特許 7209118 ラミネーション装置および真空ラミネーションシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-01-11

(45)【発行日】2023-01-19

(54)【発明の名称】ラミネーション装置および真空ラミネーションシステム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230112BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022007518

(22)【出願日】2022-01-21

【審査請求日】2022-01-21

(31)【優先権主張番号】110139651

(32)【優先日】2021-10-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】520378377

【氏名又は名称】毅力科技有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＥＬＥＡＤＴＫ ＣＯ．，ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000729

【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】張 景南

(72)【発明者】

【氏名】林 盛裕

(72)【発明者】

【氏名】陳 明展

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－１５４０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３１７８２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２５３８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２１１０５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空ラミネーションシステムに適用するラミネーション装置であって、
軸線に沿って窪んだ係合スロットおよび複数の止め部材を含み、複数の径方向切欠き部が前記止め部材の間に形成された筐体と、
前記筐体に取り外し可能に設置され、且つ第１フレームおよび前記第１フレーム上に設置された第１フレキシブルパッドを含む第１フレキシブルパッドモジュールと、
を含み、
前記係合スロットが、開口および前記軸線を取り囲む環状内側壁を含み、
前記止め部材が、前記環状内側壁の前記開口に近い部位に突出し、
前記第１フレームが、環状外側壁および前記環状外側壁に突出した複数の突出部を含み、
前記突出部の大きさが、それぞれ前記径方向切欠き部の大きさよりも小さく、
前記突出部が前記径方向切欠き部と整列している場合、前記第１フレキシブルパッドモジュールが、前記軸線に沿って前記開口を通過して、前記係合スロットに進入するのに適しており、前記第１フレキシブルパッドモジュールが回転可能に構成されることによって、前記突出部が前記径方向切欠き部からずれて前記軸線上で前記止め部材に制限され、前記第１フレキシブルパッドモジュールを前記係合スロット内に留まるラミネーション装置。

【請求項2】

封止部材をさらに含み、
前記筐体が、前記係合スロットに連通する環状溝を含み、
前記封止部材が、前記環状溝に設置され、
前記第１フレキシブルパッドモジュールを前記筐体に組み立てる場合、前記封止部材が、前記第１フレームに選択的に寄りかかる請求項１に記載のラミネーション装置。

【請求項3】

前記筐体が、対向する第１表面、第２表面、および少なくとも１つの気孔を含み、
前記係合スロットが、前記第１表面において窪み、
前記少なくとも１つの気孔が、前記第２表面において露出し、且つ前記環状溝に連通する請求項２に記載のラミネーション装置。

【請求項4】

前記筐体が、主流路を含み、
前記主流路が、前記第２表面において露出し、且つ前記係合スロットに連通し、
前記少なくとも１つの気孔が、複数の気孔を含み、
前記複数の気孔が、前記主流路に相対して対称的に配置された請求項３に記載のラミネーション装置。

【請求項5】

前記筐体が、制限部材を含み、
前記制限部材の少なくとも一部が、前記止め部材のうちの１つと前記係合スロットのスロットベースの間に位置する請求項１～４のいずれか１項に記載のラミネーション装置。

【請求項6】

前記制限部材が、前記止め部材を貫通して前記スロットベースに向かって延伸し、前記止め部材または前記筐体の前記スロットベースに近い部位にネジ接続された請求項５に記載のラミネーション装置。

【請求項7】

前記止め部材が、前記環状内側壁において等間隔に突出するため、前記径方向切欠き部の大きさが同じであり、
前記突出部が、前記環状外側壁において等間隔に突出し、且つ前記突出部の大きさが同じである請求項１～６のいずれか１項に記載のラミネーション装置。

【請求項8】

前記第１フレキシブルパッドが、前記第１フレームに取り外し可能に設置され、あるいは前記第１フレキシブルパッドが、前記第１フレームに固設された請求項１～７のいずれか１項に記載のラミネーション装置。

【請求項9】

前記筐体に取り外し可能に設置された第２フレキシブルパッドモジュールをさらに含み、
前記第２フレキシブルパッドモジュールが、第２フレームおよび前記第２フレーム上に固定された第２フレキシブルパッドを含み、且つ
前記第２フレームの内径が、前記第１フレームの内径と異なる請求項１～８のいずれか１項に記載のラミネーション装置。

