特許 7104415 流路ユニット、圧力検出装置、および流路ユニットの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-12

(45)【発行日】2022-07-21

(54)【発明の名称】流路ユニット、圧力検出装置、および流路ユニットの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/00 20060101AFI20220713BHJP

【ＦＩ】

G01L19/00 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2018231082

(22)【出願日】2018-12-10

(65)【公開番号】P2020094836

(43)【公開日】2020-06-18

【審査請求日】2021-09-02

(73)【特許権者】

【識別番号】591257111

【氏名又は名称】サーパス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112737

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 考晴

(74)【代理人】

【識別番号】100140914

【弁理士】

【氏名又は名称】三苫 貴織

(74)【代理人】

【識別番号】100136168

【弁理士】

【氏名又は名称】川上 美紀

(74)【代理人】

【識別番号】100172524

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 大輔

(72)【発明者】

【氏名】今井 弘

(72)【発明者】

【氏名】阿保 一夫

【審査官】公文代 康祐

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－０１４５７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－００９４６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１０４１５８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－０４０８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３１４０５８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２

Ｇ０１Ｌ ２７／００－２７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられる流路ユニットであって、
流入口から流入する液体を流出口へ導くとともに可撓性材料により形成される可撓性流路を有する可撓性流路部と、
前記可撓性流路部の外周面を取り囲む圧力伝達空間を形成する本体部と、
前記本体部に取り付けられ、一方の面が前記圧力伝達空間に面するとともに他方の面が前記圧力検出部と接触可能な薄膜状の圧力伝達部と、
前記圧力伝達空間に充填された非圧縮性の圧力伝達媒体と、を備え、
前記可撓性流路は、所定内径を有するとともに軸線に沿って直線状に延びる流路であることを特徴とする流路ユニット。

【請求項2】

前記流入口および前記流出口のいずれか一方と連通する第１流路を有する第１流路部と、
前記流入口および前記流出口のいずれか他方と連通する第２流路を有する第２流路部と、
前記第１流路部と前記可撓性流路部の一端を連結するとともに前記第１流路と前記可撓性流路を連通させる第１連結流路を有する第１連結部と、
前記第２流路部と前記可撓性流路部の他端を連結するとともに前記第２流路と前記可撓性流路を連通させる第２連結流路を有する第２連結部と、を備え、
前記第１流路、前記第２流路、前記第１連結流路、および前記第２連結流路は、それぞれ前記所定内径を有するとともに前記軸線に沿って直線状に延びる流路であることを特徴とする請求項１に記載の流路ユニット。

【請求項3】

前記第１流路部と前記本体部とが一体に形成されており、
前記第２流路部と前記第２連結部とが一体に形成されており、
前記本体部には、前記第１流路に沿って延びるとともに前記第１流路側に底部を有する挿入穴が形成されており、
前記第１連結部は、前記挿入穴の前記底部に取り付けられており、
前記第２連結部は、前記挿入穴の入口部に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の流路ユニット。

【請求項4】

前記本体部には、外部空間と前記圧力伝達空間を連通させるとともに前記圧力伝達媒体を前記圧力伝達空間へ充填するための開口部が形成されており、
前記開口部は、前記圧力伝達空間に前記圧力伝達媒体が充填された状態で封止部材により封止されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流路ユニット。

【請求項5】

前記圧力伝達空間には、脱泡処理が行われた前記圧力伝達媒体が充填されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流路ユニット。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流路ユニットと、
前記圧力伝達部から前記圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、
前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付機構と、を備えることを特徴とする圧力検出装置。

【請求項7】

圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられる流路ユニットの製造方法であって、
前記流路ユニットは、
液体が流入する流入口および液体が流出する流出口のいずれか一方と連通する第１流路を有する第１流路部と、
前記流入口および前記流出口のいずれか他方と連通する第２流路を有する第２流路部と、
可撓性材料により形成される第３流路を有する可撓性流路部と、
前記第１流路部と前記可撓性流路部の一端を連結するとともに前記第１流路と前記第３流路を連通させる第１連結流路を有する第１連結部と、
前記第２流路部と前記可撓性流路部の他端を連結するとともに前記第２流路と前記第３流路を連通させる第２連結流路を有する第２連結部と、
前記可撓性流路部の外周面を取り囲む圧力伝達空間を形成する本体部と、を備え、
前記第１流路部と前記本体部とが一体に形成されており、
前記第２流路部と前記第２連結部とが一体に形成されており、
前記本体部には、前記第１流路に沿って延びるとともに前記第１流路側に底部を有する挿入穴が形成されており、
前記可撓性流路部の一端に前記第１連結部を取り付けるとともに前記可撓性流路部の他端に前記第２連結部を取り付けて組立体とする工程と、
前記組立体を前記挿入穴へ挿入し、前記第１連結部を前記底部に取り付け、前記第２連結部を前記挿入穴の入口部へ取り付ける工程と、
前記本体部に、一方の面が前記圧力伝達空間に面するとともに他方の面が前記圧力検出部と接触可能な薄膜状の圧力伝達部を取り付ける工程と、
前記圧力伝達空間に前記本体部に形成された開口部から非圧縮性の圧力伝達媒体を充填する工程と、
前記圧力伝達媒体が充填された前記圧力伝達空間を減圧して前記圧力伝達媒体を脱泡処理する工程と、
前記圧力伝達媒体が前記脱泡処理された後に前記開口部を封止して前記圧力伝達空間を閉空間とする工程と、を備えることを特徴とする流路ユニットの製造方法。

【請求項8】

前記圧力伝達媒体は、所定温度以上とすることによりゲル化する媒体からなり、
前記圧力伝達媒体が前記脱泡処理された後に前記圧力伝達媒体を前記所定温度以上に加熱する工程を備えることを特徴とする請求項７に記載の流路ユニットの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流路ユニット、圧力検出装置、および流路ユニットの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液体を流通させる流路の一部に圧力伝達面が形成された流路ユニットと、圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、これらを着脱可能に取り付ける取付機構とを備える圧力検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される圧力検出装置は、流路ユニットが圧力検出ユニットに対して着脱可能となっているため、例えば、取り扱う液体が血液や透析液等である場合に、使用済みの流路ユニットを新たな流路ユニットに交換することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－９４６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示される流路ユニットは、流入口から流出口へ向けて直線状に延びる流路から分岐する導入流路を介して、流路を流通する液体を流体室へ導く。流路ユニットは、流体室に設けられた圧力伝達面から圧力検出ユニットの圧力検出面へ液体の圧力を伝達する。
しかしながら、特許文献１に開示される流路ユニットは、直線状の流路から導入流路を分岐させて流体室に液体を導くため、液体が流通せずに滞留する空間（いわゆるデッドボリューム）を有する。また、直線状の流路から導入流路へ液体を導く際に、液体の流通方向が変わるため、液体の流れによどみが生じてしまう。

