特許 7346329 材料供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-08

(45)【発行日】2023-09-19

(54)【発明の名称】材料供給装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20230911BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20230911BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20230911BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 D

H05B33/14 A

H05B33/10

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020034116

(22)【出願日】2020-02-28

(65)【公開番号】P2021134417

(43)【公開日】2021-09-13

【審査請求日】2022-12-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110000305

【氏名又は名称】弁理士法人青莪

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 修司

【審査官】西田 彩乃

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－２９９０８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０３０４１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０５１３５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００７－５３４８４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０１９３６３６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－２０６７３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

Ｈ１０Ｋ ５０／１０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空チャンバ（Ｖｃ１，１）内で成膜対象物（Ｓｗ）に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源（Ｅｓ）に蒸着材料（Ｅｍ）を供給するための材料供給装置（ＭＦ）において、
真空チャンバ（Ｖｃ１，１）内と雰囲気分離された空間としての第３雰囲気空間（４ａ）を画成する隔壁（４，１１）を有し、当該隔壁のＸ軸方向に位置する部分（１１）に第１弁孔（１２）が開設され、
隔壁（４，１１）内に可動枠（５）が配置され、この可動枠（５）のＸ軸方向前後の進退を可能とする駆動手段（６）と、予定のストローク長を超えた可動枠のＸ軸方向前方への移動を規制する規制手段（７）と、可動枠と駆動手段の駆動ロッド（６１）との間に設けられる付勢手段（８）とを備え、
可動枠（５）に、第１弁孔（１２）を閉塞する第１弁蓋（５４）と、蒸着源（Ｅｓ）に供給しようとする蒸着材料（Ｅｍ）を保持する保持手段（５２）と、駆動ロッド（６１）の前端部分が挿通するガイド孔（５２ｅ）とが備えられ、隔壁（４、１１）内に可動枠（５）が位置する待機位置からの駆動ロッド（６１）のＸ軸方向前方への移動により、真空チャンバ（Ｖｃ１，１）と第３雰囲気空間（４ａ）とが互いに連通して可動枠（５）が第１弁孔（１２）を通って真空チャンバ（Ｖｃ１，１）内に進入し、規制手段（７）で可動枠（５）の移動が規制された状態で付勢手段（８）の付勢力に抵抗しながら駆動ロッド（６１）のＸ軸方向前方への更なる移動により、駆動ロッド（６１）の前端部分がガイド孔（５２ｅ）から突出して保持手段（５２）で保持された蒸着材料（Ｅｍ）がＸ軸方向前方へ押し出されるように構成したことを特徴とする材料供給装置。

【請求項2】

請求項１記載の材料供給装置であって、
前記蒸着源（Ｅｓ）が、第１雰囲気空間（１ａ）を画成する第１隔壁（１）と、この第１隔壁（１）で囲繞されて第１雰囲気空間と雰囲気分離された第２雰囲気空間（２ａ）を画成すると共にその内部に蒸着材料（Ｅｍ）が格納される第２隔壁（２）とを有し、
前記第１弁孔（１２）にＸ軸方向で互いに対峙させて第２隔壁（２）に開設した第２弁孔（２５）を有すると共に、第１隔壁（１）と前記隔壁（４，１１）とが連設されて、第１弁孔を介して第１雰囲気空間（１ａ）と第３雰囲気空間（４ａ）との連通も可能なものにおいて、
前記第１弁蓋（５４）は、隔壁（４）にその内側から当接して第１弁孔（１２）を閉塞するように構成され、第２隔壁（２）にその内側から当接して第２弁孔（２５）を閉塞する第２弁蓋（５５）を可動枠（５）に更に設けたことを特徴とする材料供給装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２記載の材料供給装置であって、蒸着材料（Ｅｍ）が円柱状の輪郭を持つものにおいて、
前記保持手段（５２）は、蒸着材料（Ｅｍ）の鉛直方向下方の外周面部分が載置される保持板部（５２ｂ）と、蒸着材料（Ｅｍ）の重心からＸ軸方向前方にオフセットさせて保持板部（５２ｂ）に突設した、蒸着材料（Ｅｍ）を係止する係止突起（５３）とを備えることを特徴とする材料供給装置。

【請求項4】

前記第１弁蓋（５４）と前記第２弁蓋（５５）との間に、Ｘ軸方向で第１弁蓋（５４）と第２弁蓋（５５）とが互いに引き合うように付勢する他の付勢手段（５６）が設けられることを特徴とする請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の材料供給装置。

【請求項5】

前記第２弁蓋（５５）のＸ軸方向前方にリフレクター板（５７）が備えられることを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の材料供給装置。

【請求項6】

前記蒸着源（Ｅｓ）は、長手方向が鉛直方向に合致する姿勢で設置され、蒸着材料（Ｅｍ）が充填される坩堝部を有する主筒体（２）と、坩堝部内に充填される蒸着材料（Ｅｍ）より上方に位置する主筒体（２）の部分に突設され、放出開口を有する副筒体（３）と、少なくとも坩堝部に充填される蒸着材料（Ｅｍ）の加熱を可能とする加熱手段（２３）と、坩堝部の上面開口を開閉自在に閉塞する蓋板（２２）とを備えることを特徴とする請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の材料供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空チャンバ内で成膜対象物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源に蒸着材料を供給するための材料供給装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、樹脂製や金属製のシート状の基材は可撓性を有し、加工性も良いことから、その一方の面や両面に、真空雰囲気で所定の金属膜や酸化物膜等の所定の薄膜を成膜して電子部品や光学部品とすることが知られている。このような真空処理としての成膜処理を施す真空処理装置は例えば特許文献１で知られている。このものは、真空雰囲気の形成が可能な真空チャンバを備え、真空チャンバ内には、成膜対象物としてのシート状の基材を繰り出す繰出ローラと、成膜済みの基材を巻き取る巻取ローラと、繰出ローラから繰り出されたシート状の基材を搬送するガイドローラとが設けられている。真空チャンバ内の底面にはまた、一対のガイドローラ間を水平搬送されるシート状の基材の部分に対向配置させて蒸着源が設けられている。

