特開 2024-126365 減圧封止治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024126365

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】減圧封止治具

(51)【国際特許分類】

   A47J 41/02 20060101AFI20240912BHJP

【ＦＩ】

A47J41/02 102D

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023034689

(22)【出願日】2023-03-07

(71)【出願人】

【識別番号】000190677

【氏名又は名称】新光産業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120086

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼津 一也

(74)【代理人】

【識別番号】100090697

【弁理士】

【氏名又は名称】中前 富士男

(74)【代理人】

【識別番号】100176142

【弁理士】

【氏名又は名称】清井 洋平

(72)【発明者】

【氏名】部坂 正樹

【テーマコード（参考）】

4B002

【Ｆターム（参考）】

4B002AA02

4B002AA18

4B002BA31

4B002CA32

(57)【要約】

【課題】組立て及び分解が容易で、簡単な手順で減圧対象物を大気圧下の作業で確実に減圧して封止することができる施工性に優れた減圧封止治具を提供する。
【解決手段】排気管１５の長手方向先側の排気口１６の外周に形成された排気口フランジ１７に封止蓋１８が固定されることにより、排気口１６が密閉される減圧対象物１１の減圧及び封止に用いられる減圧封止治具１０であって、排気管１５に着脱可能に装着され、排気口フランジ１７及び封止蓋１８を密閉可能に覆って真空引きポンプと接続される減圧室２０と、減圧室２０に摺動可能に保持され封止蓋１８を排気口フランジ１７に向かって移動させる押圧具２１とを有し、減圧室２０は、押圧具２１により封止蓋１８が押圧されて排気口１６が密閉され減圧対象物１１が減圧された状態で開閉可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

排気管の長手方向先側の排気口の外周に形成された排気口フランジに封止蓋が固定されることにより、前記排気口が密閉される減圧対象物の減圧及び封止に用いられる減圧封止治具であって、
前記排気管に着脱可能に装着され、前記排気口フランジ及び前記封止蓋を密閉可能に覆って真空引きポンプと接続される減圧室と、該減圧室に摺動可能に保持され前記封止蓋を前記排気口フランジに向かって移動させる押圧具とを有し、前記減圧室は、前記押圧具により前記封止蓋が押圧されて前記排気口が密閉され前記減圧対象物が減圧された状態で開閉可能であることを特徴とする減圧封止治具。

【請求項2】

請求項１記載の減圧封止治具において、前記減圧室は、前記排気管の長手方向途中に設けられたジョイントプレートの基側に配置されるベースフランジと、前記ジョイントプレートを挟んで前記ベースフランジと対向配置され該ベースフランジに螺子止めされるカバーフランジと、前記カバーフランジの内側に保持され前記排気口フランジ及び前記封止蓋の外周を囲む透明パイプ部と、前記透明パイプ部の先側に連設され、前記押圧具を気密状態で摺動可能に保持する押圧具保持手段とを有することを特徴とする減圧封止治具。

【請求項3】

請求項２記載の減圧封止治具において、前記押圧具保持手段は、筒状に形成された外ケースと、該外ケースに内挿されたベローズと、中央部に貫通孔が形成され前記ベローズの先側を前記外ケースに固定して該外ケースの先側を封止するベローズ固定具と、前記ベローズの基側を閉塞するベローズカバーとを有し、前記押圧具は、前記封止蓋と前記ベローズカバーとの間に配置されるシャフトと、前記ベローズに内挿されて基側が前記ベローズカバーに当接し、先側が前記貫通孔から前記減圧室の外部に突出し、前記シャフトを介して前記封止蓋を押圧可能な押圧軸とを有することを特徴とする減圧封止治具。

【請求項4】

請求項２又は３記載の減圧封止治具において、前記押圧具保持手段は、前記外ケースの基側に連設され前記カバーフランジと着脱可能に連結されて前記透明パイプ部の先側を保持するパイプ押さえを有し、該パイプ押さえは、前記シャフトを摺動可能に保持するシャフト挿通部と、前記透明パイプ部と前記外ケースとを連通させる通気孔とを有することを特徴とする減圧封止治具。

【請求項5】

請求項３記載の減圧封止治具において、前記シャフトの基側端部に、前記封止蓋と着脱可能に連結される連結部が形成され、前記ベローズカバーの基側に、前記シャフトの先側端部を固定保持する嵌合部が形成されていることを特徴とする減圧封止治具。

