(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024126401
(43)【公開日】2024-09-20
(54)【発明の名称】サーボパラメータの調整方法、および調整装置
(51)【国際特許分類】
H02P 29/00 20160101AFI20240912BHJP
G05B 11/36 20060101ALI20240912BHJP
【ＦＩ】
H02P29/00
G05B11/36 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023034757
(22)【出願日】2023-03-07
(71)【出願人】
【識別番号】000002945
【氏名又は名称】オムロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002860
【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】原田 浩行
(72)【発明者】
【氏名】中嶋 健治
(72)【発明者】
【氏名】大野 悌
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼向 英行
(72)【発明者】
【氏名】海田 僧太
(72)【発明者】
【氏名】浦邊 研太郎
【テーマコード（参考）】
5H004
5H501
【Ｆターム（参考）】
5H004GA30
5H004HA07
5H004HA08
5H004HB07
5H004HB08
5H004KB01
5H004KB17
5H004KB39
5H004LA13
5H501AA22
5H501BB11
5H501CC05
5H501GG01
5H501GG03
5H501GG11
5H501JJ03
5H501JJ17
5H501JJ24
5H501JJ26
5H501KK06
5H501LL01
5H501LL34
(57)【要約】
【課題】対象装置における周波数特性の変動を可及的に考慮して好適なサーボパラメータの調整を実現する。
【解決手段】モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、
モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する第１ステップと、第１条件に対応する第１周波数特性と第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第２ステップと、第１周波数特性と、第２周波数特性と、第３周波数特性とに基づいて、サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第３ステップと、周波数特性ブロックに基づいて、サーボパラメータを調整する第４ステップと、を含む。
【選択図】図６
【解決手段】モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、
モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する第１ステップと、第１条件に対応する第１周波数特性と第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第２ステップと、第１周波数特性と、第２周波数特性と、第３周波数特性とに基づいて、サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第３ステップと、周波数特性ブロックに基づいて、サーボパラメータを調整する第４ステップと、を含む。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、
前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する第１ステップと、
前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、前記モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第２ステップと、
前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第３ステップと、
前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第４ステップと、
を含む、サーボパラメータの調整方法。
前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する第１ステップと、
前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、前記モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第２ステップと、
前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第３ステップと、
前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第４ステップと、
を含む、サーボパラメータの調整方法。
【請求項2】
前記対象装置において前記モータにより駆動される負荷の可動範囲が有限の範囲に限定される場合、前記特性取得条件は、該可動範囲における該負荷の位置に関する条件である、
請求項１に記載のパラメータ調整方法。
請求項１に記載のパラメータ調整方法。
【請求項3】
前記第１条件は、該負荷が該可動範囲において一方の端部に位置するときの位置条件であり、前記第２条件は、該負荷が該可動範囲における他方の端部に位置するときの位置条件である、
請求項２に記載のパラメータ調整方法。
請求項２に記載のパラメータ調整方法。
【請求項4】
前記特性取得条件は、前記対象装置と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であって、
前記第１条件と前記第２条件は、前記装置群において稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間に係る条件である、
請求項１に記載のパラメータ調整方法。
前記第１条件と前記第２条件は、前記装置群において稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間に係る条件である、
請求項１に記載のパラメータ調整方法。
【請求項5】
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、
前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、
前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
【請求項6】
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップでは、更に、前記第１周波数特性の位相推移と前記第２周波数特性の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロックに含める、
請求項５に記載のパラメータ調整方法。
前記第３ステップでは、更に、前記第１周波数特性の位相推移と前記第２周波数特性の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロックに含める、
請求項５に記載のパラメータ調整方法。
【請求項7】
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、
前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間した基準ゲイン推移よりゲインが大きくなるように補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、
前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間した基準ゲイン推移よりゲインが大きくなるように補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
【請求項8】
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップでは、更に、前記第１周波数特性の位相推移と前記第２周波数特性の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロックに含める、
請求項７に記載のパラメータ調整方法。
前記第３ステップでは、更に、前記第１周波数特性の位相推移と前記第２周波数特性の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロックに含める、
請求項７に記載のパラメータ調整方法。
【請求項9】
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第１ステップでは、前記第１条件及び前記第２条件とは異なる追加条件でも、前記モータの周波数特性を追加周波数特性として取得し、
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークと、前記追加周波数特性のゲイン推移における共振に係る追加ピークと、を抽出し、
前記第１ピーク、前記第２ピーク、前記追加ピークに基づいて前記所定区間を決定し、該所定区間において該第１ピーク、該第２ピーク、該追加ピークを下回らないように補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
前記第１ステップでは、前記第１条件及び前記第２条件とは異なる追加条件でも、前記モータの周波数特性を追加周波数特性として取得し、
前記第２ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークと、前記追加周波数特性のゲイン推移における共振に係る追加ピークと、を抽出し、
前記第１ピーク、前記第２ピーク、前記追加ピークに基づいて前記所定区間を決定し、該所定区間において該第１ピーク、該第２ピーク、該追加ピークを下回らないように補間することで前記第３周波数特性を生成し、