【0003】

蒸着源は、蒸着材料を収容する直方体状の収容箱を備え、収容箱のシート状の基材の部分との対向面（即ち、鉛直方向の上面）には、スリット状の放出開口が設けられている（所謂ラインソース）。そして、収容箱内にインゴット状や顆粒状の蒸着材料を収納した後、真空雰囲気中にて加熱手段により収容箱内の蒸着材料を加熱して昇華または気化させ、この昇華または気化したものを真空チャンバ内との圧力差で放出開口から放出させ、シート状の基材の部分に付着、堆積させて所定の薄膜が蒸着される（所謂デポアップ式成膜）。

【0004】

ところで、収容箱に収容された蒸着材料を加熱により昇華または気化させると、これに伴って蒸着材料自体は減少するので、蒸着材料を定期的に補充する必要がある。従来の真空蒸着装置では、成膜工程を停止して真空チャンバを大気雰囲気に戻した状態でしか収容箱への蒸着材料の補充ができない。このため、蒸着源としての収容箱への蒸着材料の定期的な補充により著しく生産性が損なわれるという問題がある。このことから、真空チャンバ内を大気雰囲気に戻すことなく、蒸着材料を蒸着源に供給することができる装置の開発が望まれている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第５５４３１５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、以上の点に鑑み、真空チャンバ内を大気雰囲気に戻すことなく、真空蒸着装置の蒸着源に固体の蒸着材料を供給することができる材料供給装置を提供することをその課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、真空チャンバ内で成膜対象物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源に蒸着材料を供給するための本発明の材料供給装置は、真空チャンバ内と雰囲気分離された空間としての第３雰囲気空間を画成する隔壁を有し、当該隔壁のＸ軸方向に位置する部分に第１弁孔が開設され、隔壁内に可動枠が配置され、この可動枠のＸ軸方向前後の進退を可能とする駆動手段と、予定のストローク長を超えた可動枠のＸ軸方向前方への移動を規制する規制手段と、可動枠と駆動手段の駆動ロッドとの間に設けられる付勢手段とを備え、可動枠に、第１弁孔を閉塞する第１弁蓋と、蒸着源に供給しようとする蒸着材料を保持する保持手段と、駆動ロッドの前端部分が挿通するガイド孔とが備えられ、隔壁内に可動枠が位置する待機位置からの駆動ロッドのＸ軸方向前方への移動により、真空チャンバと第３雰囲気空間とが互いに連通して可動枠が第１弁孔を通って真空チャンバ内に進入し、規制手段で可動枠の移動が規制された状態で付勢手段の付勢力に抵抗しながら駆動ロッドのＸ軸方向前方への更なる移動により、駆動ロッドの前端部分がガイド孔から突出して保持手段で保持された蒸着材料がＸ軸方向前方へ押し出されるように構成したことを特徴とする。

【0008】

本発明において、前記蒸着源が、前記真空チャンバ内に連通する第１雰囲気空間を画成する第１隔壁と、この第１隔壁で囲繞されて第１雰囲気空間と雰囲気分離された第２雰囲気空間を画成すると共にその内部に蒸着材料が格納される第２隔壁とを有し、前記弁孔は、第１隔壁と第２隔壁とにＸ軸方向で互いに対峙させて開設した第１弁孔と第２弁孔とを有すると共に、前記隔壁は、第１隔壁に連設されて第１弁孔を介して第１雰囲気空間も連通可能なものである場合、前記弁蓋は、第１隔壁にその内側から当接して第１弁孔を閉塞する第１弁蓋と、第２隔壁にその内側から当接して第２弁孔を閉塞する第２弁蓋とを備える構成を採用してもよい。また、本発明において、例えば、蒸着材料が円柱状の輪郭を持つものである場合、前記保持手段は、蒸着材料の鉛直方向下方の外周面部分が載置される保持板部と、蒸着材料の重心からＸ軸方向前方にオフセットさせて保持板部に突設した、蒸着材料を係止する係止突起とを備える構成を採用することができる。

【0009】

本発明によれば、隔壁（以下、これを「第３隔壁」という）内の空間（以下、これを「第３雰囲気空間」という）を大気雰囲気とし、例えば円柱状の蒸着材料をその外周面を保持板部に載置し、係止突起で係止させて可動枠の保持手段に蒸着材料をセットする。このとき、第３雰囲気空間は、第１弁蓋及び第２弁蓋により第１弁孔及び第２弁孔が閉塞されて第１雰囲気空間と隔絶され、第１及び第２の両雰囲気空間は真空雰囲気となっている。その後、第３雰囲気空間は真空ポンプユニットにより所定の圧力まで真空排気される。

【0010】

第２隔壁内に蒸着材料を供給する場合、駆動ロッドをＸ軸方向前方に移動させると、付勢手段の付勢力で可動枠もＸ軸方向前方に移動する。すると、第１弁蓋及び第２弁蓋が第１隔壁及び第２隔壁から離間して第１、第２及び第３の各雰囲気空間が真空雰囲気の状態で連通する。そして、可動枠が第１及び第２の各弁孔を通って第２雰囲気空間内に進入し、駆動ロッドが予定のストローク長だけ移動すると、規制手段により可動枠のＸ軸方向前方への移動が規制される。この状態では、蒸着材料が保持手段で保持されたままである。

【0011】

可動枠の移動が規制された状態で駆動ロッドを付勢手段の付勢力に抗してＸ軸方向前方へ更に移動させると、駆動ロッドの前端部分がガイド孔から可動枠内に突出して蒸着材料をＸ軸方向前方へと押し出す。すると、蒸着材料が係止突起を乗り越え、保持手段のＸ軸方向前端と第１弁蓋との間の空間を通って第２隔壁内に落とし込まれる。これにより、殊更、成膜が実施される真空チャンバ内を大気雰囲気に戻すことなく、駆動ロッドのＸ軸方向一方への移動だけで、成膜に必要な蒸着材料を収納する第２隔壁内に追加の蒸着材料を供給することができ、しかも、駆動源は単一で済む。このとき、第２隔壁内の蒸着材料を加熱する加熱手段も作動させたままとすることも可能である。その結果、蒸着源への蒸着材料の定期的な補充により著しく生産性が損なわることを回避することができる。なお、蒸着材料の供給が完了すると、駆動ロッドを後退するだけで、第１弁蓋及び第２弁蓋が第１隔壁及び第２隔壁に夫々当接し、第３雰囲気空間が第１の雰囲気空間から隔絶される。