【請求項6】

請求項３記載の減圧封止治具において、前記ベローズの基側端部に、前記押圧軸の基側端部を回動可能に保持する押圧軸保持部が形成され、前記押圧軸の先側に雄螺子部が形成され、前記押圧具は、複数のタイロッドを介して前記ベースフランジと着脱可能に連結される押圧フランジを有し、該押圧フランジの中央部に、前記押圧軸の前記雄螺子部と螺合される雌螺子孔が形成されたことを特徴とする減圧封止治具。

【請求項7】

請求項６記載の減圧封止治具において、前記減圧室の減圧時に、前記ベローズ固定具の先側で前記押圧軸に嵌着され、前記排気口フランジと前記封止蓋との初期間隔を設定するスペーサーを備えたことを特徴とする減圧封止治具。

【請求項8】

請求項１記載の減圧封止治具において、前記減圧室及び前記減圧対象物が減圧された状態で、前記押圧具によって前記封止蓋が押圧され、前記排気口フランジと前記封止蓋との間に、繰り返し使用可能な金属ガスケットが挟持されることにより、前記排気口が密閉されることを特徴とする減圧封止治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、減圧対象物を減圧して封止するために用いられ、特に真空二重容器（魔法瓶）、真空容器、真空二重管等の真空構造体の真空引き及び封止に好適な減圧封止治具に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の一般的な真空引きの作業工程では大掛かりな設備を必要とし、ろう材又はガラスによる排気孔の封止方法も工程が煩雑で生産性に欠けるという問題があった。これに対し、例えば、特許文献１には、排気孔の周囲において構造部材に対して金属箔を介在させて金属板を抵抗溶接又は真空拡散接合し、排気孔を封止する真空構造体の封止方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－５７６７５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、従来よりも封止工程が簡素化され、封止後の真空構造体の後加工も容易になるが、抵抗溶接及び真空拡散接合は、従来のろう材又はガラスによる封止と同様に、真空下で行われる必要がある。また、抵抗溶接及び真空拡散接合を行っている間は、金属箔及び金属板を加熱加圧し続けなければならない。
従って、構造及び工程がさらに簡素化され、減圧対象物の減圧及び封止を簡単かつ確実に行うことができる減圧封止治具の開発が望まれていた。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、組立て及び分解が容易で、簡単な手順で減圧対象物を大気圧下の作業で確実に減圧して封止することができる施工性に優れた減圧封止治具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

前記目的に沿う本発明に係る減圧封止治具は、排気管の長手方向先側の排気口の外周に形成された排気口フランジに封止蓋が固定されることにより、前記排気口が密閉される減圧対象物の減圧及び封止に用いられる減圧封止治具であって、
前記排気管に着脱可能に装着され、前記排気口フランジ及び前記封止蓋を密閉可能に覆って真空引きポンプと接続される減圧室と、該減圧室に摺動可能に保持され前記封止蓋を前記排気口フランジに向かって移動させる押圧具とを有し、前記減圧室は、前記押圧具により前記封止蓋が押圧されて前記排気口が密閉され前記減圧対象物が減圧された状態で開閉可能である。

【0006】

本発明に係る減圧封止治具において、前記減圧室は、前記排気管の長手方向途中に設けられたジョイントプレートの基側に配置されるベースフランジと、前記ジョイントプレートを挟んで前記ベースフランジと対向配置され該ベースフランジに螺子止めされるカバーフランジと、前記カバーフランジの内側に保持され前記排気口フランジ及び前記封止蓋の外周を囲む透明パイプ部と、前記透明パイプ部の先側に連設され、前記押圧具を気密状態で摺動可能に保持する押圧具保持手段とを有することが好ましい。

【0007】

本発明に係る減圧封止治具において、前記押圧具保持手段は、筒状に形成された外ケースと、該外ケースに内挿されたベローズと、中央部に貫通孔が形成され前記ベローズの先側を前記外ケースに固定して該外ケースの先側を封止するベローズ固定具と、前記ベローズの基側を閉塞するベローズカバーとを有し、前記押圧具は、前記封止蓋と前記ベローズカバーとの間に配置されるシャフトと、前記ベローズに内挿されて基側が前記ベローズカバーに当接し、先側が前記貫通孔から前記減圧室の外部に突出し、前記シャフトを介して前記封止蓋を押圧可能な押圧軸とを有することが好ましい。

