特許 7543598 搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-23

(45)【発行日】2024-09-02

(54)【発明の名称】搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 54/02 20060101AFI20240826BHJP

   B65G 47/52 20060101ALI20240826BHJP

   B65G 47/64 20060101ALI20240826BHJP

【ＦＩ】

B65G54/02

B65G47/52 Z

B65G47/64

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2024502397

(86)(22)【出願日】2022-02-25

(86)【国際出願番号】 JP2022007999

(87)【国際公開番号】W WO2023162167

(87)【国際公開日】2023-08-31

【審査請求日】2024-03-07

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】山口 洸太

【審査官】板澤 敏明

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０２１／２２９７８１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－１０３２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０５５７０９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００８／００２９２３８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－２１３５５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ５４／００－５４／０２

Ｂ６５Ｇ ４７／５２

Ｂ６５Ｇ ４７／６４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアと、
前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの一方側の端部である第１端部を支持する第１支持機構と、
前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの前記一方側と逆の他方側の端部である第２端部を支持する第２支持機構と
を備え、
前記第１支持機構および前記第２支持機構は、前記搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置とを含む可動範囲で前記切換方向に移動する前記可動リニアコンベアを支持し、
前記第１位置に対しては、前記搬送方向の前記一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、
前記第２位置に対しては、前記搬送方向の前記他方側から第２固定リニアコンベアが対向し、
前記可動リニアコンベアは、前記第１位置に停止しつつ、前記第１固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記可動リニアコンベアは、前記第２位置に停止しつつ、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記第１支持機構は、前記可動リニアコンベアの前記第１端部に取り付けられる第１可動部材と、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられて前記第１可動部材を前記切換方向に案内する第１案内部とを有し、
前記第２支持機構は、前記可動リニアコンベアの前記第２端部に取り付けられる第２可動部材と、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられて前記第２可動部材を前記切換方向に案内する第２案内部とを有する搬送路切換装置。

【請求項2】

前記第１案内部は、駆動源を有し、
前記駆動源は、前記第１可動部材を前記切換方向に駆動することで、前記可動リニアコンベアを前記切換方向に移動させる請求項１に記載の搬送路切換装置。

【請求項3】

前記第１案内部は、前記切換方向に平行に配置されたボールネジを有し、
前記第１可動部材は、前記ボールネジのナットに接続され、
前記駆動源は、前記ボールネジのネジ軸を回転させて、前記第１可動部材を前記切換方向に駆動する請求項２に記載の搬送路切換装置。

【請求項4】

前記第１案内部は、第１駆動源を有し、
前記第２案内部は、第２駆動源を有し、
前記第１駆動源は、前記第１可動部材を前記切換方向に駆動することで、前記可動リニアコンベアを前記切換方向に移動させ、
前記第２駆動源は、前記第２可動部材を前記切換方向に駆動することで、前記可動リニアコンベアを前記切換方向に移動させる請求項１に記載の搬送路切換装置。

【請求項5】

前記第１案内部は、前記切換方向に平行に配置された第１ボールネジを有し、
前記第１可動部材は、前記第１ボールネジのナットに接続され、
前記第１駆動源は、前記第１ボールネジのネジ軸を回転させて、前記第１可動部材を前記切換方向に駆動し、
前記第２案内部は、前記切換方向に平行に配置された第２ボールネジを有し、
前記第２可動部材は、前記第２ボールネジのナットに接続され、
前記第２駆動源は、前記第２ボールネジのネジ軸を回転させて、前記第２可動部材を前記切換方向に駆動する請求項４に記載の搬送路切換装置。

【請求項6】

前記第１駆動源の動作および前記第２駆動源の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、
前記可動リニアコンベアと前記第１固定リニアコンベアとを前記搬送方向に対向させる際には、前記第２駆動源の動作を停止させつつ、前記第１駆動源の動作によって前記可動リニアコンベアの位置を前記第１位置に制御し、
前記可動リニアコンベアと前記第２固定リニアコンベアとを前記搬送方向に対向させる際には、前記第１駆動源の動作を停止させつつ、前記第２駆動源の動作によって前記可動リニアコンベアの位置を前記第２位置に制御する請求項４または５に記載の搬送路切換装置。

