特開 2025-99795 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025099795

(43)【公開日】2025-07-03

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/04 20060101AFI20250626BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20250626BHJP

【ＦＩ】

B25J9/04 Z

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023216729

(22)【出願日】2023-12-22

(71)【出願人】

【識別番号】000000262

【氏名又は名称】株式会社ダイヘン

(74)【代理人】

【識別番号】100135389

【弁理士】

【氏名又は名称】臼井 尚

(74)【代理人】

【識別番号】100168099

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 伸太郎

(72)【発明者】

【氏名】塔本 健太

(72)【発明者】

【氏名】岡本 健太郎

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707BT14

3C707CT04

3C707CT05

3C707CX01

3C707CX03

3C707CY36

3C707HT02

3C707NS13

5F131AA02

5F131AA12

5F131CA22

5F131CA37

5F131DA32

5F131DA42

5F131DB58

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB86

(57)【要約】

【課題】直線移動機構によって移動させられるハンドを備えた搬送装置において、小型化を図るのに適した構造を提供する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、固定ベース１に対して垂直状の旋回軸線Ｏｓの周りに旋回可能に支持されたガイド部材３と、ガイド部材３に支持された直線移動機構と、直線移動機構に支持され、直線移動機構の作動により第１方向ｘに延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第１ハンド５Ａと、ガイド部材３に旋回駆動力を与えるモータＭ２（旋回用駆動源）と、第１入力軸６１に入力されたモータＭ２による回転を減速して第１出力軸６２から出力する旋回用減速機６と、を備える。旋回用減速機６およびモータＭ２は、ガイド部材３に固定されており、第１出力軸６２は、固定ベース１に直接または間接に取り付けられている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定ベースと、
前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線の周りに旋回可能に支持されたガイド部材と、
前記ガイド部材に支持された直線移動機構と、
前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第１方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第１ハンドと、
前記ガイド部材に旋回駆動力を与える旋回用駆動源と、
第１入力軸に入力された前記旋回用駆動源による回転を減速して第１出力軸から出力する旋回用減速機と、を備え、
前記旋回用減速機および前記旋回用駆動源は、前記ガイド部材に固定されており、
前記第１出力軸は、前記固定ベースに直接または間接に取り付けられている、搬送装置。

【請求項2】

前記直線移動機構は、各々が前記第１方向に延び、且つ鉛直方向および前記第１方向の双方に直交する第２方向に離れて配置された一対の第１ガイドレールを含み、
前記一対の第１ガイドレールは、前記第１ハンドを移動可能に支持しており、
前記旋回用駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の一方側に位置し、且つ前記第２方向において前記一対の第１ガイドレールの間に位置する、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記第１入力軸は前記第１出力軸の上方に位置し、
前記旋回用駆動源の出力軸に取り付けられたプーリ、および前記第１入力軸に取り付けられたプーリにベルトが掛け回されている、請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により前記第１方向に延びる前記移動行程に沿って移動する第２ハンドと、
前記第１ハンドに駆動力を与えるための第１駆動源と、
前記第２ハンドに駆動力を与えるための第２駆動源と、をさらに備え、
前記第１駆動源および前記第２駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の他方側に位置する、請求項２または３に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記固定ベースに対して昇降可能に支持され、且つ前記ガイド部材を支持する昇降ベースをさらに備え、
前記第１出力軸は、前記昇降ベースに固定されており、
前記旋回用減速機は、前記ガイド部材に固定されたフランジ部を有する、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、搬送装置に関し、より詳細にはワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）を持つものがある。このような搬送装置は、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）の製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。

【0003】

このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献１に開示されたものがある。この搬送装置は、固定ベースと、固定ベースに旋回可能に支持された旋回ベースと、旋回ベースに支持された直線移動機構と、直線移動機構に各別に支持された一対のハンドと、を備えている。直線移動機構は、一対のハンドをそれぞれ駆動する一対の駆動機構（たとえばベルト駆動機構）を有し、駆動機構が駆動すると、ハンドが水平方向に直線移動させられる。これにより、一対のハンドに保持された薄板状ワークを水平直線状の移動行程に沿って各別に搬送することが可能である。

