔｏｒ）を含む。
また、一実施形態で、モード信号は、例えば、ユーザから選択されたモードに基づいた信号である。
イメージ生成情報がズーム信号（ズームファクタ）であり、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が互いに異なる観測視野（視野角）を有する場合、イメージ生成器１２１４は、ズーム信号の種類によって互いに異なる動作を実行する。
また、一実施形態で、モード信号は、例えば、ユーザから選択されたモードに基づいた信号である。
イメージ生成情報がズーム信号（ズームファクタ）であり、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）が互いに異なる観測視野（視野角）を有する場合、イメージ生成器１２１４は、ズーム信号の種類によって互いに異なる動作を実行する。
【0099】
例えば、ズーム信号が第１信号の場合、カメラモジュール１１００ａから出力されたイメージデータとカメラモジュール１１００ｃから出力されたイメージデータを併合した後、併合されたイメージ信号と併合に使用していないカメラモジュール１１００ｂから出力されたイメージデータを用いて、出力イメージを生成する。
もし、ズーム信号が第１信号と異なる第２信号である場合、イメージ生成器１２１４は、そのようなイメージデータ併合を実行せず、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から出力されたイメージデータの内のいずれか１つを選択して出力イメージを生成する。
しかし、それらに限定されるものではなく、必要によって、イメージデータを処理する方法は、いくらでも変形されて実施され得る。
もし、ズーム信号が第１信号と異なる第２信号である場合、イメージ生成器１２１４は、そのようなイメージデータ併合を実行せず、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）から出力されたイメージデータの内のいずれか１つを選択して出力イメージを生成する。
しかし、それらに限定されるものではなく、必要によって、イメージデータを処理する方法は、いくらでも変形されて実施され得る。
【0100】
一実施形態において、イメージ生成器１２１４は、複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）の内の少なくとも１つから露出時間が異なる複数のイメージデータを受信し、複数のイメージデータに対してＨＤＲ処理を実行することで、ダイナミックレンジが増加した併合されたイメージデータを生成する。
カメラモジュールコントローラ１２１６は、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に制御信号を提供する。
カメラモジュールコントローラ１２１６から生成された制御信号は、互いに分離された制御信号ライン（ＣＳＬａ、ＣＳＬｂ、ＣＳＬｃ）を通じて対応するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される。
カメラモジュールコントローラ１２１６は、それぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に制御信号を提供する。
カメラモジュールコントローラ１２１６から生成された制御信号は、互いに分離された制御信号ライン（ＣＳＬａ、ＣＳＬｂ、ＣＳＬｃ）を通じて対応するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される。
【0101】
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の内のいずれか１つは、ズーム信号を含むイメージ生成情報又はモード信号によってマスタ（ｍａｓｔｅｒ）カメラモジュール（例えば、１１００ｂ）と指定され、残りのカメラモジュール（例えば、１１００ａ、１１００ｃ）は、スレーブ（ｓｌａｖｅ）カメラに指定される。
そのような情報は、制御信号に含まれ、互いに分離された制御信号ライン（ＣＳＬａ、ＣＳＬｂ、ＣＳＬｃ）を通じて対応するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される。
そのような情報は、制御信号に含まれ、互いに分離された制御信号ライン（ＣＳＬａ、ＣＳＬｂ、ＣＳＬｃ）を通じて対応するカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される。
【0102】
ズームファクタ又は動作モード信号によって、マスタ及びスレーブで動作するカメラモジュールが変更される。
例えば、カメラモジュール１１００ａの視野角がカメラモジュール１１００ｂの視野角より広く、ズームファクタが低いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール１１００ｂがマスタとして動作し、カメラモジュール１１００ａがスレーブとして動作する。
逆に、ズームファクタが高いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール１１００ａがマスタとして動作し、カメラモジュール１１００ｂがスレーブとして動作する。