【請求項7】

前記搬送方向において前記第１端部と前記第２端部との間の取付位置で前記可動リニアコンベアに取り付けられたリンク機構と、
前記リンク機構を前記切換方向に駆動することで、前記可動リニアコンベアを前記切換方向に移動させる単軸ロボットと
をさらに備え、
前記リンク機構は、前記可動リニアコンベアに取り付けられた第１球面軸受と、前記単軸ロボットのスライダに取り付けられた第２球面軸受と、前記第１球面軸受と前記第２球面軸受とを接続するロッドとを有し、
前記ロッドの一端が前記第１球面軸受によって受けられ、前記ロッドの前記一端と逆の他端が前記第２球面軸受によって受けられる請求項１に記載の搬送路切換装置。

【請求項8】

前記第１可動部材は、前記第１端部の底面に下側から対向する第１支持面を有し、
前記第１支持面が前記第１端部の底面に突き当てられることで前記第１可動部材と前記第１端部とが位置決めされ、
前記第１案内部は、前記第１固定リニアコンベアの底面に下側から突き当てられる第１取付面を有し、
前記第１取付面が前記第１固定リニアコンベアの底面に突き当てられることで前記第１案内部と前記第１固定リニアコンベアとが位置決めされ、
前記第２可動部材は、前記第２端部の底面に下側から対向する第２支持面を有し、
前記第２支持面が前記第２端部の底面に突き当てられることで前記第２可動部材と前記第２端部とが位置決めされ、
前記第２案内部は、前記第２固定リニアコンベアの底面に下側から突き当てられる第２取付面を有し、
前記第２取付面が前記第２固定リニアコンベアの底面に突き当てられることで前記第２案内部と前記第２固定リニアコンベアとが位置決めされる請求項１ないし７のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項9】

前記可動範囲は、前記第１位置および前記第２位置のうち少なくとも前記第２位置と異なる第３位置を含み、
前記第３位置に対しては、前記搬送方向の前記他方側から第３固定リニアコンベアが対向し、
前記可動リニアコンベアは、前記第３位置に停止しつつ、前記第３固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記第２支持機構の前記第２案内部は、前記第３固定リニアコンベアに取り付けられる請求項１ないし８のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項10】

前記可動範囲は、前記第１位置および前記第２位置のうち少なくとも前記第１位置と異なる第４位置を含み、
前記第４位置に対しては、前記搬送方向の前記一方側から第４固定リニアコンベアが対向し、
前記可動リニアコンベアは、前記第４位置に停止しつつ、前記第４固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記第１支持機構の前記第１案内部は、前記第４固定リニアコンベアに取り付けられる請求項１ないし９のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項11】

前記第１固定リニアコンベアが取り付けられる第１取付架台に対して前記第１支持機構を取り付ける第１取付部材と、
前記第２固定リニアコンベアが取り付けられる第２取付架台に対して前記第２支持機構を取り付ける第２取付部材と
をさらに備える請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項12】

搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、
前記搬送方向に前記コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、
前記搬送方向において前記第１固定リニアコンベアと前記第２固定リニアコンベアとの間に配置された請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の搬送路切換装置と
を備える搬送システム。

【請求項13】

コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアを、前記搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置とを含む可動範囲で前記切換方向に移動させる工程を備え、
前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの一方側の端部である第１端部は、第１支持機構によって支持され、
前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの前記一方側と逆の他方側の端部である第２端部は、第２支持機構によって支持され、
前記第１位置に対しては、前記搬送方向の前記一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、
前記第２位置に対しては、前記搬送方向の前記他方側から第２固定リニアコンベアが対向し、
前記可動リニアコンベアは、前記第１位置に停止しつつ、前記第１固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記可動リニアコンベアは、前記第２位置に停止しつつ、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記第１支持機構は、前記可動リニアコンベアの前記第１端部に取り付けられる第１可動部材と、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられて前記第１可動部材を前記切換方向に案内する第１案内部とを有し、
前記第２支持機構は、前記可動リニアコンベアの前記第２端部に取り付けられる第２可動部材と、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられて前記第２可動部材を前記切換方向に案内する第２案内部とを有する搬送路切換方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、可動リニアコンベアの両側に配置された２個の固定リニアコンベアの間におけるテーブルコンベアの搬送路の切り換えを可動リニアコンベアによって実行する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１では、並列に配置された２本の固定リニアコンベアの間でテーブルコンベアを搬送する可動リニアコンベアを用いて、テーブルコンベアを循環的に搬送する循環搬送装置が記載されている。かかる循環搬送装置では、２本の固定リニアコンベアのうち一方に対向する位置と、他方に対向する位置との間で、可動リニアコンベアが移動可能である。この可動リニアコンベアは、一方の固定リニアコンベアに対向する位置で、一方の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを受け渡し、他方の固定リニアコンベアに対向する位置で、他方の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを受け渡す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】ＷＯ２０２１／２２９７８１