【0004】

固定ベースないし旋回ベースの内部には、旋回ベースを旋回駆動させるためのモータ、および当該モータに対応する減速機が配置されている。上記の旋回駆動用のモータによる駆動力は、減速機を介して旋回ベースに伝達される。

【0005】

近年では、たとえばＦＰＤに使用されるガラス基板等のサイズの大型化により、搬送装置において搬送するべきワークもまた、大型化するとともに相当の重量を有する。また、ワークを保持するハンドの移動距離についても長大化が求められる。そうすると、旋回ベースを駆動させるためのモータおよび減速機もそれぞれ大型化し、搬送装置全体の大型化を招く傾向にあった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００８－２７２８４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本開示は、このような事情のもとで考え出されたものであって、直線移動機構によって移動させられるハンドを備えた搬送装置において、小型化を図るのに適した構造を提供することを主たる課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本開示では、次の技術的手段を採用した。

【0009】

本開示によって提供される搬送装置は、固定ベースと、前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線の周りに旋回可能に支持されたガイド部材と、前記ガイド部材に支持された直線移動機構と、前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第１方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第１ハンドと、前記ガイド部材に旋回駆動力を与える旋回用駆動源と、第１入力軸に入力された前記旋回用駆動源による回転を減速して第１出力軸から出力する旋回用減速機と、を備え、前記旋回用減速機および前記旋回用駆動源は、前記ガイド部材に固定されており、前記第１出力軸は、前記固定ベースに直接または間接に取り付けられている。

【0010】

好ましい実施の形態においては、前記直線移動機構は、各々が前記第１方向に延び、且つ鉛直方向および前記第１方向の双方に直交する第２方向に離れて配置された一対の第１ガイドレールを含み、前記一対の第１ガイドレールは、前記第１ハンドを移動可能に支持しており、前記旋回用駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の一方側に位置し、且つ前記第２方向において前記一対の第１ガイドレールの間に位置する。

【0011】

好ましい実施の形態においては、前記第１入力軸は前記第１出力軸の上方に位置し、前記旋回用駆動源の出力軸に取り付けられたプーリ、および前記第１入力軸に取り付けられたプーリにベルトが掛け回されている。

【0012】

好ましい実施の形態においては、前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により前記第１方向に延びる前記移動行程に沿って移動する第２ハンドと、前記第１ハンドに駆動力を与えるための第１駆動源と、前記第２ハンドに駆動力を与えるための第２駆動源と、をさらに備え、前記第１駆動源および前記第２駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の他方側に位置する。

【0013】

好ましい実施の形態においては、前記固定ベースに対して昇降可能に支持され、且つ前記ガイド部材を支持する昇降ベースをさらに備え、前記第１出力軸は、前記昇降ベースに固定されており、前記旋回用減速機は、前記ガイド部材に固定されたフランジ部を有する。

【発明の効果】

【0014】

本開示に係る搬送装置によれば、旋回用減速機および旋回用駆動源をガイド部材の内部に配置することで、固定ベースの内部に旋回用減速機および旋回用駆動源を配置するための空間が不要となる。これにより、固定ベースの径方向（旋回軸線に直交する方向）のサイズを小さくすることができ、搬送装置の小型化を図ることができる。また、旋回用減速機がガイド部材に固定され、且つ旋回用減速機の第１出力軸が固定ベース側に取り付けられることで、旋回用減速機自体がガイド部材を支持しながら旋回する部材として機能する。したがって、従来構成のガイド部材を支持するための旋回ベース（別部材）が不要となる。これにより、固定ベースの鉛直方向のサイズを小さくすることができ、搬送装置の小型化を図ることができる。

【0015】

本開示のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本開示に係る搬送装置一例を示す全体斜視図である。