【請求項10】

基板上に薄膜を固定するのに適した真空ラミネーションシステムであって、
前記基板を支持するのに適した支持装置と、
請求項１～９のいずれか１項に記載のラミネーション装置と、
を含み、
前記支持装置が前記ラミネーション装置の下方に配置され、且つ
前記支持装置と前記ラミネーション装置が相対移動するのに適しており、
前記薄膜が前記基板と前記ラミネーション装置の間に位置し、
前記第１フレキシブルパッドモジュールを前記筐体に設置した場合、気体が前記係合スロットに充填されて前記第１フレキシブルパッドを膨張させることにより、前記薄膜を押し付けて前記基板に貼り合わせる真空ラミネーションシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ラミネーション装置およびラミネーションシステムに関するものであり、特に、真空ラミネーションシステムに適用するラミネーション装置および真空ラミネーションシステムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

真空ラミネーションシステムは、基板（例えば、ウェハ）上に薄膜を圧着することによって、基板を保護する作用を達成するのに適している。真空ラミネーションシステムは、集積回路（integrated circuit, IC）のパッケージ、フレキシブルプリント基板（flexible printed circuit board, FPCB）、および発光ダイオード（light-emitting diode, LED）に使用されることが多い。

【0003】

真空ラミネーションシステムは、膨張可能なパッドを有する圧着機構を含む。真空ラミネーションプロセスにおいて、真空ラミネーションシステムは、管路を通して圧着機構内に気体を充填することにより、パッドを膨張させて薄膜に接触させ、基板上に薄膜を圧着するまでパッドを膨張し続ける。

【0004】

真空ラミネーションシステムにおいて使用するパッドの大きさは、異なる基板の大きさ（例えば、８インチのウェハまたは１２インチのウェハ）に基づいて交換しなければならない。パッドは消耗品でもあるため、破損時には交換が必要である。周知のパッドは、ネジまたはその他の接合方法で圧着機構に固定するが、交換時に時間がかかるだけでなく、交換操作を実行するために２人以上の労働力を必要とする。したがって、パッドの交換操作の時間および効率をいかにして改善するかが、現在解決すべき課題となっている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、迅速に取り外すことのできるフレキシブルパッドモジュールを有することにより、交換操作に必要な時間および効率を改善する目的を達成することのできるラミネーション装置および真空ラミネーションシステムを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、真空ラミネーションシステムに適用するラミネーション装置を提供する。ラミネーション装置は、筐体および第１フレキシブルパッドモジュールを含む。筐体は、軸線に沿って窪んだ係合スロットおよび複数の止め部材を含む。係合スロットは、開口および軸線を取り囲む環状内側壁を含み、止め部材は、環状内側壁の開口に近い部位に突出し、且つ止め部材の間に複数の径方向切欠き部が形成される。第１フレキシブルパッドモジュールは、筐体に取り外し可能に設置される。第１フレキシブルパッドモジュールは、第１フレームおよび第１フレーム上に設置された第１フレキシブルパッドを含む。第１フレームは、環状外側壁および環状外側壁に突出した複数の突出部を含み、これらの突出部の大きさは、それぞれこれらの筐体の径方向切欠き部の大きさよりも小さい。突出部が筐体の径方向切欠き部と整列している場合、第１フレキシブルパッドモジュールは、軸線に沿って開口を通過し、係合スロットに進入するのに適しており、第１フレキシブルパッドモジュールが回転可能に構成されることによって、突出部が筐体の径方向切欠き部からずれて、軸線上で止め部材に制限されるため、第１フレキシブルパッドモジュールを係合スロット内に留まることができる。

【0007】

本発明の１つの実施形態において、ラミネーション装置は、さらに、封止部材を含み、筐体は、係合スロットに連通する環状溝を含み、封止部材は、環状溝に設置される。第１フレキシブルパッドモジュールを筐体に組み立てた場合、封止部材は、第１フレームに選択的に寄りかかることができる。

【0008】

本発明の１つの実施形態において、筐体は、対向する第１表面、第２表面、および少なくとも１つの気孔を含む。係合スロットは、第１表面において窪み、少なくとも１つの気孔は、第２表面において露出し、且つ環状溝に連通する。

【0009】

本発明の１つの実施形態において、筐体は、主流路を含み、主流路は、第２表面において露出し、且つ係合スロットに連通する。少なくとも１つの気孔は、主流路に相対して対称的に配置された複数の気孔を含む。

【0010】

本発明の１つの実施形態において、前記筐体は、制限部材を含む。制限部材の少なくとも一部は、止め部材のうちの１つと係合スロットのスロットベースの間に位置する。

【0011】

本発明の１つの実施形態において、制限部材は、止め部材を貫通してスロットベースに向かって延伸し、止め部材または筐体のスロットベースに近い部位にネジ接続される。

【0012】

本発明の１つの実施形態において、止め部材は、環状内側壁において等間隔に突出するため、径方向切欠き部の大きさは同じである。突出部は、環状外側壁において等間隔に突出し、且つ突出部の大きさは同じである。