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上記のような循環搬送装置では、可動リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載する２本の固定リニアコンベアはいずれも可動リニアコンベアの片側に配置されている。したがって、可動リニアコンベアは、当該可動リニアコンベアの片側に位置する固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを移載できれば十分である。

【0005】

これに対して、可動リニアコンベアの両側に２個の固定リニアコンベアが配置される装置では、可動リニアコンベアは、当該可動リニアコンベアの一方側の固定リニアコンベアとの間におけるテーブルコンベアの移載と、当該可動リニアコンベアの他方側の固定リニアコンベアとの間におけるテーブルコンベアの移載との両方を実行する必要がある。そのため、テーブルコンベアが可動リニアコンベアの一方側の端部に位置して、可動リニアコンベアに対する荷重が一方側に偏る場面と、テーブルコンベアが可動リニアコンベアの他方側の端部に位置して、可動リニアコンベアに対する荷重が他方側に偏る場面とがある。したがって、一方側の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを移載する際に可動リニアコンベアの一方側の端部が沈み込んだり、他方側の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを移載する際に可動リニアコンベアの他方側の端部が沈み込んだりするために、固定リニアコンベアとの間のテーブルコンベアの移載を適切に実行できないといった課題があった。

【0006】

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、可動リニアコンベアに対する荷重の偏りに抗して可動リニアコンベアを支持して、可動リニアコンベアの両側に配置された各固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のコンベアテーブルの移載を適切に実行することを可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る搬送路切換装置は、コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアと、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側の端部である第１端部を支持する第１支持機構と、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側と逆の他方側の端部である第２端部を支持する第２支持機構とを備え、第１支持機構および第２支持機構は、搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置とを含む可動範囲で切換方向に移動する可動リニアコンベアを支持し、第１位置に対しては、搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、第２位置に対しては、搬送方向の他方側から第２固定リニアコンベアが対向し、可動リニアコンベアは、第１位置に停止しつつ、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、可動リニアコンベアは、第２位置に停止しつつ、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、第１支持機構は、可動リニアコンベアの第１端部に取り付けられる第１可動部材と、第１固定リニアコンベアに取り付けられて第１可動部材を切換方向に案内する第１案内部とを有し、第２支持機構は、可動リニアコンベアの第２端部に取り付けられる第２可動部材と、第２固定リニアコンベアに取り付けられて第２可動部材を切換方向に案内する第２案内部とを有する。

【0008】

本発明に係る搬送システムは、搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、搬送方向において第１固定リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとの間に配置された上記の搬送路切換装置とを備える。

【0009】

本発明に係る搬送路切換方法は、コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアを、搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置とを含む可動範囲で切換方向に移動させる工程を備え、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側の端部である第１端部は、第１支持機構によって支持され、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側と逆の他方側の端部である第２端部は、第２支持機構によって支持され、第１位置に対しては、搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、第２位置に対しては、搬送方向の他方側から第２固定リニアコンベアが対向し、可動リニアコンベアは、第１位置に停止しつつ、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、可動リニアコンベアは、第２位置に停止しつつ、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、第１支持機構は、可動リニアコンベアの第１端部に取り付けられる第１可動部材と、第１固定リニアコンベアに取り付けられて第１可動部材を切換方向に案内する第１案内部とを有し、第２支持機構は、可動リニアコンベアの第２端部に取り付けられる第２可動部材と、第２固定リニアコンベアに取り付けられて第２可動部材を切換方向に案内する第２案内部とを有する。