【0008】

本発明に係る減圧封止治具において、前記押圧具保持手段は、前記外ケースの基側に連設され前記カバーフランジと着脱可能に連結されて前記透明パイプ部の先側を保持するパイプ押さえを有し、該パイプ押さえは、前記シャフトを摺動可能に保持するシャフト挿通部と、前記透明パイプ部と前記外ケースとを連通させる通気孔とを有することができる。

【0009】

本発明に係る減圧封止治具において、前記シャフトの基側端部に、前記封止蓋と着脱可能に連結される連結部が形成され、前記ベローズカバーの基側に、前記シャフトの先側端部を固定保持する嵌合部が形成されてもよい。

【0010】

本発明に係る減圧封止治具において、前記ベローズの基側端部に、前記押圧軸の基側端部を回動可能に保持する押圧軸保持部が形成され、前記押圧軸の先側に雄螺子部が形成され、前記押圧具は、複数のタイロッドを介して前記ベースフランジと着脱可能に連結される押圧フランジを有し、該押圧フランジの中央部に、前記押圧軸の前記雄螺子部と螺合される雌螺子孔が形成されることが好ましい。

【0011】

本発明に係る減圧封止治具において、前記減圧室の減圧時に、前記ベローズ固定具の先側で前記押圧軸に嵌着され、前記排気口フランジと前記封止蓋との初期間隔を設定するスペーサーを備えてもよい。

【0012】

本発明に係る減圧封止治具において、前記減圧室及び前記減圧対象物が減圧された状態で、前記押圧具によって前記封止蓋が押圧され、前記排気口フランジと前記封止蓋との間に、繰り返し使用可能な金属ガスケットが挟持されることにより、前記排気口が密閉されることが好ましい。

【発明の効果】

【0013】

本発明に係る減圧封止治具によれば、減圧対象物の排気管に着脱可能に装着される減圧室で排気口フランジ及び封止蓋を覆って、減圧対象物及び減圧室の内部を減圧した後、押圧具により封止蓋を押圧して排気口を密閉できると共に、排気口が封止蓋で密閉された状態で減圧室を開放し、排気口フランジに封止蓋を固定して排気口を確実に密閉することができ、真空バルブを用いる必要がなく、減圧対象物の減圧及び封止の作業を簡素化することができる。

【0014】

本発明に係る減圧封止治具において、減圧室が、排気管の長手方向途中に設けられたジョイントプレートの基側に配置されるベースフランジと、ジョイントプレートを挟んでベースフランジと対向配置されベースフランジに螺子止めされるカバーフランジと、カバーフランジの内側に保持され排気口フランジ及び封止蓋の外周を囲む透明パイプ部と、透明パイプ部の先側に連設され、押圧具を気密状態で摺動可能に保持する押圧具保持手段とを有する場合、排気管への着脱が容易で、作業者は透明パイプ部を通して排気口フランジと封止蓋との密着状態を目視で確認することができ、封止蓋で排気口が密閉された状態で、押圧具に対し、カバーフランジ、透明パイプ部及び押圧具保持手段を摺動させて減圧室を開放することができる。

【0015】

本発明に係る減圧封止治具において、押圧具保持手段が、筒状に形成された外ケースと、外ケースに内挿されたベローズと、中央部に貫通孔が形成されベローズの先側を外ケースに固定して外ケースの先側を封止するベローズ固定具と、ベローズの基側を閉塞するベローズカバーとを有し、押圧具が、封止蓋とベローズカバーとの間に配置されるシャフトと、ベローズに内挿されて基側がベローズカバーに当接し、先側が貫通孔から減圧室の外部に突出し、シャフトを介して封止蓋を押圧可能な押圧軸とを有する場合、摺動する押圧軸の周囲をベローズで覆って減圧室の内部の密閉状態を維持しつつ、封止蓋を確実に押圧して排気口を密閉することができる。

【0016】

本発明に係る減圧封止治具において、押圧具保持手段が、外ケースの基側に連設されカバーフランジと着脱可能に連結されて透明パイプ部の先側を保持するパイプ押さえを有し、パイプ押さえが、シャフトを摺動可能に保持するシャフト挿通部と、透明パイプ部と外ケースとを連通させる通気孔とを有する場合、カバーフランジとパイプ押さえで透明パイプ部を挟持して、透明パイプ部と押圧具保持手段を一体化することができ、摺動するシャフトをパイプ押さえで支持することができると共に、減圧室の内部を均一に減圧することができる。

