(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024033110
(43)【公開日】2024-03-13
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02K 33/18 20060101AFI20240306BHJP
【ＦＩ】
H02K33/18 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022136504
(22)【出願日】2022-08-30
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】土橋 将生
【テーマコード（参考）】
5H633
【Ｆターム（参考）】
5H633BB08
5H633GG02
5H633HH02
5H633HH05
(57)【要約】
【課題】アクチュエータの磁気駆動機構に用いられる磁石のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構の推力低下を抑制する。
【解決手段】アクチュエータ１は、筒状のケース２０の内側に配置される可動体３を振動させる磁気駆動機構６を備える。可動体３は、支軸３０と、支軸３０に固定される磁石６１と、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備える。磁石６１は、軸線方向の厚さが第１ヨーク３１よりも小さい。磁石６１および第１ヨーク３１の外周側には、コイルホルダ４の胴部４２に巻かれたコイル６２が配置される。第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する端板部３２１、および、端板部３２１の外縁から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びてコイル６２の外周側を囲む円筒部３２２を備える。
【選択図】図３
【解決手段】アクチュエータ１は、筒状のケース２０の内側に配置される可動体３を振動させる磁気駆動機構６を備える。可動体３は、支軸３０と、支軸３０に固定される磁石６１と、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備える。磁石６１は、軸線方向の厚さが第１ヨーク３１よりも小さい。磁石６１および第１ヨーク３１の外周側には、コイルホルダ４の胴部４２に巻かれたコイル６２が配置される。第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する端板部３２１、および、端板部３２１の外縁から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びてコイル６２の外周側を囲む円筒部３２２を備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支軸を備える可動体と、
前記可動体の外周側を囲む筒状のケースを備える支持体と、
前記支持体および前記可動体に接続される接続体と、
前記可動体に配置される磁石および前記支持体に配置されるコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記可動体は、前記磁石に前記軸線方向の一方側から当接する第１ヨークと、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第２ヨークと、を備え、前記支軸は、前記第１ヨーク、前記磁石、および前記第２ヨークを貫通しており、
前記支持体は、前記ケースの内側に配置されるコイルホルダを備え、前記コイルホルダは、前記第１ヨークおよび前記磁石の外周側を囲む胴部を備え、前記胴部に前記コイルが巻かれており、
前記第１ヨークの前記軸線方向の厚さよりも、前記磁石の前記軸線方向の厚さの方が小さく、
前記第２ヨークは、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する端板部、および、前記端板部の外縁から前記軸線方向の一方側へ延びて前記コイルの外周側を囲む円筒部を備えることを特徴とするアクチュエータ。
前記可動体の外周側を囲む筒状のケースを備える支持体と、
前記支持体および前記可動体に接続される接続体と、
前記可動体に配置される磁石および前記支持体に配置されるコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記可動体は、前記磁石に前記軸線方向の一方側から当接する第１ヨークと、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第２ヨークと、を備え、前記支軸は、前記第１ヨーク、前記磁石、および前記第２ヨークを貫通しており、
前記支持体は、前記ケースの内側に配置されるコイルホルダを備え、前記コイルホルダは、前記第１ヨークおよび前記磁石の外周側を囲む胴部を備え、前記胴部に前記コイルが巻かれており、
前記第１ヨークの前記軸線方向の厚さよりも、前記磁石の前記軸線方向の厚さの方が小さく、
前記第２ヨークは、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する端板部、および、前記端板部の外縁から前記軸線方向の一方側へ延びて前記コイルの外周側を囲む円筒部を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
前記端板部の中央には、前記軸線方向の一方側へ向けて突出する突出部が設けられ、
前記突出部の先端面が前記磁石に当接することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記突出部の先端面が前記磁石に当接することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記第２ヨークは、
前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第１磁性部材と、
前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接する第２磁性部材と、を備え、
前記第２磁性部材は、
前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接して前記第１磁性部材とともに前記端板部を構成する円板部と、前記円板部の外縁に設けられた曲げ部と、前記曲げ部から前記軸線方向の一方側へ延びる前記円筒部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第１磁性部材と、
前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接する第２磁性部材と、を備え、
前記第２磁性部材は、
前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接して前記第１磁性部材とともに前記端板部を構成する円板部と、前記円板部の外縁に設けられた曲げ部と、前記曲げ部から前記軸線方向の一方側へ延びる前記円筒部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記円筒部は、前記第１ヨークの外周側まで延びていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記第１ヨークは、前記軸線方向から見た外形が前記磁石よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第２ヨークは、前記端板部に前記軸線方向の他方側から当接する重量調整部材を備え、