【0010】

このように構成された本発明（搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法）では、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側の端部である第１端部を支持する第１支持機構と、搬送方向において可動リニアコンベアの一方側と逆の他方側の端部である第２端部を支持する第２支持機構とが設けられている。特に、第１支持機構は、可動リニアコンベアの第１端部に取り付けられる第１可動部材と、第１固定リニアコンベアに取り付けられて第１可動部材を切換方向に案内する第１案内部とを有する。このような第１可動部材と第１案内部とを有する第１支持機構によって、第１固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの第１端部をしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベアに対する荷重が第１端部に偏った場合でも、第１固定リニアコンベアに対する当該第１端部の沈み込みを抑制して、第１固定リニアコンベアと当該第１端部との間におけるコンベアテーブルの移載を適切に実行できる。さらに、第２支持機構は、可動リニアコンベアの第２端部に取り付けられる第２可動部材と、第２固定リニアコンベアに取り付けられて第２可動部材を切換方向に案内する第２案内部とを有する。このような第２可動部材と第２案内部とを有する第２支持機構によって、第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの第２端部をしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベアに対する荷重が第２端部に偏った場合でも、第２固定リニアコンベアに対する当該第２端部の沈み込みを抑制して、第２固定リニアコンベアと当該第２端部との間におけるコンベアテーブルの移載を適切に実行できる。その結果、可動リニアコンベアに対する荷重の偏りに抗して可動リニアコンベアを支持して、可動リニアコンベアの両側に配置された各固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のコンベアテーブルの移載を適切に実行することが可能となっている。

【0011】

また、第１案内部は、駆動源を有し、駆動源は、第１可動部材を切換方向に駆動することで、可動リニアコンベアを切換方向に移動させるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１案内部の駆動源によって、第１位置と第２位置との間で可動リニアコンベアを切換方向に移動させることができる。特に、駆動源を第１案内部に具備させることで、第１可動部材の駆動および案内の両機能を第１案内部という単一の機能部によってコンパクトに実現でき、搬送路切換装置の小型化を図ることができる。

【0012】

また、第１案内部は、切換方向に平行に配置されたボールネジを有し、第１可動部材は、ボールネジのナットに接続され、駆動源は、ボールネジのネジ軸を回転させて、第１可動部材を切換方向に駆動するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの一方側に配置されたボールネジ式の単軸ロボットによって、可動リニアコンベアを切換方向に移動させることができる。

【0013】

また、第１案内部は、第１駆動源を有し、第２案内部は、第２駆動源を有し、第１駆動源は、第１可動部材を切換方向に駆動することで、可動リニアコンベアを切換方向に移動させ、第２駆動源は、第２可動部材を切換方向に駆動することで、可動リニアコンベアを切換方向に移動させるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１案内部の第１駆動源と第２案内部の第２駆動源とによって、第１位置と第２位置との間で可動リニアコンベアを切換方向に移動させることができる。特に、第１駆動源を第１案内部に具備させることで、第１可動部材の駆動および案内の両機能を第１案内部という単一の機能部によってコンパクトに実現できるとともに、第２駆動源を第２案内部に具備させることで、第２可動部材の駆動および案内の両機能を第２案内部という単一の機能部によってコンパクトに実現でき、搬送路切換装置の小型化を図ることができる。

【0014】

また、第１案内部は、切換方向に平行に配置された第１ボールネジを有し、第１可動部材は、第１ボールネジのナットに接続され、第１駆動源は、第１ボールネジのネジ軸を回転させて、第１可動部材を切換方向に駆動し、第２案内部は、切換方向に平行に配置された第２ボールネジを有し、第２可動部材は、第２ボールネジのナットに接続され、第２駆動源は、第２ボールネジのネジ軸を回転させて、第２可動部材を切換方向に駆動するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの一方側に配置されたボールネジ式の単軸ロボットと、可動リニアコンベアの他方側に配置されたボールネジ式の単軸ロボットとによって、可動リニアコンベアを切換方向に移動させることができる。