【0012】

ところで、第２隔壁内の蒸着材料を加熱して昇華または気化させる際、第２隔壁自体も高温に加熱され、第２隔壁が熱伸びする。このため、第２弁蓋の閉塞による第１雰囲気空間と第２雰囲気空間との隔絶が不十分になる虞がある。本発明においては、前記第１弁蓋と前記第２弁蓋との間に、Ｘ軸方向で第１弁蓋と第２弁蓋とが互いに引き合うように付勢する他の付勢手段が設けられる構成を採用できる。これにより、他の付勢手段の付勢力で第２弁蓋を第２隔壁に常時押し付けて当接させることができ、第２隔壁の熱伸び起因した隔絶不良を可及的に抑制することができる。

【0013】

また、本発明においては、前記第２弁蓋のＸ軸方向前方にリフレクター板が備えられる構成を採用することが好ましい。これによれば、第２隔壁が加熱されても、第１弁蓋、第３隔壁やその内部に存する可動枠といった部品が加熱されることが抑制でき、供給しようとする蒸着材料が第２隔壁内へと移動される前に溶解するといった不具合の発生を防止することができる。この場合、第１隔壁に対峙する第２隔壁部分にもリフレクター板を設けるようにしてもよい。

【0014】

なお、本発明においては、前記蒸着源として、長手方向が鉛直方向に合致する姿勢で設置され、蒸着材料が充填される坩堝部を有する主筒体と、坩堝部内に充填される蒸着材料より上方に位置する主筒体の部分に突設され、放出開口を有する副筒体と、少なくとも坩堝部に充填される蒸着材料の加熱を可能とする加熱手段と、坩堝部の上面開口を開閉自在に閉塞する蓋体とを備えるものが利用できる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態の材料供給装置を備える蒸着源が設けられた真空処理装置の正面から視た断面図。

【図2】図１のＩＩ－ＩＩ線に沿う断面図。

【図3】図２の一部を拡大して示す断面図。

【図4】蒸着材料の投入位置に可動枠を移動させたときの図２の一部を拡大して示す断面図。

【図5】坩堝部への蒸着材料の投入を説明する拡大断面図。

【図6】坩堝部への蒸着材料の投入を説明する拡大断面図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照して、真空蒸着装置を成膜対象物としてのシート状の基材Ｓｗを真空雰囲気中で走行させながら真空蒸着法によりシート状の基材Ｓｗの一方の面に所定の薄膜を成膜するもの、また、蒸着材料を円筒状の輪郭を持つインゴット状のものとし、真空蒸着装置に備えられる蒸着源に本発明の材料供給装置を適用した場合を例にその実施形態を説明する。以下において、後述のキャンローラの軸線方向が水平方向に一致する姿勢でキャンローラが真空チャンバ内に収容されているものとし、軸線方向をＸ軸方向、同一の水平面内でＸ軸に直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交する鉛直方向をＺ軸方向とし、上、下といった方向は、真空蒸着装置の設置姿勢で示す図２を基準とする。

【0017】

図１及び図２を参照して、真空蒸着装置Ｄｍは、真空チャンバとしての中央の成膜チャンバＶｃ１と、成膜チャンバＶｃ１のＹ軸方向両側に夫々連設される第１及び第２の各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３とを備える。特に図示して説明しないが、成膜チャンバＶｃ１と各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３とには、ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ等で構成される真空ポンプユニットからの排気管が夫々接続され、真空雰囲気を形成できるようになっている。成膜チャンバＶｃ１と、各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３との互いに向かい合う側壁には、シート状の基材Ｓｗの通過を許容する透孔ｈ１～ｈ４が夫々開設されると共に、成膜チャンバＶｃ１と、各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３との両側壁間の隙間には、この隙間を通過するシート状の基材Ｓｗの部分を覆うようにしてロードロックバルブＬｖが設けられている。これにより、真空雰囲気中にて一貫してシート状の基材Ｓｗが搬送できると共に成膜チャンバＶｃ１と各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３とを互いに隔絶できるようにしている。なお、この種の真空蒸着装置Ｄｍに利用されるロードロックバルブＬｖとしては公知のものが利用できるため、ここでは詳細な説明を省略する。

【0018】

Ｙ軸方向一方（図１中、左側）に位置する第１の搬送チャンバＶｃ２には、成膜前のシート状の基材Ｓｗが巻回される繰出ローラＷｒが設けられ、第１の搬送チャンバＶｃ２外に設けられるモータＭ１により回転駆動されるようになっている。Ｙ軸方向他方（図１中、右側）に位置する第２の搬送チャンバＶｃ３には、成膜済みのシート状の基材Ｓｗを巻き取る巻取ローラＵｒが設けられ、第２の搬送チャンバＶｃ３外に設けられるモータＭ２により回転駆動されるようになっている。なお、第１及び第２の各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３には、繰出ローラＷｒから繰り出されたシート状の基材Ｓｗを成膜チャンバＶｃ１に、及び、成膜チャンバＶｃ１から搬送されるシート状の基材Ｓｗを巻取ローラＵｒに案内するガイドローラＧｒが適宜設けられている。

【0019】

成膜チャンバＶｃ１には、キャンローラＣｒが設けられ、成膜チャンバＶｃ１外に設けられるモータＭ３により回転駆動されるようになっている。キャンローラＣｒは、これに巻き掛けられて周回する間にシート状の基材Ｓｗを冷却できるものであり、これ自体は公知のものであるため、これ以上の説明は省略する。成膜チャンバＶｃ１にもまた、シート状の基材Ｓｗを案内するガイドローラＧｒが適宜設けられている。そして、キャンローラＣｒに巻き掛けられた基材Ｓｗの部分に対して成膜するために、キャンローラＣｒのＺ軸方向直下に位置させて、本実施形態の材料供給装置ＭＦを備える蒸着源Ｅｓが設けられている。