前記第３ステップでは、
前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
【請求項10】
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップでは、少なくとも第１区間と第２区間を含む複数の前記所定区間を特定し、該複数の所定区間のそれぞれにおいて前記第３周波数特性を補間し、
前記第３ステップでは、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記複数の所定区間のそれぞれに対応する前記第３周波数特性とに基づいて、前記周波数特性ブロックを生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
前記第２ステップでは、少なくとも第１区間と第２区間を含む複数の前記所定区間を特定し、該複数の所定区間のそれぞれにおいて前記第３周波数特性を補間し、
前記第３ステップでは、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記複数の所定区間のそれぞれに対応する前記第３周波数特性とに基づいて、前記周波数特性ブロックを生成する、
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のパラメータ調整方法。
【請求項11】
前記第２ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれと、前記第２周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれとの間の周波数差に基づいて、前記第１区間と前記第２区間とを特定する、
請求項１０に記載のパラメータ調整方法。
請求項１０に記載のパラメータ調整方法。
【請求項12】
モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する調整装置であって、
前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する取得部と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、前記モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第１調整部と、
前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第２調整部と、
前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第３調整部と、
を備える、調整装置。
前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する取得部と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、前記モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第１調整部と、
前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第２調整部と、
前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第３調整部と、
を備える、調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、サーボパラメータの調整方法、および調整装置に関する。
【背景技術】
【0002】
負荷を駆動するためのモータ等が取り付けられた設備装置においては、一般的に、モータを適切にサーボ制御するために、サーボドライバのサーボパラメータ（位置ゲイン、速度ゲイン、フィルタのカットオフ周波数等）の調整が行われる。そして、このようなサーボパラメータの調整方法としては、一般的には、モータや負荷装置を実際に駆動することにより行われる調整方法が採用される。そこでは、サーボドライバ等のモータ制御装置にサーボパラメータを設定するとともに、そのサーボパラメータに応じたモータの周波数応答等を計測し、当該サーボパラメータの適否を判断することでサーボパラメータの調整が行われる。
【0003】
例えば、特許文献１に示す先行技術では、複数の異なる条件下で取得したモータの周波数特性に含まれるゲイン及び位相の推移に基づいて最大ゲイン包絡線と最小位相包絡線を算出し、それらを利用してサーボパラメータの調整が行われる。また、特許文献２では、モータが組み込まれる装置の負荷状態によって変化する共振周波数を１つの共振周波数と考えて、共振による振動を抑制するためのノッチフィルタの中心周波数を探索する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００９－２８２６０９号公報
【特許文献2】特開２００７－１８５０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一般的に、モータをサーボ制御するためのサーボパラメータを調整するためには、実際にモータや負荷等を含む対象装置の制御軸において、対応するモータを駆動させてその周波数特性等を計測し、その計測結果に基づいて好適なサーボパラメータを探っていく。このような手法でサーボパラメータを調整した場合、対象装置が所望の周波数特性を示している状態では好適な制御特性が期待できる。しかし、対象装置においては、負荷位置の変化や経時的な要因等によって対象装置の機械剛性等の機械的な特性に変動が生じ、以てその機械内部の構造的な状況は必ずしも常に一定ではない。そのため、対象装置を特定の状態に置いて所望の周波数特性が発揮されるようにサーボパラメータを調整したとしても、対象装置が当該特定の状態から外れた場合、モータの制御状態が不安定なものとなり得る。
【0006】
また、対象装置は、一又は複数の制御軸を有しているため、当該装置が稼働時に置かれる状況は様々であり、あらゆる状況を想定して各制御軸での周波数特性を計測してサーボパラメータを調整するには多大な時間を要してしまい、作業効率の観点からも必ずしも好ましいものではない。
【0007】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、対象装置における周波数特性の変動を可及的に考慮して好適なサーボパラメータの調整を実現する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一側面に係るサーボパラメータの調整方法は、モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する第１ステップと、前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、前記モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第２ステップと、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第３ステップと、前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第４ステップと、を含む。
【0009】
上記調整方法は、対象装置の制御軸を駆動するためのモータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整するための方法である。サーボパラメータとしては、当該制御軸に対応する、位置ループゲイン、速度ループゲインや、振動抑制のためのフィルタに関連するパラメータ（カットオフ周波数等）等が例示できる。例えば、周波数特性から把握できるゲインの乱れ（制御帯域付近のピークゲインや共振点等）を抑えるように、所定のサーボパラメータが調整される。
【0010】
ここで、第１ステップでは、サーボパラメータの調整を行う際に参照される周波数特性が取得される。当該周波数特性としては、いわゆるボード線図に示されるゲイン推移や位相推移等が例示できる。そして、制御軸でのモータの周波数特性を取得する際の、対象装置に関する条件は特性取得条件とされ、第１ステップにおいては、当該特性取得条件として少なくとも２つの条件である第１条件と第２条件とが設定される。これらの条件は、異なる周波数特性が見込まれる条件であり、好ましくは、両条件に対応する周波数特性（第１周波数特性と第２周波数特性）は、当該制御軸における周波数特性の変動範囲において境界的な特性であり、第１条件と第２条件はその境界的な特性に対応する境界条件である。境界条件は、位置的な条件や時間的な条件であってもよく、またそれ以外の条件であってもよい。
【0011】
そして、第２ステップでは、第１周波数特性と第２周波数特性とに基づいて、所定区間に対応する第３周波数特性が補間される。当該所定区間は、モータの周波数特性における共振領域に関連する区間である。共振領域では対象装置における振動が顕著になる傾向があるため、サーボ制御における安定性の観点からサーボパラメータを調整する際には、共振領域に関連する所定区間における対象装置の挙動に注目するのが好ましい。そして、第３周波数特性は、この所定区間に対応する周波数特性であり、第１周波数特性と第２周波数特性から想定される周波数特性である。第３周波数特性の補間は、様々な補間方式を採用することができ、特定の方式に限定されない。すなわち、第３周波数特性は、第１条件と第２条件以外の条件に対応する周波数特性として補間されるものである。
【0012】
次に、第３ステップでは、第１周波数特性と第２周波数特性と第３周波数特性とに基づいて、周波数特性ブロックを生成する。すなわち、第１周波数特性と第２周波数特性と第３周波数特性とを一つの周波数特性（周波数特性ブロック）に纏めることで、サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性が生成される。したがって、第３ステップで生成される周波数特性ブロックには、異なる２つの第１条件と第２条件に対応する周波数特性と、両条件以外の条件に対応する周波数特性とが含まれることになるため、第４ステップで行われるサーボパラメータの調整においては、対象装置における機械的な特性の変動を可及的に広く参照することになり、以て、広い機械的な特性変動に対応し得る好適なサーボパラメータの調整を実現することができる。