前記重量調整部材は、厚さ方向の一部または全部が欠損した重量調整部を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記重量調整部材は、厚さ方向の一部または全部が欠損した重量調整部を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記可動体は、
前記支軸の軸線方向の一方側の端部に固定される筒状の第１内枠部材と、
前記支軸の軸線方向の他方側の端部に固定される筒状の第２内枠部材と、を備え、
前記支持体は、前記第１内枠部材に径方向外側で対向する第１外枠部材と、前記第２内枠部材に径方向外側で対向する第２外枠部材を備え、
前記接続体は、前記第１内枠部材と前記第１外枠部材との間に配置される環状の第１接続体と、前記第２内枠部材と前記第２外枠部材との間に配置される環状の第２接続体と、
を備えることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記支軸の軸線方向の一方側の端部に固定される筒状の第１内枠部材と、
前記支軸の軸線方向の他方側の端部に固定される筒状の第２内枠部材と、を備え、
前記支持体は、前記第１内枠部材に径方向外側で対向する第１外枠部材と、前記第２内枠部材に径方向外側で対向する第２外枠部材を備え、
前記接続体は、前記第１内枠部材と前記第１外枠部材との間に配置される環状の第１接続体と、前記第２内枠部材と前記第２外枠部材との間に配置される環状の第２接続体と、
を備えることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動体を支持体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、可動体および支持体に接続される接続体と、支持体に対して可動体を移動させる磁気駆動機構とを備えたアクチュエータが記載される。特許文献１のアクチュエータでは、支持体は、筒状のケースと、ケースの両端を塞ぐ蓋部材と、ケースの内側に配置されるコイルホルダを備える。可動体は、ケースの径方向の中心に配置される支軸と、支軸に固定されるヨークおよび磁石を備える。磁気駆動機構は、磁石と、磁石の外周側に配置されるコイルホルダに巻かれたコイルを備える。
【0003】
特許文献１では、接続体として、支軸の両端を囲む位置に配置される環状の第１接続体および第２接続体を備える。第１接続体および第２接続体は、それぞれ、ケースの内側に設けられた外枠部材と、支軸の端部に固定された内枠部材とを接続する。これにより、可動体がケースの内側で軸線方向に移動可能に支持される。第１接続体および第２接続体は、シリコーンゲルなどのゲル状部材である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２２－０８３５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
磁気駆動機構を備えたアクチュエータでは、可動体の振動特性は、コイルと磁石とヨークで構成される磁気駆動機構から生じる推力（磁気駆動力）と、可動体の重量と、接続体であるゲル状部材のばね定数によって規定される。
【0006】
アクチュエータのコスト削減を図るという課題に対して、磁石の部品コストが高いため、磁石を小型化することが提案されている。しかしながら、磁石のサイズを小さくすると、磁気駆動機構の推力も減少するため、目標とする振動特性を得られないおそれがある。
【0007】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁石のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構の推力低下を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支軸を備える可動体と、前記可動体の外周側を囲む筒状のケースを備える支持体と、前記支持体および前記可動体に接続される接続体と、前記可動体に配置される磁石および前記支持体に配置されるコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記可動体は、前記磁石に前記軸線方向の一方側から当接する第１ヨークと、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第２ヨークと、を備え、前記支軸は、前記第１ヨーク、前記磁石、および前記第２ヨークを貫通しており、前記支持体は、前記ケースの内側に配置されるコイルホルダを備え、前記コイルホルダは、前記第１ヨークおよび前記磁石の外周側を囲む胴部を備え、前記胴部に前記コイルが巻かれており、前記第１ヨークの前記軸線方向の厚さよりも、前記磁石の前記軸線方向の厚さの方が小さく、前記第２ヨークは、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する端板部、および、前記端板部の外縁から前記軸線方向の一方側へ延びて前記コイルの外周側を囲む円筒部を備
えることを特徴とする。
えることを特徴とする。
【0009】
本発明では、可動体が磁石に軸線方向の一方側から当接する第１ヨークと、磁石に軸線方向の他方側から当接する第２ヨークを備えている。第２ヨークは、磁石に当接する端板部の外縁から第１ヨークの側へ延びる円筒部を備えており、カップ状に形成されている。このような構成では、第１ヨークと第２ヨークによって磁石を軸線方向の両側から支持できる。磁石は、可動体を軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構を構成しており、軸線方向に２極着磁される。従って、第１ヨークと第２ヨークによって磁束密度が高い位置に磁路を形成できるので、磁気効率が高い。また、第２ヨークは、磁石に当接する端板部と、端板部の外縁から第１ヨークの側へ延びる円筒部を備えているため、第１ヨークから第２ヨークの円筒部へ向かう磁束がコイルと交差する。従って、磁気効率が高い。さらに、磁石の軸線方向の厚さを第１ヨークよりも小さくしたので、磁石の体積を削減でき、磁石のコスト削減を図ることができる。本発明者は、磁石の体積を小さくするにあたって、軸線方向から見た外形を小さくした場合と、厚さを小さくした場合とでは、厚さを小さくした方が、磁気駆動機構における磁石の単位体積当たりの推力（駆動力）を大きくできるという知見を得ている。従って、本発明により、磁気駆動機構を備えるアクチュエータにおいて、磁石のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構の推力低下を抑制することができる。
【0010】
本発明において、前記端板部の中央には、前記軸線方向の一方側へ向けて突出する突出部が設けられ、前記突出部の先端面が前記磁石に当接することが好ましい。このように、磁石が薄くなった分だけ端板部の厚さを部分的に厚くすることにより、磁石とコイル、および、磁路を形成する部材の位置関係が変わることを回避できる。また、円筒部の板厚は変わらないので、可動体の径方向の寸法が大型化することを回避できる。あるいは、コイルが配置される空間の径方向の幅が狭くなることを回避できる。
【0011】
本発明において、前記第２ヨークは、前記磁石に前記軸線方向の他方側から当接する第１磁性部材と、前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接する第２磁性部材と、を備え、前記第２磁性部材は、前記第１磁性部材に前記軸線方向の他方側から当接して前記第１磁性部材とともに前記端板部を構成する円板部と、前記円板部の外縁に設けられた曲げ部と、前記曲げ部から前記軸線方向の一方側へ延びる前記円筒部と、を備えることが好ましい。このようにすると、第１磁性部材の板厚の分だけ端板部の厚さを部分的に厚くすることができる。従って、磁石とコイル、および、磁路を形成する部材の位置関係が変わることを回避できる。また、円筒部の板厚は変わらないので、可動体の径方向の寸法が大型化することを回避できる。あるいは、コイルが配置される空間の径方向の幅が狭くなることを回避できる。