例えば、カメラモジュール１１００ａの視野角がカメラモジュール１１００ｂの視野角より広く、ズームファクタが低いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール１１００ｂがマスタとして動作し、カメラモジュール１１００ａがスレーブとして動作する。
逆に、ズームファクタが高いズーム倍率を示す場合、カメラモジュール１１００ａがマスタとして動作し、カメラモジュール１１００ｂがスレーブとして動作する。
【0103】
一実施形態において、カメラモジュールコントローラ１２１６からそれぞれのカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される制御信号は、シンクイネーブル信号（ｓｙｎｃ ｅｎａｂｌｅ）信号を含む。
例えば、カメラモジュール１１００ｂがマスタカメラであり、カメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）がスレーブカメラである場合、カメラモジュールコントローラ１２１６は、カメラモジュール１１００ｂにシンクイネーブル信号を伝送する。
そのようなシンクイネーブル信号を提供されたカメラモジュール１１００ｂは、提供されたシンクイネーブル信号に基づいてシンク信号（ｓｙｎｃ ｓｉｇｎａｌ）を生成し、生成されたシンク信号を、シンク信号ラインＳＳＬを通じてカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）に提供する。
カメラモジュール１１００ｂとカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）は、そのようなシンク信号に同期してイメージデータをアプリケーションプロセッサ１２００に伝送する。
例えば、カメラモジュール１１００ｂがマスタカメラであり、カメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）がスレーブカメラである場合、カメラモジュールコントローラ１２１６は、カメラモジュール１１００ｂにシンクイネーブル信号を伝送する。
そのようなシンクイネーブル信号を提供されたカメラモジュール１１００ｂは、提供されたシンクイネーブル信号に基づいてシンク信号（ｓｙｎｃ ｓｉｇｎａｌ）を生成し、生成されたシンク信号を、シンク信号ラインＳＳＬを通じてカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）に提供する。
カメラモジュール１１００ｂとカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｃ）は、そのようなシンク信号に同期してイメージデータをアプリケーションプロセッサ１２００に伝送する。
【0104】
一実施形態において、カメラモジュールコントローラ１２１６から複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）に提供される制御信号は、モード信号によるモード情報を含む。
モード情報に基づいて複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、センシング速度と関連して第１動作モード及び第２動作モードで動作する。
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、第１動作モードにおいて、第１速度でイメージ信号を生成（例えば、第１フレームレートのイメージ信号を生成）し、それを第１速度より高い第２速度でエンコーディング（例えば、第１フレームレートより高い第２フレームレートのイメージ信号をエンコーディング）し、エンコーディングされたイメージ信号をアプリケーションプロセッサ１２００に伝送する。
モード情報に基づいて複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、センシング速度と関連して第１動作モード及び第２動作モードで動作する。
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、第１動作モードにおいて、第１速度でイメージ信号を生成（例えば、第１フレームレートのイメージ信号を生成）し、それを第１速度より高い第２速度でエンコーディング（例えば、第１フレームレートより高い第２フレームレートのイメージ信号をエンコーディング）し、エンコーディングされたイメージ信号をアプリケーションプロセッサ１２００に伝送する。
【0105】
アプリケーションプロセッサ１２００は、受信されたイメージ信号、すなわち、エンコーディングされたイメージ信号を内部に備えられるメモリ１２３０又は、アプリケーションプロセッサ１２００外部のストレージ１４００に保存し、以後、メモリ１２３０又はストレージ１４００からエンコーディングされたイメージ信号を読み出してデコーディングし、デコーディングされたイメージ信号に基づいて生成されるイメージデータを表示する。
例えば、イメージ処理装置１２１０の複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）の内の対応するサブプロセッサがデコーディングを実行し、かつデコーディングされたイメージ信号に対してイメージ処理を実行する。