【0005】

特許文献１の流路ユニットは、液体が滞留する空間を有するため、この空間に滞留する液体に雑菌が発生する等の不具合が生じる可能性がある。例えば、液体が血液である場合には、空間に滞留する血液の一部が凝固し、流路ユニットから外部へ流出してしまう可能性がある。
また、特許文献１の流路ユニットは、直線状の流路から導入流路へ導かれる液体の流れによどみが生じるため、液体の一部がよどみに滞留し、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合が発生する可能性がある。
さらに、特許文献１の流路ユニットは、流路ユニットに液体を流通させる際に、液体が滞留する空間を満たす必要がある。そのため、流路ユニットを交換するたびに高価な液体（培養液、試薬等）を廃棄する無駄が生じてしまう。

【0006】

本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合を発生させることなく、流路を流通する液体の圧力を圧力検出ユニットに確実に伝達することが可能な流路ユニット、圧力検出装置、および流路ユニットの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、上記の課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明の一態様にかかる流路ユニットは、圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられ、流入口から流入する液体を流出口へ導くとともに可撓性材料により形成される可撓性流路を有する可撓性流路部と、前記可撓性流路部の外周面を取り囲む圧力伝達空間を形成する本体部と、前記本体部に取り付けられ、一方の面が前記圧力伝達空間に面するとともに他方の面が前記圧力検出部と接触可能な薄膜状の圧力伝達部と、前記圧力伝達空間に充填された非圧縮性の圧力伝達媒体と、を備え、前記可撓性流路は、所定内径を有するとともに軸線に沿って直線状に延びる流路であることを特徴とする。

【0008】

本発明の一態様にかかる流路ユニットによれば、流入口から流入した液体を流出口へ導く可撓性流路が、所定内径を有するとともに直線状に延びる流路となっている。そのため、可撓性流路には、液体が流通せずに滞留する空間が存在せず、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合が発生しない。

【0009】

また、本発明の一態様にかかる流路ユニットによれば、可撓性流路部へ流入した液体の圧力は、可撓性流路の内周面に伝達される。可撓性流路部の外周面を取り囲むように圧力伝達空間が形成され、この圧力伝達空間に非圧縮性の圧力伝達媒体が充填されている。圧力伝達媒体が非圧縮性であるため、可撓性材料により形成される可撓性流路が液体の圧力により微小に変形した場合でも、圧力伝達媒体の容積は変化しない。そのため、可撓性流路の変形に伴って圧力伝達部が変形する。流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられた状態では、圧力伝達部が圧力検出部と接触するため、圧力伝達部の変形に応じた圧力が圧力検出部に伝達される。このように、本発明の一態様にかかる流路ユニットによれば、流路ユニットを流通する液体の圧力を圧力検出ユニットに確実に伝達することができる。

【0010】

本発明の一態様にかかる流路ユニットにおいて、好ましくは、前記流入口および前記流出口のいずれか一方と連通する第１流路を有する第１流路部と、前記流入口および前記流出口のいずれか他方と連通する第２流路を有する第２流路部と、前記第１流路部と前記可撓性流路部の一端を連結するとともに前記第１流路と前記可撓性流路を連通させる第１連結流路を有する第１連結部と、前記第２流路部と前記可撓性流路部の他端を連結するとともに前記第２流路と前記可撓性流路を連通させる第２連結流路を有する第２連結部と、を備え、前記第１流路、前記第２流路、前記第１連結流路、および前記第２連結流路は、それぞれ前記所定内径を有するとともに前記軸線に沿って直線状に延びる流路であることを特徴とする。

【0011】

本構成の流路ユニットによれば、第１流路部と可撓性流路部の一端を第１連結部により連結することにより、第１流路と可撓性流路が第１連結流路を介して連通した状態となる。また、第２流路部と可撓性流路部の他端を第２連結部により連結することにより、第２流路と可撓性流路が第２連結流路を介して連通した状態となる。第１流路、第２流路、第１連結流路、および第２連結流路が、可撓性流路と同様に、所定内径を有するとともに直線状に延びる流路となっている。そのため、流入口から流出口へ至るまで、液体が流通せずに滞留する空間が存在せず、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合が発生しない。

【0012】

本発明の一態様にかかる流路ユニットにおいて、好ましくは、前記第１流路部と前記本体部とが一体に形成されており、前記第２流路部と前記第２連結部とが一体に形成されており、前記本体部には、前記第１流路に沿って延びるとともに前記第１流路側に底部を有する挿入穴が形成されており、前記第１連結部は、前記挿入穴の前記底部に取り付けられており、前記第２連結部は、前記挿入穴の入口部に取り付けられていることを特徴とする。

【0013】

本構成の流路ユニットによれば、第２流路部と第２連結部とが一体に形成される一方、第１流路部と第１連結部とは一体に形成されていない。そのため、第１連結部に可撓性流路部の一端を取り付け、第２連結部に可撓性流路の他端を取り付けることにより、第２流路部、可撓性流路部、第１連結部、第２連結部を、第１流路部および本体部とは独立した組立体とすることができる。そして、組立体を本体部に形成された挿入穴へ挿入し、第１連結部を挿入穴の底部へ取り付けることにより、第１流路部と可撓性流路部が第１連結部により連結された状態となる。第２連結部を挿入穴の入口部へ取り付けることにより、挿入穴が閉塞されて圧力伝達空間が閉空間となる。このように、本構成の流路ユニットによれば、第１流路、第２流路、および第３流路が連通し、かつ可撓性流路部の外周面に圧力伝達空間が形成された状態を、比較的容簡易な組立作業により実現することができる。