【0012】
本発明において、前記円筒部は、前記第１ヨークの外周側まで延びていることが好ましい。このようにすると、第１ヨークから第２ヨークの円筒部へ向かう磁束がコイルと交差する。従って、磁気効率を高めることができる。
【0013】
本発明において、前記第１ヨークは、前記軸線方向から見た外形が前記磁石よりも大きいことが好ましい。このようにすると、落下等による衝撃が加わったとき、第１ヨークおよび磁石の外周側を囲むコイルホルダの胴部に対して磁石ではなく第１ヨークが衝突する。従って、磁石が他部品と衝突することを回避できるので、磁石の損傷を抑制でき、耐衝撃性を高めることができる。
【0014】
本発明において、前記第２ヨークは、前記端板部に前記軸線方向の他方側から当接する重量調整部材を備え、前記重量調整部材は、厚さ方向の一部または全部が欠損した重量調整部を備えることが好ましい。このようにすると、円筒部の厚さを変えずに可動体の重量を変更できる。従って、可動体の径方向の寸法が大型化することを回避できる。
【0015】
本発明において、前記可動体は、前記支軸の軸線方向の一方側の端部に固定される筒状の第１内枠部材と、前記支軸の軸線方向の他方側の端部に固定される筒状の第２内枠部材と、を備え、前記支持体は、前記第１内枠部材に径方向外側で対向する第１外枠部材と、前記第２内枠部材に径方向外側で対向する第２外枠部材を備え、前記接続体は、前記第１内枠部材と前記第１外枠部材との間に配置される環状の第１接続体と、前記第２内枠部材と前記第２外枠部材との間に配置される環状の第２接続体と、を備えることが好ましい。このようにすると、可動体の振動方向の両端が接続体によって支持される。従って、可動体を安定して支持できる。また、接続体は環状であるため、可動体が振動方向と異なる方向に移動するときは、接続体が圧縮されることになり、バネ定数が大きい。従って、可動体が傾くことを抑制でき、可動体と支持体との衝突を抑制できる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、第１ヨークと第２ヨークによって磁石を軸線方向の両側から支持できる。また、磁石を囲む磁路を形成でき、第１ヨークから第２ヨークの円筒部へ向かう磁束がコイルと交差するため、磁気効率が高い。さらに、磁石の軸線方向の厚さを第１ヨークよりも小さくしているので、磁石の体積を削減して磁石のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構の推力低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【発明を実施するための形態】
【0018】
（全体構成）
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した断面図であり、図３と直交する方向で切断した断面図である。以下の説明において、可動体３の中心軸線Ｌが延在する方向を軸線方向とし、軸線方向の一方側をＬ１とし、軸線方向の他方側をＬ２とする。
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した断面図であり、図３と直交する方向で切断した断面図である。以下の説明において、可動体３の中心軸線Ｌが延在する方向を軸線方向とし、軸線方向の一方側をＬ１とし、軸線方向の他方側をＬ２とする。
【0019】
図１～図４に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２および可動体３に接続される接続体１０と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６とを備える。接続体１０は、弾性および粘弾性のうちの少なくとも一方を備える。磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えており、支持体２に対して可動体３を軸線方向に相対移動させる。図３、図４に示すように、可動体３は、軸線方向の一方側Ｌ１の端部、および軸線方向の他方側Ｌ２の端部の各位置において、接続体１０を介して支持体２と接続される。
【0020】
（支持体）
図２～図４に示すように、支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に
配置されるコイルホルダ４を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。また、支持体２は、コイルホルダ４の内周側に嵌まる第１外枠部材５１と、第１外枠部材５１に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離間した位置でケース２０の内周側に嵌まる第２外枠部材５２を有する。
図２～図４に示すように、支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に
配置されるコイルホルダ４を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。また、支持体２は、コイルホルダ４の内周側に嵌まる第１外枠部材５１と、第１外枠部材５１に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離間した位置でケース２０の内周側に嵌まる第２外枠部材５２を有する。
【0021】
（接続体）
接続体１０は、第１外枠部材５１の内周面に接合された環状の第１接続体１１と、第２外枠部材５２の内周面に接合された環状の第２接続体１２を備える。本形態では、後述するように、第１接続体１１および第２接続体１２はゲル材料を成形したゲル状部材であり、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１外枠部材５１および第２外枠部材５２に接合されている。
接続体１０は、第１外枠部材５１の内周面に接合された環状の第１接続体１１と、第２外枠部材５２の内周面に接合された環状の第２接続体１２を備える。本形態では、後述するように、第１接続体１１および第２接続体１２はゲル材料を成形したゲル状部材であり、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１外枠部材５１および第２外枠部材５２に接合されている。
【0022】
（コイルホルダ）
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１外枠部材固定部４１と、第１外枠部材固定部４１から軸線方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２とを備えており、胴部４２の周りにコイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１外枠部材固定部４１と、第１外枠部材固定部４１から軸線方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２とを備えており、胴部４２の周りにコイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。
【0023】
第１外枠部材固定部４１は第１外枠部材５１の外周側を囲んでいる。図４に示すように、第１外枠部材固定部４１の内周面には、軸線方向の他方側Ｌ２に凹む第１凹部４３が設けられ、第１外枠部材５１は、第１凹部４３に圧入される。本形態では、第１外枠部材５１の外周面に形成された環状段部５１１が、第１凹部４３の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に設けられた第１段部４４に対して軸線方向に当接する。