【0013】

本発明の１つの実施形態において、第１フレキシブルパッドは、第１フレームに取り外し可能に設置され、あるいは第１フレキシブルパッドは、第１フレームに固設される。

【0014】

本発明の１つの実施形態において、さらに、第２フレキシブルパッドモジュールを含む。第２フレキシブルパッドモジュールは、筐体に取り外し可能に設置される。第２フレキシブルパッドモジュールは、第２フレームおよび第２フレーム上に固定された第２フレキシブルパッドを含む。第２フレームの内径は、第１フレームの内径と異なる。

【0015】

本発明は、基板上に薄膜を固定するのに適した真空ラミネーションシステムを提供する。真空ラミネーションシステムは、支持装置およびラミネーション装置を含む。支持装置は、基板を支持するのに適しており、且つラミネーション装置は、上述した実施形態のうちのいずれか１項に記載した通りである。支持装置は、ラミネーション装置の下方に配置され、且つ支持装置とラミネーション装置は、相対移動するのに適している。薄膜は、基板とラミネーション装置の間に位置する。第１フレキシブルパッドモジュールを筐体に設置した場合、気体は係合スロットに充填されて、第１フレキシブルパッドを膨張させることにより、薄膜を押し付けて基板に貼り合わせるのに適している。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明のラミネーション装置は、筐体および第１フレキシブルパッドモジュールを含む。筐体は、軸線に沿って窪んだ係合スロットおよび係合スロットの環状内側壁から突出したこれらの止め部材を含む。これらの止め部材の間にこれらの径方向切欠き部が形成され、且つ係合スロットは、筐体上に開口を形成する。第１フレキシブルパッドモジュールの第１フレームは、これらの突出部を含む。突出部が筐体の径方向切欠き部と整列している場合、第１フレキシブルパッドモジュールは、軸線に沿って開口を通過して、係合スロットに進入するのに適しており、第１フレキシブルパッドモジュールが回転可能に構成されることによって、突出部が筐体の径方向切欠き部からずれて軸線上で止め部材に制限されるため、第１フレキシブルパッドモジュールを係合スロット内に留まることができる。つまり、本発明のラミネーション装置は、第１フレキシブルパッドモジュールを迅速に取り付け、且つ迅速に取り外す機能を有することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1A】図１Ａは、本発明の１つの実施形態に係る真空ラミネーションシステムの概略図である。

【図1B】図１Ｂは、図１Ａの真空ラミネーションシステムが真空ラミネーションプロセスを実行する時の過程を示す概略図である。

【図1C】図１Ｃは、図１Ａの真空ラミネーションシステムが真空ラミネーションプロセスを実行する時の過程を示す概略図である。

【図2】図２は、本発明の１つの実施形態に係るラミネーション装置の立体図である。

【図3】図３は、図２のラミネーション装置の拡大図である。

【図4A】図４Ａは、本発明の１つの実施形態に係るラミネーション装置の第１フレキシブルパッドモジュールを筐体に取り付ける過程を示す概略図である。

【図4B】図４Ｂは、本発明の１つの実施形態に係るラミネーション装置の第１フレキシブルパッドモジュールを筐体に取り付ける過程を示す概略図である。

【図5A】図５Ａは、本発明の１つの実施形態に係る第１フレキシブルパッドモジュールの拡大図である。

【図5B】図５Ｂは、本発明の別の実施形態に係る第２フレキシブルパッドモジュールの拡大図である。

【図6】図６は、図２のラミネーション装置の筐体の上面図である。

【図7A】図７Ａは、図４Ｂのラミネーション装置の断面図である。

【図7B】図７Ｂは、図４Ｂのラミネーション装置の封止部材を吸い上げた時の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明の上記および他の目的、特徴、および利点をより分かり易くするため、図面と併せた幾つかの実施形態を以下に説明する。

【0019】

添付図面は、本発明の原理がさらに理解されるために含まれており、本明細書に組み込まれ、且つその一部を構成するものである。図面は、本発明の実施形態を例示しており、説明とともに、本発明の原理を説明する役割を果たしている。

【0020】

本実施形態の図面を参照しながら、本発明をより全面的に説明する。しかしながら、本発明は、多くの異なる方法により体現することができるため、本文中で説明した実施形態のみに限定されるべきではない。図面においては、明確に示すため、層および領域の厚さを拡大する。同じまたは類似する参照番号は、同じまたは類似する装置を示すため、以下の各段落において説明を省略する。