【図2】図１に示す搬送装置の平面図である。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。

【図4】図２のＩＶ－ＩＶ線に沿う部分断面図である。

【図5】図３のＶ－Ｖ線に沿う部分断面図である。

【図6】図３のＶＩ－ＶＩ線に沿う部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本開示の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。

【0018】

本開示における「第１」、「第２」等の用語は、単にラベルとして用いたものであり、必ずしもそれらの対象物に順列を付することを意図していない。

【0019】

図１～図６は、本開示に係る搬送装置の一例を示している。搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネル用の基板等といった薄板状のワークＷを搬送するためのものである。搬送装置Ａ１は、図１～図４に表れているように、固定ベース１と、この固定ベース１に対して垂直状の旋回軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持されたガイド部材３と、ガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に各別に支持された第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂと、旋回用減速機６と、モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４と、を備えている。第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂは、上記薄板状のワークＷを水平姿勢で保持するためのものである。

【0020】

本実施形態において図示された例において、第１方向ｘは、本開示の「第１方向」に相当し、第２方向ｙは、本開示の「第２方向」に相当する。第１方向ｘおよび第２方向ｙは、互いに直交しており、いずれも水平面に沿う方向である。鉛直方向ｚは、第１方向ｘおよび第２方向ｙと直交する方向であり、搬送装置Ａ１が所定の搬送室（図示略）等に載置された場合に鉛直方向に相当する方向であり、本開示の「鉛直方向」に相当する。以下の説明では、また、第１方向ｘの一方側を適宜「第１方向ｘのｘ１側」と呼び、第１方向ｘの他方側を適宜「第１方向ｘのｘ２側」と呼ぶ。第１方向ｘのｘ１側は、本開示の「第１方向の一方側」に相当し、第１方向ｘのｘ２側は本開示の「第１方向の他方側」に相当する。

【0021】

図３によく表れているように、固定ベース１は、底壁部１１と、円筒状の側壁部１２と天井壁１３とを備えた、略円柱状の外形を有するハウジング１０を備えている。天井壁１３には、中心開口１３Ａが形成されている。固定ベース１の内部下端寄りには、モータＭ１が配置されている。なお、固定ベース１を構成する底壁部１１、側壁部１２および天井壁１３は、互いに分割された各部材が組み付けられた構成とされている。これにより、後述する昇降ベース１４、ガイド部材１６、ボールネジ機構１８等の各部材を固定ベース１の内部に適切に配置することができる。

【0022】

固定ベース１の内部には、昇降ベース１４が支持されている。昇降ベース１４は、中心開口１３Ａよりも小径の外径をもち、上下方向に所定の寸法を有する円筒部１４１と、この円筒部１４１の下端につながる外向フランジ部１４２と、円筒部１４１の上端につながる上側フランジ部１４３とを有している。円筒部１４１は、旋回軸線Ｏｓを中心とする円筒状とされている。ハウジング１０の側壁部１２の内壁には、上下方向の直線ガイドレール１５が複数取り付けられているとともに、昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に設けた複数のガイド部材１６が直線ガイドレール１５に対して上下方向スライド移動可能に支持されている。これにより、昇降ベース１４は、固定ベース１に対し、上下方向に所定範囲内で移動可能である。なお、昇降ベース１４の円筒部１４１の上部および上側フランジ部１４３は、ハウジング１０の中心開口１３Ａから出没している。

【0023】

固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の円筒部１４１との間には、シール機構１７が介装されている。このシール機構１７は、昇降ベース１４の上下方向の移動にかかわらず、固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の円筒部１４１との間を気密シールする。シール機構１７の具体的構成は特に限定されず、たとえばリップシールを採用することができる。

【0024】

固定ベース１の内部にはまた、鉛直方向ｚに配置されて回転するネジ軸１８１と、このネジ軸１８１に螺合され、かつ昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に貫通状に固定されたナット部材１８２とからなるボールネジ機構１８が配置されている。ネジ軸１８１は、その下端に取付けたプーリ１８３と、モータＭ１の出力軸に取付けたプーリ１８５とに掛け回されたベルト１８４によってモータＭ１に連係されており、このモータＭ１の駆動により、正逆方向に回転させられる。このようにしてネジ軸１８１を回転することにより、昇降ベース１４が昇降させられる。なお、詳細な図示は省略するが、ネジ軸１８１は、たとえばグリス飛散防止用のカバーによって覆われていてもよい。