【0024】
（ケース）
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２外枠部材固定部２５を備える。第２外枠部材固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離間した位置に配置される。図２、図４に示すように、第２外枠部材固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２外枠部材固定部２５を備える。第２外枠部材固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離間した位置に配置される。図２、図４に示すように、第２外枠部材固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。
【0025】
第２外枠部材固定部２５の内周面には、軸線方向の一方側Ｌ１に凹む第２凹部４６が設けられ、第２外枠部材５２は、第２凹部４６に圧入される。本形態では、第２外枠部材５２の外周面に形成された環状段部５２１が、第２凹部４６の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた第２段部４５に対して軸線方向に当接する。
【0026】
図１、図４に示すように、コイルホルダ４が嵌まるケース本体２４の内周面には、軸線方向に延びる複数の溝部２９が形成されている。図２に示すように、コイルホルダ４は、第１外枠部材固定部４１の外周面から突出する複数の凸部４９を備える。支持体２を組み立てる際、コイルホルダ４の各凸部４９は、ケース本体２４の各溝部２９に軸線方向の一方側Ｌ１から嵌め込まれる。これにより、コイルホルダ４がケース本体２４に圧入されて固定される。
【0027】
（蓋部材）
図３、図４に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１外枠部材固定部４１の軸線方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定される。また、第２蓋部材２２は、第２外枠部材固定部２５の軸線方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定される。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線方向
から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に周方向で等間隔で配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。
図３、図４に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１外枠部材固定部４１の軸線方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定される。また、第２蓋部材２２は、第２外枠部材固定部２５の軸線方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定される。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線方向
から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に周方向で等間隔で配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。
【0028】
係止部２７は、径方向に弾性変形して蓋部２６と共にケース本体２４の内周側に押し込まれる。ケース２０は、係止部２７がケース２０の内側から外れることを規制する規制部２８を備える。規制部２８は、ケース本体２４の端部から内周側に突出する凸部である。図１、図２に示すように、規制部２８は、ケース本体２４の軸線方向の一方側Ｌ１および他方側Ｌ２の端部に、それぞれ、３個所ずつ等間隔で配置される。規制部２８は、係止部２７の先端に対して軸線方向に当接する。第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と併用してケース２０に固定される。第１外枠部材固定部４１は、ケース本体２４に設けられた３個所の規制部２８と軸線方向で重なる部分が切り欠かれている。従って、コイルホルダ４をケース本体２４の内部に挿入する際に、第１外枠部材固定部４１と規制部２８とが干渉することが回避される。
【0029】
（配線基板）
図２に示すように、ケース２０は、軸線方向の一方側Ｌ１の縁を軸線方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９を備える。図１に示すように、配線基板７は、基板固定部６９の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた爪部６９１、および、基板固定部６９の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に設けられた係止溝６９２による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９には、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部８０が設けられている。
図２に示すように、ケース２０は、軸線方向の一方側Ｌ１の縁を軸線方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９を備える。図１に示すように、配線基板７は、基板固定部６９の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた爪部６９１、および、基板固定部６９の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に設けられた係止溝６９２による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９には、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部８０が設けられている。
【0030】
切欠き部６５の内周側には、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１が配置される。図２に示すように、第１外枠部材固定部４１から突出する２本の端子ピン６４の根本には、コイル６２から引き出されたコイル線６３が絡げられている。２本の端子ピン６４は、第１蓋部材２１の外周縁の周方向の一部から軸線方向の他方側Ｌ２に延びるカバー６６と、ケース２０の切欠き部６５との隙間からケース２０の外周側に突出し、配線基板７に設けられた２箇所の穴７１（図２参照）に通されて、穴７１の縁に設けられたランドと電気的に接続される。
【0031】
（可動体）
図２、図３、図４に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、筒状の第１内枠部材３６、および筒状の第２内枠部材３７によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は、金属製の円筒体であり、円形の貫通穴が設けられている。