【0021】

図１Ａは、本発明の１つの実施形態に係る真空ラミネーションシステムの概略図である。図１Ｂおよび図１Ｃは、図１Ａの真空ラミネーションシステムが真空ラミネーションプロセスを実行する時の過程を示す概略図である。図１Ａおよび図１Ｂを参照すると、本実施形態の真空ラミネーションシステム５０は、ラミネーション装置６０および支持装置７０を含む。

【0022】

ラミネーション装置６０は、第１フレキシブルパッドモジュール１００および筐体２００を含み、第１フレキシブルパッドモジュール１００は、筐体２００の中に取り外し可能に設置される。第１フレキシブルパッドモジュール１００は、第１フレキシブルパッド１０２を含む。

【0023】

支持装置７０は、ラミネーション装置６０の下方に移動可能に配置される。別の実施形態において、ラミネーション装置６０は、支持装置７０の上方に移動可能に配置されてもよい。支持装置７０は、収容空間７２を含み、基板７４は、収容空間７２の中に置かれるのに適している。基板７４は、例えば、ウェハであるが、基板７４の種類は、ここでは限定しない。薄膜８０は、支持装置７０とラミネーション装置６０の間を通過して、基板７４の上方に位置するのに適している。別の実施形態において、薄膜８０は、基板７４に予め貼り付けるプレラミネートフィルムであってもよい。真空ラミネーションシステム５０は、真空ラミネーションプロセスを実行して、ラミネーション装置６０により基板７４上に薄膜８０を固定するのに適している。

【0024】

図１Ｂおよび図１Ｃを参照して、具体的に説明すると、筐体２００は、主流路２６０を含む。真空ラミネーションプロセスの間、基板７４を支持する支持装置７０とラミネーション装置６０は、所定の位置に移動する。外部の吸気器（図示せず）によりラミネーション装置６０と支持装置７０の間のチャンバを真空にして、チャンバ内部を真空状態にする。

【0025】

図１Ｃに示すように、気体は、主流路２６０から充填され、第１フレキシブルパッド１０２を膨張させるのに適している。第１フレキシブルパッド１０２は、薄膜８０の方向に向かって膨張し、且つ薄膜８０を押し付けることにより、基板７４上に薄膜８０を圧着させる。

【0026】

理解すべきこととして、本実施形態は、単なる例であって、限定するものではない。図１は、真空ラミネーションシステム５０を簡易化した概略図であり、別の実施形態において、真空ラミネーションシステム５０は、さらに、加熱装置、変位装置等を含む。

【0027】

本実施形態において、ラミネーション装置６０は、特殊な設計を有するため、フレキシブルパッドモジュールを迅速に取り外すことができ、迅速に交換する機能を有する。使用者は、同じ大きさのフレキシブルパッドモジュールを迅速に交換することができ、あるいは異なる大きさの基板７４に応じて、対応する大きさのフレキシブルパッドモジュールを迅速に交換することができる。以下、これについて説明する。

【0028】

図２は、本発明の１つの実施形態に係るラミネーション装置の立体図である。図３は、図２のラミネーション装置の拡大図である。図２および図３を参照すると、筐体２００は、対向する第１表面２０６および第２表面２０８を含む。筐体２００は、軸線２１０に沿って第１表面２０６から窪んだ係合スロット２２０を含む。係合スロット２２０は、第１表面２０６に形成された開口２２２および軸線２１０を取り囲む環状内側壁２２４を含む。

【0029】

筐体２００は、さらに、環状内側壁２２４の開口２２２に近い部位に突出する複数の止め部材２２８を含み、これらの止め部材２２８の間に複数の径方向切欠き部２３２が形成される。

【0030】

また、第１フレキシブルパッドモジュール１００は、さらに、第１フレーム１０４、および第１フレーム１０４上に設置された第１フレキシブルパッド１０２を含む。第１フレーム１０４は、環状外側壁１１０および環状外側壁１１０に突出した複数の突出部１１２を含む。

【0031】

図４Ａおよび図４Ｂは、本発明の１つの実施形態に係るラミネーション装置の第１フレキシブルパッドモジュールを筐体に取り付ける過程を示す概略図である。筐体２００に取り付ける第１フレキシブルパッドモジュール１００の突出部１１２と制限部材２０４の位置関係を明確に示すため、図４Ａおよび図４Ｂの筐体２００を二点鎖線で示し、筐体２００の一部の構成要素を省略する。

【0032】

図３および図４Ａを参照すると、第１フレキシブルパッドモジュール１００を筐体２００に組み立てる時、第１フレキシブルパッドモジュール１００と筐体２００を軸線２１０に沿って位置を合わせ、第１フレキシブルパッドモジュール１００のこれらの突出部１１２と筐体２００のこれらの径方向切欠き部２３２を一列に並べる。