【0025】

ガイド部材３は、第１方向ｘに延びる長手軸線（移動行程ＧＬ）を有する平面視略長矩形の箱状とされており、底壁３１、側壁３２、中間壁３３、上部壁３４、カバー３５およびケース壁３６を有する。ガイド部材３は、固定ベース１に支持されている。本実施形態においては、旋回用減速機６を介して昇降ベース１４に支持されている。底壁３１の中央には開口が形成されており、この開口を通じて旋回用減速機６がガイド部材３の内部に配置される。

【0026】

図２～図４に表れているように、旋回用減速機６は、第１入力軸６１、第１出力軸６２、およびフランジ部６３を有する。フランジ部６３は、ガイド部材３の底壁３１に固定されている。図４によく表れているように、第１入力軸６１は第１出力軸６２の上方（鉛直方向ｚの上側）に位置する。第１入力軸６１にはプーリ６４が取り付けられている。モータＭ２は、本開示の旋回用駆動源の一例に相当し、当該モータＭ２の出力軸７１にはプーリ７２が取り付けられている。当該プーリ７２、および第１入力軸６１側のプーリ６４にベルト８が掛け回されており、第１入力軸６１は、ベルト８によってモータＭ２に連係されている。第１出力軸６２は、昇降ベース１４の上側フランジ部１４３に固定されている。これにより、ガイド部材３は、旋回用減速機６を介して昇降ベース１４ないし固定ベース１に支持されている。そして、モータＭ２を駆動させると、旋回用減速機６の中心軸を旋回軸線Ｏｓとして、ガイド部材３および旋回用減速機６が旋回する。本実施形態において、旋回用減速機６は、中央部分が鉛直方向ｚに貫通する中空状である。旋回用減速機６の適所には、図示しないシール部材が配置されている。具体的には、ガイド部材３の底壁３１と旋回用減速機６のフランジ部６３との間、フランジ部６３と第１出力軸６２との間、および第１出力軸６２と昇降ベース１４の上側フランジ部１４３との間は、それぞれ図示しないシール部材によって気密シールされている。

【0027】

旋回用減速機６およびモータＭ２は、底壁３１、中間壁３３および上部壁３４により囲まれた内部に配置されている。また、上部壁３４には、当該上部壁３４よりも上方に突出するケース壁３６が取り付けられており、プーリ６４，７２は、ケース壁３６の内部に配置されている。図２および図４に表れているように、モータＭ２は、旋回用減速機６に対して第１方向ｘのｘ１側に位置している。

【0028】

直線移動機構４は、第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂを水平直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものである。図２および図３に表れているように、直線移動機構４は、ガイド部材３上に設けられた第１ガイドレール４１Ａおよび第２ガイドレール４１Ｂと、第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂに水平方向の駆動力を伝達する第１駆動機構４３Ａおよび第２駆動機構４３Ｂと、第１連結部材４４Ａおよび第２連結部材４４Ｂと、を含む。第１ガイドレール４１Ａおよび第２ガイドレール４１Ｂは、それぞれが第２方向ｙに離れて対をなして設けられており、いずれも第１方向ｘに延びている。一対の第１ガイドレール４１Ａは第２方向ｙにおいて内側に配置されており、一対の第２ガイドレール４１Ｂは、一対の第１ガイドレール４１Ａに対して第２方向ｙの外側に配置されている。図２～図４から理解されるように、モータＭ２は、第２方向ｙにおいて一対の第１ガイドレール４１Ａの間に位置する。