【0014】

本発明の一態様にかかる流路ユニットにおいて、好ましくは、前記本体部には、外部空間と前記圧力伝達空間を連通させるとともに前記圧力伝達媒体を前記圧力伝達空間へ充填するための開口部が形成されており、前記開口部は、前記圧力伝達空間に前記圧力伝達媒体が充填された状態で封止部材により封止されていることを特徴とする。
本構成の流路ユニットによれば、本体部に形成された開口部から圧力伝達媒体を圧力伝達空間へ充填することができる。また、圧力伝達空間へ圧力伝達媒体を充填した後は、開口部を封止部材により封止することにより、圧力伝達空間を外部空間から隔離された閉空間とすることができる。

【0015】

本発明の一態様にかかる流路ユニットにおいて、好ましくは、前記圧力伝達空間には、脱泡処理が行われた前記圧力伝達媒体が充填されていることを特徴とする。
本構成の流路ユニットによれば、圧力伝達空間に充填される圧力伝達媒体は、脱泡処理が行われている。圧力伝達媒体が気泡を含まないため、可撓性流路部が第３流路を流通する液体の圧力により変形する場合に変形による変位が圧力伝達媒体に吸収されずに圧力検出部に確実に伝達される。

【0016】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置は、上記のいずれかに記載の流路ユニットと、前記圧力伝達部から前記圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付機構と、を備えることを特徴とする。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合を発生させることなく、流路を流通する液体の圧力を圧力検出ユニットに確実に伝達することが可能な流路ユニットを備える圧力検出装置を提供することができる。

【0017】

本発明の一態様にかかる流路ユニットの製造方法は、圧力検出部に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられる流路ユニットの製造方法であって、前記流路ユニットは、液体が流入する流入口および液体が流出する流出口のいずれか一方と連通する第１流路を有する第１流路部と、前記流入口および前記流出口のいずれか他方と連通する第２流路を有する第２流路部と、可撓性材料により形成される第３流路を有する可撓性流路部と、前記第１流路部と前記可撓性流路部の一端を連結するとともに前記第１流路と前記第３流路を連通させる第１連結流路を有する第１連結部と、前記第２流路部と前記可撓性流路部の他端を連結するとともに前記第２流路と前記第３流路を連通させる第２連結流路を有する第２連結部と、前記可撓性流路部の外周面を取り囲む圧力伝達空間を形成する本体部と、を備え、前記第１流路部と前記本体部とが一体に形成されており、前記第２流路部と前記第２連結部とが一体に形成されており、前記本体部には、前記第１流路に沿って延びるとともに前記第１流路側に底部を有する挿入穴が形成されており、前記可撓性流路部の一端に前記第１連結部を取り付けるとともに前記可撓性流路部の他端に前記第２連結部を取り付けて組立体とする工程と、前記組立体を前記挿入穴へ挿入し、前記第１連結部を前記底部に取り付け、前記第２連結部を前記挿入穴の入口部へ取り付ける工程と、前記本体部に、一方の面が前記圧力伝達空間に面するとともに他方の面が前記圧力検出部と接触可能な薄膜状の圧力伝達部を取り付ける工程と、前記圧力伝達空間に前記本体部に形成された開口部から非圧縮性の圧力伝達媒体を充填する工程と、前記圧力伝達媒体が充填された前記圧力伝達空間を減圧して前記圧力伝達媒体を脱泡処理する工程と、前記圧力伝達媒体が前記脱泡処理された後に前記開口部を封止して前記圧力伝達空間を閉空間とする工程と、を備えることを特徴とする。

【0018】

本発明の一態様にかかる流路ユニットの製造方法によれば、可撓性流路部と第１連結部と第２連結部とを組立体とした後に本体部へ挿入することにより、可撓性流路部の外周面を取り囲む圧力伝達空間を容易に形成することができる。また、圧力伝達媒体が充填された圧力伝達空間を減圧して圧力伝達媒体を脱泡処理することにより、第３流路を流通する液体の圧力を損失させることなく確実に圧力検出部に伝達することができる。

【0019】

本発明の一態様にかかる流路ユニットの製造方法において、好ましくは、前記圧力伝達媒体は、混合した状態で所定温度以上とすることによりゲル化する媒体からなり、前記圧力伝達媒体が前記脱泡処理された後に前記圧力伝達媒体を前記所定温度以上に加熱する工程を備えることを特徴とする。
本構成の流路ユニットの製造方法によれば、ゲル化前の粘度が低い液体状の圧力伝達媒体を本体部に形成された開口部から圧力伝達空間へ容易に充填することができる。また、圧力伝達空間に充填された圧力伝達媒体を加熱してゲル化させることにより、圧力伝達媒体の圧力伝達空間からの流出を抑制することができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合を発生させることなく、流路を流通する液体の圧力を圧力検出ユニットに確実に伝達することが可能な流路ユニット、圧力検出装置、および流路ユニットの製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】圧力検出装置の一実施形態を示す正面図である。

【図2】図１に示す圧力検出装置から流路ユニットを取り外した状態を示す図である。

【図3】図１に示す圧力検出ユニットから流路ユニットを取り外した状態を示すI-I矢視図である。

【図4】図１に示す圧力検出ユニットに流路ユニットを取り付けた状態を示すII-II矢視断面図である。

【図5】図１に示す流路ユニットのI-I矢視断面図である。

【図6】図５に示す流路ユニットのIII-III矢視断面図である。

【図7】図１に示す流路ユニットの背面図である。

【図8】図１に示す流路ユニットの底面図である。

【図9】図１に示す圧力検出ユニットに流路ユニットを取り付けた状態を示すI-I矢視図である。

【図10】流路ユニットの製造方法を示すフローチャートである。

【図11】可撓性流路部と第１連結部と第２連結部を組み立てた組立体を示す図である。

【図12】本体部の挿入穴に組立体を挿入した状態を示す図である。

【図13】圧力伝達空間に圧力伝達媒体を充填した状態を示す図である。

【図14】流路ユニットの第１変形例を示す図である。

【図15】流路ユニットの第２変形例を示す図である。

【図16】流路ユニットの第３変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されている。本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0023】