【0013】
ここで、上記の調整方法について、前記対象装置において前記モータにより駆動される負荷の可動範囲が有限の範囲に限定される場合、前記特性取得条件は、該可動範囲における該負荷の位置に関する条件であってもよい。すなわち、特性取得条件が位置的な条件である場合、負荷の位置に応じて対象装置の機械剛性等が変化し得ることを考慮したものである。したがって、このような場合に上記調整方法を採用することで、負荷の位置に起因する周波数特性の変動に起因した制御上の不安定性を可及的に排除することが可能となる。そして、当該調整方法において、好ましくは、前記第１条件は、該負荷が該可動範囲において一方の端部に位置するときの位置条件であり、前記第２条件は、該負荷が該可動範囲における他方の端部に位置するときの位置条件である。
【0014】
また、上記の調整方法において、前記特性取得条件は、前記対象装置と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であってもよく、その場合、前記第１条件と前記第２条件は、前記装置群において稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間に係る条件であってもよい。これは、特性取得条件が時間的な条件である場合、対象装置の稼働時間に応じて対象装置の機械剛性等が経時的に変化し得ることを考慮したものである。したがって、このような場合に上記調整方法を採用することで、対象装置の稼働時間に起因する周波数特性の変動に起因した制御上の不安定性を可及的に排除することが可能となる。
【0015】
ここで、上述までの調整方法において、前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含んでもよく、その場合、前記第２ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間することで前記第３周波数特性を生成してもよい。そして、前記第３ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成してもよい。すなわち、周波数特性に含まれるゲイン特性については、その共振特性に着目して第２ステップにおける第３周波数特性の補間を行うとともに第３ステップにおける周波数特性ブロックの生成を行う。当該補間については、所定区間では、第１ピークから第２ピークにわたってゲインピークが直線的に変化し得るとの前提に立って直線補間により第３周波数特性が得られる。
【0016】
また、周波数特性に含まれるゲイン特性に関する別法として、前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含んでもよく、その場合、前記第２ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークとを抽出し、前記第１ピークに対応する第１周波数と前記第２ピークに対応する第２周波数との間の区間を前記所定区間として、該第１ピークと該第２ピークとを直線補間した基準ゲイン推移よりゲインが大きくなるように補間することで前記第３周波数特性を生成してもよい。そして、前記第３ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成してもよい。この場合も、その共振特性に着目して第２ステップにおける第３周波数特性の補間を行うとともに第３ステップにおける周波数特性ブロックの生成を行う。なお、当該補間については、所定区間では、第１ピークから第２ピークにわたってゲインピークが直線的な変化と比べてより大きく変化し得るとの前提に立って、第３周波数特性が得られる。
【0017】
そして、上記調整方法において、前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含んでもよく、その場合、前記第３ステップでは、更に、前記第１周波数特性の位相推移と前記第２周波数特性の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を
前記周波数特性ブロックに含めてもよい。ゲイン推移に加えて位相推移を考慮することで、より好適なサーボパラメータの調整が実現される。
前記周波数特性ブロックに含めてもよい。ゲイン推移に加えて位相推移を考慮することで、より好適なサーボパラメータの調整が実現される。
【0018】
また、周波数特性に含まれるゲイン特性に関する更なる別法として、前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含んでもよく、その場合、前記第１ステップでは、前記第１条件及び前記第２条件とは異なる追加条件でも、前記モータの周波数特性を追加周波数特性として取得し、前記第２ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移における共振に係る第１ピークと、前記第２周波数特性のゲイン推移における共振に係る第２ピークと、前記追加周波数特性のゲイン推移における共振に係る追加ピークと、を抽出し、前記第１ピーク、前記第２ピーク、前記追加ピークに基づいて前記所定区間を決定し、該所定区間において該第１ピーク、該第２ピーク、該追加ピークを下回らないように補間することで前記第３周波数特性を生成してもよい。そして、前記第３ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移と前記第２周波数特性のゲイン推移と前記第３周波数特性のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロックとして生成してもよい。このようにすることで、所定区間における複数のゲインピークを考慮して、共振による振動を好適に抑制し得るパラメータ調整が可能となる。
【0019】
また、上記調整方法において、前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、そして、前記第２ステップでは、少なくとも第１区間と第２区間を含む複数の前記所定区間を特定し、該複数の所定区間のそれぞれにおいて前記第３周波数特性を補間し、前記第３ステップでは、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記複数の所定区間のそれぞれに対応する前記第３周波数特性とに基づいて、前記周波数特性ブロックを生成してもよい。すなわち、第３周波数特性の補間を行う所定区間は複数あっても構わない。この場合、所定区間のそれぞれにおいて、上述したように共振に係るピークを利用した第３周波数特性を補間し、それを用いて周波数特性ブロックを生成することができる。
【0020】
なお、上記調整方法において、前記第２ステップでは、前記第１周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれと、前記第２周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれとの間の周波数差に基づいて、前記第１区間と前記第２区間とを特定してもよい。一例としては、第１周波数特性のゲイン推移と第２周波数特性のゲイン推移とにおいて、共振に係るピークが相対的に近いピーク同士を１つのグループに纏めることで複数の所定区間を特定することができる。
【0021】
ここで、本発明を、モータのサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する調整装置の側面から捉えることができる。そして、当該調整装置は、前記モータが取り付けられている対象装置において、該モータの周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータの周波数特性を取得する取得部と、前記第１条件に対応する第１周波数特性と前記第２条件に対応する第２周波数特性とに基づいて、両条件に挟まれた所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性を補間する第１調整部と、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記第３周波数特性とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロックを生成する第２調整部と、前記周波数特性ブロックに基づいて、前記サーボパラメータを調整する第３調整部と、を備える。このように構成される調整装置によれば、上述までのサーボパラメータの調整方法を実現可能である。また、上記の調整装置において、上記にてサーボパラメータの調整方法について開示した技術思想は、技術的齟齬の生じない範囲で当該調整装置にも適用することができる。
【発明の効果】
【0022】
対象装置における周波数特性の変動を可及的に考慮して好適なサーボパラメータの調整を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】本願開示のサーボパラメータの調整方法が適用される対象装置の制御システム、および、当該調整方法を実行する調整装置の概略構成を示す図である。
【図3】対象装置の制御軸における負荷の位置関係を示す第１の図である。
【図5】本発明のサーボパラメータの調整方法に係る処理の流れを示すフローチャートである。
【図10】モータの周波数特性のゲイン推移の別形態を示す図である。
【図11】対象装置の制御軸における負荷の位置関係を示す第２の図である。
【図12】対象装置の制御軸における負荷の位置関係を示す第３の図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
＜実施例１＞
図１は、本発明のサーボパラメータの調整方法が適用される制御システムの概略構成と、当該調整方法が実行される調整装置１０の概略構成を示す図である。先ず、制御システムについて説明する。制御システムは、ネットワーク１と、モータ２と、負荷３と、サーボドライバ４と、ＰＬＣ(Programmable Logic Controller)５とを備える。当該制御シス