図２、図３、図４に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、筒状の第１内枠部材３６、および筒状の第２内枠部材３７によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は、金属製の円筒体であり、円形の貫通穴が設けられている。
【0032】
第１内枠部材３６の内周面には、軸線方向の他方側Ｌ２の端部に径方向内側に突出した環状突部３６１が形成されている。従って、第１内枠部材３６を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３６１に圧入される。また、第２内枠部材３７の内周面には、軸線方向の一方側Ｌ１の端部に径方向内側に突出した環状突部３７１が形成されている。従って、第２内枠部材３７を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３７１に圧入される。
【0033】
磁石６１は、軸線方向から見て円形である。磁石６１の径方向の中央には、支軸３０が貫通する軸穴６１０が設けられており、支軸３０の軸線方向の略中央に磁石６１が固定さ
れる。ヨーク３５は、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備える。
れる。ヨーク３５は、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備える。
【0034】
第１ヨーク３１の中央には、支軸３０が貫通する軸穴３１０が設けられている。第１ヨーク３１は、外径寸法が磁石６１の外径寸法よりわずかに大きい磁性板であり、第１ヨーク３１の外周面は、磁石６１の外周面より径方向外側に張り出している。第１ヨーク３１は、磁石６１の一方側Ｌ１の端面に接着等の方法で固定される。
【0035】
第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する端板部３２１と、端板部３２１の外縁から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びる円筒部３２２を備える。本形態では、第２ヨーク３２は、円板状の第１磁性部材３３と、カップ状の第２磁性部材３４と、円板状の第３磁性部材３８の３つの磁性部材からなる（図２参照）。図３、図４に示すように、第１磁性部材３３の板厚、第２磁性部材３４の板厚、および第３磁性部材３８の板厚は、いずれも第１ヨーク３１の板厚よりも薄い。
【0036】
第１磁性部材３３は、支軸３０が貫通する軸穴３３０が設けられており、磁石６１の他方側Ｌ２の端面に固定される。第２磁性部材３４は、支軸３０が貫通する軸穴３４０が設けられた円板部３４１と、円板部３４１の外縁に設けられた曲げ部３４２と、曲げ部３４２から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びる円筒部３２２を備える。すなわち、第２ヨーク３２の円筒部３２２は、第２磁性部材３４によって構成される。第２ヨーク３２の端板部３２１は、第２磁性部材３４の円板部３４１と第１磁性部材３３によって構成される。円板部３４１には、支軸３０が貫通する軸穴３４０が設けられている。
【0037】
第３磁性部材３８には、支軸３０が貫通する軸穴３８０が設けられており、第２磁性部材３４の円板部３４１に対して軸線方向の他方側Ｌ２から固定される。第２ヨーク３２を構成する複数の磁性部材のうち、第３磁性部材３８は、可動体３の重量を調整する重量調整部材として機能する。第３磁性部材３８は、重量調整部３９を備える。本形態では、重量調整部３９は円形の貫通孔である。重量調整部３９の数やサイズは、第３磁性部材３８の外形を変更することなく、第３磁性部材３８の重量を設計値に一致させるように設定されている。本形態では、図２に示すように、４箇所の重量調整部３９が９０度の角度間隔で周方向に並んでいる。４箇所の重量調整部３９は、可動体３の重心を中心として周方向に均等配置される。
【0038】
可動体３を製造する際、磁石６１およびヨーク３５を構成する各部材の軸穴３１０、６１０、３３０、３４０、３８０に支軸３０を貫通させる。この状態で、磁石６１およびヨーク３５の軸線方向の両側で第１内枠部材３６および第２内枠部材３７を支軸３０に固定する。これにより、第１内枠部材３６は、軸線方向の一方側Ｌ１から磁石６１およびヨーク３５を支持し、第２内枠部材３７が軸線方向の他方側Ｌ２から磁石６１およびヨーク３５を支持する。よって、磁石６１およびヨーク３５は、支軸３０に固定される。
【0039】
第１磁性部材３３は、外径寸法が磁石６１の外径寸法と略同一であり、円板部３４１よりも小さい。従って、第１磁性部材３３は、端板部３２１の径方向の中央から軸線方向の一方側Ｌ１へ突出する突出部３２３を形成しており、突出部３２３の先端面に磁石６１が当接する。第２ヨーク３２は、円筒部３２２の内径が磁石６１および第１ヨーク３１の外径より大きい。従って、磁石６１および第１ヨーク３１を第１磁性部材３３に対して軸線方向の一方側Ｌ１から積層すると、円筒部３２２は、磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面から径方向外側に離間した位置で磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面に対向する。
【0040】
図３、図４に示すように、コイルホルダ４の胴部４２は、第２ヨーク３２の円筒部３２
２と、第１ヨーク３１および磁石６１との径方向の隙間に挿入される。従って、胴部４２に巻かれたコイル６２は、円筒部３２２と磁石６１の外周面との間、および、円筒部３２２と第１ヨーク３１の外周面との間に配置される。
２と、第１ヨーク３１および磁石６１との径方向の隙間に挿入される。従って、胴部４２に巻かれたコイル６２は、円筒部３２２と磁石６１の外周面との間、および、円筒部３２２と第１ヨーク３１の外周面との間に配置される。
【0041】
（接続体の製造方法）
第１接続体１１および第２接続体１２は粘弾性体からなる。例えば、第１接続体１１および第２接続体１２として、シリコーンゲル等からなるゲル状部材、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いることができる。また、接続体１０として用いることが可能な粘弾性体は、ゲル状部材、ゴム、あるいはその変性材料と、バネなどの弾性体とを組み合わせた複合部材であってもよい。
第１接続体１１および第２接続体１２は粘弾性体からなる。例えば、第１接続体１１および第２接続体１２として、シリコーンゲル等からなるゲル状部材、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いることができる。また、接続体１０として用いることが可能な粘弾性体は、ゲル状部材、ゴム、あるいはその変性材料と、バネなどの弾性体とを組み合わせた複合部材であってもよい。
【0042】
本形態では、第１接続体１１および第２接続体１２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。第１接続体１１および第２接続体１２は、ゲル材料を型に充填して硬化させる方法（注型）により製造される。第１接続体１１を成形するときは、治具によって第１外枠部材５１および第１内枠部材３６を同軸に位置決めして第１外枠部材５１と第１内枠部材３６との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。これにより、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１接続体１１が第１外枠部材５１の内周面、および、第１内枠部材３６の外周面に接合される。
【0043】