以下、本発明の一実施形態に係る圧力検出装置１００を図面に基づいて説明する。
図１および図２に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００は、圧力検出ユニット１０と、流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ向けた直線状の流通方向に沿って液体を流通させる流路が内部に形成された流路ユニット２０と、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付けるナット３０（取付機構）とを備える。

【0024】

本実施形態の圧力検出装置１００において、流路ユニット２０は、ナット３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられる。圧力検出装置１００は、流路ユニット２０がナット３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられて一体化した状態で、設置面（図示略）に取り付けられている。

【0025】

図３および図４に示すように、流路ユニット２０の流入口２０Ａには液体を流入口２０Ａへ流入させる流入側配管（図示略）が取り付けられ、流路ユニット２０の流出口２０Ｂには流出口２０Ｂから流出する液体を流通させる流出側配管（図示略）が取り付けられる。流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ向けた流路を流通する液体の圧力は、圧力検出ユニット１０によって検出される。ここで、液体とは、例えば、血液、細胞の培養液、液体試薬、透析液等の医療、ライフサイエンスの用途で扱われるものである。また、液体は、半導体製造用に用いられる薬液、洗浄液等であってもよい。

【0026】

図３に示すように、圧力検出ユニット１０は、設置面（図示略）に取り付けられる本体部１３を備える。図２に示すように、圧力検出ユニット１０の本体部１３には、内部に配置される圧力センサ１２と外部の制御装置（図示略）とを電気的に接続するケーブル１９が、ケーブル取付ナット１９ａを介して取り付けられている。

【0027】

次に、図１から図３を参照して圧力検出ユニット１０について詳細に説明する。図１から図３に示す圧力検出ユニット１０は、ダイアフラム（圧力検出部）１２ａに伝達される圧力を検出する装置である。
図１から図３に示すように、圧力検出ユニット１０は、本体部１３と、本体部１３の内部に配置される圧力センサ１２と、圧力センサ１２を本体部１３に保持するセンサ保持部１４と、圧力センサ１２とケーブル１９との間で電源および電気信号を伝達するためのセンサ基板（設定部）１５と、流路ユニット２０の流路を所定の取付位置に案内する一対のガイド部材（案内部）１６と、圧力センサ１２のゼロ点調整を行うためのゼロ点調整スイッチ（図示略）と、備える。

【0028】

図３に示すように、圧力センサ１２は、耐腐食性のある材料（例えば、サファイア）により薄膜状に形成されるダイアフラム１２ａ（圧力検出面）と、ダイアフラム１２ａに貼り付けられる歪抵抗（図示略）と、ダイアフラム１２ａを保持するベース部１２ｂとを備える。
圧力センサ１２は、伝達される圧力に応じてダイアフラム１２ａとともに変形する歪抵抗の変化に応じた圧力信号を出力する歪式のセンサである。ベース部１２ｂにはダイアフラム１２ａと連通する貫通穴（図示略）が形成されており、ダイアフラム１２ａの一方の面が大気圧に維持される。そのため、圧力センサ１２は、大気圧を基準にしたゲージ圧を検出するセンサとなっている。

【0029】

センサ保持部１４は、軸線Ｙ１（第１軸線）回りに円筒状に形成される部材である。センサ保持部１４は、上端の内径が圧力センサ１２の外径よりも小さいため、圧力センサ１２が上方へ抜けないように保持することができる。
図３に示すように、圧力検出ユニット１０の圧力センサ１２およびセンサ保持部１４は、本体部１３から軸線Ｙ１に沿って上方に突出し、ダイアフラム１２ａが頂部に配置される突部１１を形成する。

【0030】

センサ基板１５は、圧力センサ１２が出力する圧力信号を増幅する増幅回路（図示略）と、増幅回路により増幅された圧力信号をケーブル１９の圧力信号線（図示略）に伝達するインターフェース回路と、ケーブル１９を介して外部から供給される電源電圧を圧力センサ１２へ伝達する電源回路（図示略）と、ゼロ点調整スイッチが押下された場合にゼロ点調整を行うゼロ点調整回路（図示略）等を備える。ゼロ点調整回路は、ゼロ点調整スイッチが押下された場合に、その時点で圧力センサ１２が出力する圧力信号を基準値（例えば、ゼロ）として設定するように調整する回路である。

【0031】

図２は、図１に示す圧力検出装置１００から流路ユニット２０を取り外した状態を示す図である。図２に示すように、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられていない状態においては、圧力センサ１２のダイアフラム１２ａが外部へ露出した状態となっている。

【0032】

ガイド部材１６は、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際に、流路を所定の取付位置に案内する溝部１６ａを有する部材である。ガイド部材１６は、軸線Ｙ１に対して対象となる位置に一対で設けられている。一対のガイド部材１６は、流路の流入口２０Ａ側の一部と流出口２０Ｂ側の一部とを、所定の取付位置にそれぞれ案内する。所定の取付位置とは、図４に示すように、流路（後述する第１流路部２１）の外周面がガイド部材１６の溝部１６ａに囲まれる位置をいう。

【0033】

次に、図５から図９を参照して流路ユニット２０について詳細に説明する。
図５および図６に示すように、流路ユニット２０は、第１流路部２１と、第２流路部２２と、可撓性流路部２３と、第１連結部２４と、第２連結部２５と、本体部２６と、ダイアフラム（圧力伝達部）２７と、圧力伝達空間Ｓ１に充填された圧力伝達媒体２８と、蓋部（封止部材）２９と、を備える。

【0034】

第１流路部２１は、液体が流入する流入口２０Ａと連通する第１流路２０ａを有する。第２流路部２２は、液体が流出する流出口２０Ｂと連通する第２流路２０ｂを有する。可撓性流路部２３は、第３流路（可撓性流路）２０ｃを有する。第１連結部２４は、第１流路２０ａと第３流路２０ｃを連通させる第１連結流路２０ｄを有する。第２連結部２５は、第２流路２０ｂと第３流路２０ｃを連通させる第２連結流路２０ｅを有する。

【0035】

なお、以上の説明では、第１流路２０ａが流入口２０Ａと連通し、第２流路２０ｂが流出口２０Ｂと連通するものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、第１流路部２１に流出口２０Ｂを配置して第２流路部２２に流入口２０Ａを配置する場合、第１流路２０ａが流出口２０Ｂと連通して第２流路２０ｂが流入口２０Ａと連通する。