テムは、モータ２とともに負荷３を駆動制御するためのシステムである。そして、モータ２及び負荷３が、当該制御システムによって制御される対象装置６とされる。ここで、負荷３としては、対象装置６の一部（例えば、産業用ロボットのアームや搬送装置のテーブル等）が例示でき、モータ２はその負荷３を駆動するアクチュエータとして対象装置６内に組み込まれている。例えば、モータ２は、ＡＣサーボモータである。なお、モータ２には図示しないエンコーダが取り付けられており、当該エンコーダによりモータ２の動作に関するパラメータ信号がサーボドライバ４にフィードバック送信されている。このフィードバック送信されるパラメータ信号（以下、フィードバック信号という）は、たとえばモータ２の回転軸の回転位置（角度）についての位置情報、その回転軸の回転速度の情報等を含む。
図１は、本発明のサーボパラメータの調整方法が適用される制御システムの概略構成と、当該調整方法が実行される調整装置１０の概略構成を示す図である。先ず、制御システムについて説明する。制御システムは、ネットワーク１と、モータ２と、負荷３と、サーボドライバ４と、ＰＬＣ(Programmable Logic Controller)５とを備える。当該制御シス
テムは、モータ２とともに負荷３を駆動制御するためのシステムである。そして、モータ２及び負荷３が、当該制御システムによって制御される対象装置６とされる。ここで、負荷３としては、対象装置６の一部（例えば、産業用ロボットのアームや搬送装置のテーブル等）が例示でき、モータ２はその負荷３を駆動するアクチュエータとして対象装置６内に組み込まれている。例えば、モータ２は、ＡＣサーボモータである。なお、モータ２には図示しないエンコーダが取り付けられており、当該エンコーダによりモータ２の動作に関するパラメータ信号がサーボドライバ４にフィードバック送信されている。このフィードバック送信されるパラメータ信号（以下、フィードバック信号という）は、たとえばモータ２の回転軸の回転位置（角度）についての位置情報、その回転軸の回転速度の情報等を含む。
【0025】
サーボドライバ４は、ネットワーク１を介してＰＬＣ５からモータ２の動作（モーション）に関する動作指令信号を受けるとともに、モータ２に接続されているエンコーダから出力されたフィードバック信号を受ける。サーボドライバ４は、ＰＬＣ５からの動作指令信号およびエンコーダからのフィードバック信号に基づいて、モータ２の駆動に関するサーボ制御、すなわち、モータ２の動作に関する指令値を算出するとともに、モータ２の動作がその指令値に追従するように、モータ２に駆動電流を供給する。なお、この供給電流は、交流電源７からサーボドライバ４に対して送られる交流電力が利用される。本実施例では、サーボドライバ４は三相交流を受けるタイプのものであるが、単相交流を受けるタ
イプのものでもよい。なお、サーボドライバ４によるサーボ制御については、サーボドライバ４が有する位置制御器４１、速度制御器４２、電流制御器４３を利用したフィードバック制御であり、その詳細については図２に基づいて後述する。
イプのものでもよい。なお、サーボドライバ４によるサーボ制御については、サーボドライバ４が有する位置制御器４１、速度制御器４２、電流制御器４３を利用したフィードバック制御であり、その詳細については図２に基づいて後述する。
【0026】
このように構成される対象装置６とそれをサーボ制御する制御システム（サーボドライバ４等）は、工場等の所定の場所に設けられている。したがって、対象装置６が実際に稼働するためには、それに組み込まれモータ２のサーボ制御のためのサーボパラメータが、負荷３の実際の構造や制御上の特性等を適切に反映したものでなければならない。そこで、当該制御システムで実行されるサーボ制御のためのサーボパラメータの調整を効率的に行うために、本願が開示する調整装置１０がサーボドライバ４と電気的に接続される。調整装置１０によるサーボパラメータの調整が完了すると、調整装置１０はサーボドライバ４から外される。
【0027】
ここで、調整装置１０の構成について、図１に基づいて説明する。図１は、調整装置１０において実行されるソフトウェア等によって実行される各種の機能をイメージ化して表した機能ブロック図である。調整装置１０は、サーボドライバ４の装置制御パラメータを調整するための装置であり、調整用のソフトウェア（プログラム）が搭載されている。具体的には、調整装置１０は、演算装置やメモリ等を有するコンピュータであり、そこで実行可能な調整用ソフトウェアがインストールされている。そして、調整装置１０はこの調整用ソフトウェアを用いて、対象装置６のモータ２のサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する。なお、調整装置１０と、対象装置６もしくはサーボドライバ４とは、有線や無線にて通信可能に接続されている。
【0028】
そして、調整装置１０は、取得部１１、調整部１２、通信部１３を有している。取得部１１は、サーボパラメータの調整対象であるモータ２の周波数応答を解析しその周波数特性を取得する機能部である。取得部１１は、モータ２の周波数応答を取得し、更にそれに対して所定の高速フーリエ変換処理を施すことで周波数特性を取得する。調整部１２は、取得部１１が取得した周波数特性に基づいてモータ２をサーボ制御するためのサーボパラメータの調整を行う機能部である。調整部１２によるサーボパラメータの調整の詳細については後述する。また、通信部１３は、調整装置１０と制御システムとのデータの送受信を司る機能部である。
【0029】
ここで、モータ２をサーボ制御するためのサーボドライバ４の制御構造について、図２に基づいて説明する。サーボドライバ４は、位置制御器４１、速度制御器４２、電流制御器４３を備え、これらの処理により上記サーボ制御が実行される。位置制御器４１は、例えば、比例制御（Ｐ制御）を行う。具体的には、ＰＬＣ５から通知された位置指令と検出位置との偏差である位置偏差に、位置比例ゲインＫｐｐを乗ずることにより速度指令を算出する。なお、位置制御器４１が有する位置比例ゲインＫｐｐは、調整されるべきサーボパラメータの１つである。
【0030】
次に、速度制御器４２は、例えば、比例積分制御（ＰＩ制御）を行う。具体的には、位置制御器４１に算出された速度指令と検出速度との偏差である速度偏差の積分量に速度積分ゲインＫｖｉを乗じ、その算出結果と当該速度偏差の和に速度比例ゲインＫｖｐを乗ずることにより、トルク指令を算出する。なお、速度制御器４２が有する速度比例ゲインＫｖｐ及び速度積分ゲインＫｖｉも、調整されるべきサーボパラメータの１つである。また、速度制御器４２はＰＩ制御に代えてＰ制御を行ってもよい。この場合には速度制御器４２が有する速度比例ゲインＫｖｐが、調整されるべきサーボパラメータの１つとなる。次に、電流制御器４３は、速度制御器４２により算出されたトルク指令に基づいて電流指令を出力し、それによりモータ２が駆動制御される。電流制御器４３は、トルク指令に関するフィルタ（１次のローパスフィルタ）や一又は複数のノッチフィルタを含み、調整され
るべきサーボパラメータとして、これらのフィルタの性能に関するカットオフ周波数等を有している。
るべきサーボパラメータとして、これらのフィルタの性能に関するカットオフ周波数等を有している。
【0031】
そして、サーボドライバ４の制御構造は、速度制御器４２、電流制御器４３、対象装置６を前向き要素とする速度フィードバック系を含み、更に、当該速度フィードバック系と位置制御器４１を前向き要素とする位置フィードバック系を含んでいる。このように構成される制御構造によって、サーボドライバ４はＰＬＣ５から供給される位置指令に追従するようにモータ２をサーボ制御することが可能となる。
【0032】
ここで、対象装置６では、図３に示すように、モータ２の出力軸がボールねじに接続され、そのボールねじが回転駆動されることで負荷３の位置が制御されるように構成されているものとする。このときモータ２の駆動により負荷３の可動範囲は、図３に示すように位置Ｐ１から位置Ｐ２までの有限の範囲である。ここで位置Ｐ１はモータ２に最も近い可動範囲内の位置であり、可動範囲の一方の限界を示す境界位置である。また、位置Ｐ２はモータ２に最も遠い可動範囲内の位置であり、可動範囲の他方の限界を示す境界位置である。
【0033】
ここで、負荷３がＰ１に位置しているときとＰ２に位置しているときとでは、ボールねじと負荷３を含む対象装置６の機械剛性に違いが生じ得る。その結果、図４に示すように負荷３の位置に応じてモータ２の周波数特性に違いが生じる。図４は、負荷３が位置Ｐ１、Ｐ２及び両位置の中間である位置Ｐ３にあるときの、それぞれのモータ２の周波数特性である。図４の上段がゲイン特性を表し、下段が位相推移を表している。図４から理解できるように、低周波数領域や高周波数領域では、負荷３の位置に伴う周波数特性の違いは極めて小さいが、対象装置６の共振点を含む共振領域（低周波数領域と高周波数領域の間の領域）では、負荷３の位置に伴い周波数特性が異なっている。そのため、負荷３を特定の位置条件の下において得られた周波数特性に基づいてサーボパラメータの調整を行うと、その調整結果が、負荷３が他の位置条件の下に置かれた場合に必ずしも好適に適合するとは限らない。特に共振領域では共振により負荷３の振動等が顕著になりやすいため、サーボパラメータの調整は的確に行う必要がある。
【0034】
そこで、対象装置６において負荷３の位置に影響されにくいサーボパラメータの調整方法について、図５に基づいて説明する。図５に示すサーボパラメータの調整方法は、基本的には、対象装置６がサーボドライバ４のサーボ制御により正式に稼働する前に行われるものであるが、一度正式に稼働した後に、対象装置６で発生した問題等の諸事情を踏まえて再度サーボパラメータを調整する必要がある場合にも適用することができる。
【0035】
図５に示す調整方法は、調整装置１０が有する取得部１１、調整部１２、通信部１３が協働することで実現される。先ず、Ｓ１０１では、負荷３の位置に関する第１条件での、モータ２の周波数特性である第１周波数特性が取得される。具体的には、第１条件は、負荷３がＰ１に位置している条件とされる。また、本実施形態の周波数特性には、ゲイン推移と位相推移が含まれる。上記の通り、位置Ｐ１は、負荷３の可動範囲において、負荷３がモータ２に最も近い側に位置するときの境界位置である。次に、Ｓ１０２では、負荷３の位置に関する第２条件での、モータ２の周波数特性である第２周波数特性が取得される。具体的には、第２条件は、負荷３がＰ２に位置している条件とされる。上記の通り、位置Ｐ２は、負荷３の可動範囲において、負荷３がモータ２に最も遠い側に位置するときの境界位置である。