【0017】

本発明に係る減圧封止治具において、シャフトの基側端部に、封止蓋と着脱可能に連結される連結部が形成され、ベローズカバーの基側に、シャフトの先側端部を固定保持する嵌合部が形成されている場合、シャフトの軸ズレが防止され、押圧軸で押圧されるシャフトをスムーズかつ確実に摺動させて、封止蓋を排気口フランジに密着させることができる。

【0018】

本発明に係る減圧封止治具において、ベローズの基側端部に、押圧軸の基側端部を回動可能に保持する押圧軸保持部が形成され、押圧軸の先側に雄螺子部が形成され、押圧具が、複数のタイロッドを介してベースフランジと着脱可能に連結される押圧フランジを有し、押圧フランジの中央部に、押圧軸の雄螺子部と螺合される雌螺子孔が形成されている場合、押圧軸を回転させることにより、押圧軸の摺動に連動させてベローズを伸縮させ、シャフトを介して封止蓋を排気口フランジに向かって押圧する押圧軸の位置を固定し、封止蓋と排気口フランジとの密着状態を維持することができる。

【0019】

本発明に係る減圧封止治具において、減圧室の減圧時に、ベローズ固定具の先側で押圧軸に嵌着され、排気口フランジと封止蓋との初期間隔を設定するスペーサーを備えている場合、押圧軸の移動量を管理して、封止蓋と排気口フランジを確実に密着させることができる。

【0020】

本発明に係る減圧封止治具において、減圧室及び減圧対象物が減圧された状態で、押圧具によって封止蓋が押圧され、排気口フランジと封止蓋との間に、繰り返し使用可能な金属ガスケットが挟持されることにより、排気口が密閉される場合、従来のゴム又は空気の透過リークが懸念される樹脂製のＯリング等による封止とは異なり、減圧対象物の減圧状態（高真空）が長期間にわたって維持されるだけでなく、低コスト化が図られる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施の形態に係る減圧封止治具が減圧対象物の排気管に装着された状態を示す部分断面正面図である。

【図2】同減圧封止治具により減圧対象物及び減圧室の内部が減圧され排気口が封止蓋で密閉された状態を示す部分断面正面図である。

【図3】同減圧封止治具により減圧対象物が減圧され排気口が封止蓋で密閉された後に減圧室が開放された状態を示す部分断面正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１～図３に示す本発明の一実施の形態に係る減圧封止治具１０は、減圧対象物１１を減圧して封止するために用いられる。減圧対象物１１は、内側容器壁１２と外側容器壁１３で構成され、内側容器壁１２と外側容器壁１３との間に形成される中空部１４が減圧され真空となることにより、真空二重容器として使用される。減圧対象物１１は、中空部１４と連通する排気管１５を有しており、排気管１５の長手方向先側の排気口１６の外周に排気口フランジ１７が形成されている。この排気口フランジ１７に封止蓋１８が螺子止め固定されることにより、排気口１６が密閉される。

【0023】

以下、減圧封止治具１０の詳細について説明する。
減圧封止治具１０は、排気管１５に着脱可能に装着され、排気口フランジ１７及び封止蓋１８を密閉可能に覆って真空引きポンプ（図示せず）と接続される真空引きポンプ接続口１９を有する減圧室２０と、減圧室２０に摺動可能に保持され封止蓋１８を排気口フランジ１７に向かって移動させる押圧具２１とを有している。
減圧室２０は、排気管１５の長手方向途中（外側容器壁１３の外表面と排気口フランジ１７との間）に設けられたジョイントプレート２２の基側に配置されるベースフランジ２３と、ジョイントプレート２２を挟んでベースフランジ２３と対向配置されベースフランジ２３に螺子止めされるカバーフランジ２４を有している。

【0024】

本実施の形態では、ベースフランジ２３が２つ割り（半割）で形成されることにより、ジョイントプレート２２の基側に配置可能となっている。そして、平面視して、ベースフランジ２３の円周上には複数（例えば４つ）の雌螺子孔２３ａが形成され、カバーフランジ２４の円周上には、雌螺子孔２３ａの位置に対応して雄螺子挿通孔２４ａが形成されている。従って、雄螺子挿通孔２４ａから挿通されるカバーフランジ固定雄螺子２５が雌螺子孔２３ａに螺合され、ベースフランジ２３とカバーフランジ２４が連結されることにより、ベースフランジ２３とカバーフランジ２４でジョイントプレート２２が挟持され、減圧室２０が排気管１５に装着（固定）される。