なお、ゲル材料を充填する前に、第１外枠部材５１の内周面、および第１内枠部材３６の外周面にプライマー等の接合促進剤を塗布することによって接合強度を高めることができる。第２接続体１２についても、同様に、第２外枠部材５２と第２内枠部材３７との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させることにより成形される。従って、アクチュエータ１を組み立てる際には、ゲル状部材を接着する工程を行わずに、支持体２と可動体３とを接続することができる。
【0044】
（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、接続体１０の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線方向で振動する。また、コイル６２に印加する交流波形を調整することで、可動体３が軸線方向の一方側Ｌ１に移動する加速度と、可動体３が軸線方向の他方側Ｌ２に移動する加速度を異なるものとすることができる。それ故、アクチュエータ１を触覚デバイスとして取り付けた機器を手にした者は、軸線方向において方向性を有する振動を体感することができる。また、アクチュエータ１を利用してスピーカを構成することもできる。
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、接続体１０の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線方向で振動する。また、コイル６２に印加する交流波形を調整することで、可動体３が軸線方向の一方側Ｌ１に移動する加速度と、可動体３が軸線方向の他方側Ｌ２に移動する加速度を異なるものとすることができる。それ故、アクチュエータ１を触覚デバイスとして取り付けた機器を手にした者は、軸線方向において方向性を有する振動を体感することができる。また、アクチュエータ１を利用してスピーカを構成することもできる。
【0045】
本形態では、接続体１０は、支持体２と可動体３が第１方向（径方向）で対向する位置に配置され、可動体３は第１方向（径方向）に対して交差する第２方向（軸線方向）に振動する。可動体３が支持体２に対して第２方向（軸線方向）に振動する際、第１接続体１１および第２接続体１２は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。シリコーンゲル等のゲル状部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。ゲル状部材がせん断方向に変形する際は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。従って、可動体３が支持体２に対して軸線方向に振動する際、第１接続体１１および第２接続体１２は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。
【0046】
なお、可動体３が径方向に移動する場合には、第１接続体１１および第２接続体１２が潰れる方向に変形する。ここで、ゲル状部材が潰れる方向に変形する場合のバネ定数は、ゲル状部材がせん断方向に変形する場合のバネ定数の３倍程度である。このため、可動体３が振動方向（軸線方向）とは異なる方向に移動することを抑制でき、可動体３と支持体２との衝突を抑制できる。
【0047】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、軸線方向に延びる支軸３０を備える可動体３と、可動体３の外周側を囲む筒状のケース２０を備える支持体２と、支持体２および可動体３に接続される接続体１０と、可動体３に配置される磁石６１および支持体２に配置されるコイル６２を備え、可動体３を支持体２に対して軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構６を有する。可動体３は、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備えており、支軸３０は、第１ヨーク３１、磁石６１、および第２ヨーク３２を貫通する。支持体２は、ケース２０の内側に配置されるコイルホルダ４を備える。コイルホルダ４は、第１ヨーク３１および磁石６１の外周側を囲む胴部４２を備え、胴部４２にコイル６２が巻かれている。本形態では、磁石６１の厚さが従来よりも薄くなっており、第１ヨーク３１の軸線方向の厚さよりも、磁石６１の軸線方向の厚さの方が小さい。第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する端板部３２１、および、端板部３２１の外縁から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びてコイル６２の外周側を囲む円筒部３２２を備える。
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、軸線方向に延びる支軸３０を備える可動体３と、可動体３の外周側を囲む筒状のケース２０を備える支持体２と、支持体２および可動体３に接続される接続体１０と、可動体３に配置される磁石６１および支持体２に配置されるコイル６２を備え、可動体３を支持体２に対して軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構６を有する。可動体３は、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備えており、支軸３０は、第１ヨーク３１、磁石６１、および第２ヨーク３２を貫通する。支持体２は、ケース２０の内側に配置されるコイルホルダ４を備える。コイルホルダ４は、第１ヨーク３１および磁石６１の外周側を囲む胴部４２を備え、胴部４２にコイル６２が巻かれている。本形態では、磁石６１の厚さが従来よりも薄くなっており、第１ヨーク３１の軸線方向の厚さよりも、磁石６１の軸線方向の厚さの方が小さい。第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する端板部３２１、および、端板部３２１の外縁から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びてコイル６２の外周側を囲む円筒部３２２を備える。
【0048】
本形態では、このように、可動体３が磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備えているので、第１ヨーク３１と第２ヨーク３２によって磁石６１を軸線方向の両側から支持できる。磁石６１は、可動体３を軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構６を構成しており、軸線方向に２極着磁される。従って、第１ヨーク３１と第２ヨーク３２によって磁束密度が高い位置に磁路を形成できるので、磁気効率が高い。また、第２ヨーク３２は、磁石６１に当接する端板部３２１と、端板部３２１の外縁から第１ヨーク３１の側へ延びる円筒部３２２を備えているため、第１ヨーク３１から第２ヨーク３２の円筒部３２２へ向かう磁束がコイル６２と交差する。従って、磁気効率が高い。さらに、本形態では、磁石６１の軸線方向の厚さが第１ヨーク３１よりも小さく、磁石６１の体積が小さい。従って、磁石６１の体積を削減でき、磁石６１のコスト削減を図ることができる。
【0049】