【0033】

これらの突出部１１２の大きさは、それぞれこれらの径方向切欠き部２３２の大きさよりも小さく、且つ第１フレーム１０４の環状外側壁１１０の大きさは、開口２２２の大きさよりも小さいため、第１フレキシブルパッドモジュール１００は、軸線２１０に沿って開口２２２を通過して、係合スロット２２０の中に進入することができる。この時、第１フレキシブルパッドモジュール１００は、第１位置Ｐ１にある。

【0034】

つまり、第１位置Ｐ１の第１フレキシブルパッドモジュール１００のこれらの突出部１１２の筐体２００に対する投影とこれらの止め部材２２８の筐体２００に対する投影は、重ならない。

【0035】

第１位置Ｐ１の第１フレキシブルパッドモジュール１００を図４Ｂに示した第２位置Ｐ２まで回転させることによって、これらの突出部１１２をこれらの径方向切欠き部からずらすことができる。第１フレキシブルパッドモジュール１００が第２位置Ｐ２にある時、これらの突出部１１２の筐体２００に対する投影の少なくとも一部は、これらの止め部材２２８の筐体２００に対する投影と重なる。したがって、これらの突出部１１２は、軸線２１０の方向に沿って移動して、これらの止め部材２２８に制限されるため、第１フレキシブルパッドモジュール１００を係合スロット２２０内に留まることができる。

【0036】

説明すべきこととして、本実施形態において、突出部１１２と止め部材２２８の形状、数量、および位置は、互いに一致する。また、これらの突出部１１２は、環状外側壁１１０において等間隔に突出し、且つこれらの突出部１１２の大きさは同じである。これらの止め部材２２８は、環状内側壁２２４に等間隔において突出するため、これらの径方向切欠き部２３２の大きさは同じである。当然のことながら、別の実施形態において、突出部１１２と止め部材２２８の数量および大きさは、本発明に限定されない。

【0037】

また、本実施形態において、筐体２００は、さらに、制限部材２０４を選択的に含んでもよい。筐体２００の制限部材２０４の少なくとも一部は、これらの止め部材２２８のうちの１つと係合スロット２２０のスロットベース２２６（図３）の間に位置する。

【0038】

図３および図４Ａを参照すると、本実施形態の制限部材２０４は、ヘッド部２４０および主体２４２を有し、ヘッド部２４０の直径は、主体２４２の直径よりも大きく、且つヘッド部２４０の厚さは、主体２４２の厚さよりも薄いため、制限部材２０４は、Ｔ形状を形成する。制限部材２０４は、リベットまたはネジであってもよい。当然のことながら、制限部材２０４の形状と種類は、これに限定されず、制限部材２０４は、ヘッド部を有さない止めネジであってもよい。制限部材２０４は、フレキシブルパッドモジュールの制限機能を達成できさえすればよい。

【0039】

筐体２００のこれらの止め部材２２８のうちの１つは、孔２４４（図３）を含み、制限部材２０４は、止め部材２２８を貫通して、スロットベース２２６に向かって延伸し、止め部材２２８または筐体２００のスロットベース２２６に近い部位にネジ接続される。つまり、制限部材２０４の主体２４２は、孔２４４を通り過ぎて、スロットベース２２６に向かって延伸し、且つヘッド部２４０は、孔２４４を通り過ぎずに、第１表面２０６（図４Ａ）に露出する。また、１つの実施形態において、制限部材２０４は、フレキシブルパッドモジュールを制限できさえすれば、止め部材２２８を貫通しなくてもよい。

【0040】

図４Ａの第１フレキシブルパッドモジュール１００が軸線２１０の周りを矢印の方向に向かって第２位置Ｐ２まで回転した時（図４Ｂ）、突出部１１２が制限部材２０４に接触して、第１フレキシブルパッドモジュール１００の回転を停止させる。つまり、制限部材２０４は、第１フレキシブルパッドモジュール１００の回転の終点であり、且つ第１フレキシブルパッドモジュール１００の回転範囲および回転方向を制限することができる。

【0041】

本実施形態において、第１フレキシブルパッドモジュール１００を組み立てる時の回転方向は、時計回りである（図４Ａの矢印の方向）。理解すべきこととして、本実施形態は、単なる例であり、限定するものではない。例を挙げて説明すると、別の実施形態において、制限部材２０４を止め部材２２８の別の側に設置して、第１フレキシブルパッドモジュール１００を組み立てる時の回転方向を反時計回りに制限してもよい。