【0025】

さらに、減圧室２０は、カバーフランジ２４の内側に保持され排気口フランジ１７及び封止蓋１８の外周を囲む透明パイプ部２６と、透明パイプ部２６の先側に連設され、押圧具２１を気密状態（減圧室２０の真空を含む減圧状態（密閉状態）を維持したまま）で摺動可能に保持する押圧具保持手段２７とを有する。
押圧具保持手段２７は、筒状に形成された外ケース２８と、外ケース２８に内挿されたベローズ２９と、中央部に貫通孔３０が形成されベローズ２９の先側を外ケース２８に固定して外ケース２８の先側を封止するベローズ固定具３１と、ベローズ２９の基側を閉塞するベローズカバー３２とを有している。
押圧具２１は、封止蓋１８とベローズカバー３２との間に配置されるシャフト３４と、ベローズ２９に内挿されて基側がベローズカバー３２に当接し、先側がベローズ固定具３１の貫通孔３０から減圧室２０（押圧具保持手段２６の外ケース２８）の外部に突出し、シャフト３４を介して封止蓋１８を押圧可能な押圧軸３５を有している。

【0026】

ここで、シャフト３４の基側端部には、封止蓋１８と着脱可能に連結される連結部３６が形成され、ベローズカバー３２の基側には、シャフト３４の先側端部３７を保持して軸ズレを防止する嵌合部３８が形成されている。これにより、押圧軸３５の力を確実にシャフト３４に伝達することができ、減圧室２０の外から封止蓋１８を押圧して排気口フランジ１７に密着させることができる。
なお、本実施の形態では、封止蓋１８の先側表面の中央部に形成された凹部３９に、Ｏリング４０が装着されたシャフト３４の連結部３６が差し込まれることにより、封止蓋１８にシャフト３４が連結されているが、封止蓋側に凸部が形成され、シャフト側に凹部が形成されて両者が連結されてもよい。
また、本実施の形態では、ベローズカバー３２の嵌合部３８が凹状に形成され、シャフト３４の先側端部３７が凸状に形成されているが、ベローズカバーの嵌合部が凸状に形成され、シャフトの先側端部が凹状に形成されてもよい。なお、先側端部は、シャフトと一体に形成されてもよいし、別部材で形成されて溶接によりシャフトと一体化されてもよい。

【0027】

押圧具保持手段２７は、外ケース２８の基側に連設されカバーフランジ２４と着脱可能に連結されて透明パイプ部２６の先側を保持するパイプ押さえ４２を有している。本実施の形態では、平面視して、カバーフランジ２４の円周上に複数（例えば２つ）の雌螺子孔２４ｂが形成され、パイプ押さえ４２の円周上に、雌螺子孔２４ｂの位置に対応して雄螺子挿通孔４２ａが形成されている。従って、雄螺子挿通孔４２ａから挿通される連結雄螺子４３が雌螺子孔２４ｂに螺合されることにより、カバーフランジ２４とパイプ押さえ４２が連結されて、カバーフランジ２４とパイプ押さえ４２で透明パイプ部２６が保持（挟持）される。また、パイプ押さえ４２は、シャフト３４を摺動可能に保持するシャフト挿通部４５と、透明パイプ部２６と外ケース２８とを連通させる通気孔４６を有している。本実施の形態では、平面視してシャフト挿通部４５の外周に等角度間隔で６つの円形の通気孔４６が配置されているが、これは減圧時の排気のためであり、通気孔の形状、大きさ、数及び配置は、適宜、選択される。

【0028】

ジョイントプレート２２とカバーフランジ２４との接触面（カバーフランジ２４の基側表面）、カバーフランジ２４と透明パイプ部２６との接触面（カバーフランジ２４の内周面）及び透明パイプ部２６とパイプ押さえ４２との接触面（パイプ押さえ４２の内周面）は、それぞれＯリング４７によって気密性が保たれている。透明パイプ部２６の材質として耐熱ガラスが好適に用いられるが、これに限定されるものではなく、減圧によって破損しない耐久性を有する材質が適宜、選択される。
なお、排気口フランジ１７及び封止蓋１８の外周が透明パイプ部２６で囲まれることにより、作業者は作業中に排気口フランジ１７と封止蓋１８との密着状態を目視で確認することができるが、排気口フランジ１７と封止蓋１８が密着すれば、押圧具２１（押圧軸３５）は動かなくなるので、目視による確認は必須ではなく、透明パイプ部の代わりに金属等で形成された不透明なパイプが使用されてもよい。
また、外ケース２８、ベローズ固定具３１及びパイプ押さえ４２はステンレス等の金属で形成され、溶接により一体化されている。