【0015】

また、 第１駆動源の動作および第２駆動源の動作を制御する制御部をさらに備え、制御部は、可動リニアコンベアと第１固定リニアコンベアとを搬送方向に対向させる際には、第２駆動源の動作を停止させつつ、第１駆動源の動作によって可動リニアコンベアの位置を第１位置に制御し、可動リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとを搬送方向に対向させる際には、第１駆動源の動作を停止させつつ、第２駆動源の動作によって可動リニアコンベアの位置を第２位置に制御するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとを搬送方向に対向させる際には、第２駆動源の動作の干渉を防止しつつ、第１駆動源によって可動リニアコンベアを第１固定リニアコンベアに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアのスムーズな移載を実現できる。また、第２固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとを搬送方向に対向させる際には、第１駆動源の動作の干渉を防止しつつ、第２駆動源によって可動リニアコンベアを第２固定リニアコンベアに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアのスムーズな移載を実現できる。なお、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとを搬送方向に対向させる場面とは、代表的には、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを移載する場面が挙げられる。ただし、テーブルコンベアの移載を目的とせずに、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとを相互に位置決めする場面においても、上記の制御は有効である。

【0016】

また、搬送方向において第１端部と第２端部との間の取付位置で可動リニアコンベアに取り付けられたリンク機構と、リンク機構を切換方向に駆動することで、可動リニアコンベアを切換方向に移動させる単軸ロボットとをさらに備え、リンク機構は、可動リニアコンベアに取り付けられた第１球面軸受と、単軸ロボットのスライダに取り付けられた第２球面軸受と、第１球面軸受と第２球面軸受とを接続するロッドとを有し、ロッドの一端が第１球面軸受によって受けられ、ロッドの一端と逆の他端が第２球面軸受によって受けられるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１・第２案内部と単軸ロボットとの間における平行度の誤差を、リンク機構の自由度によって吸収することができる。したがって、可動リニアコンベアを切換方向にスムーズに移動させることができる。

【0017】

また、第１可動部材は、第１端部の底面に下側から対向する第１支持面を有し、第１支持面が第１端部の底面に突き当てられることで第１可動部材と第１端部とが位置決めされ、第１案内部は、第１固定リニアコンベアの底面に下側から突き当てられる第１取付面を有し、第１取付面が第１固定リニアコンベアの底面に突き当てられることで第１案内部と第１固定リニアコンベアとが位置決めされ、第２可動部材は、第２端部の底面に下側から対向する第２支持面を有し、第２支持面が第２端部の底面に突き当てられることで第２可動部材と第２端部とが位置決めされ、第２案内部は、第２固定リニアコンベアの底面に下側から突き当てられる第２取付面を有し、第２取付面が第２固定リニアコンベアの底面に突き当てられることで第２案内部と第２固定リニアコンベアとが位置決めされるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、搬送路切換装置の第１取付面を第１固定リニアコンベアの底面に突き当てるとともに、搬送路切換装置の第２取付面を第２固定リニアコンベアの底面に突き当てることで、第１・第２固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとを簡便に位置決めすることができる。そのため、第１・第２固定リニアコンベアに対する搬送路切換装置の取付作業に要する作業者の負担を軽減することができる。

【0018】

また、可動範囲は、第１位置および第２位置のうち少なくとも第２位置と異なる第３位置を含み、第３位置に対しては、搬送方向の他方側から第３固定リニアコンベアが対向し、可動リニアコンベアは、第３位置に停止しつつ、第３固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、第２支持機構の第２案内部は、第３固定リニアコンベアに取り付けられるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第２支持機構の第２案内部が第３固定リニアコンベアに取り付けられている。このような第２支持機構によって、第３固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの第２端部をしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベアに対する荷重が第２端部に偏った場合でも、第３固定リニアコンベアに対する当該第２端部の沈み込みを抑制して、第３固定リニアコンベアと当該第２端部との間におけるコンベアテーブルの移載を適切に実行できる。