【0020】

蒸着源Ｅｓは、これを拡大して示す図３も参照して、成膜チャンバＶｃ１のＸ軸方向一方（図２中、左側）の側壁Ｗ１に連設される拡張チャンバ１と、拡張チャンバ１内に設けられる主筒体２と、成膜チャンバＶｃ１内に設けられる副筒体３とを備える。主筒体２は、直方体状の輪郭を持ち、その長手方向がＺ軸方向に合致する姿勢で拡張チャンバ１内に設けられる。主筒体２のＺ軸方向の下部には蒸着材料Ｅｍが充填される坩堝部２１が設けられている。蒸着材料Ｅｍとしては、シート状の基材Ｓｗに成膜（蒸着）しようとする薄膜の組成に応じて適宜選択され、例えば、アルミニウム、リチウム、インジウム及びその合金などの金属材料や有機材料が用いられる。坩堝部２１の近傍には、図外の直動モータなどの駆動源によりＺ軸方向に上下動する駆動軸２２ａが設けられ、駆動軸２２ａの上端部に蓋板２２が取り付けられている。そして、駆動軸２２ａを下動させると、蓋板２２により坩堝部２１の上面開口を開閉自在に閉塞できるようにしている（これにより、蒸着材料Ｅｍの昇華または気化により坩堝部２１の内部圧力が上昇した時でも、蓋板２２と坩堝部２１との間のコンダクタンスを確保し、蒸着材料Ｅｍが主筒体２内へ不都合な漏洩が発生しないようにできる）。主筒体２内にはまた、加熱手段としてのシースヒータ２３が設けられ、シースヒータ２３に図外の電源から通電することで、坩堝部２１内の蒸着材料Ｅｍだけでなく、主筒体２内の内面などを略均等に加熱できるようにしている。

【0021】

なお、上述の蓋板２２および駆動軸２２ａからなる坩堝部２１の上面開口を開閉する機構は、１）基材Ｓｗの一方の面に成膜する際に主筒体２を経て副筒体３に移送される際に障害（気体輸送の抵抗）とならないこと、２）坩堝部２１へ蒸着材料Ｅｍを供給する際に障害とならない（供給動線が確保できる）こと、３）蒸着材料Ｅｍを含め、系が熱的な平衡状態となるまで坩堝部２１の上面を閉塞することの各機能を全て両立する必要がある。これに併せて、主筒体２の内部容積は、性能および装置の小型化要求より、極小とすることが求められる。これらから、本実施形態では、上記１）及び２）の際には蓋板２２を主筒体２のＺ軸方向上方へ退避させる構成を採用している。これ以外の蓋板２２の退避位置は、主筒体２の内部容積の若干の増加を許容すれば、主筒体２のＹ軸方向前方あるいは後方側が考えられる。このような構成は、蓋板２２は坩堝部２１に付属する扉式の開閉機構を用いれば、実現できる。蓋板２２の退避位置を主筒体２のＸ軸後方側とすることもできるが、上記１）の条件を満たすために、主筒体２の内部容積を（本実施形態と比較して）増大させる必要が生じてしまう。例えば、扉式とした場合、開閉にリンク機構を用いる事が一般的手法であるが、蓋板２２と坩堝部２１との間の面圧（つまりコンダクタンス）確保を行うために、構成するリンクは本実施形態の駆動軸に比べて剛性を高くする必要が生じる。つまり、太いリンクを用いるために、内部容積は増大する。

【0022】

副筒体３は、円筒状の輪郭を持ち、主筒体２の一側壁２４ａからＸ軸方向にのびるように突設されている。この場合、副筒体３のＺ軸方向の高さ位置は、少なくとも坩堝部２１内に充填される蒸着材料Ｅｍの上層部分より上方に位置するように設定される。副筒体３は、成膜チャンバＶｃ１の側壁Ｗ１に開設した連通孔ｈ５に挿通させてその先端が成膜チャンバＶｃ１内に突出するように配置され、側壁Ｗ１内面に固定の支持体３１で支持されている。副筒体３のＺ軸方向上側に位置する外周部分には、レーストラック状の輪郭を持つ突条３２が設けられると共に、突条３２で囲繞されるようにしてＹ軸方向に長手のスリット状の放出開口３３が開設されている。副筒体３内にはまた、主筒体２から副筒体３に移送される、昇華または気化した蒸着材料Ｅｍが、放出開口３３に導かれる際に通過する分布孔３４ａが形成された分布板３４が挿設されると共に加熱手段としてのシースヒータ３５が設けられている、そして、シースヒータ３５に図外の電源から通電することで、副筒体３の内面や分布板３４表面をその全面に亘って略均等に加熱できるようにしている。

【0023】

本実施形態では、拡張チャンバ１が連通孔ｈ５を介して成膜チャンバＶｃ１と連通していることで、拡張チャンバ１と成膜チャンバＶｃ１の側壁Ｗ１とが真空チャンバとしての成膜チャンバＶｃ１内に連通する第１雰囲気空間（即ち、拡張チャンバ１内の第１空間１ａ）を画成する第１隔壁の構成要素となる。この場合、拡張チャンバ１に真空ポンプユニットからの排気管を接続し、成膜チャンバＶｃ１と別個に真空排気できるように構成してもよい。他方、互いに連通する主筒体２と副筒体３との内部空間２ａ，３ａは、副筒体３の放出開口３３を介して成膜チャンバＶｃ１内に連通するものの、放出開口３３のコンダクタンスにより第１空間１ａと雰囲気分離されることで、主筒体２と副筒体３とが第２雰囲気空間を画成する本実施形態の第２隔壁の構成要素となる。

