特許7064272光ガイドを使用して導電性バイアを形成する方法および構造体

発明の名称　光ガイドを使用して導電性バイアを形成する方法および構造体

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 97 位（297件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（708件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7064272

公報発行日　2022年5月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7064272

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