【0019】

また、可動範囲は、第１位置および第２位置のうち少なくとも第１位置と異なる第４位置を含み、第４位置に対しては、搬送方向の一方側から第４固定リニアコンベアが対向し、可動リニアコンベアは、第４位置に停止しつつ、第４固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、第１支持機構の第１案内部は、第４固定リニアコンベアに取り付けられるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１支持機構の第１案内部が第４固定リニアコンベアに取り付けられている。このような第１支持機構によって、第４固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの第１端部をしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベアに対する荷重が第１端部に偏った場合でも、第４固定リニアコンベアに対する当該第１端部の沈み込みを抑制して、第４固定リニアコンベアと当該第１端部との間におけるコンベアテーブルの移載を適切に実行できる。

【0020】

また、第１固定リニアコンベアが取り付けられる第１取付架台に対して第１支持機構を取り付ける第１取付部材と、第２固定リニアコンベアが取り付けられる第２取付架台に対して第２支持機構を取り付ける第２取付部材とをさらに備えるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、第１・第２取付部材によって第１・第２支持機構を支持することで、第１・第２固定リニアコンベアに加わる負荷を軽減することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、可動リニアコンベアに対する荷重の偏りに抗して可動リニアコンベアを支持して、可動リニアコンベアの両側に配置された各固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のコンベアテーブルの移載を適切に実行することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1A】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1B】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1C】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1D】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1E】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図2】図１Ａないし図１Ｅに示す基板搬送システムが具備する電気的構成を示すブロック図。

【図3】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第１例を模式的に示す正面図。

【図4】単軸ロボットによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図。

【図5】スライドガイドによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図。

【図6】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第２例を模式的に示す正面図。

【図7】２台の単軸ロボットを備える分岐搬送装置における移載制御の一例を示すフローチャート。

【図8】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第３例を模式的に示す正面図。

【図9】図８の分岐搬送装置が有するリンク機構の一例を模式的に示す側面図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

図１Ａないし図１Ｅは本発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図であり、図２は図１Ａないし図１Ｅに示す基板搬送システムが具備する電気的構成を示すブロック図である。本明細書の図では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示すとともに、Ｘ方向において互いに逆を向くＸｌ側（図１ないし図１Ｅの紙面左側）およびＸｒ側（図１ないし図１Ｅの紙面右側）を適宜示す。

【0024】

図１Ａないし図１Ｅに示すように、搬送システム１は、２台の取付架台１１と、４台の固定リニアコンベア２とを備える。なお、２台の取付架台１１を区別する場合には、取付架台１１ｌ、１１ｒと適宜称し、４台の固定リニアコンベア２を区別する場合には、固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと適宜称することとする。また、図２では、４台の固定リニアコンベア２を代表して１台の固定リニアコンベア２が示されている。

【0025】

２台の取付架台１１ｌ、１１ｒは、Ｘ方向に間隔１２を空けて配置され、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。４台の固定リニアコンベア２のうち、２台の固定リニアコンベア２ａ、２ｄは、Ｘｌ側の取付架台１１ｌの上面１１１に配置され、２台の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃは、Ｘｒ側の取付架台１１ｒの上面１１１に配置される。各取付架台１１ｌ、１１ｒの上面１１１は、Ｚ方向に直交する水平な平面である。

【0026】

４台の固定リニアコンベア２はいずれもＸ方向に平行に配置される。特に、取付架台１１ｌ上の２台の固定リニアコンベア２ａ、２ｄはＸ方向に互いに並列に配置され、取付架台１１ｒ上の２台の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃはＸ方向に互いに並列に配置される。また、取付架台１１ｌ上の固定リニアコンベア２ａと取付架台１１ｒ上の固定リニアコンベア２ｃとはＸ方向に直列に配置され、取付架台１１ｌ上の固定リニアコンベア２ｄと取付架台１１ｒ上の固定リニアコンベア２ｂとはＸ方向に直列に配置される。そして、搬送システム１は、これらの固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの間でテーブルコンベアＴを搬送することができる。

【0027】

固定リニアコンベア２は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング２１を備え、リニアハウジング２１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。このリニアハウジング２１は、Ｙ方向の両側に突出するフランジ２３を有し、フランジ２３が取付架台１１の上面１１１にネジによって締結されることで、固定リニアコンベア２が取付架台１１の上面１１１に固定される。また、リニアハウジング２１のＸｌ側の端面２１ｌおよびＸｒ側の端面２１ｒは、Ｘ方向に垂直に立設されている。

