特許 7132706 汽水分離タンク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-30

(45)【発行日】2022-09-07

(54)【発明の名称】汽水分離タンク

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20220831BHJP

   B01D 19/00 20060101ALI20220831BHJP

   B01J 4/00 20060101ALI20220831BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20220831BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

B01D19/00 B

B01J4/00 103

B23Q3/08 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2017195918

(22)【出願日】2017-10-06

(65)【公開番号】P2019071326

(43)【公開日】2019-05-09

【審査請求日】2020-08-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】植山 博光

(72)【発明者】

【氏名】楠 欣浩

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－１４４１８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２８９２５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１５３１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３４３０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０８７５６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１９３０５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ０１Ｄ １９／００

Ｂ０１Ｊ ４／００

Ｂ２３Ｑ ３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

汽水分離タンクであって、
吸引ポンプを介して吸引された気体と液体との混合流体が導入される対面する２つの導入口と、
該２つの導入口より下方に形成された液体排出口を含む液体貯留部と、
該液体貯留部より上方に形成され吸引源に接続される気体排出口と、を有するタンク本体と、
該タンク本体の内部に配設され、該導入口から導入された該混合流体が該気体排出口へ流出するのを防止する２つの流出防止壁と、
該２つの導入口の双方に対面して配設され、該２つの導入口から導入された前記混合流体の流入速度を減速させる１つの減速壁と、
を備え、
該２つの導入口は、該汽水分離タンクの対面する側面にそれぞれ配設され、
該２つの流出防止壁は、該２つの導入口から該液体排出口側に向けて平行に並んで該汽水分離タンクの上面から垂下し、
該液体排出口に近い側の流出防止壁の下端は、該液体排出口から遠い側の流出防止壁の下端よりも低い位置にある
汽水分離タンク。

【請求項2】

前記液体貯留部の底部に立設され、前記液体排出口から排出される液体の流出量を制限する堤防壁を備えた、請求項１に記載の汽水分離タンク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、汽水分離タンクに関する。

【背景技術】

【0002】

被加工物を研削する研削装置や切削する切削装置などの加工装置は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを備えている。チャックテーブルには、吸引力を生成するためのバキューム生成機構が接続されている。バキューム生成機構は、チャックテーブルに接続された水封式バキュームポンプと、水封式バキュームポンプから排出される水を循環利用するための汽水分離タンクとを備えている。汽水分離タンクには、気体と液体とからなる混合流体が導入される導入口と、タンク内に導入された混合流体に含まれる気体と液体とを排出する気体排出口と液体排出口とが形成され、気体排出口は吸引源に接続された構成となっている（例えば、下記の特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００２－１４４１８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような汽水分離タンクは、比較的大きく、加工装置に外付けされて配設されている。汽水分離タンクを小型化しようとすると、導入口と気体排出口との間隔が広く取れないため、タンク内に導入された混合流体がそのまま汽水分離されない状態で気体排出口から排出されてしまい問題となっている。

【0005】

本発明の目的は、小型化を可能とする汽水分離タンクを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、汽水分離タンクであって、吸引ポンプを介して吸引された気体と液体との混合流体が導入される対面する２つの導入口と、該２つの導入口より下方に形成された液体排出口を含む液体貯留部と、該液体貯留部より上方に形成され吸引源に接続される気体排出口と、を有するタンク本体と、該タンク本体の内部に配設され、該導入口から導入された該混合流体が該気体排出口へ流出するのを防止する２つの流出防止壁と、該２つの導入口の双方に対面して配設され、該２つの導入口から導入された前記混合流体の流入速度を減速させる１つの減速壁と、を備え、該２つの導入口は、該汽水分離タンクの対面する側面にそれぞれ配設され、該２つの流出防止壁は、該２つの導入口から該液体排出口側に向けて平行に並んで該汽水分離タンクの上面から垂下し、該液体排出口に近い側の流出防止壁の下端は、該液体排出口から遠い側の流出防止壁の下端よりも低い位置にある汽水分離タンクである。

【0007】

また、上記液体貯留部の底部に立設され、前記液体排出口から排出される液体の流出量を制限する堤防壁を備えることが望ましい。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係る汽水分離タンクは、吸引ポンプを介して吸引された気体と液体との混合流体が導入される導入口と、導入口より下方に形成された液体排出口を含む液体貯留部と、液体貯留部より上方に形成され吸引源に接続される気体排出口と、を有するタンク本体と、タンク本体の内部に配設され、導入口から導入された混合流体が気体排出口へ流出するのを防止する流出防止壁とを備えたため、導入口と気体排出口との間隔を広げることなく導入口から気体排出口までの経路を長くとり、タンク本体を小型化することが可能となる。