【0029】

図１～図３に表れているように、第１ハンド５Ａは、一対の支持アーム５１ａおよび複数の保持片５３ａを有する。図３に表れているように、第１ハンド５Ａは、一対の支持アーム５１ａの各々に固定されたスライダ４２Ａを介して、一対の第１ガイドレール４１Ａに支持されている。一対の第１ガイドレール４１Ａおよび一対の第２ガイドレール４１Ｂの上方は、カバー３５によって覆われている。第１ハンド５Ａの支持アーム５１ａは、カバー３５の上面に形成されたスリット３５ａを貫通しており、支持アーム５１ａには、第１連結部材４４Ａが設けられている。第１連結部材４４Ａは、上部壁３４に形成されたスリットを貫通して後述する第１駆動機構４３Ａの第１出力ベルト４３４Ａに連結されている。これにより、第１連結部材４４Ａは、第１ハンド５Ａおよび第１出力ベルト４３４Ａを連結している。複数の支持アーム５１ａは、第２方向ｙにおいて互いに離れており、各々が第１方向ｘに延びている。これら支持アーム５１ａ上に上記薄板状のワークＷが載置保持される。

【0030】

図１～図３に表れているように、第２ハンド５Ｂは、一対の支持アーム５１ｂおよび複数の保持片５３ｂを有する。図３に表れているように、一対の支持アーム５１ｂは、第１ハンド５Ａの第２方向ｙにおける外側を迂回するように形成されている。第２ハンド５Ｂは、一対の支持アーム５１ｂの各々に固定されたスライダ４２Ｂを介して、一対の第２ガイドレール４１Ｂに支持されている。第２ハンド５Ｂの支持アーム５１ｂは、カバー３５の側面に形成されたスリット３５ｂを貫通しており、支持アーム５１ｂには、第２連結部材４４Ｂが設けられている。第２連結部材４４Ｂは、上部壁３４に形成されたスリットを貫通して後述する第２駆動機構４３Ｂの第２出力ベルト４３４Ｂに連結されている。これにより、第２連結部材４４Ｂは、第２ハンド５Ｂおよび第２出力ベルト４３４Ｂを連結している。複数の支持アーム５１ｂは、第２方向ｙにおいて互いに離れており、各々が第１方向ｘに延びている。これら支持アーム５１ｂ上にワークＷが載置保持される。

【0031】

なお、図示した例では、第１ハンド５Ａ（第２ハンド５Ｂ）が２つの支持アーム５１ａ（支持アーム５１ｂ）を有するが、当該支持アーム５１ａ（支持アーム５１ｂ）の数は１つまたは３つ以上でもよい。支持アーム５１ａ（支持アーム５１ｂ）の形状も特に限定されない。また、各図では簡略化して示したが、第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂはそれぞれ、たとえば複数の部材が互いに連結された構成を有する。

【0032】

第１駆動機構４３Ａおよび第２駆動機構４３Ｂは、第１ハンド５Ａおよび第２ハンド５Ｂを各別に移動行程ＧＬに沿って移動させるためのものである。第１駆動機構４３Ａおよび第２駆動機構４３Ｂは、基本的に同様の構成を有しているので、以下に第１駆動機構４３Ａの構成について具体的に説明し、第２駆動機構４３Ｂについては適宜説明を省略する。

【0033】

第１駆動機構４３Ａは、図２、図３および図５に表れているように、減速機構４３１ａと、第１駆動プーリ４３２ａと、複数のプーリ４３２ｂ，４３２ｃ，４３２ｄ，４３２ｅと、第１出力ベルト４３４Ａと、を備え、ガイド部材３に収容されている。第１駆動プーリ４３２ａは、減速機構４３１ａの出力軸に取り付けられている。当該第１駆動プーリ４３２ａは、旋回軸線Ｏｓに対して直交する水平軸線周りに回転可能である。詳細な図示は省略するが、減速機構４３１ａの入力軸には、モータＭ３の出力軸が連結されている。モータＭ３は、第１駆動機構４３Ａを介して第１ハンド５Ａに駆動力を与えるものである。モータＭ３は、本開示の第１駆動源の一例に相当する。モータＭ３は、旋回用減速機６に対して第１方向ｘのｘ２側に位置している。