【0036】
このようにＳ１０１とＳ１０２で、負荷３の可動範囲において境界位置となる位置Ｐ１及びＰ２に対応する周波数特性（第１周波数特性、第２周波数特性）を取得するのは、負荷３が位置Ｐ１とＰ２の間の何れかの位置にあるときのモータ２の周波数特性を補間する
ためである。すなわち、仮に負荷３が位置Ｐ１とＰ２の間の何れかに位置している場合の周波数特性は、特に共振領域において、第１周波数特性および第２周波数特性とは違いが生じる可能性はあるものの、対象装置６の機械的構造に起因する周波数特性の変化は連続的に生じ、以て第１周波数特性および第２周波数特性とはある程度の相関を有している可能性が高いからである。
ためである。すなわち、仮に負荷３が位置Ｐ１とＰ２の間の何れかに位置している場合の周波数特性は、特に共振領域において、第１周波数特性および第２周波数特性とは違いが生じる可能性はあるものの、対象装置６の機械的構造に起因する周波数特性の変化は連続的に生じ、以て第１周波数特性および第２周波数特性とはある程度の相関を有している可能性が高いからである。
【0037】
そこで、Ｓ１０３では、モータの周波数特性における共振領域に関連する所定区間（図４を参照）において、当該所定区間に対応する第３周波数特性の補間が行われる。所定区間は共振領域とある程度の関連性があればよく、共振領域と一致しても構わなく、また共振領域の一部又は全部を含んでも構わない。当該第３周波数特性の補間は、第１周波数特性と第２周波数特性とに基づいて行われるものであり、その具体的な処理態様について図６に基づいて説明する。図６には、所定区間近傍の周波数特性のうちゲイン推移が示されている。図６において、第１周波数特性のゲイン推移は線Ｌ１で参照され、第２周波数特性のゲイン推移は線Ｌ２で参照されている。
【0038】
先ず、第３周波数特性の補間に関し、ゲイン推移について説明する。ここで、図６の（ａ）には、Ｓ１０１及びＳ１０２で取得された第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１と第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２が示されている。そして、Ｓ１０３での第３周波数特性の補間のために、先ず、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１におけるゲインのピークである第１ピークＰＫ１と第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２におけるゲインのピークである第２ピークＰＫ２が抽出される（図６（ｂ）を参照。）。なお、第１ピークＰＫ１に対応する第１周波数（すなわち、第１周波数特性における共振周波数）はｆ１で参照され、第２ピークＰＫ２に対応する第２周波数（すなわち、第２周波数特性における共振周波数）はｆ２で参照される。また、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との間の区間が所定区間とされる。次に、周波数特性のゲイン推移に関して、図６（ｃ）に示すように第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２とを直線補間して得られるゲイン推移Ｌ３を、当該所定区間に対応する第３周波数特性として補間する。
【0039】
再び図５に戻る。Ｓ１０３における第３周波数特区性の補間処理が終了すると、Ｓ１０４において周波数特性ブロックの生成が行われる。当該周波数特性ブロックは、サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性であり、その具体的な生成処理については、図６の（ｄ）に基づいて説明する。具体的には、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１と第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２と第３周波数特性のゲイン推移Ｌ３とに基づいて、各周波数におけるゲインの最大値として抽出される最大ゲイン推移が周波数特性ブロックＬ５とされる。したがって、周波数特性ブロックＬ５において、所定区間におけるゲイン推移は、Ｌ３を輪郭とした、第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２との間が埋められた形状となり、図６（ａ）と比べて分かるように、サーボパラメータの調整において考慮すべきゲイン推移の領域が広まっている。このことは、サーボパラメータの調整において、上記の第１条件および第２条件以外の条件が考慮されるように、基準となる周波数特性が拡大して形成されていることを意味する。
【0040】
次に、サーボパラメータの調整のために周波数特性ブロックに含める位相推移について、図７に基づいて説明する。図７には、所定区間近傍の周波数特性のうち位相推移が示されている。図７において、第１周波数特性の位相推移は線Ｌ１１で参照され、第２周波数特性の位相推移は線Ｌ１２で参照されている。ここで、図７の（ａ）には、Ｓ１０１及びＳ１０２で取得された第１周波数特性の位相推移Ｌ１１と第２周波数特性の位相推移Ｌ１２が示されている。そして、第１周波数特性の位相推移Ｌ１１と第２周波数特性の位相推移Ｌ１２とに基づいて、各周波数における位相の最小値として抽出される最小位相推移Ｌ１５が上記の周波数特性ブロックＬ５に含められる。なお、本実施形態では、最小位相推移Ｌ１５は、第１周波数特性の位相推移Ｌ１１と一致している。
【0041】
再び図５に戻る。Ｓ１０４における周波数特性ブロックの生成処理が終了すると、Ｓ１０５において、当該周波数特性ブロックに基づいてモータ２のサーボパラメータの調整が行われる。ここで、周波数特性ブロックに含まれるゲイン推移と位相推移を図８に示す。図８の上段にゲイン推移がＬ５で参照されており、下段に位相推移がＬ１５で参照されている。上記の図６（ｄ）及び図７（ｂ）に示すゲイン推移と位相推移は、図８に示す同推移の一部を抽出し拡大したものである。そして、Ｓ１０５では、図８に示す周波数特性ブロックにおけるゲイン余裕や位相余裕を考慮してサーボパラメータの調整が行われる。サーボパラメータの調整自体については、公知の技術を好適に採用できる。なお、サーボパラメータの調整が終了すると、その調整済みのパラメータが、調整装置１０の通信部１３を介して対象装置６側に送信される。そして、受信された調整済みのサーボパラメータは、サーボドライバ４に設定されモータ２のサーボ制御に供される。
【0042】
このように図５に示すサーボパラメータの調整方法によれば、実際に周波数特性が計測された第１条件と第２条件以外の条件（負荷３の位置に関する条件）をも考慮して、サーボパラメータの調整が行われることになる。なお、第１条件と第２条件以外の条件に対応する周波数特性の計測は実際に行わず、上述したように第３周波数特性の補間処理を以て代用する。したがって、サーボパラメータの調整をより好適に且つより効率的に実現することができる。
【0043】
＜変形例１＞
ここで、図５に示すサーボパラメータの調整方法の変形例について、図９Ａに基づいて説明する。図９Ａ（ａ）には、Ｓ１０３の処理に関連する第３周波数特性の補間の別形態が示されている。本変形例では、周波数特性のゲイン推移に関して、図６（ｃ）で示した第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２とを直線補間して得られるゲイン推移Ｌ３を基準ゲイン推移としたときに、当該基準ゲイン推移と比べてゲインが大きくなるように補間することで得られるゲイン推移Ｌ３’を当該所定区間に対応する第３周波数特性として補間する。ゲイン推移Ｌ３’は、所定区間（第１周波数ｆ１から第２周波数ｆ２の間の区間）において上に凸となるように推移してもよい。
ここで、図５に示すサーボパラメータの調整方法の変形例について、図９Ａに基づいて説明する。図９Ａ（ａ）には、Ｓ１０３の処理に関連する第３周波数特性の補間の別形態が示されている。本変形例では、周波数特性のゲイン推移に関して、図６（ｃ）で示した第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２とを直線補間して得られるゲイン推移Ｌ３を基準ゲイン推移としたときに、当該基準ゲイン推移と比べてゲインが大きくなるように補間することで得られるゲイン推移Ｌ３’を当該所定区間に対応する第３周波数特性として補間する。ゲイン推移Ｌ３’は、所定区間（第１周波数ｆ１から第２周波数ｆ２の間の区間）において上に凸となるように推移してもよい。
【0044】
また、図９Ａ（ｂ）には、Ｓ１０４の処理に関連する周波数特性ブロックの生成の別形態が示されている。具体的には、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１と第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２と第３周波数特性のゲイン推移Ｌ３’とに基づいて、各周波数におけるゲインの最大値として抽出される最大ゲイン推移が周波数特性ブロックＬ５’とされる。したがって、周波数特性ブロックＬ５’において、所定区間におけるゲイン推移は、Ｌ３’を輪郭とした、第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２との間が埋められた形状となり、図６（ａ）及び図６（ｃ）と比べて分かるように、サーボパラメータの調整において考慮すべきゲイン推移の領域が更に広まっている。このことは、サーボパラメータの調整において、上記の第１条件および第２条件以外の条件が考慮されるように、基準となる周波数特性が形成されていることを意味する。
【0045】
以上より、実際に周波数特性が計測された第１条件と第２条件以外の条件（負荷３の位置に関する条件）をも考慮して、サーボパラメータの調整が行われることになり、以てサーボパラメータの調整をより好適に且つより効率的に実現することができる。