【0009】

また、本発明に係る汽水分離タンクは、上記液体貯留部の底部に立設され、上記液体排出口から排出される液体の流出量を制限する堤防壁を備えたため、液体排出口から液体が過度に排出するのを防止することができる。

【0010】

さらに、本発明に係る汽水分離タンクは、上記導入口に対面して配設され、導入口から導入された上記混合流体の流入速度を減速させる減速壁を備えたため、タンク本体内に導入された混合流体の流れの勢いを弱めることができ、混合流体が気体排出口から流出するのを防止しうる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】切削装置の一例の構成を示す斜視図である。

【図2】保持テーブル及びバキューム生成機構の構成を示す説明図である。

【図3】汽水分離タンクの第１例を示す側面図である。

【図4】汽水分離タンクの第２例を示す側面図である。

【図5】（ａ）は汽水分離タンクの第３例を示す平面図である。（ｂ）は汽水分離タ ンクの第３例を示す側面図である。

【図6】（ａ）は汽水分離タンクの第４例を示す平面図である。（ｂ）は汽水分離タ ンクの第４例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１に示す切削装置１は、矩形板状の板状ワークＷに切削加工を施す切削装置の一例である。板状ワークＷは、例えばＣＳＰ（Chip Size Package）基板やＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）基板などのパッケージ基板である。板状ワークＷは、その表面において格子状に設けられた分割予定ラインＳによって区画されて複数の領域が形成され、個々の領域にデバイスＤが埋設されている。

【0013】

切削装置１は、装置ベース１００を有し、装置ベース１００の上には、板状ワークＷを吸引保持する保持テーブル１０ａ、１０ｂと、保持テーブル１０ａ、１０ｂをＸ軸方向に加工送りする加工送り手段１３ａ、１３ｂとを備えている。加工送り手段１３ａ、１３ｂは、Ｘ軸方向に延在するボールネジ１３０と、ボールネジ１３０の一端に接続されたモータ１３１と、ボールネジ１３０と平行に延在する一対のガイドレール１３２と、Ｘ軸方向に水平に移動可能な移動基台１３３とを備えている。各移動基台１３３の上面には、保持テーブル１０ａ、１０ｂを支持した回転支持台１７が立設されている。移動基台１３３の下面には、一対のガイドレール１３２が 接し、移動基台１３３の中央に形成されたナットにはボールネジ１３０が螺合している。モータ１３１によって駆動されてボールネジ１３０が回動することにより、移動基台１３３とともに保持テーブル１０ａ、１０ｂをガイドレール１３２に沿ってＸ軸方向に移動させることができる。

【0014】

装置ベース１００のＸ軸方向後部において立設された門型のコラム１０１を有している。コラム１０１には、板状ワークＷを切削する切削手段１４ａ、１４ｂと、切削手段１４ａ、１４ｂをそれぞれＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段１５ａ、１５ｂと、切削手段１４ａ、１４ｂをそれぞれＺ軸方向に昇降させる昇降手段１６ａ、１６ｂとが配設されている。切削手段１４ａ、１４ｂは、回転軸方向（Ｙ軸方向）の軸心を有するスピンドル１４０と、スピンドル１４０を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１４１と、スピンドル１４０の先端に装着された切削ブレード１４２とを備えている。図示しないモータによってスピンドル１４０を回転させることにより、切削ブレード１４２を回転させることができる。

【0015】

割り出し送り手段１５ａ、１５ｂは、Ｙ軸方向に延在するボールネジ１５０と、ボールネジ１５０の先端に接続されたモータ１５１と、ボールネジ１５０と平行に延在するガイドレール１５２と、切削手段１４ａ、１４ｂをＹ軸方向にそれぞれ移動させる移動部１５３とを備えている。移動部１５３の側部に各ガイドレール１５２が 接しており、移動部１５３の中央部に形成されたナットにはボールネジ１５０が螺合している。モータ１５１によって駆動されてボールネジ１５０が回動することにより、移動部１５３とともに切削手段１４ａ、１４ｂをそれぞれＹ軸方向に割り出し送りすることができる。本実施形態に示すコラム１０１には、開口１０２が形成されており、切削手段１４ａ、１４ｂがＹ軸方向において互いに離反する向きに移動する際に、スピンドルハウジング１４１の後部側が開口１０２を通過する。昇降手段１６ａ、１６ｂは、Ｚ軸方向に延在する図示しないボールネジと、ボールネジの一端に接続されたモータ１６０とを少なくとも備え、モータ１６０によって駆動されてボールネジが回動することにより、切削手段１４ａ、１４ｂをそれぞれＺ軸方向に昇降させることができる。