【0036】

第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、第３流路２０ｃ、第１連結流路２０ｄ、および第２連結流路２０ｅは、断面視が円形の流路であり、内径Ｄ１（例えば、０．３ｍｍ以上１０ｍｍ以下）を有するとともに軸線Ｘに沿って直線状に延びる流路である。これらの流路は、全体として、流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ至るまで、同一の内径で直線状に延びる流路を形成する。流路ユニット２０が備える流路は、流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ至るまでの全領域において内径の変化がない。

【0037】

第１流路部２１、第２流路部２２、第１連結部２４、および第２連結部２５は、例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）等の比較的硬度の高い熱可塑性樹脂により形成されている。そのため、第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、第１連結流路２０ｄ、および第２連結流路２０ｅは、流通する液体の圧力（例えば、０以上５００ＫＰａ（Ｇ）以下）により内径Ｄ１が変化することがない。

【0038】

一方、可撓性流路部２３は、シリコーンゴム、塩化ビニル、ブチルゴム、イソプレンゴム、天然ゴム等の非圧縮性の可撓性材料により形成されている。可撓性材料は、例えば、内径Ｄ１が０．３ｍｍ以上かつ１０ｍｍ以下であり、肉厚が０．０５ｍｍ以上かつ１．００ｍｍ以下とするのが望ましい。この場合、外径Ｄ２は、０．４ｍｍ以上かつ１２．０ｍｍ以下となる。可撓性材料の硬度は、例えば、タイプＡデュロメータ硬さ（ＩＳＯ７６１９に準拠）が５０（Ａ５０／Ｓ）以下とするのが望ましい。

【0039】

第１流路部２１は、軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成され、流入口２０Ａ側に取り付けられる配管（図示略）を係止するための段部２１ａを有する部材である。第１流路部２１は、本体部２６と同一材料により一体に形成されている。

【0040】

第２流路部２２は、軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成され、流出口２０Ｂ側に取り付けられる配管（図示略）を係止するための段部２２ａを有する部材である。第２流路部２２は、第２連結部２５と同一材料により一体に形成されている。

【0041】

可撓性流路部２３は、軸線Ｘに沿って延びる円筒状の形状を有し、一端が第１連結部２４の段部に取り付けられ、他端が第２連結部２５の段部に取り付けられている。可撓性流路部２３は、可撓性材料により形成されているため、第３流路２０ｃを流通する液体の圧力により微小に変形する。可撓性流路部２３は、第３流路２０ｃを流通する液体の圧力が大きくなるにつれて、内径が大きくなるように変形する。可撓性流路部２３の変形は、圧力伝達媒体２８を介してダイアフラム２７に伝達される。

【0042】

第１連結部２４は、第１流路部２１と可撓性流路部２３の流入口２０Ａ側の端部を連結する部材である。第１連結部２４の流入口２０Ａ側は、軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成されており、本体部２６の挿入穴２６ａの内径よりもわずかに小さい外径を有する。第１連結部２４の流出口２０Ｂ側は、可撓性流路部２３の流入口２０Ａ側の端部を係止するための段部を有する形状に形成されている。第１連結部２４は、第１流路部２１および本体部２６とは独立した構造体であり、接着剤により本体部２６の挿入穴２６ａの底部２６ｂに取り付けられている。

【0043】

第２連結部２５は、第２流路部２２と可撓性流路部２３の流出口２０Ｂ側の端部を連結する部材である。第２連結部２５の流出口２０Ｂ側は、軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成されており、本体部２６の挿入穴２６ａの内径よりもわずかに小さい外径を有する。第２連結部２５の流入口２０Ａ側は、可撓性流路部２３の流出口２０Ｂ側の端部を係止するための段部を有する形状に形成されている。第２連結部２５は、第２流路部２２と同一材料により一体に形成されている。第２連結部２５は、本体部２６とは独立した構造体であり、接着剤により本体部２６の挿入穴２６ａの入口部２６ｃに取り付けられている。

【0044】

本体部２６は、第１連結部２４、第２連結部２５、および可撓性流路部２３を内部に収容する部材である。本体部２６には、第１流路２０ａと同軸の軸線Ｘに沿って延びるとともに第１流路２０ａ側に底部２６ｂを有する挿入穴２６ａが形成されている。本体部２６には、ダイアフラム２７の平面に直交する軸線Ｙ２に沿って円筒状に延びる空間が形成されている。挿入穴２６ａと円筒状に延びる空間を併せた空間は、可撓性流路部２３の外周面を取り囲む圧力伝達空間Ｓ１となっている。

【0045】

本体部２６の圧力伝達空間Ｓ１の上方には、蓋部２９を取り付けるための開口部２６ｅが形成されている。開口部２６ｅは、外部空間Ｓ２と圧力伝達空間Ｓ１を連通させる貫通穴となっている。開口部２６ｅは、圧力伝達媒体２８を圧力伝達空間Ｓ１へ充填するために用いることができる。

【0046】

図５に示すように、本体部２６のナット３０側の端部には、凹部２６ｆが形成されている。ダイアフラム２７は、凹部２６ｆの底部に取り付けられているため、ダイアフラム２７が他の部材と接触して破損する不具合を抑制することができる。

【0047】

ダイアフラム２７は、耐腐食性のある材料（例えば、シリコーン樹脂，ポリカーボネート樹脂）により薄膜状に形成される部材である。図５に示すように、ダイアフラム２７は、本体部２６に形成された開口部２６ｄを閉塞するように、本体部２６に紫外線硬化接着剤等により取り付けられている。開口部２６ｄは、軸線Ｙ２に沿ったナット３０側に向けて開口している。ダイアフラム２７は、一方の面が圧力伝達空間Ｓ１に面し、他方の面が軸線Ｙ２に沿ったナット３０側に面している。他方の面は、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、圧力センサ１２のダイアフラム１２ａと接触する。