【0046】
次に、図５に示すサーボパラメータの調整方法の更なる変形例について、図９Ｂに基づいて説明する。図９Ｂ（ａ）には、Ｓ１０３の処理に関連する第３周波数特性の補間の別形態が示されている。本変形例では、第１条件と第２条件とは異なる追加条件の下でモータ２の周波数特性（以下、「追加周波数特性」という）が取得されている。当該追加周波数特性のゲイン推移が、図９Ｂ（ａ）においてＬ３０で参照される。また、追加周波数特
性のゲイン推移におけるゲインのピーク（追加ピーク）はＰＫ３０で参照され、その共振周波数はｆ３である。共振周波数ｆ３は第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２の間に位置している。そして、図９Ｂに示す変形例では、第１ピークＰＫ１、第２ピークＰＫ２、追加ピークＰＫ３０を下回らないように補間することで得られるゲイン推移Ｌ３’’を当該所定区間に対応する第３周波数特性として補間する。ここで、各ピークを下回らない程度は適宜設定しても構わないが、例えば、共振周波数ｆ３のときのＬ３’’上のゲインの値が、追加ピークＰＫ３０を基準として一定割合増加した程度（例えば、追加ピークＰＫ３０の１１０％等）の値となるようにすることができる。
性のゲイン推移におけるゲインのピーク（追加ピーク）はＰＫ３０で参照され、その共振周波数はｆ３である。共振周波数ｆ３は第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２の間に位置している。そして、図９Ｂに示す変形例では、第１ピークＰＫ１、第２ピークＰＫ２、追加ピークＰＫ３０を下回らないように補間することで得られるゲイン推移Ｌ３’’を当該所定区間に対応する第３周波数特性として補間する。ここで、各ピークを下回らない程度は適宜設定しても構わないが、例えば、共振周波数ｆ３のときのＬ３’’上のゲインの値が、追加ピークＰＫ３０を基準として一定割合増加した程度（例えば、追加ピークＰＫ３０の１１０％等）の値となるようにすることができる。
【0047】
また、図９Ｂ（ｂ）には、Ｓ１０４の処理に関連する周波数特性ブロックの生成の別形態が示されている。具体的には、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１と第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２と追加周波数特性のゲイン推移Ｌ３０と第３周波数特性のゲイン推移Ｌ３’’とに基づいて、各周波数におけるゲインの最大値として抽出される最大ゲイン推移が周波数特性ブロックＬ５’’とされる。したがって、周波数特性ブロックＬ５’’において、所定区間におけるゲイン推移は、Ｌ３’’を輪郭とした、第１ピークＰＫ１と第２ピークＰＫ２との間が埋められた形状となり、図６（ａ）、図６（ｃ）、図９Ａ（ｂ）と比べて分かるように、サーボパラメータの調整において考慮すべきゲイン推移の領域が更に広まっている。
【0048】
以上より、実際に周波数特性が計測された第１条件、第２条件、追加条件以外の条件（負荷３の位置に関する条件）をも考慮して、サーボパラメータの調整が行われることになり、以てサーボパラメータの調整をより好適に且つより効率的に実現することができる。
【0049】
＜変形例２＞
ここで、図５に示すサーボパラメータの調整方法における、第３周波数特性の補間のための所定区間の特定に関する変形例について、図１０に基づいて説明する。図１０には、第１周波数特性のゲイン推移がＬ１０で参照され、第２周波数特性のゲイン推移がＬ２０で参照されている。そして、本変形例での対象装置６においては、そのゲイン推移Ｌ１０には２つのゲインピークが含まれ、ゲイン推移Ｌ２０にも２つのゲインピークが含まれる。そして、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１０における共振周波数（２つのゲインピークに対応する周波数）はｆ１１とｆ１２であり（ｆ１１＜ｆ１２）、第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２０における共振周波数（２つのゲインピークに対応する周波数）はｆ２１とｆ２２である（ｆ２１＜ｆ２２）。
ここで、図５に示すサーボパラメータの調整方法における、第３周波数特性の補間のための所定区間の特定に関する変形例について、図１０に基づいて説明する。図１０には、第１周波数特性のゲイン推移がＬ１０で参照され、第２周波数特性のゲイン推移がＬ２０で参照されている。そして、本変形例での対象装置６においては、そのゲイン推移Ｌ１０には２つのゲインピークが含まれ、ゲイン推移Ｌ２０にも２つのゲインピークが含まれる。そして、第１周波数特性のゲイン推移Ｌ１０における共振周波数（２つのゲインピークに対応する周波数）はｆ１１とｆ１２であり（ｆ１１＜ｆ１２）、第２周波数特性のゲイン推移Ｌ２０における共振周波数（２つのゲインピークに対応する周波数）はｆ２１とｆ２２である（ｆ２１＜ｆ２２）。
【0050】
ここで、第１周波数特性のゲイン推移における共振周波数ｆ１１、ｆ１２と第２周波数特性のゲイン推移における共振周波数ｆ２１、ｆ２２とをそれぞれ比較すると、ｆ１１とｆ２１の周波数差、及びｆ１２とｆ２２の周波数差は、それ以外の共振周波数同士の周波数差（例えば、共振周波数ｆ１１とｆ２２との差等）と比べて相対的に小さい。そのため、共振周波数ｆ１１、ｆ２１は、対象装置６のある同一の共振点と関連を有するものであり、その周波数差は、第１周波数特性と第２周波数特性とを取得した際の特性取得条件の違い（第１条件と第２条件との違い）に起因するものと考えられる。同様に、共振周波数ｆ１２、ｆ２２は、対象装置６の別の共振点と関連を有するものであり、その周波数差は、第１周波数特性と第２周波数特性とを取得した際の特性取得条件の違い（第１条件と第２条件との違い）に起因するものと考えられる。
【0051】
そこで、このような場合、共振周波数ｆ１１とｆ２１とで画定される区間を上記所定区間である第１区間と特定し、共振周波数ｆ１２とｆ２２とで画定される区間を上記所定区間である第２区間と特定する。その上で、この２つの所定区間のそれぞれについて、図５に示す第３周波数特性の補間（Ｓ１０３の処理）を行い、そして周波数特性ブロックの生成（Ｓ１０４の処理）を行う。このようにして得られた周波数特性ブロックを用いてサー
ボパラメータの調整を行うことで（Ｓ１０４の処理）、対象装置６におけるサーボ制御上の不安定性を可及的に排除することができる。
ボパラメータの調整を行うことで（Ｓ１０４の処理）、対象装置６におけるサーボ制御上の不安定性を可及的に排除することができる。
【0052】
なお、図１０に示す形態では、第１条件に対応する第１周波数特性と第２条件に対応する第２周波数特性が利用されているが、更にこれらの条件とは異なる追加条件に対応する周波数特性を取得し、そのゲイン推移を利用して複数の所定区間を特定してもよい。所定区間の特定のためにより多くの周波数特性を取得することで、より正確に所定区間を特定することができ、以て好適なサーボパラメータの調整が実現される。
【0053】
＜変形例３＞
図５に示すサーボパラメータの調整方法が適用される対象装置６の変形例について、図１１及び図１２に基づいて説明する。図１１に示す対象装置６では、２つの制御軸（Ｘ軸とＹ軸）が設けられており、両軸は互いに直交する。Ｘ軸のモータ２ｘの出力軸がＸ軸用のボールねじに接続され、Ｙ軸のモータ２ｙの出力軸がＹ軸用のボールねじに接続されている。そして、負荷３はモータ２ｙによってＹ軸上を直接駆動され、更に、モータ２ｘによって負荷３及びＹ軸の構造物（負荷３を載置するテーブルなど）がＸ軸上を駆動される。したがって、この場合の負荷３の可動範囲は、図１１に示すようにＸＹ平面上の、有限の矩形形状範囲となる。
図５に示すサーボパラメータの調整方法が適用される対象装置６の変形例について、図１１及び図１２に基づいて説明する。図１１に示す対象装置６では、２つの制御軸（Ｘ軸とＹ軸）が設けられており、両軸は互いに直交する。Ｘ軸のモータ２ｘの出力軸がＸ軸用のボールねじに接続され、Ｙ軸のモータ２ｙの出力軸がＹ軸用のボールねじに接続されている。そして、負荷３はモータ２ｙによってＹ軸上を直接駆動され、更に、モータ２ｘによって負荷３及びＹ軸の構造物（負荷３を載置するテーブルなど）がＸ軸上を駆動される。したがって、この場合の負荷３の可動範囲は、図１１に示すようにＸＹ平面上の、有限の矩形形状範囲となる。
【0054】
ここで位置Ｐ１１は、負荷３がモータ２ｘ及びモータ２ｙに最も近い可動範囲内の位置であり、可動範囲の限界を示す境界位置である。また、位置Ｐ１２はモータ２ｘ及びモータ２ｙに最も遠い可動範囲内の位置であり、可動範囲の限界を示す境界位置である。そこで、本変形例の対象装置６のＸ軸のモータ２ｘに上記サーボパラメータの調整方法を適用する場合は、負荷３が位置Ｐ１１に位置しているときのモータ２ｘの周波数特性をＳ１０１における第１周波数特性とし、負荷３が位置Ｐ１２に位置しているときのモータ２ｘの周波数特性をＳ１０２における第２周波数特性とする。これにより、負荷３が可動範囲の何れに位置している場合の周波数特性を好適に考慮して、モータ２ｘのサーボパラメータを調整することができる。
【0055】
次に、図１２に示す対象装置６では、互いに直交する制御軸（Ｘ軸とＹ軸）が設けられており、更にＸ軸は平行する２つの制御軸Ｘ１、Ｘ２を有している。すなわち、対象装置６はガントリ構造を有している。具体的には、Ｘ１軸のモータ２ｘ１の出力軸がＸ１軸用のボールねじに接続され、Ｘ２軸のモータ２ｘ２の出力軸がＸ２軸用のボールねじに接続され、Ｙ軸のモータ２ｙの出力軸がＹ軸用のボールねじに接続されている。そして、負荷３はモータ２ｙによってＹ軸上を直接駆動され、更に、モータ２ｘ１及びモータ２ｘ２によって負荷３及びＹ軸の構造物（負荷３を載置するテーブルなど）がＸ軸上を駆動される。したがって、この場合の負荷３の可動範囲は、図１２に示すようにＸＹ平面上の、有限の矩形形状範囲となる。
【0056】