【0042】

同様に、第１フレキシブルパッドモジュール１００を取り外す時は、第１フレキシブルパッドモジュール１００を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１まで回転させるだけで、第１フレキシブルパッドモジュール１００が重力を受けて、筐体２００から引き離すことができる。

【0043】

このことからわかるように、第１フレキシブルパッドモジュール１００を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２の間で変換することにより、第１フレキシブルパッドモジュール１００は、筐体２００の中に迅速に組み立てることができ、あるいは筐体２００の中から迅速に取り外すことができる。

【0044】

図５Ａは、本発明の１つの実施形態に係る第１フレキシブルパッドモジュールの拡大図である。図５Ａを参照すると、本実施形態において、第１フレキシブルパッド１０２は、第１フレーム１０４に取り外し可能に設置される。当然のことながら、別の実施形態において、第１フレキシブルパッド１０２は、第１フレーム１０４に固設されてもよい。

【0045】

第１フレーム１０４は、さらに、本体１０６および固定部材１０８を含む。本体１０６は、環状内側壁１２０を含む。環状内側壁１２０は、第１フレキシブルパッド１０２を取り囲み、本体１０６は、第１フレキシブルパッド１０２を取り囲む。例を挙げて説明すると、第１フレキシブルパッド１０２は、円形であり、本体１０６は、環状構造である。

【0046】

第１フレーム１０４の固定部材１０８は、環状内側壁１２０から中心に向かって一定の距離を延伸し、開口１２２を第１フレーム１０４の中に形成する。第１フレキシブルパッド１０２は、固定部材１０８上に固定されるのに適している。

【0047】

本実施形態において、第１フレキシブルパッド１０２は、さらに、複数の貫通孔１３０を含み、固定部材１０８は、さらに、これらの貫通孔１３０に対応する複数のネジ穴１３２を含む。第１フレキシブルパッドモジュール１００は、さらに、複数の締結部材（図示せず）を含み、締結部材は、ネジであってもよい。これらの締結部材は、それぞれ対応する貫通孔１３０、ネジ穴１３２を通り抜けて、第１フレキシブルパッド１０２を第１フレーム１０４上に固定する。

【0048】

別の実施形態において、第１フレキシブルパッド１０２と第１フレーム１０４は、その他の方法で、例えば、第１フレキシブルパッド１０２と第１フレーム１０４を一体に結合してもよい。

【0049】

図５Ａを参照すると、第１フレキシブルパッド１０２は、外形ＤＡ１を有し、第１フレーム１０４の開口１２２は、直径ＤＡ２を有し、且つ環状内側壁１２０は、内径ＤＡ３を有する。外形ＤＡ１は、内径ＤＡ３より小さく、且つ外形ＤＡ１は、直径ＤＡ２より大きい。

【0050】

つまり、第１フレキシブルパッド１０２を第１フレーム１０４の中に固定した時、第１フレキシブルパッド１０２と固定部材１０８は、少なくとも一部が重なり、第１フレキシブルパッド１０２は、第１フレーム１０４の開口１２２において露出する。

【0051】

図１Ｃおよび図５Ａを参照すると、真空ラミネーションプロセスの期間において、第１フレキシブルパッド１０２は、膨張して開口１２２から第１フレーム１０４に突出することによって、薄膜８０を押し付ける。したがって、基板７４上に圧着される薄膜８０（図１Ｃ）の最大面積は、実際には、第１フレーム１０４の開口１２２（図５Ａ）の面積によって決まる。開口１２２の面積は、直径ＤＡ２と関連する。

【0052】

図５Ｂは、本発明の別の実施形態に係る第２フレキシブルパッドモジュールの拡大図である。図５Ｂの第２フレキシブルパッドモジュール３００と図５Ａの第１フレキシブルパッドモジュール１００は、類似する構成要素を有する。図３および図５Ｂを参照すると、第２フレキシブルパッドモジュール３００の複数の突出部３１２とこれらの径方向切欠き部２３２（図３）の位置を合わせることにより、第１フレキシブルパッドモジュール１００および第２フレキシブルパッドモジュール３００を筐体２００に選択的、且つ交換可能に設置することができる。

【0053】

図５Ａと図５Ｂの相違点は、第２フレキシブルパッドモジュール３００の第２フレーム３０４の開口３２２の直径ＤＢ２が、第１フレーム１０４の開口１２２の直径ＤＡ２より小さいことである。