【0029】

以上の構成により、減圧室２０全体の気密性が保たれると共に、減圧時の変形が防止される。なお、本実施の形態では、直径の異なる２つの筒体２８ａ、２８ｂが連結（溶接）されて外ケース２８が形成されているが、外ケースの形状はこれに限定されるものではなく、適宜、選択される。また、本実施の形態では、外ケース２８の先側（筒体２８ａ）に真空引きポンプ接続口１９が形成されているが、真空引きポンプ接続口の位置は、適宜、選択される。
ベローズ２９の基側端部には、押圧軸３５の基側端部３５ａを回動可能に保持する押圧軸保持部４８が形成されている。また、押圧軸３５の先側に連結された雄螺子形成体５０の外周に雄螺子部５０ａが形成されている。本実施の形態では、雄螺子形成体５０の基側に押圧軸３５より大径の嵌着部５０ｂが形成されることにより、押圧軸３５と雄螺子形成体５０が連結（嵌着）され一体化されているが、押圧軸３５への雄螺子形成体５０の取付方法は、適宜、選択される。また、押圧軸の先側外周に直接、雄螺子部が形成されてもよい。

【0030】

押圧具２１は、複数（例えば４本）のタイロッド５２を介してベースフランジ２３と着脱可能に連結される押圧フランジ５３を有している。ここで、タイロッド５２の両端部にはそれぞれ雄螺子部５２ａ、５２ｂが形成されている。そして、平面視して、ベースフランジ２３の円周上には複数（例えば４つ）の連結用雌螺子孔２３ｂが形成され、押圧フランジ５３の円周上には、連結用雌螺子孔２３ｂの位置に対応してタイロッド挿通孔５３ａが形成されている。従って、タイロッド５２の基側の雄螺子部５２ａがベースフランジ２３の連結用雌螺子孔２３ｂに螺着され、タイロッド挿通孔５３ａに挿通されるタイロッド５２の先側の雄螺子部５２ｂに固定ナット５４が螺着されることにより、ベースフランジ２３と押圧フランジ５３が連結され一定の間隔に保持される。また、押圧フランジ５３の中央部には、押圧軸３５の先側の雄螺子部５０ａと螺合される雌螺子部５５が形成されている。そして、減圧室２０の減圧時に、ベローズ固定具３１の先側（ここでは、嵌着部５０ｂとベローズ固定具３１との間）で、押圧軸３５に平面視してＵ字型又はＣ字型のスペーサー５６が嵌着される。これにより、排気口フランジ１７と封止蓋１８との初期間隔（例えば１０ｍｍ）を設定することができ、排気口１６から確実に排気して中空部１４を減圧することができる。減圧室２０内の圧力は圧力計（図示せず）でモニタリングすることができ、減圧対象物１１（中空部１４）を所望の圧力（例えば真空）まで減圧することができる。

【0031】

図１において、減圧対象物１１の中空部１４及び減圧室２０が減圧された状態からスペーサー５６を取り外し、作業者が押圧軸３５を回転させるだけで、図２に示すように、押圧軸３５を雌螺子孔５５に沿って減圧対象物１１側に移動させることができる。なお、雄螺子形成体５０の先側端部には平面視して多角形状（四角形又は六角形）の工具装着部５０ｃが形成されており、作業者はスパナ等の工具を用いて簡単に押圧軸３５を回転させることができる。押圧軸３５の移動に伴いベローズ２９が伸長し、シャフト３４が押圧軸３５で押されて、封止蓋１８が排気口フランジ１７に近付き、やがて封止蓋１８と排気口フランジ１７が密着して排気口１６が密閉される。