【0024】

上記真空蒸着装置Ｄｍにて、シート状の基材Ｓｗを走行させながら、シート状の基材Ｓｗの両面に成膜する場合、蒸着源Ｅｓの坩堝部２１に蒸着材料Ｅｍを充填し、蓋板２２により坩堝部２１の上面開口を閉塞した状態とする。また、第１の搬送チャンバＶｃ２にて繰出ローラＷｒにシート状の基材Ｓｗが巻回され、その先端部が各ガイドローラＧｒ及びキャンローラＣｒに夫々巻き掛けられた後、第２の搬送チャンバＶｃ３に案内され、ガイドローラＧｒを経て巻取ローラＵｒに取り付けられた状態とする。そして、成膜チャンバＶｃ１、第１及び第２の各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３及び拡張チャンバ１が夫々所定圧力まで真空排気される。

【0025】

次に、各シースヒータ２３，３５に通電して坩堝部２１を含む主筒体２と副筒体３とが加熱される。ここで、蒸着材料Ｅｍが所定温度に達すると、坩堝部２１内の蒸着材料Ｅｍが液化し、その蒸着材料Ｅｍが持つ蒸気圧曲線に従って上層部分から気化し始める。このとき、坩堝部２１内の圧力（蒸着材料Ｅｍの分圧）は、所定温度に対応した蒸気圧まで上昇し、最終的には蒸気圧律速で気化が抑制される熱的な平衡状態まで移行する（シースヒータ２３，３５の通電電流（ヒータ出力）が安定する）。

【0026】

次に、モータＭ１～Ｍ３を回転駆動して、シート状の基材Ｓｗを一定の速度で走行させると共に、駆動源により駆動軸２２ａを介して蓋板２２を上動させて坩堝部２１の上面開口を開放する。すると、真空雰囲気中の成膜チャンバＶｃ１内に存する副筒体３との分圧の差が平衡状態となるように、気化した蒸着材料Ｅｍはその蒸気圧を保ちつつ主筒体２を経て副筒体３に移送（拡散）され、放出開口３３へと導かれて、放出開口３３から真空雰囲気中に放出され、キャンローラＣｒを周回する間にシート状の基材Ｓｗの一方の面に成膜される。成膜されたシート状の基材Ｓｗは、第２の搬送チャンバＶｃ３へと搬送されて巻取ローラＵｒに巻き取られ、第２の搬送チャンバＶｃ３を大気開放した後、成膜処理済みのシート状の基材Ｓｗが回収される。

【0027】

ところで、坩堝部２１内の蒸着材料Ｅｍを加熱により昇華または気化させると、これに伴って蒸着材料Ｅｍ自体は減少するので定期的に補充する必要があるが、成膜チャンバＶｃ１、第１及び第２の各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３及び拡張チャンバ１を一旦大気雰囲気に戻すのでは著しく生産性が損なわれる。本実施形態では、成膜チャンバＶｃ１、第１及び第２の各搬送チャンバＶｃ２，Ｖｃ３及び拡張チャンバ１の真空雰囲気を維持したまま坩堝部２１に蒸着材料Ｅｍを供給するために、本実施形態の材料供給装置ＭＦが設けられている。

【0028】

材料供給装置ＭＦは、図４～図６も参照して、拡張チャンバ１のＸ軸方向一方（図２中、左側）の側壁１１に連設され、坩堝部２１に供給しようとする蒸着材料Ｅｍを一旦格納する格納チャンバ４と、格納チャンバ４内に設けられる可動枠５と、この可動枠５をＸ軸方向前後に進退する駆動手段６と、予定されたストローク長を超えた可動枠５のＸ軸方向前方への移動を規制する規制手段７と、可動枠５と後述の駆動手段６の駆動ロッド６１との間に設けられる付勢手段８とを備える。以降、蒸着材料Ｅｍを坩堝部２１に供給するために後述の駆動ロッド６１が移動する方向を前方（図３中、右側）、その逆方向を後方（図３中、左側）とする。本実施形態では、格納チャンバ４はそのＸ軸方向一端（前端）が開口され、真空シールとしてのＯリングＳ１を介して拡張チャンバ１に連設されることで、格納チャンバ４と拡張チャンバ１の側壁１１とが、第１空間１ａと隔絶された第３の雰囲気空間（即ち、格納チャンバ４内の内部空間４ａ）を画成する第３隔壁の構成要素となる。また、特に図示して説明しないが、拡張チャンバ１の上壁は開閉自在に形成され、その内部を大気雰囲気としたとき、上壁を開けて後述の保持手段５２に蒸着材料Ｅｍをセットできるようになっている。

【0029】

可動枠５は、Ｙ軸方向に間隔をおいて配置される一対の支持壁５１と、両支持壁５１間に設けられて蒸着材料Ｅｍを保持する保持手段５２とを備える。保持手段５２は、図５及び図６に拡大して示すように、両支持壁５１のＸ軸方向後方側で両支持壁５１間に設けられる起立壁部５２ａと、起立壁部５２ａの下端にＸ軸方向前方にのびるように形成した保持板部５２ｂとを備える。Ｘ軸方向における保持板部５２ｂの長さは支持壁５１より短く定寸され、保持板部５２ｂのＸ軸方向前端と、後述の第１弁蓋との間に蒸着材料Ｅｍの落下を許容する空間Ｆｓが存するようにしている。また、格納チャンバ４のＸ軸方向後側の側壁４１には貫通孔４２が形成され、起立壁部５２ａのＸ軸方向後面に突出した筒状体５２ｃが貫通孔４２に挿通されている。