本発明者は、本形態のような構成のアクチュエータ１において、磁石６１の体積を小さくするにあたって、軸線方向から見た磁石６１の外形を小さくした場合（すなわち、磁石６１の直径を小さくした場合）と、磁石６１の厚さを小さくした場合とでは、磁石６１の厚さを小さくした方が、磁気駆動機構６における磁石６１の単位体積当たりの推力（駆動力）を大きくできるという知見を得ている。より詳細には、本発明者は、磁石６１の直径を小さくして磁石６１の体積を減少させた場合は、体積の減少割合とアクチュエータ１の加速度の減少割合とが同程度になるが、磁石６１の厚さを小さくして磁石６１の体積を減少させた場合は、加速度の減少割合が体積の減少割合の半分程度の減少量で済むことを試作により確認した。従って、本形態の構成により、磁石６１のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構６の推力低下を抑制できる。
【0050】
本形態では、第２ヨーク３２における端板部３２１の中央には、軸線方向の一方側Ｌ１へ向けて突出する突出部３２３が設けられており、突出部３２３の先端面が磁石６１に当接する。このように、磁石６１が薄くなった分だけ端板部３２１の厚さを部分的に厚くすることにより、磁石６１とコイル６２、および、磁路を形成する部材（第１ヨーク３１お
よび第２ヨーク３２）の位置関係が変わることを回避できる。また、円筒部３２２の板厚は変わらないので、可動体３の径方向の寸法が大型化することを回避できる。あるいは、コイル６２が配置される空間の径方向の幅が狭くなることを回避できる。また、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４の円板部３４１との軸線方向の隙間が狭くならないので、可動体３が軸線方向に振動するためのスペースを確保できる。
よび第２ヨーク３２）の位置関係が変わることを回避できる。また、円筒部３２２の板厚は変わらないので、可動体３の径方向の寸法が大型化することを回避できる。あるいは、コイル６２が配置される空間の径方向の幅が狭くなることを回避できる。また、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４の円板部３４１との軸線方向の隙間が狭くならないので、可動体３が軸線方向に振動するためのスペースを確保できる。
【0051】
本形態では、第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第１磁性部材３３と、第１磁性部材３３に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２磁性部材３４を備える。第２磁性部材３４は、第１磁性部材３３に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する円板部３４１と、円板部３４１の外縁に設けられた曲げ部３４２と、曲げ部３４２から軸線方向の一方側Ｌ１（すなわち、磁石６１の側）へ延びる円筒部３２２を備える。円板部３４１は、第１磁性部材３３とともに第２ヨーク３２の端板部３２１を構成する。このように、本形態では、第１磁性部材３３を固定することにより端板部３２１の厚さを部分的に厚くしているので、磁石６１とコイル６２の配置、および、磁路を形成する部材の配置を変えずに、磁石６１の軸線方向の厚さを薄くしてコスト削減を図ることができる。また、円筒部３２２の板厚は変わらないので、可動体３の径方向の寸法が大型化することを回避できる。あるいは、コイル６２が配置される空間の径方向の幅が狭くなることを回避できる。さらに、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４の円板部３４１との軸線方向の隙間が狭くならないので、可動体３が軸線方向に振動するためのスペースを確保できる。
【0052】
本形態では、第２ヨーク３２の円筒部３２２は、第１ヨーク３１の外周側まで延びているため、第１ヨーク３１から円筒部３２２へ向かう磁束がコイル６２と交差する。従って、磁気効率が高い。
【0053】
本形態では、第１ヨーク３１は、軸線方向から見た外形が磁石６１よりも大きい。第１ヨーク３１が磁石６１よりも大きい場合、落下等による衝撃が加わったとき、第１ヨーク３１および磁石６１の外周側を囲むコイルホルダ４の胴部４２に対して、磁石６１でなく第１ヨーク３１が衝突する。従って、衝撃が加わった際に磁石６１が他部品と衝突することを回避できるので、磁石６１の損傷を抑制できる。よって、耐衝撃性が高い。
【0054】
本形態では、第２ヨーク３２は、端板部３２１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第３磁性部材３８を備えており、第３磁性部材３８は、可動体３の重量を調整するための重量調整部材として機能する。そのため、第３磁性部材３８（重量調整部材）は、厚さ方向の一部または全部が欠損した重量調整部３９を備える。このように、端板部３２１に対して別部材の重量調整部材を固定することにより、円筒部３２２の厚さを変えずに可動体３の重量を変更できる。従って、可動体３の径方向の寸法が大型化することを回避できる。本形態では、第３磁性部材３８は、重量調整部３９として貫通孔を備えているので、第３磁性部材３８の外形を変更せずに重量を変更できる。
【0055】
第２ヨーク３２の磁束密度は、軸線方向から見て磁石６１の外周縁と重なる位置で最も大きい。本形態では、重量調整部３９は、軸線方向から見て磁石６１の外周縁よりも内周側に配置されており、磁束密度が最も大きい位置からずらした位置に設けられている。重量調整部３９は磁性部材が欠損した部位である。従って、重量調整部３９の位置を軸線方向から見て磁石６１の外周縁と重なる位置からずらすことにより、磁気抵抗の増大を抑制でき、磁気効率の低下を抑制できる。
【0056】
第２ヨーク３２は、カップ状の第２磁性部材３４が絞り加工によって製造されており、円板部３４１と円筒部３２２とを接続する曲げ部３４２の磁束密度が高い。本形態では、第３磁性部材３８の外径と円筒部３２２の外径は同一寸法である。従って、第２ヨーク３
２は、第３磁性部材３８の外周端部によって磁束密度が高い部分の厚さが確保されている。従って、磁気抵抗の増大を抑制でき、磁気効率の低下を抑制できる。
２は、第３磁性部材３８の外周端部によって磁束密度が高い部分の厚さが確保されている。従って、磁気抵抗の増大を抑制でき、磁気効率の低下を抑制できる。
【0057】
なお、重量調整部３９は、貫通孔でなくてもよく、半抜き部であってもよい。すなわち、重量調整部３９は、厚さ方向の一部または全部が欠損した部分であればよいので、厚さ方向の全部が欠損した貫通孔でなくてもよく、厚さ方向の一部が欠損した半抜き部であってもよい。
【0058】
本形態では、重量調整部３９は、可動体３の重心を中心として周方向に均等配置されるため、重量調整部３９を設けたことによる可動体３の重心ずれを防止できる。
【0059】
本形態では、第２ヨーク３２が３枚の磁性部材によって構成されており、第１磁性部材３３、第２磁性部材３４の円板部３４１、および第３磁性部材３８を重ねて磁石６１の端面に固定する。これにより、第２ヨーク３２において磁束密度が高い部分を厚くする一方で、磁石６１の外周側を囲む円筒部３２２の板厚は必要以上に厚くならないようにすることができる。従って、磁気効率を向上させることができるととともに、可動体３の外径が大型化することを抑制でき、アクチュエータ１の大型化を抑制できる。
【0060】
本形態では、可動体３は、支軸３０の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に固定される筒状の第１内枠部材３６と、支軸３０の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に固定される筒状の第２内枠部材３７を備える。支持体２は、第１内枠部材３６に径方向外側で対向する第１外枠部材５１と、第２内枠部材３７に径方向外側で対向する第２外枠部材５２を備える。接続体１０は、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１との間に配置される環状の第１接続体１１と、第２内枠部材３７と第２外枠部材５２との間に配置される環状の第２接続体１２と、を備える。従って、可動体３の振動方向の両端が接続体１０によって支持されているので、可動体３を安定して支持できる。また、接続体１０は環状であるため、可動体３が振動方向と異なる方向に移動するときは、接続体１０が圧縮されることになり、バネ定数が大きい。従って、可動体３が傾くことを抑制でき、可動体３と支持体２との衝突を抑制できる。