【0028】

かかるリニアハウジング２１に対しては、テーブルコンベアＴがＸ方向から係合・離脱することができる。つまり、テーブルコンベアＴは、リニアハウジング２１のＸｌ側から端面２１ｌに進入することで、リニアハウジング２１の上部に係合でき、リニアハウジング２１のＸｒ側から端面２１ｒに進入することで、リニアハウジング２１の上部に係合する。このようにリニアハウジング２１に係合したテーブルコンベアＴは、リニアハウジング２１によってＸ方向に案内される。また、リニアハウジング２１に係合したテーブルコンベアＴは、端面２１ｌからＸｌ側へ退出することで、リニアハウジング２１の上部から離脱し、端面２１ｒからＸｒ側へ退出することで、リニアハウジング２１の上部から離脱する。

【0029】

さらに、固定リニアコンベア２は、リニアハウジング２１内に配置されたリニアモータ固定子２５と、リニアスケール２７とを有する（図２）。リニアモータ固定子２５は、印加される電流に応じた磁界を発生するコイルを有する。これに対して、テーブルコンベアＴは、可動子である永久磁石を有し、リニアモータ固定子２５は、リニアハウジング２１に係合するテーブルコンベアＴの可動子との間に生じる磁力によって、テーブルコンベアＴをＸ方向に駆動する。また、リニアスケール２７は、Ｘ方向におけるテーブルコンベアＴの位置（Ｘ座標）を検出する。

【0030】

可動リニアコンベア３は、平面視において、Ｘ方向における取付架台１１ｌと取付架台１１ｒとの間の間隔１２に配置される。可動リニアコンベア３は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング３１を備え、リニアハウジング３１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。このリニアハウジング３１は、Ｙ方向の両側に突出するフランジ３３を有する。また、リニアハウジング３１のＸｌ側の端面３１ｌおよびＸｒ側の端面３１ｒは、Ｘ方向に垂直に立設されている。

【0031】

かかるリニアハウジング３１に対しては、テーブルコンベアＴがＸ方向から係合・離脱することができる。つまり、テーブルコンベアＴは、リニアハウジング３１のＸｌ側から端面３１ｌに進入することで、リニアハウジング３１の上部に係合でき、リニアハウジング３１のＸｒ側から端面３１ｒに進入することで、リニアハウジング３１の上部に係合する。このようにリニアハウジング３１に係合したテーブルコンベアＴは、リニアハウジング３１によってＸ方向に案内される。また、リニアハウジング３１に係合したテーブルコンベアＴは、端面３１ｌからＸｌ側へ退出することで、リニアハウジング３１の上部から離脱し、端面３１ｒからＸｒ側へ退出することで、リニアハウジング３１の上部から離脱する。

【0032】

さらに、可動リニアコンベア３は、リニアハウジング３１内に配置されたリニアモータ固定子３５と、リニアスケール３７とを有する（図２）。リニアモータ固定子３５は、印加される電流に応じた磁界を発生するコイルを有する。このリニアモータ固定子３５は、リニアハウジング３１に係合するテーブルコンベアＴの可動子との間に生じる磁力によって、テーブルコンベアＴをＸ方向に駆動する。また、リニアスケール３７は、Ｘ方向におけるテーブルコンベアＴの位置（Ｘ座標）を検出する。

【0033】

可動リニアコンベア３が配置される間隔１２では、可動リニアコンベア３の可動範囲ＹｍがＹ方向に平行に延設されている。搬送システム１は、この可動範囲Ｙｍに対して設けられたコンベア移動ユニット４を備え、コンベア移動ユニット４が可動リニアコンベア３を可動範囲ＹｍにおいてＹ方向に移動させる。このコンベア移動ユニット４は、可動範囲ＹｍのＸｌ側に対して配置された支持機構４１と、可動範囲ＹｍのＸｒ側に対して配置された支持機構４３とを有する。