【0054】

図５Ａと図５Ｂの実施形態において、第１フレキシブルパッド１０２の外形ＤＡ１は、第２フレキシブルパッド３０２の外形ＤＢ１に等しいが、開口１２２、３２２の直径ＤＡ２、ＤＢ２は異なるため、基板７４上に圧着される薄膜８０（図１Ｃ）の面積を変更することができる。

【0055】

したがって、本実施形態において、第２フレキシブルパッドモジュール３００は、小型の基板（図示せず）に用いることができる。つまり、使用者は、異なる大きさの基板に対して第１フレキシブルパッドモジュール１００を使用するか、あるいは第２フレキシブルパッドモジュール３００を使用するかを選択することができる。つまり、第１フレキシブルパッドモジュール１００または第２フレキシブルパッドモジュール３００を交換することによって、様々な大きさのフレキシブルパッドを使用しなくても、実質的に、異なる大きさのフレキシブルパッドを交換する効果を達成することができるため、コストを減らし、且つ効率を上げることができる。

【0056】

当然のことながら、使用者は、同じ大きさのフレキシブルパッドモジュールを交換してもよい。また、基板の大きさが異なっていても、使用者は、元の大きさのフレキシブルパッドモジュールを選択して、異なる大きさの基板に押し付けることができる。

【0057】

図６は、図２のラミネーション装置の筐体の上面図である。図６を参照すると、筐体２００は、さらに、主流路２６０および少なくとも１つの気孔２５０を含む。主流路２６０は、孔２６２により第２表面２０８において露出し、且つ主流路２６０は、係合スロット２２０（図３）に連通する。少なくとも１つの気孔２５０は、複数の気孔２５０を含み、これらの気孔２５０は、主流路２６０に相対して対称的に配置される。別の実施形態において、これらの気孔２５０は、主流路２６０に相対して非対称的に配置されてもよい。本実施形態において、筐体２００の第２表面２０８は、２つの気孔２５０を含むが、気孔２５０の数量および位置は、これに限定されない。

【0058】

図３に示すように、主流路２６０は、孔２６４により係合スロット２２０のスロットベース２２６において露出する。つまり、本実施形態において、孔２６２は、主流路２６０によりこれらの孔２６４に連通する。

【0059】

図１Ｃに戻ると、主流路２６０の孔２６２は、パイプライン（図示せず）により外部の第１圧力源（図示せず）に接続するのに適している。真空ラミネーションプロセスの期間において、真空ラミネーションシステム５０は、第１圧力源によりラミネーション装置６０の主流路２６０に向かって気体を充填し、気体は、主流路２６０の孔２６４により係合スロット２２０のスロットベース２２６（図３）に進入して、真空ラミネーションプロセスを実行する。

【0060】

図７Ａは、図４Ｂのラミネーション装置の断面図である。図３および図７Ａを同時に参照すると、ラミネーション装置６０は、さらに、封止部材２０２を含み、筐体２００は、係合スロット２２０に連通する環状溝２３０を含む。封止部材２０２は、環状溝２３０の中に設置される。本実施形態において、第１フレキシブルパッドモジュール１００を筐体２００に組み立てる時、封止部材２０２は、第１フレーム１０４に選択的に寄りかかることができる。

【0061】

図３、図６、および図７Ａを参照しながら、具体的に説明すると、２つの気孔２５０は、第２表面２０８から第１表面２０６に向かって延伸し、且つ係合スロット２２０の環状溝２３０に連通する。２つの気孔２５０は、別のパイプライン（図示せず）により外部の第２圧力源（図示せず）に接続するのに適している。

【0062】

第２圧力源は、２つの気孔２５０に向かって気体を充填し、気体は、気孔２５０により環状溝２３０に進入するため、環状溝２３０内の封止部材２０２が第１フレーム１０４に寄りかかって、係合スロット２２０と第１フレキシブルパッドモジュール１００の間の密封を維持し、第１圧力源がラミネーション装置６０の主流路２６０に向かって気体を充填する時に、係合スロット２２０内の気体が第１フレーム１０４の辺縁から漏れないようにすることができる。

【0063】

図７Ｂは、図４Ｂのラミネーション装置の封止部材を吸い上げた時の概略図である。図３、図６～図７Ｂを参照すると、第２圧力源は、２つの気孔２５０から吸い込んで、気体を環状溝２３０の中から吸い出すこともできるため、封止部材２０２が環状溝２３０内で移動して、第１フレーム１０４において分離することにより、係合スロット２２０の密封を解除することができる。

【0064】

以下、第１フレキシブルパッドモジュール１００を例として、真空ラミネーションプロセスの期間における２つの気孔２５０と封止部材２０２の環状溝２３０内の移動状況を詳しく説明する。