【0061】
（変形例）
上記形態は、第２ヨーク３２を３枚の磁性部材により構成しているが、第２ヨーク３２の構成は上記形態と異なっていてもよい。図５は、変形例１の可動体３Ａの断面図である。図６は、変形例２の可動体３Ｂの断面図である。図７は、変形例３の可動体３Ｃの断面図である。以下、上記形態と同一の構成は同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成は異なる符号を付して説明する。
上記形態は、第２ヨーク３２を３枚の磁性部材により構成しているが、第２ヨーク３２の構成は上記形態と異なっていてもよい。図５は、変形例１の可動体３Ａの断面図である。図６は、変形例２の可動体３Ｂの断面図である。図７は、変形例３の可動体３Ｃの断面図である。以下、上記形態と同一の構成は同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成は異なる符号を付して説明する。
【0062】
図５に示すように、変形例１の可動体３Ａは、磁石６１と、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２Ａを備える。第２ヨーク３２Ａは、第２磁性部材３４Ａおよび第３磁性部材３８を備える。第２磁性部材３４Ａは、上記形態の第１磁性部材３３と第２磁性部材３４とを一体化させた形状の磁性部材である。従って、第２磁性部材３４Ａは、端板部３２１Ａ、曲げ部３４２、および円筒部３２２を備えており、端板部３２１Ａは、径方向の中央から軸線方向の一方側Ｌ１へ突出する突出部３２３を備える。突出部３２３は、上記形態の第１磁性部材３３と同一形状である。
【0063】
変形例１では、第１磁性部材３３を用いる代わりに、第２磁性部材３４Ａの板厚を部分的に厚くしている。これにより、上記形態と同様に、磁石６１とコイル６２、および、磁路を形成する部材の配置を変えずに、磁石６１の体積を小さくしてコスト削減を図ることができる。その際、磁石６１の厚さを小さくすることにより磁石６１の体積を小さくする
ので、磁石６１のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構６の推力低下を抑制することができる。また、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４との軸線方向の隙間が狭くならないので、可動体３が軸線方向に振動するスペースを確保できる。
ので、磁石６１のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構６の推力低下を抑制することができる。また、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４との軸線方向の隙間が狭くならないので、可動体３が軸線方向に振動するスペースを確保できる。
【0064】
図６に示すように、変形例２の可動体３Ｂは、磁石６１と、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２Ｂを備える。第２ヨーク３２Ｂは、上記形態と同一形状の第２磁性部材３４および第３磁性部材３８の２部品により構成され、第１磁性部材３３は備えていない。従って、第２ヨーク３２Ｂの端板部３２１Ｂは、第２磁性部材３４の円板部３４１のみからなる。円板部３４１（端板部３２１Ｂ）は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する。
【0065】
変形例２の可動体３Ｂは、第１磁性部材３３を省略しているので、磁石６１の板厚を薄くした分、第２磁性部材３４および第３磁性部材３８の軸線方向の位置が軸線方向の一方側Ｌ１へシフトする。そのため、コイルホルダ４の胴部４２と第２磁性部材３４の円板部３４１（端板部３２１Ｂ）との間に、可動体３の振幅よりも大きな軸線方向の隙間が確保されるように、可動体３の振幅およびコイルホルダ４の配置を設定する。変形例２では、上記形態と同様に、磁石６１の厚さを小さくすることにより磁石６１の体積を小さくしているので、磁石６１のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構６の推力低下を抑制することができる。
【0066】
図７に示すように、変形例３の可動体３Ｃは、磁石６１と、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２Ｃを備える。第２ヨーク３２Ｃは、上記形態と同一形状の第１磁性部材３３および第２磁性部材３４の２部品により構成され、第３磁性部材３８は備えていない。第２ヨーク３２Ｃは、第１磁性部材３３が磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接するとともに、第２磁性部材３４の円板部３４１が第１磁性部材３３に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する。第２ヨーク３２の端板部３２１は、円板部３４１および第１磁性部材３３によって構成される
【0067】
変形例３の可動体３Ｃは、重量調整部材として機能する第３磁性部材３８を備えていないものの、第１磁性部材３３および第２磁性部材３４の形状および配置は上記形態と同一であるため、上記形態と同様に、磁石６１の厚さを小さくすることにより磁石６１の体積を小さくできる。従って、磁石６１のコスト削減を図り、且つ、磁気駆動機構６の推力低下を抑制することができる。
【符号の説明】
【0068】
１…アクチュエータ、２…支持体、３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ…可動体、４…コイルホルダ、６…磁気駆動機構、７…配線基板、８…リード線、１０…接続体、１１…第１接続体、１２…第２接続体、２０…ケース、２１…第１蓋部材、２２…第１蓋部材、２４…ケース本体、２５…第２外枠部材固定部、２６…蓋部、２７…係止部、２８…規制部、２９…溝部、３０…支軸、３１…第１ヨーク、３２、３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ…第２ヨーク、３３…第１磁性部材、３４、３４Ａ…第２磁性部材、３５…ヨーク、３６…第１内枠部材、３７…第２内枠部材、３８…第３磁性部材、３９…重量調整部、４１…第１外枠部材固定部、４２…胴部、４３…第１凹部、４４…第１段部、４５…第２段部、４６…第２凹部、４８…溝部、４９…凸部、５１…第１外枠部材、５２…第２外枠部材、６１…磁石、６２…コイル、６３…コイル線、６４…端子ピン、６５…切欠き部、６６…カバー、６９…基板固定部、７１…穴、８０…リード線保持部、３１０…軸穴、３２１、３２１Ａ、３２１Ｂ…端板部、３２２…円筒部、３２３…突出部、３３０…軸穴、３４０…軸穴、３４１…円板部、３４２…曲げ部、３６１…環状突部、３７１…環状突部、３８０…軸穴、５１１…環
状段部、５２１…環状段部、６１０…軸穴、６９１…爪部、６９２…係止溝、Ｌ…中心軸線、Ｌ１…軸線方向の一方側、Ｌ２…軸線方向の他方側
状段部、５２１…環状段部、６１０…軸穴、６９１…爪部、６９２…係止溝、Ｌ…中心軸線、Ｌ１…軸線方向の一方側、Ｌ２…軸線方向の他方側
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】