【0048】

図９に示すように流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態においては、流路ユニット２０のダイアフラム２７が圧力検出ユニット１０のダイアフラム１２ａに接触した状態となる。そのため、ダイアフラム２７は、可撓性流路部２３を流通する液体の圧力を、圧力伝達媒体２８を介してダイアフラム１２ａに伝達するための圧力伝達面となっている。

【0049】

圧力伝達媒体２８は、複数種類のシリコーン液を所定の割合（例えば、２種類を１：１）で混合し、所定時間（例えば、３０分間）に渡って所定温度（例えば、７０℃）以上を維持することにより、粘度を増加させたゲル状の媒体である。圧力伝達媒体２８の硬度は、例えば、針入度を５０以上とするのが望ましい。圧力伝達媒体２８は、蓋部２９により封止されて閉空間となっている圧力伝達空間Ｓ１に、隙間なく充填されている。

【0050】

なお、圧力伝達媒体２８としては、他の媒体を用いることができる。例えば、混合することにより室温（例えば、２０℃～３０℃）で粘度が増加する２種類のシリコーン液を用いてもよい。また、例えば、所定時間（例えば、３０分間）に渡って所定温度（例えば、７０℃）以上を維持することにより粘度が増加する単一種類のシリコーン液を用いてもよい。また、例えば、架橋剤を添加することにより粘度が増加する水と高分子の混合液を用いてもよい。また、例えば、凍結と解凍を繰り返すことで粘度が増加する水と高分子の混合液（ハイドロゲル）を用いてもよい。混合液が水を主成分とすることから、高分子として水溶性ポリマーを用いるのが好ましい。また、例えば、純水、生理食塩水等の他の非圧縮性媒体を用いることができる。

【0051】

蓋部２９は、軸線Ｙ２に沿って円筒状に形成される部材であり、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂により形成されている。蓋部２９の軸線Ｙ２回りの周方向の外周面には、雄ねじが形成されている。蓋部２９は、外周面に形成された雄ねじを、本体部２６の開口部２６ｅの内周面に形成される雌ねじに係合させることにより、本体部２６に固定される。本体部２６の開口部２６ｅは、圧力伝達空間Ｓ１に圧力伝達媒体２８が充填された状態で蓋部２９により封止されている。

【0052】

図７は、図１に示す流路ユニット２０の背面図である。図８は、図１に示す流路ユニット２０の底面図である。図７に示すように、流路ユニット２０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられていない状態においては、ダイアフラム２７が外部へ露出した状態となっている。一方、図８に示すように、ダイアフラム２７は本体部２６の凹部２６ｆの底部に配置されるため、凹部２６ｆおよびナット３０により保護された状態となる。そのため、作業者がダイアフラム２７を誤って触ってしまう危険が少ない。

【0053】

図３に示すように、流路ユニット２０の凹部２６ｆの外周面には、軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状溝部２６ｇが形成されている。一方、ナット３０の内周面には、軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状突起部３０ｂが形成されている。弾性変形可能な材料（例えば、樹脂材料）により形成されるナット３０は、凹部２６ｆの外周面に形成された環状溝部２６ｇに向けて押し込まれることにより、環状突起部３０ｂが環状溝部２６ｇに係合した状態となる。

【0054】

図３に示すように環状突起部３０ｂが環状溝部２６ｇに係合した状態において、環状突起部３０ｂの外周面と環状溝部２６ｇの内周面との間には、微小な隙間が設けられる。そのため、ナット３０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、突部１１に対して軸線Ｙ１回りに相対的に回転可能となっている。これにより、作業者は、圧力検出ユニット１０を設置面に固定した状態で、ナット３０を軸線Ｙ１回りに回転させることが可能である。

【0055】

図３に示すように、ナット３０は、軸線Ｙ２回りに延びる雌ねじ３０ａが内周面に形成された円環状の部材である。ナット３０は、雌ねじ３０ａを流路ユニット２０の突部１１の外周面に形成される雄ねじ１１ｃに締結し、あるいはその締結を解除することにより、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付ける機構である。

【0056】

次に、本実施形態の流路ユニット２０の製造方法について図１０から図１３を参照して説明する。図１０は、本実施形態の流路ユニット２０の製造方法を示すフローチャートである。図１１は、可撓性流路部２３と第１連結部２４と第２連結部２５を組み立てた組立体を示す図である。図１２は、本体部２６の挿入穴２６ａに組立体を挿入した状態を示す図である。図１３は、圧力伝達空間Ｓ１に圧力伝達媒体２８を充填した状態を示す図である。

【0057】

ステップＳ１０１で、流路ユニット２０を製造する作業者は、可撓性流路部２３の一端に第１連結部２４の段部を取り付け、可撓性流路部２３の他端に第２連結部２５に第２連結部２５の段部を取り付ける。図１１に示すように、可撓性流路部２３、第１連結部２４、および第２連結部２５は、これらが連結された組立体となる。

【0058】

ステップＳ１０２で、作業者は、ステップＳ１０１で組み立てた組立体を本体部２６の挿入穴２６ａへ挿入する。作業者は、組立体を挿入穴２６ａへ挿入する前に、挿入穴２６ａの内周面に接着剤を塗布する。接着剤を塗布する領域は、挿入穴２６ａの第１連結部２４と接触する底部２６ｂの近傍、および挿入穴２６ａの第２連結部２５と接触する入口部２６ｃの近傍である。

【0059】

図１２に示すように、底部２６ｂに接着剤が塗布されているため、組立体を挿入穴２６ａへ挿入すると、第１連結部２４が底部２６ｂに取り付けられた状態となる。また、入口部２６ｃに接着剤が塗布されているため、組立体を挿入穴２６ａへ挿入すると、第２連結部２５が入口部２６ｃに取り付けられた状態となる。図１２に示す状態で、圧力伝達空間Ｓ１は、開口部２６ｅを介して外部空間Ｓ２と連通した状態となっている。

【0060】

ステップＳ１０３で、作業者は、本体部２６の凹部２６ｆの底部に、圧力検出ユニット１０のダイアフラム１２ａと接触可能な薄膜状のダイアフラム２７を紫外線硬化接着剤等により取り付ける。ダイアフラム２７が取り付けられることにより、本体部２６の開口部２６ｄが閉塞された状態となる。