ここで位置Ｐ２１は、負荷３がモータ２ｘ１、２ｘ２及びモータ２ｙに最も近い可動範囲内の位置であり、可動範囲の限界を示す境界位置である。また、位置Ｐ２２はモータ２ｘ１、２ｘ２及びモータ２ｙに最も遠い可動範囲内の位置であり、可動範囲の限界を示す境界位置である。そこで、本変形例の対象装置６のＸ１軸のモータ２ｘ１及びＸ２軸のモータ２ｘ２に上記サーボパラメータの調整方法を適用する場合は、負荷３が位置Ｐ２１に位置しているときのモータ２ｘ１及びモータ２ｘ２の周波数特性をＳ１０１における第１周波数特性とし、負荷３が位置Ｐ２２に位置しているときのモータ２ｘ１及びモータ２ｘ２の周波数特性をＳ１０２における第２周波数特性とする。これにより、負荷３が可動範囲の何れに位置している場合の周波数特性をある程度考慮して、モータ２ｘ１及びモータ２ｘ２のサーボパラメータを調整することができる。
【0057】
＜変形例４＞
上述までの実施形態では、特性取得条件に相当する第１条件と第２条件は、モータ２の周波数特性に関連する、負荷３の位置に関する条件とされ、負荷３の位置が異なることによる周波数特性の違いを考慮したサーボパラメータの調整が行われた。本願で開示されているサーボパラメータの調整に関する技術思想は、特性取得条件がモータ２の周波数特性に関連する条件であれば、上記位置条件以外の条件であっても適用できる。例えば、特性取得条件は、対象装置６と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であってもよい。すなわち、対象装置６が使用される期間が長いほど、その使用に伴って装置内の構造物に経時変化が生じモータ２の周波数特性に何らかの影響が及ぶ可能性があることを考慮し、本願開示のサーボパラメータの調整技術を適用することができる。
上述までの実施形態では、特性取得条件に相当する第１条件と第２条件は、モータ２の周波数特性に関連する、負荷３の位置に関する条件とされ、負荷３の位置が異なることによる周波数特性の違いを考慮したサーボパラメータの調整が行われた。本願で開示されているサーボパラメータの調整に関する技術思想は、特性取得条件がモータ２の周波数特性に関連する条件であれば、上記位置条件以外の条件であっても適用できる。例えば、特性取得条件は、対象装置６と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であってもよい。すなわち、対象装置６が使用される期間が長いほど、その使用に伴って装置内の構造物に経時変化が生じモータ２の周波数特性に何らかの影響が及ぶ可能性があることを考慮し、本願開示のサーボパラメータの調整技術を適用することができる。
【0058】
この場合、稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間を上記第１条件、第２条件とする。第１の装置と第２の装置は、対象装置６と仕様が同じ装置であり、第１の装置、第２の装置、対象装置６は、同一の仕様を有する装置群に属するものである。そして、例えば、対象装置６の稼働保証期間が１０年とした場合、稼働開始直後（すなわち稼働期間が０年）の第１の装置におけるモータ２の周波数特性を第１周波数特性とし、稼働期間が１０年の第２の装置におけるモータ２の周波数特性を第２周波数特性とする。その上で、上記のサーボパラメータの調整に関する技術思想を適用することで、稼働保証期間の１０年間において可及的に制御上の不安定性が可及的に排除されるサーボパラメータの調整が可能となる。
【0059】
＜付記１＞
モータ（２）のサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、
前記モータ（２）が取り付けられている対象装置（６）において、該モータ（２）の周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータ（２）の周波数特性を取得する第１ステップ（Ｓ１０１、Ｓ１０２）と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性（Ｌ１）と前記第２条件に対応する第２周波数特性（Ｌ２）とに基づいて、前記モータ（２）の周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性（Ｌ３）を補間する第２ステップ（Ｓ１０３）と、
前記第１周波数特性（Ｌ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）と、前記第３周波数特性（Ｌ３）とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）を生成する第３ステップ（Ｓ１０４）と、
前記周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）に基づいて、前記サーボパラメータを調整する第４ステップ（Ｓ１０５）と、
を含む、サーボパラメータの調整方法。
＜付記２＞
前記対象装置（６）において前記モータにより駆動される負荷（３）の可動範囲が有限の範囲に限定される場合、前記特性取得条件は、該可動範囲における該負荷（３）の位置に関する条件である、
付記１に記載のパラメータ調整方法。
＜付記３＞
前記第１条件は、該負荷（３）が該可動範囲において一方の端部に位置するときの位置条件であり、前記第２条件は、該負荷（３）が該可動範囲における他方の端部に位置するときの位置条件である、
付記２に記載のパラメータ調整方法。
＜付記４＞
前記特性取得条件は、前記対象装置（６）と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であって、
前記第１条件と前記第２条件は、前記装置群において稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間に係る条件である、
付記１に記載のパラメータ調整方法。
＜付記５＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）とを抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）に対応する第１周波数（ｆ１）と前記第２ピーク（ＰＫ２）に対応する第２周波数（ｆ２）との間の区間を前記所定区間として、該第１ピーク（ＰＫ１）と該第２ピーク（ＰＫ２）とを直線補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記６＞
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、更に、前記第１周波数特性（Ｌ１）の位相推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ１５）に含める、
付記５に記載のパラメータ調整方法。
＜付記７＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）とを抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）に対応する第１周波数（ｆ１）と前記第２ピーク（ＰＫ２）に対応する第２周波数（ｆ２）との間の区間を前記所定区間として、該第１ピーク（ＰＫ１）と該第２ピーク（ＰＫ２）とを直線補間した基準ゲイン推移よりゲインが大きくなるように補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３’）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５’）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記８＞
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、更に、前記第１周波数特性（Ｌ１）の位相推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ１５）に含める、
付記７に記載のパラメータ調整方法。
＜付記９＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第１ステップ（Ｓ１０１、Ｓ１０２）では、前記第１条件及び前記第２条件とは異なる追加条件でも、前記モータの周波数特性を追加周波数特性として取得し、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）と、前記追加周波数特性（Ｌ３０）のゲイン推移における共振に係る追加ピーク（ＰＫ３０）と、を抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）、前記第２ピーク（ＰＫ２）、前記追加ピーク（ＰＫ３０）に基づいて前記所定区間を決定し、該所定区間において該第１ピーク（ＰＫ１）、該第２ピーク（ＰＫ２）、該追加ピーク（ＰＫ３０）を下回らないように補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３’’）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３’’）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５’’）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記１０＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、少なくとも第１区間と第２区間を含む複数の前記所定区間を特定し、該複数の所定区間のそれぞれにおいて前記第３周波数特性を補間し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記複数の所定区間のそれぞれに対応する前記第３周波数特性とに基づいて、前記周波数特性ブロックを生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記１１＞
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、前記第１周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれと、前記第２周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれとの間の周波数差に基づいて、前記第１区間と前記第２区間とを特定する、