【0030】

Ｘ軸方向前端側に位置する保持板部５２ｂの上面には、蒸着材料Ｅｍの外周面に略一致する曲率を持ち、且つ、Ｘ軸方向前方に向かうに従い高さが低くなる円弧面５２ｄが形成されている。円弧面５２ｄには係止突起５３が立設されている。係止突起５３は、保持板部５２ｂの円弧面５２ｄにその外周面一部分が載置されるように蒸着材料Ｅｍを載置したとき、蒸着材料Ｅｍの重心ＥからＸ軸方向前方にオフセットさせるように配置され、係止突起５３により蒸着材料Ｅｍを係止させることで、可動枠５を移動させたときの振動等で保持板部５２ｂから蒸着材料Ｅｍが脱落しないようにしている。この場合、蒸着材料Ｅｍを係止できるものであれば、係止突起５３の形状、円弧面５２ｄに設ける数や配置については特に制限はなく、係止突起５３をＹ軸方向にのびる突条で構成してもよい。なお、蒸着材料Ｅｍが立方体や直方体（すなわち方形）の輪郭を持つもの、または、その座面が平面状であるような場合、これに応じて、保持板部５２ｂの円弧面５２ｄは斜面状または水平面状として形成することができる。この場合、斜面あるいは水平面において、蒸着材料Ｅｍの重力に起因する摩擦力が係止突起５３の脱落防止機能を兼ねることが可能となるため、係止突起５３は必要に応じて不要とできる。

【0031】

可動枠５には第１及び第２の各弁蓋５４，５５が設けられている。この場合、拡張チャンバ１の側壁１１には、その板厚方向に貫通する第１弁孔１２が開設されると共に、主筒体２の一側壁２４ａに対向する他側壁２４ｂには、第１弁孔１２にＸ軸方向で対峙させて第２弁孔２５が開設されている。第１弁蓋５４は、両支持壁５１のＸ軸方向前端に取り付けられた皿状部材で構成され、筒状の胴部５４ａのＸ軸方向前端に形成されたフランジ部５４ｂが、第１弁孔１２の周縁に位置する側壁１１の内面（第１空間１ａ側の面）に真空シールとしてのＯリングＳ２を介して当接することで、第１空間１ａと内部空間４ａとが互いに隔絶されるようになっている。また、胴部５４ａ内には、Ｘ軸方向前方にむかってのびる収容筒部５４ｃが形成されている。

【0032】

第２弁蓋５５は板状部材で構成され、Ｘ軸方向後方側の外周面が、第２弁孔２５の周縁に位置する他側壁２４ｂの内面（第２空間２ａ側の面）に面接触することで、第１空間１ａと主筒体２と副筒体３との内部空間２ａ，３ａとが互いに雰囲気分離されるようになっている。第２弁蓋５５のＸ軸方向後側の面にはロッド部５５ａが突設され、ロッド部５５ａの先端が収容筒部５４ｃに挿入され、第１弁蓋５４に対する第２弁蓋５５のＸ軸方向後方への移動を許容すると共に、Ｘ軸方向の１次元直線運動以外の動作を規制するガイドとしての機能を果たすようにしている。また、第１弁蓋５４と第２弁蓋５５との間には、他の付勢手段としての複数本のコイルばね５６が設けられ、第１弁蓋５４と第２弁蓋５５とがＸ軸方向で常に引き合うように付勢（予圧）されるようにしている。この場合、第１弁蓋５４と第２弁蓋５５との定常状態では、フランジ部５４ｂのＸ軸方向前方端と第２弁蓋５５のＸ軸方向後方端（後述のリフレクター板５７を支持するピン部材５７ａの後方端）とが接触した状態となる。更に、第２弁蓋５５のＸ軸方向後面には複数枚のリフレクター板５７がピン部材５７ａを介してＸ軸方向の隙間を存して設けられている。この場合、拡張チャンバ１の側壁１１に対向する主筒体２の他側壁２４ｂ、上壁２４ｃや底壁２４ｄにも他のリフレクター板５８ａ，５８ｂ，５８ｃを固定配置することが好ましい。

【0033】

ここで、複数本のコイルばね５６の付勢力（当初の予圧力と図３における離間距離に比例したコイルばね５６のばね定数からなる力を全て合算した力）は、第２弁蓋５５のＸ軸方向後方側の外周面と第２弁孔２５の周縁に位置する他側壁２４ｂの内面の接触面における面圧となり、内部空間２ａ，３ａとの雰囲気分離において設計上のコンダクタンスを担保している。コンダクタンスを担保するために装置状態が変化しても各接触部は同様の面圧が再現できる必要がある。このため、例えば、ロッド部５５ａと収容筒部５４ｃの嵌め合いはＸ軸方向のみの動作を許容するが、図３における側壁１１の内面と他側壁２４ｂの内面とのアライメント誤差を許容できるように、本部分の構造を設計することが望ましい。一例としては、ロッド部５５ａと収容筒部５４ｃの嵌め合いを適宜選定することで、動作自由度を、若干許容する設計とすることが挙げられる。しかし、本実施形態では、第２弁蓋５５とロッド部５５ａの結合部を一点で結合されるように構成し、この結合部位では傾斜を許容する構造（板バネ）とし、動作自由度の担保する機構を分けてアライメント誤差を吸収するようにしている。これにより、蒸着時に高温となり、その後に室温に戻るような温度サイクルに曝されても、ロッド部５５ａと収容筒部５４ｃとの固着等の問題を引き起こさずに、アライメント誤差を吸収し続ける構成となる。また、一点結合としたことから、蒸着時において主筒体２から側壁１１へ流出する熱流束に対して、熱抵抗を向上させることができる。

【0034】

駆動手段６は、Ｘ軸方向にのびる駆動ロッド６１を備える。駆動ロッド６１のＸ軸方向後端は、格納チャンバ４に取り付けた支持フレームＳｆで支持されるロッドレスシリンダ６２に連結され、Ｘ軸方向前後に移動自在となっている。駆動ロッド６１のＸ軸方向前端部分は、格納チャンバ４に取り付けたリニアブッシュ６３を介して、起立壁部５２ａの筒状体５２ｃにＸ軸方向に貫通させて形成したガイド孔５２ｅに挿通されている。駆動ロッド６１のＸ軸方向前端部分には、その径方向に延出させて第１及び第２の各フランジ部６１ａ，６１ｂが間隔を存して設けられ、Ｘ軸方向前端側に位置する第１のフランジ部６１ａが、ガイド孔５２ｅを挿通して起立壁部５２ａの可動枠５内側の面に当接するようになっている。また、リニアブッシュ６３からＸ軸方向後方に突出する駆動ロッド６１の部分には、ベローズ管６４が外挿され、駆動ロッド６１のＸ軸方向前後の移動によっても格納チャンバ４が気密保持されるようにしている。