【0016】

図２に示すように、保持テーブル１０ａ、１０ｂは、板状ワークＷを吸引保持する治具チャックテーブル１１と、治具チャックテーブル１１が固定されるテーブルベース１２とにより構成され、保持テーブル１０ａ、１０ｂには吸引力を生成するためのバキューム生成機構２が接続されている。治具チャックテーブル１１は、例えば四角形状に形成され、上面が板状ワークＷを吸引保持する保持面１１ａとなっている。治具チャックテーブル１１は、分割予定ラインＳに対応したブレード逃げ溝１１１が形成されるとともにブレード逃げ溝１１１で区画された各領域に板状ワークＷの各チップを吸引するチップ吸引孔１１０が形成されている。

【0017】

テーブルベース１２には、治具チャックテーブル１１を吸引保持するためのテーブルベース吸引孔１２２が形成されている。テーブルベース吸引孔１２２は、バルブ４ａを介して吸引源３ａに接続されている。バルブ４ａを開くことにより、テーブルベース吸引孔１２２を通じてテーブルベース１２の上面に吸引力を作用させて治具チャックテーブル１１を吸引保持することができる。また、テーブルベース１２には、チップ吸引孔１１０に連通する吸引溝１２０と、一端が吸引溝１２０に連通し他端が吸引経路４０に連通する吸引孔１２１とが形成されている。

【0018】

バキューム生成機構２は、吸引ポンプ３０と、本発明に係る汽水分離タンク２０とを備えている。吸引ポンプ３０は、ケーシング３１と、ケーシング３１に対して偏心する位置に回転可能に取り付けられた羽根車３２とからなる水封式バキュームポンプである。ケーシング３１には、吸引口３３と水供給口３４と排出口３５とが形成されている。吸引口３３は、吸引経路４０を通じて吸引孔１２１に連通しており、板状ワークＷの切削時に板状ワークＷに供給された加工水を吸引口３３で吸引することができる。吸引経路４０には、吸引ポンプ３０側から気体や液体などが保持テーブル１０ａ、１０ｂ側へ逆流するのを防止する逆止弁５が配設されている。汽水分離タンク２０の構成については、後述で詳しく説明する。

【0019】

水供給口３４には水供給源６が接続されている。水供給源６は、例えば市水などの水が溜められたタンクである。水供給口３４は、循環経路４１を通じて汽水分離タンク２０に連通しており、排出口３５は、循環経路４２を通じて汽水分離タンク２０に連通している。吸引ポンプ３０では、水供給源６から送出された水を水供給口３４からケーシング３１内に供給しつつ羽根車３２を回転させることにより、遠心力によってケーシング３１の内壁に沿ってリング状の封水を形成しながら吸引口３３からエア及び加工水を吸引するとともに、その吸引したエアや加工水を圧縮して排出口３５から混合流体として排出する構成となっている。

【0020】

［汽水分離タンクの第１例］
次に、汽水分離タンク２０の構成について説明する。図３に示すように、汽水分離タンク２０は、縦置き型で箱状のタンク本体２１を備えている。タンク本体２１は、図２に示した吸引ポンプ３０を介して混合流体７が導入される導入口２１１と、導入口２１１より下方に形成された液体排出口２１３と循環液流出口２１５とを含む液体貯留部２１２と、液体貯留部２１２より上方に形成された気体排出口２１４と、液体排出口２１３と気体排出口２１４との間の所定の高さ位置に形成されたオーバーフロー排出口２１６とを有している。

【0021】

図３の例に示す導入口２１１及び気体排出口２１４は、タンク本体２１の上面２１０ａに形成されている。導入口２１１は、図２に示す循環経路４２を介して吸引ポンプ３０の排出口３５に連通している。導入口２１１から混合流体７がタンク本体２１内に導入されると、液体貯留部２１２の底部２１２ａに水８が貯留される。特に、液体貯留部２１２の底部２１２ａには、混合流体７から分離された水８が自重によって溜まりやすくなっている。なお、点線で示す部分は、液体貯留部２１２に貯留された水８の水面を図示したものである。