【0034】

図５に表れているように、プーリ４３２ｂ～４３２ｅは、ガイド部材３内においてそれぞれ所定の水平軸線周りに回転可能に支持されている。第１出力ベルト４３４Ａは、第１駆動プーリ４３２ａおよびプーリ４３２ｂ～４３２ｅに対し、垂直面内に沿うように掛け回されている。プーリ４３２ｂ，４３２ｃは、ガイド部材３の長手方向（移動行程ＧＬに沿う第１方向ｘ）の両端部近傍に設けられている。一方、プーリ４３２ｄ，４３２ｅは、第１駆動プーリ４３２ａの近傍に設けられており、第１出力ベルト４３４Ａの外側に配置されている。これにより、第１出力ベルト４３４Ａには、適度な張力が付与されている。第１出力ベルト４３４Ａとしては、たとえばタイミングベルトが好適に用いられる。

【0035】

このような構成により、モータＭ３を駆動させると、モータＭ３の回転駆動力は、減速機構４３１ａによって減速されたうえで、第１駆動プーリ４３２ａが回転させられる。この第１駆動プーリ４３２ａの回転に伴って第１出力ベルト４３４Ａが所定の垂直面内において往復動する。

【0036】

プーリ４３２ｂ，４３２ｃは、移動行程ＧＬの平行線に沿って配置されている。そして、図５において第１出力ベルト４３４Ａにおけるプーリ４３２ｂ，４３２ｃの上方に位置する領域は、移動行程ＧＬと平行な区間４６ａとなっており、第１出力ベルト４３４Ａは、この区間４６ａにおいて往復動しうるように構成されている。第１出力ベルト４３４Ａにおける上記区間４６ａの所定部位には、第１ハンド５Ａの支持アーム５１ａに一端が連結された第１連結部材４４Ａの他端が連結されている。これにより、第１ハンド５Ａは、第１駆動機構４３Ａの駆動により、内側２つの第１ガイドレール４１Ａに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライド走行する。

【0037】

第２駆動機構４３Ｂは、図２、図３および図６に表れているように、減速機構４３１ｂと、第２駆動プーリ４３３ａと、複数のプーリ４３３ｂ，４３３ｃ，４３３ｄ，４３３ｅと、第２出力ベルト４３４Ｂと、を備え、ガイド部材３に収容されている。第２駆動プーリ４３３ａは、減速機構４３１ｂの出力軸に取り付けられている。当該第２駆動プーリ４３３ａは、旋回軸線Ｏｓに対して直交する水平軸線周りに回転可能である。詳細な図示は省略するが、減速機構４３１ｂの入力軸には、モータＭ４の出力軸が連結されている。モータＭ４は、第２駆動機構４３Ｂを介して第２ハンド５Ｂに駆動力を与えるものである。モータＭ４は、本開示の第２駆動源の一例に相当する。モータＭ４は、旋回用減速機６に対して第１方向ｘのｘ２側に位置している。

【0038】

図６に表れているように、プーリ４３３ｂ～４３３ｅは、ガイド部材３内においてそれぞれ所定の水平軸線周りに回転可能に支持されている。第２出力ベルト４３４Ｂは、第２駆動プーリ４３３ａおよびプーリ４３３ｂ～４３３ｅに対し、垂直面内に沿うように掛け回されている。プーリ４３３ｂ，４３３ｃは、ガイド部材３の長手方向（移動行程ＧＬに沿う第１方向ｘ）の両端部近傍に設けられている。一方、プーリ４３３ｄ，４３３ｅは、第２駆動プーリ４３３ａの近傍に設けられており、第２出力ベルト４３４Ｂの外側に配置されている。これにより、第２出力ベルト４３４Ｂには、適度な張力が付与されている。第２出力ベルト４３４Ｂとしては、たとえばタイミングベルトが好適に用いられる。