【0035】

付勢手段８はコイルばねで構成され、第１のフランジ部６１ａと起立壁部５２ａとの間に設けられている。そして、可動枠５の移動が規制されない状態では、コイルばね８の付勢力で第２のフランジ部６１ｂのＸ軸方向後方面が、起立壁部５２ａの可動枠５内側の面に当接し、コイルばね８の付勢力が当該面間の予圧となり、駆動ロッド６１と可動枠５とが恰も一体となって駆動ロッド６１の移動に伴う可動枠５の移動を許容する。一方、可動枠５のＸ軸方向前方への移動が規制されると、駆動ロッド６１のＸ軸方向前方への推進力が当該予圧力を上回ると、コイルばね８の付勢力に抗して駆動ロッド６１の更なる移動のみを許容する。なお、付勢手段８は、コイルばねに限定されるものではなく、板ばねなど他の形態ものもの利用できる。また、規制手段７は、主筒体２内の所定位置に固定配置され、第１弁蓋５４が当接する板状のストッパで構成される。なお、規制手段７は、可動枠５の移動を規制できるものであれば、これに限定されるものではない。

【0036】

ここで、本実施形態では、第１空間１ａと確実に隔絶された第３雰囲気空間を構成するには、格納チャンバ４と拡張チャンバ１の側壁１１や、ＯリングＳ２や第１の弁蓋５４といった部品だけでなく、ＯリングＳ２をその全周に亘って潰すための外力が必須となるため、駆動ロッド６１のＸ軸方向後方への引き込み力が、駆動ロッド６１に設けた第２のフランジ部６１ｂが当接する起立壁部５２ａの可動枠５内側の面、可動枠５の支持壁５１、第１の各弁蓋５４へとすべて剛体（付勢手段の関与なし）で伝達されるようになっている。なお、第２のフランジ部６１ｂと起立壁部５２ａの可動枠５内側の面とは予め当接しているが、これは、付勢手段８の離間方向の付勢力による（言い換えると、付勢手段８の付勢力がストッパとして機能することによる）ものであり、駆動ロッド６１の引き込み時、直ちにＯリングＳ２の潰し力となる（つまり、一体あるいは剛体での動作、２段階動作やバネを介した動作とならない）。このため、仮に何らかの理由で駆動ロッド６１を引き戻した際に、蒸着材料Ｅｍが振動で途中落下するような事故が発生しにくい構造（予圧でガタツキが無い構造）となっている。なお、第１弁孔１２の周縁に位置するＯリングＳ２の全周に対して略均一な面圧を発揮させるために、後述する駆動ロッド６１のリニアブッシュ６３は、第１弁孔１２の周縁に位置する側壁１１の内面に沿うことができるように構成するのが望ましい。例えば、駆動ロッド６１のリニアブッシュ６３との嵌め合いを適宜選択することによって、側壁１１の内面に沿う（倣う）ことが実現できる。これにより、側壁１１が温度条件や差圧条件によって変形した際にも追従することが可能となる。以下に、材料供給装置ＭＦを用いた蒸着材料Ｅｍの坩堝部２１への供給を具体的に説明する。

【0037】

第１弁蓋５４及び第２弁蓋５５により第１弁孔１２及び第２弁孔２５が閉塞されて第１及び第２の両雰囲気空間１ａ，２ａ（３ａ）が真空雰囲気とされ、シート状の基材Ｓｗへの成膜が実施されている。このとき、駆動ロッド６１は可動枠５が拡納チャンバ４内に位置する待機位置にあるものとする（図３参照）。そして、拡納チャンバ４内を大気雰囲気とする。このとき、ロッドレスシリンダ６２は拡納チャンバ４と第１の雰囲気空間１ａとの差圧に起因する力、図３に示す状態でのコイルばね５６の収縮力、およびＯリングＳ２の弾性力のすべてを合一した力に対し、拮抗する力をＸ軸方向後方側へ発揮して、待機位置を保持している。この状態で、上壁を開けて保持手段５２に蒸着材料Ｅｍをセットした後、上壁を再度閉じてその内部を所定圧力まで真空排気する。ロッドレスシリンダ６２は、上記待機状態と略同一の力をＸ軸方向後方側へ発揮しているが、駆動ロッド６１、その第２のフランジ部６１ｂ、保持手段５２、支持壁５１、第２の弁蓋５４及び拡張チャンバ１の側壁１１に至る経路が剛結合の状態であるので、待機位置が保たれる。

【0038】

次に、坩堝部２１に蒸着材料Ｅｍを供給する場合、ロッドレスシリンダ６２により駆動ロッド６１をＸ軸方向前方に移動させると、先ず、ＯリングＳ２の弾性力が開放され、第１の雰囲気空間１ａと第３の雰囲気空間（即ち、格納チャンバ４内の内部空間４ａ）とが連通し、次に、第１の弁蓋５４のフランジ部５４ｂのＸ軸方向前端部が第２の弁蓋５５のＸ軸方向後端部と接触し、同時に、第２の弁蓋５５が側壁２４ｂからの離間を開始し、離間すると、格納チャンバ４内の内部空間４ａと、第１の雰囲気空間１ａと、第２の雰囲気空間２ａが互いに連通する。そして、駆動ロッド６１が予定のストローク長だけ移動すると、可動枠５が第１及び第２の各弁孔１２，２５を順次通って主筒体２内の空間２ａ内に進入し、第１の弁蓋５４と第２の弁蓋５５とが一体となった状態で規制手段７に当接することで、可動枠５のＸ軸方向前方への移動が規制され、可動枠５が投入位置に到達する（図４参照）。この状態では、蒸着材料Ｅｍが保持手段５２で保持されたままである。