例えば、イメージ処理装置１２１０の複数のサブイメージプロセッサ（１２１２ａ、１２１２ｂ、１２１２ｃ）の内の対応するサブプロセッサがデコーディングを実行し、かつデコーディングされたイメージ信号に対してイメージ処理を実行する。
【0106】
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）は、第２動作モードにおいて、第１速度より低い第３速度でイメージ信号を生成（例えば、第１フレームレートより低い第３フレームレートのイメージ信号を生成）し、イメージ信号をアプリケーションプロセッサ１２００に伝送する。
アプリケーションプロセッサ１２００に提供されるイメージ信号は、エンコーディングされていない信号である。
アプリケーションプロセッサ１２００は、受信したイメージ信号に対してイメージ処理を実行するか、又はイメージ信号をメモリ１２３０又はストレージ１４００に保存する。
アプリケーションプロセッサ１２００に提供されるイメージ信号は、エンコーディングされていない信号である。
アプリケーションプロセッサ１２００は、受信したイメージ信号に対してイメージ処理を実行するか、又はイメージ信号をメモリ１２３０又はストレージ１４００に保存する。
【0107】
ＰＭＩＣ１３００は、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに電力、例えば、電源電圧を供給する。
例えば、ＰＭＩＣ１３００は、アプリケーションプロセッサ１２００の制御下において、パワー信号ラインＰＳＬａを通じてカメラモジュール１１００ａに第１電力を供給し、パワー信号ラインＰＳＬｂを通じてカメラモジュール１１００ｂに第２電力を供給し、パワー信号ラインＰＳＬｃを通じてカメラモジュール１１００ｃに第３電力を供給する。
ＰＭＩＣ１３００は、アプリケーションプロセッサ１２００からの電力制御信号ＰＣＯＮに応答し、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに対応する電力を生成し、かつ電力のレベルを調整する。
例えば、ＰＭＩＣ１３００は、アプリケーションプロセッサ１２００の制御下において、パワー信号ラインＰＳＬａを通じてカメラモジュール１１００ａに第１電力を供給し、パワー信号ラインＰＳＬｂを通じてカメラモジュール１１００ｂに第２電力を供給し、パワー信号ラインＰＳＬｃを通じてカメラモジュール１１００ｃに第３電力を供給する。
ＰＭＩＣ１３００は、アプリケーションプロセッサ１２００からの電力制御信号ＰＣＯＮに応答し、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに対応する電力を生成し、かつ電力のレベルを調整する。
【0108】
電力制御信号ＰＣＯＮは、複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）の動作モード別に電力調整信号を含む。
例えば、動作モードは、低電力モード（ｌｏｗ ｐｏｗｅｒ ｍｏｄｅ）を含み、この際、電力制御信号ＰＣＯＮは、低電力モードで動作するカメラモジュール及び設定される電力レベルに関連する情報を含む。
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに提供される電力のレベルは、互いに同一であるか、互いに異なっている。
また、電力のレベルは、動的に変更され得る。
例えば、動作モードは、低電力モード（ｌｏｗ ｐｏｗｅｒ ｍｏｄｅ）を含み、この際、電力制御信号ＰＣＯＮは、低電力モードで動作するカメラモジュール及び設定される電力レベルに関連する情報を含む。
複数のカメラモジュール（１１００ａ、１１００ｂ、１１００ｃ）それぞれに提供される電力のレベルは、互いに同一であるか、互いに異なっている。
また、電力のレベルは、動的に変更され得る。
【0109】
図１７は、本発明の実施形態によるイメージセンサの概略構成を示すブロック図である。
図１７を参照すると、イメージセンサ１５００は、ピクセルアレイ１５１０、コントローラ１５３０、ロウドライバ１５２０、及びピクセル信号処理部１５４０を含む。
イメージセンサ１５００は、前述したイメージセンサ（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ａ、２００Ｂ）の内の少なくとも１つを含む。
図１７を参照すると、イメージセンサ１５００は、ピクセルアレイ１５１０、コントローラ１５３０、ロウドライバ１５２０、及びピクセル信号処理部１５４０を含む。
イメージセンサ１５００は、前述したイメージセンサ（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ａ、２００Ｂ）の内の少なくとも１つを含む。
【0110】
ピクセルアレイ１５１０は、２次元的に配列された複数の単位ピクセルを含み、それぞれの単位ピクセルは、光電変換素子を含む。
光電変換素子は、光を吸収して光電荷を生成し、生成された光電荷による電気的信号（出力電圧）は、垂直信号ラインを介してピクセル信号処理部１５４０に提供される。
ピクセルアレイ１５１０が含む単位ピクセルは、ロウ（ｒｏｗ）単位で一回に１つずつ出力電圧を提供し、これにより、ピクセルアレイ１５１０の１つのロウに属する単位ピクセルは、ロウドライバ１５２０が出力する選択信号によって同時に活性化される。
選択されたロウに属する単位ピクセルは、吸収した光による出力電圧を、対応するカラムの出力ラインに提供する。