【0032】

その後、作業者は、図２の状態からカバーフランジ固定雄螺子２５を取り外し、カバーフランジ２４に取付けられた取っ手５７を排気口１６の先側（ここでは上方）に向かって移動させる。このとき、ベースフランジ２３と押圧フランジ５３がタイロッド５２で連結され、雄螺子部５０ａが、押圧フランジ５３に形成された雌螺子孔５４に螺合されているので、封止蓋１８、シャフト３４、ベローズカバー３２及び押圧軸３５は固定されたまま移動せず、図３に示すように、カバーフランジ２４、透明パイプ部２６、外ケース２８及びベローズ固定具３１のみが押圧軸３５に沿って移動し、ベローズ２９が伸長する。つまり、減圧室２０は、押圧具２１により封止蓋１８が押圧されて排気口１６が密閉され減圧対象物１１が減圧された状態で開閉可能となっている。

【0033】

図３に示すように、減圧室２０が大気に開放された後、作業者が、ベースフランジ２３と取っ手５７の間にサポート具５８を挟むことにより、ジョイントプレート２２とカバーフランジ２４の間にできた隙間５９が維持される。ここで、平面視して、封止蓋１８の円周上には複数（例えば４つ）の雌螺子孔１８ａが形成され、予め封止用雄螺子６０が螺着されており、排気口フランジ１７の円周上には、雌螺子孔１８ａの位置に対応して雄螺子挿通孔１７ａが形成されている。
従って、排気口フランジ１７と封止蓋１８が密着した状態では、封止用雄螺子６０の先端が雄螺子挿通孔１７ａから排気口フランジ１７の基側に突出した状態となるので、作業者は隙間５９から封止用雄螺子６０に図示しない封止用雌螺子（例えばＵナット）を螺着させて排気口１６を封止、固定することができる。排気口１６の封止後は、作業者は、減圧封止治具１０の各部の螺子を緩めて減圧封止治具１０を分解し、排気管１５から取り外すことができる。
なお、排気口フランジ１７と封止蓋１８との間に、金属ガスケット６１が挟持されることにより、封止後の減圧対象物１１の減圧状態が長期間にわたって安定的に維持される。また、金属ガスケット６１は繰り返し使用することができ、減圧対象物１１の減圧状態が低下した際には、作業者は上記と同じ手順で減圧対象物１１の減圧及び封止を行うことができる。

【0034】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものであり、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。上記実施の形態では、減圧対象物が真空二重容器の場合について説明したが、減圧封止治具は、真空容器、真空二重管等の真空構造体を含むその他の減圧対象物の減圧（真空引き）及び封止に用いられる。
また、上記実施の形態では、排気口フランジと封止蓋の固定手段として、排気口フランジと封止蓋の外周のフランジ部が螺子止め固定されるフランジ継手が用いられているが、排気口フランジと封止蓋の外周のフランジ部がクランプバンドで固定されるフェルール継手が用いられてもよい。

【符号の説明】

【0035】

１０：減圧封止治具、１１：減圧対象物（真空二重容器）、１２：内側容器壁、１３：外側容器壁、１４：中空部、１５：排気管、１６：排気口、１７：排気口フランジ、１７ａ：雄螺子挿通孔、１８：封止蓋、１８ａ：雌螺子孔、１９：真空引きポンプ接続口、２０：減圧室、２１：押圧具、２２：ジョイントプレート、２３：ベースフランジ、２３ａ：雌螺子孔、２３ｂ：連結用雌螺子孔、２４：カバーフランジ、２４ａ：雄螺子挿通孔、２４ｂ：雌螺子孔、２５：カバーフランジ固定雄螺子、２６：透明パイプ部、２７：押圧具保持手段、２８：外ケース、２８ａ、２８ｂ：筒体、２９：ベローズ、３０：貫通孔、３１：ベローズ固定具、３２：ベローズカバー、３４：シャフト、３５押圧軸、３５ａ：基側端部、３６：連結部、３７：先側端部、３８：嵌合部、３９：凹部、４０：Ｏリング、４２：パイプ押さえ、４２ａ：雄螺子挿通孔、４３：連結雄螺子、４５：シャフト挿通部、４６：通気孔、４７：Ｏリング、４８：押圧軸保持部、５０：雄螺子形成体、５０ａ：雄螺子部、５０ｂ：嵌着部、５０ｃ：工具装着部、５２：タイロッド、５２ａ、５２ｂ：雄螺子部、５３：押圧フランジ、５３ａ：タイロッド挿通孔、５４：固定ナット、５５：雌螺子部、５６：スペーサー、５７：取っ手、５８：サポート具、５９：隙間、６０：封止用雄螺子、６１：金属ガスケット

【図1】

【図2】

【図3】