【0022】

液体排出口２１３は、図２に示すバルブ４ｂを介して排水管４４に接続されており、液体貯留部２１２に貯留された水８が液体排出口２１３から排水管４４へと排出される構成となっている。循環液流出口２１５は、循環経路４１を介して吸引ポンプ３０の水供給口３４に連通しており、液体貯留部２１２に貯留された水８を吸引ポンプ３０に供給して循環利用することができる。

【0023】

気体排出口２１４は、吸引源３ｂに接続されている。吸引源３ｂの稼働によって、タンク本体２１内で混合流体７から分離したエア９を吸引して気体排出口２１４からタンク本体２１の外側へ排出することができる。オーバーフロー排出口２１６は、オーバーフロー経路４３を介して排水管４４に接続されている。これにより、液体貯留部２１２に貯留された水８の水量が増えて所定の水位を越えたらオーバーフロー排出口２１６から水８を排出することが可能となっている。

【0024】

タンク本体２１の内部には、導入口２１１から導入された混合流体７が気体排出口２１４へ流出するのを防止する流出防止壁２２を備えている。流出防止壁２２によって導入口２１１側の空間２００と気体排出口２１４側の空間２０１とに仕切られている。これにより、導入口２１１から空間２００に導入された混合流体７が流出防止壁２２によって遮られるため、混合流体７が空間２０１へ流出するのを防ぎ、混合流体７が水８とエア９とに分離されないまま気体排出口２１４から流出するのを防ぐことができる。このように、本発明に係る汽水分離タンク２０は、タンク本体２１の内部に流出防止壁２２を設けたため、導入口２１１と気体排出口２１４との間隔を広げることなく導入口２１１から気体排出口２１４までの経路を長くとり、タンク本体２１を小型化することができる。

【0025】

液体貯留部２１２の底部２１２ａに、液体排出口２１３から排出される水８の流出量を制限する堤防壁２３が立設されており、堤防壁２３によって液体貯留部２１２が２つの領域に区画されている。そのため、堤防壁２３から図中左側（循環液流出口２１５側）の領域に水８を貯留しつつ、循環液流出口２１５から吸引ポンプ３０に向けて水を循環供給することができる。また、液体貯留部２１２に貯留された水８が堤防壁２３を越えて図中右側（液体排出口２１３側）の領域に水８が流れ込むことで、液体排出口２１３から水８を排出することができる。このように、本発明に係る汽水分離タンク２０は、液体貯留部２１２の底部２１２ａに堤防壁２３を設けたため、液体排出口２１３から水８が過度に排出するのを防止することができる。なお、堤防壁２３の高さは、特に限定されず任意に設定される。

【0026】

タンク本体２１の内部には、導入口２１１に対面して配設され、導入口２１１から導入された混合流体７の流入速度を減速させる減速壁２４を備えている。減速壁２４と流出防止壁２２との間には、隙間２４０が形成されている。導入口２１１からタンク本体２１の内部に混合流体７が導入されると、導入口２１１の直下にある減速壁２４に混合流体７が当たって減速するとともに、混合流体７が隙間２４０を通過して液体貯留部２１２に向けて流下する。このように、本発明に係る汽水分離タンク２０は、タンク本体２１の内部に導入口２１１から導入された混合流体７の流入速度を減速させる減速壁２４を設けたため、タンク本体２１内に導入された混合流体７の流れの勢いを弱めることができ、混合流体７が気体排出口２１４から流出するのを防止しうる。

【0027】

［汽水分離タンクの第２例］
図４に示す汽水分離タンク２０Ａは、縦置き型で箱状のタンク本体２１Ａを備えている。タンク本体２１Ａは、混合流体７が導入される導入口２１１ａをタンク本体２１Ａの側面２１０ｂに有している。第２例では、混合流体７が側面２１０ｂ側の導入口２１１ａからタンク本体２１Ａの内部に導入される。なお、第２例において上記した汽水分離タンク２０と同様の構成部分については、共通の符号を付している。