光電変換素子は、光を吸収して光電荷を生成し、生成された光電荷による電気的信号（出力電圧）は、垂直信号ラインを介してピクセル信号処理部１５４０に提供される。
ピクセルアレイ１５１０が含む単位ピクセルは、ロウ（ｒｏｗ）単位で一回に１つずつ出力電圧を提供し、これにより、ピクセルアレイ１５１０の１つのロウに属する単位ピクセルは、ロウドライバ１５２０が出力する選択信号によって同時に活性化される。
選択されたロウに属する単位ピクセルは、吸収した光による出力電圧を、対応するカラムの出力ラインに提供する。
【0111】
コントローラ１５３０は、ピクセルアレイ１５１０が光を吸収して光電荷を蓄積させるか、蓄積された光電荷を臨時に保存させ、保存された光電荷による電気的信号をピクセルアレイ１５１０の外部に出力させるように、ロウドライバ１５２０を制御する。
また、コントローラ１５３０は、ピクセルアレイ１５１０が提供する出力電圧を測定するように、ピクセル信号処理部１５４０を制御する。
また、コントローラ１５３０は、ピクセルアレイ１５１０が提供する出力電圧を測定するように、ピクセル信号処理部１５４０を制御する。
【0112】
ピクセル信号処理部１５４０は、相関二重サンプラ１５４２、アナログ－デジタルコンバータ１５４４及びバッファ１５４６を含む。
相関二重サンプラ１５４２は、ピクセルアレイ１５１０から提供した出力電圧をサンプリング及びホールドする。
相関二重サンプラ１５４２は、特定のノイズレベルと生成された出力電圧によるレベルを二重サンプリングし、その差に該当するレベルを出力する。
また、相関二重サンプラ１５４２は、ランプ信号生成器１５４８が生成したランプ信号を入力して互いに比較して比較結果を出力する。
相関二重サンプラ１５４２は、ピクセルアレイ１５１０から提供した出力電圧をサンプリング及びホールドする。
相関二重サンプラ１５４２は、特定のノイズレベルと生成された出力電圧によるレベルを二重サンプリングし、その差に該当するレベルを出力する。
また、相関二重サンプラ１５４２は、ランプ信号生成器１５４８が生成したランプ信号を入力して互いに比較して比較結果を出力する。
【0113】
アナログ－デジタルコンバータ１５４４は、相関二重サンプラ１５４２から受信するレベルに対応するアナログ信号をデジタル信号に変換する。
バッファ１５４６は、デジタル信号をラッチし、ラッチされた信号は、順次にイメージセンサ１５００の外部に出力されてイメージプロセッサ（図示せず）に伝達される。
バッファ１５４６は、デジタル信号をラッチし、ラッチされた信号は、順次にイメージセンサ１５００の外部に出力されてイメージプロセッサ（図示せず）に伝達される。
【0114】
尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【符号の説明】
【0115】
１０ ピクセルアレイ
２０ カラムドライバ
３０ ロウドライバ
４０ タイミングコントローラ
５０ リードアウト回路
７０ イメージプロセッサ
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ａ、２００Ｂ イメージセンサ
１０１ 基板
１１０ フォトダイオード
１２０ フローティング拡散領域
１２１ 第１フローティング拡散領域
１２２ 第２フローティング拡散領域
１２３ 第３フローティング拡散領域
１２４ 第４フローティング拡散領域
１３０ 伝送トランジスタ
１３１ 第１伝送トランジスタ
１３２ 第２伝送トランジスタ
１３３ 第３伝送トランジスタ
１３４ 第４伝送トランジスタ
１４０ 変換利得トランジスタ
１５０ ソースフォロワトランジスタ
１６０ リセットトランジスタ
１７０ 選択トランジスタ
１８０ 接地領域
１８１ 第１接地領域
１８２ 第２接地領域
１８３ 第３接地領域
１８４ 第４接地領域
１９０ ダミートランジスタ
ＭＬ 金属配線
ＭＬ１ 第１金属配線
ＭＬ２ 第２金属配線
ＰＵ１ 第１単位ピクセル
ＰＵ２ 第２単位ピクセル
ＰＵ３ 第３単位ピクセル
ＰＵ４ 第４単位ピクセル
２０ カラムドライバ
３０ ロウドライバ
４０ タイミングコントローラ
５０ リードアウト回路
７０ イメージプロセッサ
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ａ、２００Ｂ イメージセンサ
１０１ 基板
１１０ フォトダイオード
１２０ フローティング拡散領域
１２１ 第１フローティング拡散領域
１２２ 第２フローティング拡散領域
１２３ 第３フローティング拡散領域
１２４ 第４フローティング拡散領域
１３０ 伝送トランジスタ
１３１ 第１伝送トランジスタ
１３２ 第２伝送トランジスタ
１３３ 第３伝送トランジスタ
１３４ 第４伝送トランジスタ
１４０ 変換利得トランジスタ
１５０ ソースフォロワトランジスタ
１６０ リセットトランジスタ
１７０ 選択トランジスタ
１８０ 接地領域
１８１ 第１接地領域
１８２ 第２接地領域
１８３ 第３接地領域
１８４ 第４接地領域
１９０ ダミートランジスタ
ＭＬ 金属配線
ＭＬ１ 第１金属配線
ＭＬ２ 第２金属配線
ＰＵ１ 第１単位ピクセル
ＰＵ２ 第２単位ピクセル
ＰＵ３ 第３単位ピクセル
ＰＵ４ 第４単位ピクセル
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】