【0039】

このような構成により、モータＭ４を駆動させると、モータＭ４の回転駆動力は、減速機構４３１ｂによって減速されたうえで、第２駆動プーリ４３３ａが回転させられる。この第２駆動プーリ４３３ａの回転に伴って第２出力ベルト４３４Ｂが所定の垂直面内において往復動する。

【0040】

プーリ４３３ｂ，４３３ｃは、移動行程ＧＬの平行線に沿って配置されている。そして、図６において第２出力ベルト４３４Ｂにおけるプーリ４３３ｂ，４３３ｃの上方に位置する領域は、移動行程ＧＬと平行な区間４６ｂとなっており、第２出力ベルト４３４Ｂは、この区間４６ｂにおいて往復動しうるように構成されている。第２出力ベルト４３４Ｂにおける上記区間４６ｂの所定部位には、第２ハンド５Ｂの支持アーム５１ｂに一端が連結された第２連結部材４４Ｂの他端が連結されている。これにより、第２ハンド５Ｂは、第２駆動機構４３Ｂの駆動により、外側２つの第２ガイドレール４１Ｂに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライド走行する。

【0041】

詳細な図示説明は省略するが、モータＭ３，Ｍ４は、底壁３１、中間壁３３および上部壁３４により囲まれた内部に配置されている。また、上述のように、旋回用減速機６およびモータＭ２についても、底壁３１、中間壁３３および上部壁３４により囲まれた内部に配置されている。これら旋回用減速機６およびモータＭ２，Ｍ３，Ｍ４が配置されたガイド部材３の内部空間は、外部に対して図示しないシール部材により気密シールされている。

【0042】

上述のように、旋回用減速機６は、中央部分が鉛直方向ｚに貫通する中空状であり、旋回用減速機６の適所にはシール部材（図示略）が配置されている。固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の円筒部１４１との間には、シール機構１７が介装されている。また、旋回用減速機６およびモータＭ２，Ｍ３，Ｍ４が配置されたガイド部材３の内部は、外部に対して気密シールされている。旋回用減速機６が中空状であることより、ガイド部材３の内部から旋回用減速機６の中空部を介して連通する昇降ベース１４の内側空間は、外部に対して気密シールされている。このように外部に対して気密シールされた、ガイド部材３の内部から旋回用減速機６の中空部を介して連通する昇降ベース１４の内側空間にかけて、モータＭ２，Ｍ３，Ｍ４につながる配線（図示略）が通じている。

【0043】

本実施形態の搬送装置Ａ１は、たとえばＦＰＤの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。この場合、搬送装置Ａ１は、たとえば周部に複数のプロセスチャンバが配置されたトランスポートチャンバ内に真空環境下で配置される。

【0044】

次に、本実施形態の作用について説明する。

【0045】

搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、固定ベース１に対して垂直状の旋回軸線Ｏｓの周りに旋回可能に支持されたガイド部材３と、ガイド部材３に支持された直線移動機構４と、第１ハンド５Ａと、旋回用減速機６と、モータＭ２（旋回用駆動源）と、を備える。第１ハンド５Ａは、直線移動機構４の作動により第１方向ｘに延びる水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動する。旋回用減速機６は、第１入力軸６１に入力されたモータＭ２による回転を減速して第１出力軸６２から出力する。旋回用減速機６およびモータＭ２は、ガイド部材３に固定されており、第１出力軸６２は、固定ベース１に直接または間接（本実施形態では昇降ベース１４を介して間接）に取り付けられている。旋回用減速機６および旋回駆動用のモータＭ２をガイド部材３の内部に配置することで、固定ベース１の内部に旋回用減速機６およびモータＭ２を配置するための空間が不要となる。これにより、固定ベース１の径方向（旋回軸線Ｏｓに直交する方向）のサイズを小さくすることができ、搬送装置Ａ１の小型化を図ることができる。また、旋回用減速機６がガイド部材３に固定され、且つ旋回用減速機６の第１出力軸６２が固定ベース１側に取り付けられることで、旋回用減速機６自体がガイド部材３を支持しながら旋回する部材として機能する。したがって、従来構成のガイド部材３を支持するための旋回ベース（別部材）が不要となる。これにより、固定ベース１の鉛直方向ｚのサイズを小さくすることができ、搬送装置Ａ１の小型化を図ることができる。