【0028】

タンク本体２１Ａの内部には、導入口２１１ａから導入された混合流体７が気体排出口２１４へ流出するのを防止するとともに導入口２１１ａから導入された混合流体７の流入速度を減速させることができる流出防止壁兼減速壁２５を備えている。流出防止壁兼減速壁２５によって、導入口２１１ａ側の空間２００と気体排出口２１４側の空間２０１とに仕切られ、導入口２１１ａから空間２００に導入された混合流体７が流出防止壁兼減速壁２５によって遮られるため、混合流体７が空間２０１へ流入するのを防ぐことができる。また、導入口２１１ａからタンク本体２１Ａの内部に導入された混合流体７は、流出防止壁兼減速壁２５に当たってから液体貯留部２１２に向けて流下するため、混合流体７の流入速度を減速させることができる。このように、汽水分離タンク２０Ａについても、上記汽水分離タンク２０と同様、混合流体７が気体排出口２１４から流出するのを防止しうる。

【0029】

［汽水分離タンクの第３例］
図５（ａ）及び（ｂ）に示す汽水分離タンク２０Ｂは、横置き型で箱状のタンク本体２１Ｂを備えている。タンク本体２１Ｂは、図示しない吸引ポンプを介して混合流体７が導入される第１導入口２１７ａと第２導入口２１７ｂと、第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂより下方に形成された液体排出口２１９と循環液流出口２２０とを含む液体貯留部２１８と、液体貯留部２１８より上方に形成された気体排出口２２１と、液体排出口２１９と気体排出口２２１との間の所定の高さ位置に形成されたオーバーフロー排出口２２２とを有している。

【0030】

タンク本体２１Ｂの内部には、図５（ｂ）に示すように、第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂから導入された混合流体７が気体排出口２１４へ流出するのを防止する流出防止壁２６を備えている。流出防止壁２６は、タンク本体２１Ｂの後方側で、かつ、第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂと気体排出口２２１との間の位置に配設されている。流出防止壁２６により第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂ側の空間２０２と気体排出口２２１側の空間２０３とに仕切られている。これにより、第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂから空間２０２に導入された混合流体７が流出防止壁２６によって遮られるため、混合流体７が空間２０３へ流入するのを防ぎ、混合流体７が水８とエア９とに分離されないまま気体排出口２２１から流出するのを防ぐことができる。

【0031】

第１例と同様に、液体貯留部２１８の底部２１８ａに、液体排出口２１９から排出される水８の流出量を制限する堤防壁２７が立設されており、この堤防壁２７によって液体貯留部２１８が２つの領域に区画されている。そのため、堤防壁２７から図中左側（循環液流出口２２０側）の領域に水８を貯留しつつ、循環液流出口２２０から吸引ポンプに向けて水８を循環供給することができる。また、液体貯留部２１８に貯留された水８が堤防壁２７を越えて図中右側（液体排出口２１９側）の領域に水８が流れ込むことで、液体排出口２１９から水８を排出することができる。

【0032】

タンク本体２１の内部には、流出防止壁２６の下端に連接され水平方向に延在する減速壁２８を備えている。第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂからタンク本体２１Ｂの内部に混合流体７が導入されると、第１導入口２１７ａ及び第２導入口２１７ｂの直下にある減速壁２８に混合流体７が当たって減速するとともに、減速壁２８に沿って混合流体７がガイドされ液体貯留部２１８に向けて流下する。このように、汽水分離タンク２０Ｂについても、上記汽水分離タンク２０と同様、混合流体７が気体排出口２２１から流出するのを防止しうる。

【0033】

［汽水分離タンクの第４例］
図６（ａ）及び（ｂ）に示す汽水分離タンク２０Ｃは、横置き型で箱状のタンク本体２１Ｃを備えている。タンク本体２１Ｃは、図示しない吸引ポンプを介して混合流体７が導入される第１導入口２２３ａと第２導入口２２３ｂとをタンク本体２１Ｃの側面２１０ｂに有している。なお、第４例において上記した汽水分離タンク２０Ｂと同様の構成部分については、共通の符号を付している。

【0034】

タンク本体２１Ｃの内部には、図６（ｂ）に示すように、第１導入口２２３ａ及び第２導入口２２３ｂから導入された混合流体７が気体排出口２２１へ流出するのを防止する第１流出防止壁２９０と第２流出防止壁２９１とからなる流出防止壁２９を備えている。第１流出防止壁２９０は、第１導入口２２３ａ及び第２導入口２２３ｂよりも後方側の位置に配設されている。第２流出防止壁２９１は、第１流出防止壁２９０と所定の間隔をあけて、かつ、気体排出口２２１よりも前方側の位置に配設されている。流出防止壁２９により、タンク本体２１Ｃの内部が３つの空間２０４，２０５，２０６に仕切られている。これにより、第１導入口２２３ａ及び第２導入口２２３ｂから空間２０４に導入された混合流体７が第１流出防止壁２９０によって遮られ、たとえ混合流体７が空間２０５に流入しても、第２流出防止壁２９１によって遮られるため、混合流体７が空間２０６へ流入するのを防ぎ、気体排出口２２１から混合流体７が流出するのを防ぐことができる。