【0065】

具体的に説明すると、真空ラミネーションプロセスを実行する前、図７Ｂに示すように、第１フレーム１０４と係合スロット２２０のスロットベース２２６の間に間隙２８２が存在し、且つ突出部１１２と止め部材２２８の間に間隙２８４が存在する。つまり、第１圧力源がラミネーション装置６０の主流路２６０に向かって気体を充填した時、気体は、間隙２８２、２８４に沿ってスロットベース２２６から外部に流動する。

【0066】

第１圧力源に充填された気体が間隙２８２、２８４から散逸しないよう、本実施形態において、封止部材２０２を使用して、第１フレーム１０４とスロットベース２２６の間の間隙２８２を密封する。

【0067】

図７Ａに示すように、気体を環状溝２３０に充填した時、気体が封止部材２０２を押し付けるため、封止部材２０２が第１フレーム１０４に向かって移動する。この時、第１フレーム１０４とスロットベース２２６の間は、封止部材２０２により密閉空間２８６が形成される。続いて、真空ラミネーションプロセスを実行する。

【0068】

使用者が第１フレキシブルパッドモジュール１００を交換しなければならない時、第１フレキシブルパッドモジュール１００を取り外しやすくするために、図７Ｂに示すように、第２圧力源が気孔２５０を介して環状溝２３０の中の気体を吸い出し、封止部材２０２を第１フレーム１０４から引き離すため、第１フレキシブルパッドモジュール１００を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１まで回転させることができる。

【0069】

第１位置Ｐ１にある第１フレキシブルパッドモジュール１００は、筐体２００の中から取り外されるため、使用者は、第１フレキシブルパッドモジュール１００を交換することができる。

【0070】

以上のように、本発明は、フレキシブルパッドを迅速に取り外し、且つ迅速に取り付けることのできるラミネーション装置を提供し、ラミネーション装置の筐体の止め部材と第１フレキシブルパッドモジュールの突出部の構造を適合させることにより、迅速に取り外し、且つ迅速に取り付ける効果を達成することができる。

【0071】

以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。

【産業上の利用可能性】

【0072】

真空ラミネーションシステムに適用するラミネーション装置および真空ラミネーションシステム。

【符号の説明】

【0073】

５０ 真空ラミネーションシステム
６０ ラミネーション装置
７０ 支持装置
７２ 収容空間
７４ 基板
８０ 薄膜
１００ 第１フレキシブルパッドモジュール
１０２ 第１フレキシブルパッド
１０４ 第１フレーム
１０６ 本体
１０８ 固定部材
１１０ 環状外側壁
１１２ 突出部
１２０ 内側壁
１２２、３２２ 開口
１３０、３３０ 貫通孔
１３２、３３２ ネジ穴
２００ 筐体
２０２ 封止部材
２０４ 制限部材
２０６ 第１表面
２０８ 第２表面
２１０ 軸線
２２０ 係合スロット
２２２ 開口
２２４ 環状内側壁
２２６ スロットベース
２２８ 止め部材
２３０ 環状溝
２３２ 径方向切欠き部
２４０ ヘッド部
２４２ 主体
２４４ 孔
２５０ 気孔
２６０ 主流路
２６２、２６４ 孔
２８２、２８４ 間隙
２８６ 密閉空間
３００ 第２フレキシブルパッドモジュール
３０２ 第２フレキシブルパッド
３０４ 第２フレーム
３０６ 本体
３０８ 固定部材
３１０ 環状外側壁
３１２ 突出部
３２０ 内側壁
ＤＡ１、ＤＢ１ 外径
ＤＡ２、ＤＢ２ 直径
ＤＡ３、ＤＢ３ 内径

【要約】

【課題】交換操作に必要な時間および効率を改善するラミネーション装置および真空ラミネーションシステムを提供する。
【解決手段】ラミネーション装置は、軸線に沿って窪んだ係合スロットと複数の止め部材を含み、径方向切欠き部が止め部材の間に形成された筐体と、取り外し可能に設置され、第１フレームと第１フレキシブルパッドを含む第１フレキシブルパッドモジュールと、を含み、係合スロットが、開口と環状内側壁を含み、止め部材が、環状内側壁の開口に近い部位に突出し、第１フレームが、環状外側壁と複数の突出部を含み、突出部は、径方向切欠き部より小さく、径方向切欠き部と整列する場合、第１フレキシブルパッドモジュールが開口を通過して係合スロットに進入するに適し、第１フレキシブルパッドモジュールが回転可能で、突出部が制限され、第１フレキシブルパッドモジュールを係合スロット内に留まる。
【選択図】図３

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7A】

【図7B】