【0046】

直線移動機構４は、第１ハンド５Ａを移動可能に支持する一対の第１ガイドレール４１Ａを含む。一対の第１ガイドレール４１Ａは、各々が第１方向ｘに延びるとともに、第２方向ｙ（鉛直方向ｚおよび第１方向ｘに直交する方向）に離れて配置される。モータＭ２は、旋回用減速機６に対して第１方向ｘのｘ１側に位置するとともに、第２方向ｙにおいて一対の第２方向ｙの間に位置する。このような構成によれば、旋回用のモータＭ２を効率よく配置することができる。

【0047】

旋回用減速機６の第１入力軸６１は第１出力軸６２の上方に位置し、モータＭ２の出力軸７１に取り付けられたプーリ７２、および第１入力軸６１に取り付けられたプーリ６４にベルト８が掛け回されている。このような構成によれば、モータＭ２を旋回用減速機６により近接して配置することが可能であり、モータＭ２を配置するための占有スペースを小さくすることができる。このことは、搬送装置Ａ１の小型化を図る上でより好ましい。

【0048】

搬送装置Ａ１は、第２ハンド５Ｂと、第１ハンド５Ａに駆動力を与えるモータＭ３と、第２ハンド５Ｂに駆動力を与えるモータＭ４と、を備える。モータＭ３，Ｍ４は、旋回用減速機６に対して第１方向ｘのｘ２側に位置しており、旋回用減速機６に対してモータＭ２とは反対側に位置する。このような構成によれば、ガイド部材３の内部に３つのモータＭ２，Ｍ３，Ｍ４を効率よく配置するこができる。また、固定ベース１の内部にモータＭ３，Ｍ４を配置するための空間が不要となる。このことは、搬送装置Ａ１の小型化を図る上でより好ましい。

【0049】

搬送装置Ａ１は、固定ベース１に対して昇降可能に支持された昇降ベース１４を備え、当該昇降ベース１４は、ガイド部材３を支持する。旋回用減速機６の第１出力軸６２は、昇降ベース１４（上側フランジ部１４３）に固定されている。また、旋回用減速機６はフランジ部６３を有し、当該フランジ部６３はガイド部材３（底壁３１）に固定されている。このような構成によれば、ガイド部材３が旋回可能、且つ昇降可能であり、第１ハンド５Ａ等に保持されたワークＷを効率よく搬送することができる。

【0050】

本開示に係る搬送装置は、上述した実施形態に限定されるものではない。本開示に係る搬送装置の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。上記実施形態においては、旋回用減速機６とモータＭ２（旋回用駆動源）とがベルト８を介して連係されていたが、これに代えて、旋回用減速機６とモータＭ２とがギア機構を介して連係された構成でもよい。

【0051】

また、上記実施形態では、旋回用減速機６の第１出力軸６２は昇降ベース１４の上側フランジ部１４３に固定されていたが、本開示はこれに限定されない。昇降機構が不要な搬送装置の場合、第１出力軸６２が固定ベース１に直接取り付けられてもよい。

【符号の説明】

【0052】

Ａ１：搬送装置、１：固定ベース、１４：昇降ベース、３：ガイド部、４：直線移動機構、４１Ａ：第１ガイドレール、５Ａ：第１ハンド、５Ｂ：第２ハンド、６：旋回用減速機、６１：第１入力軸、６２：第１出力軸、６３：フランジ部、６４：プーリ、７１：出力軸、７２：プーリ、８：ベルト、ＧＬ：移動行程、Ｍ２：モータ（旋回用駆動源）、Ｍ３：モータ（第１駆動源）、Ｍ４：モータ（第２駆動源）、Ｏｓ：旋回軸線、ｘ：第１方向、ｙ：第２方向、ｚ：鉛直方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】