【0035】

第３例と同様に、液体貯留部２１８の底部２１８ａに、液体排出口２１９から排出される水８の流出量を制限する堤防壁２７ａが立設されており、この堤防壁２７ａによって液体貯留部２１８が２つの領域に区画されている。また、タンク本体２１Ｃの内部には、第１流出防止壁２９０の下端に連接され水平方向に延在する減速壁２８ａとを備えている。第１導入口２２３ａ及び第２導入口２２３ｂからタンク本体２１Ｂの内部に混合流体７が導入されると、第１導入口２２３ａ及び第２導入口２２３ｂの直下にある減速壁２８ａに混合流体７が当たって減速するとともに、減速壁２８ａに沿って混合流体７がガイドされ液体貯留部２１８に向けて流下する。このように、汽水分離タンク２０Ｃについても、上記汽水分離タンク２０と同様、混合流体７が気体排出口２２１から流出するのを防止しうる。図５及び図６に示したように、混合流体７が導入される導入口を２つ備えた汽水分離タンク２０Ｂ，２０Ｃによれば、１台だけで、図１に示したような２つのチャックテーブルを備えた切削装置１をまかなうことができる。また、実際に使用される装置では、横置き型の汽水分離タンクの下にそれぞれのチャックテーブル用の吸引ポンプを配置した構成となっている。縦置き型の汽水分離タンクを加工装置に組み込む場合は、吸引ポンプと汽水分離タンクとを同一面に並べて配置する必要があるため、フットプリントが大きくなるが、横置き型の汽水分離タンクによれば、汽水分離タンクの下に吸引ポンプが配置されるため、装置が大型化するのを防ぐことができる。

【0036】

本実施形態では、矩形板状の被加工物を切削する切削装置１に汽水分離タンク２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを搭載したが、本発明が適用される装置は、上記した切削装置１に限定されない。したがって、円形板状の被加工物を切削する切削装置や研削装置等の他の加工装置にも適用することができる。

【符号の説明】

【0037】

１：切削装置 １００：装置ベース １０１：コラム １０２：開口
２：バキューム生成機構 ３ａ，３ｂ：吸引源 ４ａ，４ｂ：バルブ ５：逆止弁
６：水供給源 ７：混合流体 ８：水 ９：エア
１０：保持テーブル １１：治具チャックテーブル １１０：チップ吸引孔
１１１：ブレード逃げ溝 １２：テーブルベース １２０：吸引溝 １２１：吸引孔
１２２：テーブルベース吸引孔
１３ａ，１３ｂ：加工送り手段 １３０：ボールネジ １３１：モータ
１３２：ガイドレール １３３：移動基台
１４ａ，１４ｂ：切削手段 １４０：スピンドル １４１：切削ブレード
１５ａ，１５ｂ：割り出し送り手段 １５０：ボールネジ １５１：モータ
１５２：ガイドレール １５３：移動部
１６ａ，１６ｂ：昇降手段 １６０：モータ １７：回転支持台
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ：汽水分離タンク
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ：タンク本体 ２１０ａ：上面 ２１０ｂ：側面
２１１，２１１ａ：導入口 ２１２：液体貯留部 ２１２ａ：底部 ２１３：液体排出口２１４：気体排出口 ２１５：循環液流出口 ２１６：オーバーフロー排出口
２１７ａ：第１導入口 ２１７ｂ：第２導入口 ２１８：液体貯留部 ２１８ａ：底部
２１９：液体排出口 ２２０：循環液流出口 ２２１：気体排出口
２２２：オーバーフロー排出口 ２２３ａ：第１導入口 ２２３ｂ：第２導入口
２２：流出防止壁 ２３：堤防壁 ２４：減速壁 ２５：流出防止壁兼減速壁
２６：流出防止壁 ２７，２７ａ：堤防壁 ２８，２８ａ：減速壁
２９：流出防止壁 ２９０：第１流出防止壁 ２９１：第２流出防止壁
３０：吸引ポンプ ３１：ケーシング ３２：羽根車 ３３：吸引口 ３４：水供給口
３５：排出口
４０：吸引経路 ４１，４２：循環経路 ４３：オーバーフロー経路 ４４：排水管

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】