【0039】

可動枠５の移動が規制された状態で、ロッドレスシリンダ６２により駆動ロッド６１を付勢手段８の付勢力に抗してＸ軸方向前方へ更に移動させると、駆動ロッド６１の前端部分がガイド孔５２ｅから可動枠５内に突出し（図５参照）、この突出した前端部分が蒸着材料Ｅｍを押し出す。すると、蒸着材料Ｅｍが転動して係止突起５３を乗り越え、空間Ｆｓを通って坩堝部２１内に落とし込まれる（図６参照）。なお、蒸着材料Ｅｍ座面が平面である場合、例えば蒸着材料Ｅｍの重心位置が保持手段５２の先端を超えると、重力により落下する。そして、蒸着材料Ｅｍが坩堝部２１内に落とし込まれた後は、ロッドレスシリンダ６２を引き込むことで各雰囲気分離を保つことができ、生産運転を容易に継続することができる。

【0040】

以上によれば、殊更、成膜が実施される成膜チャンバＶｃ１内を大気雰囲気に戻すことなく、駆動ロッド６１のＸ軸方向一方への移動だけで、成膜に必要な蒸着材料Ｅｍを坩堝部２１に供給することができ、また、駆動源（アクチュエータ）も単一で済む。このとき、シースヒータ２３，３５はその作動を継続した状態とできる。その結果、坩堝部２１への蒸着材料Ｅｍの定期的な補充により著しく生産性が損なわることを回避することができる。なお、蒸着材料Ｅｍの供給が完了すると、駆動ロッド６１を後退させるだけで、第１弁蓋５４及び第２弁蓋５５が側壁（第１隔壁）１１及び他側壁（第２隔壁）２４ｂに夫々当接し、格納チャンバ４を成膜チャンバＶｃ１及び拡張チャンバ１から隔絶されることができる。また、コイルばね５６により第２弁蓋５５が第１弁蓋５４に向けて常時付勢されることで、シースヒータ２３，３５による加熱で主筒体２の壁面が熱伸びしても、隔絶不良を回避できる。更に、リフレクター板５７を設けることで、拡張チャンバ１の壁面への伝熱が抑制され、第１弁蓋５４、格納チャンバ（第３隔壁）４やその内部に存する可動枠５といった部品が加熱されることを抑制でき、供給しようとする蒸着材料Ｅｍを坩堝部２１に供給する前に溶解するといった不具合の発生を防止することができる。また、主筒体２内の空間が加熱された状態（材料が気相となる壁面温度状態）であるために、仮に蒸着材料Ｅｍ（固体）が坩堝部２１内に落とし込まれた際に、坩堝部２１内の蒸着材料Ｅｍ（液体）が壁面まで飛散したとしても、速やかに気化されるため、生産運転に支障が出ることがない。

【0041】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、蒸着材料Ｅｍとしてインゴット状のものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、顆粒状のものとしてもよい。この場合、保持板部５２ｂに顆粒状の蒸着材料Ｅｍを積み重ね、可動枠５の移動が規制されたときに突出する駆動ロッド６１の先端のフランジ部が顆粒状の蒸着材料Ｅｍを押し出すようにするか、または、押し出し時にバケットに転動させる構成として、バケット内の蒸着材料Ｅｍを投入すればよい。また、駆動手段６として、ロッドレスシリンダ６２で駆動ロッド６１をＸ軸方向前後に移動させるものを例に説明したが、可動枠５の移動に伴って蒸着材料Ｅｍを押し出して坩堝部２１に落下できるものであれば、その形態は問わない。

【0042】

上記実施形態では、拡張チャンバ１を設け、この拡張チャンバ１から成膜チャンバＶｃ１に跨るように主筒体２と副筒体３とを持つ蒸着源Ｅｓを設けたものを例に説明したが、本発明の材料供給装置ＭＦは、真空チャンバ内に連通する第１雰囲気空間とこの第１雰囲気空間と雰囲気分離された第２雰囲気空間とを画成できるものであれば、広く適用でき、このとき、坩堝部２１の有無や加熱手段の形態は問わない。他方、特に図示して説明しないが、例えば真空チャンバ内にその内部雰囲気に曝さられる状態で蒸着源（坩堝）が直接設置されているような場合、真空チャンバに、これと雰囲気分離された空間を画成する隔壁としての格納チャンバを連接すると共に、真空チャンバに連なるＸ軸方向の隔壁部分に弁孔を開設した上で、本発明を適用して、駆動ロッドのＸ軸方向一方への移動だけで、格納チャンバ内に格納されている蒸着材料を蒸着源（坩堝）に供給できるように構成することができる。また、真空チャンバ内に、その内部雰囲気と隔絶された状態で蒸着源が設置されている場合でも、真空チャンバ内の一部を格納チャンバとして利用し、蒸着源を構成する隔壁に弁孔を開設した上で、本発明を適用して、駆動ロッドのＸ軸方向一方への移動だけで蒸着源に蒸着材料を供給できるように構成することができる。

【符号の説明】

【0043】

ＭＦ…材料供給装置、Ｄｍ…真空蒸着装置、Ｅｍ…蒸着材料、Ｅｓ…蒸着源、Ｓｗ…シート状の基材（成膜対象物）、Ｖｃ１…成膜チャンバ（真空チャンバ、第１隔壁の構成要素）、Ｗ１…成膜チャンバＶｃ１の側壁（第１隔壁の構成要素）、１ａ…第１空間（第１雰囲気空間）、２…主筒体（第２隔壁の構成要素）、２ａ…主筒体２の内部空間（第２雰囲気空間）、３…副筒体（第２隔壁の構成要素）、３ａ…副筒体３の内部空間（第２雰囲気空間）、４…格納チャンバ（第３隔壁の構成要素）、４ａ…第２空間（第３雰囲気空間）、５…可動枠、６…駆動手段、7…規制手段、８…コイルばね（付勢手段）、１１…拡張チャンバ１の側壁（第３隔壁の構成要素）、１２…第１弁孔、２１…坩堝部、２２…蓋板、２３…シースヒータ（加熱手段）、２４…第２弁孔、５２…保持手段、５２ｂ…保持板部、５２ｅ…ガイド孔、５３…係止突起、５４…第１弁蓋、５５…第２弁蓋、５６…コイルばね（他の付勢手段）、５７…リフレクター板、６１…駆動ロッド。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】