【0061】

ステップＳ１０４で、作業者は、複数種類のシリコーン液を所定の割合（例えば、２種類を１：１）で混合する。この作業は、混合したシリコーン液の粘度が上昇する所定温度（例えば、７０℃）よりも十分に低い温度（例えば、２０℃～３０℃の室温）の環境で行われる。シリコーン液は、流路ユニット２０とは別の容器（シリンジ等）で混合される。

【0062】

ステップＳ１０５で、作業者は、混合したシリコーン液を収納する容器を真空チャンバーに収容し、シリコーン混合液の脱泡処理を行う。脱泡処理とは、液体の圧力を段階的に－９０ｋＰａ（Ｇ）以下まで低下させることにより、液体に含まれる気泡を除去する処理をいう。シリコーン混合液は、圧力伝達媒体２８として用いられるものである。脱泡処理を行うのは、圧力伝達媒体２８に気泡が含まれていると、可撓性流路部２３から伝達される圧力の一部が気泡により吸収されてしまうためである。

【0063】

ステップＳ１０６で、作業者は、シリコーン混合液の充填処理を行う。作業者は、容器（図示略）に収納された脱泡処理済みのシリコーン混合液を本体部２６に形成された開口部２６ｅから圧力伝達空間Ｓ１へ充填する。容器がシリンジである場合、作業者は、シリンジの先端を開口部２６ｅに挿入した状態でプランジャーを押すことにより、シリコーン混合液を圧力伝達空間Ｓ１へ注入する。圧力伝達空間Ｓ１への圧力伝達媒体２８の充填が完了すると、図１３に示す状態となる。

【0064】

ステップＳ１０７で、作業者は、圧力伝達媒体２８が充填された流路ユニット２０を真空チャンバーに収容し、流路ユニット２０の脱泡処理を行う。流路ユニット２０の脱泡処理は、流路ユニット２０が存在する外部空間Ｓ２を段階的に－９０ｋＰａ（Ｇ）以下まで減圧して、圧力伝達空間Ｓ１に存在する空気を除去する処理である。流路ユニット２０の脱泡処理を行うことにより、圧力伝達空間Ｓ１を形成する本体部２６の内周面と、圧力伝達空間Ｓ１に充填された圧力伝達媒体２８との隙間に存在する空気が外部空間Ｓ２へ放出される。

【0065】

ステップＳ１０８で、作業者は、脱泡処理が行われた流路ユニット２０を真空チャンバーから取り出し、大気圧状態の環境で所定温度以上に維持された恒温槽（図示略）で加熱する。流路ユニット２０に充填された圧力伝達媒体２８は、混合した状態で所定温度（例えば、７０℃）以上とすることにより粘度が上昇してゲル化する複数の媒体からなる。流路ユニット２０は、恒温槽において、少なくとも所定時間（例えば、３０分間）に渡って所定温度以上に維持される。シリコーン混合液は、粘度が増加してゲル状の媒体となる。

【0066】

ステップＳ１０９で、作業者は、圧力伝達媒体２８が脱泡処理された後に開口部２６ｅを蓋部２９により封止して圧力伝達空間Ｓ１を閉空間とする。以上の工程により、閉空間である圧力伝達空間Ｓ１に圧力伝達媒体２８が充填された流路ユニット２０が製造される。

【0067】

以上で説明した製造方法は、圧力伝達媒体２８として、所定温度以上に加熱することによりゲル化する媒体を用いる場合に実行される製造方法である。圧力伝達媒体２８として、架橋剤を添加することにより粘度が増加する水と高分子の混合液を用いる場合、以下の点で図１０に示す製造方法を変形したものとなる。第１に、ステップＳ１０４の工程は、水と高分子と架橋剤を混合して混合液を作成する工程となる。第２に、ステップＳ１０５の工程は、ステップＳ１０４で混合した混合液の脱泡処理を行う工程となる。第３に、ステップＳ１０６の工程は、ステップＳ１０５で脱泡処理した混合液を充填する充填処理を行う工程となる。第５に、ステップＳ１０８の工程は、ステップＳ１０７で脱泡処理された流路ユニットの混合液を室温（例えば、２０℃～３０℃）で所定時間（例えば、１２時間）放置してゲル化させる工程となる。

【0068】

また、圧力伝達媒体２８として、凍結と解凍を繰り返すことで粘度が増加する水と高分子の混合液を用いる場合、前述した変形例にかかる製造方法を変形したものとなる。すなわち、ステップＳ１０８の工程は、流路ユニットに充填された混合液の凍結と解凍を繰り返して混合液をゲル化させる工程となる。

【0069】

以上説明した本実施形態が奏する作用及び効果について説明する。
本実施形態の流路ユニット２０によれば、第１流路部２１と可撓性流路部２３の一端が第１連結部２４により連結され、第１流路２０ａと第３流路２０ｃが第１連結流路２０ｄを介して連通した状態となる。また、第２流路部２２と可撓性流路部２３の他端が第２連結部２５により連結され、第２流路２０ｂと第３流路２０ｃが第２連結流路２０ｅを介して連通した状態となる。第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、第３流路２０ｃ、第１連結流路２０ｄ、および第２連結流路２０ｅは、それぞれ内径がＤ１で同じで直線状に延びる流路である。そのため、流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ至るまで、液体が流通せずに滞留する空間が存在せず、雑菌の発生や液体の凝固等の不具合が発生しない。

【0070】

また、本実施形態の流路ユニット２０によれば、可撓性流路部２３へ流入した液体の圧力は、第３流路２０ｃの内周面に伝達される。可撓性流路部２３の外周面を取り囲むように圧力伝達空間Ｓ１が形成され、この圧力伝達空間Ｓ１に非圧縮性の圧力伝達媒体２８が充填されている。圧力伝達媒体２８が非圧縮性であるため、可撓性材料により形成される第３流路２０ｃが液体の圧力により微小に変形した場合でも、圧力伝達媒体２８の容積は変化しない。そのため、第３流路２０ｃの変形に伴ってダイアフラム２７が変形する。流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態では、ダイアフラム２７がダイアフラム１２ａと接触するため、ダイアフラム２７の変形に応じた圧力がダイアフラム１２ａに伝達される。このように、本実施形態の流路ユニット２０によれば、流路ユニット２０を流通する液体の圧力を圧力検出ユニット１０に確実に伝達することができる。