付記１０に記載のパラメータ調整方法。
＜付記１２＞
モータ（２）のサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する調整装置（１０）であって、
前記モータ（２）が取り付けられている対象装置（６）において、該モータ（２）の周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータ（２）の周波数特性を取得する取得部（１１）と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性（Ｌ１）と前記第２条件に対応する第２周波数特性（Ｌ２）とに基づいて、前記モータ（２）の周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性（Ｌ３）を補間する第１調整部（１２）と、
前記第１周波数特性（Ｌ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）と、前記第３周波数特性（Ｌ３）とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）を生成する第２調整部（１２）と、
前記周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）に基づいて、前記サーボパラメータを調整する第３調整部（１２）と、
を備える、調整装置。
モータ（２）のサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する方法であって、
前記モータ（２）が取り付けられている対象装置（６）において、該モータ（２）の周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータ（２）の周波数特性を取得する第１ステップ（Ｓ１０１、Ｓ１０２）と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性（Ｌ１）と前記第２条件に対応する第２周波数特性（Ｌ２）とに基づいて、前記モータ（２）の周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性（Ｌ３）を補間する第２ステップ（Ｓ１０３）と、
前記第１周波数特性（Ｌ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）と、前記第３周波数特性（Ｌ３）とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）を生成する第３ステップ（Ｓ１０４）と、
前記周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）に基づいて、前記サーボパラメータを調整する第４ステップ（Ｓ１０５）と、
を含む、サーボパラメータの調整方法。
＜付記２＞
前記対象装置（６）において前記モータにより駆動される負荷（３）の可動範囲が有限の範囲に限定される場合、前記特性取得条件は、該可動範囲における該負荷（３）の位置に関する条件である、
付記１に記載のパラメータ調整方法。
＜付記３＞
前記第１条件は、該負荷（３）が該可動範囲において一方の端部に位置するときの位置条件であり、前記第２条件は、該負荷（３）が該可動範囲における他方の端部に位置するときの位置条件である、
付記２に記載のパラメータ調整方法。
＜付記４＞
前記特性取得条件は、前記対象装置（６）と仕様が同一の装置群における装置の稼働期間に関する条件であって、
前記第１条件と前記第２条件は、前記装置群において稼働期間の異なる第１の装置と第２の装置のそれぞれの稼働期間に係る条件である、
付記１に記載のパラメータ調整方法。
＜付記５＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）とを抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）に対応する第１周波数（ｆ１）と前記第２ピーク（ＰＫ２）に対応する第２周波数（ｆ２）との間の区間を前記所定区間として、該第１ピーク（ＰＫ１）と該第２ピーク（ＰＫ２）とを直線補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記６＞
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、更に、前記第１周波数特性（Ｌ１）の位相推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ１５）に含める、
付記５に記載のパラメータ調整方法。
＜付記７＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）とを抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）に対応する第１周波数（ｆ１）と前記第２ピーク（ＰＫ２）に対応する第２周波数（ｆ２）との間の区間を前記所定区間として、該第１ピーク（ＰＫ１）と該第２ピーク（ＰＫ２）とを直線補間した基準ゲイン推移よりゲインが大きくなるように補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３’）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５’）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記８＞
前記周波数特性は、位相に関する特性を更に含み、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、更に、前記第１周波数特性（Ｌ１）の位相推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）の位相推移とから各周波数における最小位相推移を生成し該最小位相推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ１５）に含める、
付記７に記載のパラメータ調整方法。
＜付記９＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第１ステップ（Ｓ１０１、Ｓ１０２）では、前記第１条件及び前記第２条件とは異なる追加条件でも、前記モータの周波数特性を追加周波数特性として取得し、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移における共振に係る第１ピーク（ＰＫ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移における共振に係る第２ピーク（ＰＫ２）と、前記追加周波数特性（Ｌ３０）のゲイン推移における共振に係る追加ピーク（ＰＫ３０）と、を抽出し、
前記第１ピーク（ＰＫ１）、前記第２ピーク（ＰＫ２）、前記追加ピーク（ＰＫ３０）に基づいて前記所定区間を決定し、該所定区間において該第１ピーク（ＰＫ１）、該第２ピーク（ＰＫ２）、該追加ピーク（ＰＫ３０）を下回らないように補間することで前記第３周波数特性（Ｌ３’’）を生成し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、
前記第１周波数特性（Ｌ１）のゲイン推移と前記第２周波数特性（Ｌ２）のゲイン推移と前記第３周波数特性（Ｌ３’’）のゲイン推移とから各周波数における最大ゲイン推移を前記周波数特性ブロック（Ｌ５’’）として生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記１０＞
前記周波数特性は、ゲインに関する特性を含み、
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、少なくとも第１区間と第２区間を含む複数の前記所定区間を特定し、該複数の所定区間のそれぞれにおいて前記第３周波数特性を補間し、
前記第３ステップ（Ｓ１０４）では、前記第１周波数特性と、前記第２周波数特性と、前記複数の所定区間のそれぞれに対応する前記第３周波数特性とに基づいて、前記周波数特性ブロックを生成する、
付記１から付記４の何れかに記載のパラメータ調整方法。
＜付記１１＞
前記第２ステップ（Ｓ１０３）では、前記第１周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれと、前記第２周波数特性のゲイン推移における、共振に係る複数のピークのそれぞれとの間の周波数差に基づいて、前記第１区間と前記第２区間とを特定する、
付記１０に記載のパラメータ調整方法。
＜付記１２＞
モータ（２）のサーボ制御に関連するサーボパラメータを調整する調整装置（１０）であって、
前記モータ（２）が取り付けられている対象装置（６）において、該モータ（２）の周波数特性に関連する、異なる第１条件及び第２条件を少なくとも含む特性取得条件のそれぞれで、該モータ（２）の周波数特性を取得する取得部（１１）と、
前記第１条件に対応する第１周波数特性（Ｌ１）と前記第２条件に対応する第２周波数特性（Ｌ２）とに基づいて、前記モータ（２）の周波数特性における共振領域に関連する所定区間に対応する周波数特性である第３周波数特性（Ｌ３）を補間する第１調整部（１２）と、
前記第１周波数特性（Ｌ１）と、前記第２周波数特性（Ｌ２）と、前記第３周波数特性（Ｌ３）とに基づいて、前記サーボパラメータの調整のための基準となる周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）を生成する第２調整部（１２）と、
前記周波数特性ブロック（Ｌ５、Ｌ１５）に基づいて、前記サーボパラメータを調整する第３調整部（１２）と、
を備える、調整装置。
【符号の説明】
【0060】
２、２ｘ、２ｙ、２ｘ１、２ｘ２ モータ
３ 負荷
４ サーボドライバ
６ 対象装置
１０ 調整装置
１１ 取得部
１２ 調整部
３ 負荷
４ サーボドライバ
６ 対象装置
１０ 調整装置
１１ 取得部
１２ 調整部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12】