【0071】

本実施形態の流路ユニット２０によれば、第２流路部２２と第２連結部２５とが一体に形成される一方、第１流路部２１と第１連結部２４とは一体に形成されていない。そのため、第１連結部２４に可撓性流路部２３の一端を取り付け、第２連結部２５に可撓性流路部２３の他端を取り付けることにより、第２流路部２２、可撓性流路部２３、第１連結部２４、第２連結部２５を、第１流路部２１および本体部２６とは独立した組立体とすることができる。

【0072】

そして、組立体を本体部２６に形成された挿入穴２６ａへ挿入し、第１連結部２４を挿入穴２６ａの底部２６ｂへ取り付けることにより、第１流路部２１と可撓性流路部２３が第１連結部２４により連結された状態となる。第２連結部２５を挿入穴２６ａの入口部２６ｃへ取り付けることにより、挿入穴２６ａが閉塞されて圧力伝達空間Ｓ１が閉空間となる。このように、本実施形態の流路ユニット２０によれば、第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、および第３流路２０ｃが連通し、かつ可撓性流路部２３の外周面に圧力伝達空間Ｓ１が形成された状態を、比較的容簡易な組立作業により実現することができる。

【0073】

本実施形態の流路ユニット２０によれば、本体部２６に形成された開口部２６ｅから圧力伝達媒体２８を圧力伝達空間Ｓ１へ充填することができる。また、圧力伝達空間Ｓ１へ圧力伝達媒体２８を充填した後は、開口部２６ｅを蓋部２９により封止することにより、圧力伝達空間Ｓ１を外部空間Ｓ２から隔離された閉空間とすることができる。

【0074】

本実施形態の流路ユニット２０によれば、圧力伝達空間Ｓ１に充填される圧力伝達媒体２８は、脱泡処理が行われている。圧力伝達媒体２８が気泡を含まないため、可撓性流路部２３が第３流路２０ｃを流通する液体の圧力により変形する場合に変形による変位が圧力伝達媒体２８に吸収されずにダイアフラム１２ａに確実に伝達される。

【0075】

本実施形態の流路ユニット２０の製造方法によれば、可撓性流路部２３と第１連結部２４と第２連結部２５とを組立体とした後に本体部２６の挿入穴２６ａへ挿入することにより、可撓性流路部２３の外周面を取り囲む圧力伝達空間Ｓ１を容易に形成することができる。また、圧力伝達媒体２８が充填された圧力伝達空間Ｓ１を減圧して圧力伝達媒体２８を脱泡処理することにより、第３流路２０ｃを流通する液体の圧力を損失させることなく確実にダイアフラム１２ａに伝達することができる。

【0076】

本実施形態の流路ユニット２０の製造方法によれば、粘度が低い圧力伝達媒体２８を本体部２６に形成された開口部２６ｅから圧力伝達空間Ｓ１へ容易に充填することができる。また、圧力伝達空間Ｓ１に充填された圧力伝達媒体２８の粘度を上昇させることにより、圧力伝達媒体２８の圧力伝達空間Ｓ１からの流出を抑制することができる。

【0077】

以上、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。上記実施形態の構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせたりすることができる。

【0078】

例えば、以上の説明においては、本体部２６の開口部２６ｅを外周面に雄ねじが形成された蓋部２９により封止するものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、図１４の第１変形例に示すように、本体部２６の開口部２６ｅを鉄等の金属材料により形成された球体（封止部材）２９Ａにより封止してもよい。この場合、開口部２６ｅの内周面に雌ねじは形成されておらず、開口部２６ｅの内径は球体２９Ａの外径よりも微小に小さくなっている。作業者は球体２９Ａを開口部２６ｅに押し込んで隙間嵌めされた状態とすることにより、開口部２６ｅを封止する。

【0079】

また、例えば、図１５の第２変形例に示すように、本体部２６の開口部２６ｅを樹脂材料により形成された蓋部（封止部材）２９Ｂにより封止してもよい。この場合、開口部２６ｅの内周面に雌ねじは形成されておらず、開口部２６ｅの内径は蓋部２９Ｂの外径よりも微小に小さくなっている。作業者は蓋部２９Ｂを開口部２６ｅに打ち込んで隙間嵌めされた状態とすることにより、開口部２６ｅを封止する。

【0080】

また、例えば、図１６の第３変形例に示すように、本体部２６の開口部２６ｅを接着剤で充填することにより封止してもよい。この場合、開口部２６ｅの内周面に雌ねじは形成されていない。

【0081】

また、以上の説明において、第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、第３流路２０ｃ、第１連結流路２０ｄ、および第２連結流路２０ｅは、全ての領域において同一の内径を有するものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、第３流路２０ｃの内径をＤ１ａ（例えば、１ｍｍ以上かつ１０ｍｍ以下）とし、第１流路２０ａ、第２流路２０ｂ、第１連結流路２０ｄ、および第２連結流路２０ｅの内径をＤ１ａよりも小さいＤ１ｂ（例えば、０．１５ｍｍ以上かつ１０ｍｍ未満）としてもよい。

【符号の説明】

【0082】

１０・・・圧力検出ユニット、 １２ａ・・・ダイアフラム、 ２０・・・流路ユニット、 ２０Ａ・・・流入口、 ２０Ｂ・・・流出口、 ２０ａ・・・第１流路、 ２０ｂ・・・第２流路、 ２０ｃ・・・第３流路、 ２０ｄ・・・第１連結流路、 ２０ｅ・・・第２連結流路、 ２１・・・第１流路部、 ２２・・・第２流路部、 ２３・・・可撓性流路部、 ２４・・・第１連結部、 ２５・・・第２連結部、 ２６・・・本体部、 ２６ａ・・・挿入穴、 ２６ｂ・・・底部、 ２６ｃ・・・入口部、 ２６ｄ・・・開口部、 ２６ｅ・・・開口部、 ２７・・・ダイアフラム、 ２８・・・圧力伝達媒体、 ２９・・・蓋部、 １００・・・圧力検出装置、 Ｓ１・・・圧力伝達空間、 Ｓ２・・・外部空間、 Ｘ，Ｙ１，Ｙ２・・・軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】