【0034】

支持機構４１は、Ｙ方向に平行に配置された単軸ロボット５１を有する。単軸ロボット５１は、Ｙ方向に延設されたロボット本体５２を有する。ロボット本体５２は、Ｙ方向に延設されたロボットハウジング５２１と、ロボットハウジング５２１内でＹ方向に平行に配置されたボールネジ５２３とを有する。このロボットハウジング５２１は、固定プレート１３を介して取付架台１１ｌの上面１１１に固定される。具体的には、Ｘ方向において、取付架台１１の上面１１１と単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１の上面５２１ｔとを跨ぐように固定プレート１３が上側から配置される。そして、固定プレート１３のＸｌ側の端部が取付架台１１の上面１１１にネジ（締結部材）によって締結・固定されるとともに、固定プレート１３のＸｒ側の端部が単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１の上面５２１ｔにネジ（締結部材）によって締結・固定される。特に、一対の固定プレート１３が固定リニアコンベア２をＹ方向から挟むように、固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれに対して各固定プレート１３が配置されている。さらに、ロボットハウジング５２１は、後述するように、固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれに固定される。また、単軸ロボット５１は、Ｙ方向においてロボット本体５２の一端に取り付けられた駆動モータ５３１と、駆動モータ５３１の回転位置を検出するエンコーダ５３２（図２）とを有し、駆動モータ５３１がボールネジ５２３に接続されている。単軸ロボット５１のボールネジ５２３のナットは、可動リニアコンベア３のＸｌ側の端部に接続されており、駆動モータ５３１がボールネジ５２３のネジ軸を回転させると、可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。

【0035】

また、支持機構４３は、Ｙ方向に平行に延設されたＹ軸コンベアガイド７１を有する。Ｙ軸コンベアガイド７１は、固定プレート１３を介して取付架台１１ｒの上面１１１に固定される。具体的には、Ｘ方向において、取付架台１１の上面１１１とＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔとを跨ぐように固定プレート１３が上側から配置される。そして、固定プレート１３のＸｒ側の端部が取付架台１１の上面１１１にネジ（締結部材）によって締結・固定されるとともに、固定プレート１３のＸｌ側の端部がＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔにネジ（締結部材）によって締結・固定される。特に、一対の固定プレート１３が固定リニアコンベア２をＹ方向から挟むように、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれに対して各固定プレート１３が配置されている。さらに、Ｙ軸コンベアガイド７１は、後述するように、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれに固定される。Ｙ軸コンベアガイド７１は、可動リニアコンベア３のＸｒ側の端部に接続されており、駆動モータ５３１の駆動力によって移動する可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する。

【0036】

さらに、搬送システム１は、４台の固定リニアコンベア２、可動リニアコンベア３および単軸ロボット５１を制御する制御部１００（図２）を有する。この制御部１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）といったプロセッサあるいはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等によって構成される。制御部１００は、リニアスケール２７によって検出したテーブルコンベアＴの位置に基づきリニアモータ固定子２５に印加する電流を調整することでテーブルコンベアＴの位置を制御するフィードバック制御を各固定リニアコンベア２に対して実行する。また、制御部１００は、リニアスケール３７によって検出したテーブルコンベアＴの位置に基づきリニアモータ固定子３５に印加する電流を調整することでテーブルコンベアＴの位置をＸ方向に制御するフィードバック制御を可動リニアコンベア３に対して実行する。さらに、制御部１００は、エンコーダ５３２が検出した駆動モータ５３１の回転位置、換言すればＹ方向への可動リニアコンベア３の位置（Ｙ座標）に基づき駆動モータ５３１の回転位置を調整することでテーブルコンベアＴの位置をＹ方向に制御するフィードバック制御を単軸ロボット５１に対して実行する。

【0037】

かかる搬送システム１では、可動リニアコンベア３は、可動範囲ＹｍにおいてＹ方向に移動可能であり、可動範囲Ｙｍに含まれる複数の対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２のいずれかに位置することができる。ここで、対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２はＹ方向において互いに異なる位置であり、対向位置Ｌｆ１は、Ｘ方向において固定リニアコンベア２ａ、２ｃに対向し、対向位置Ｌｆ２は、Ｘ方向において固定リニアコンベア２ｂ、２ｄに対向する。つまり、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ａのＸｒ側の端面２１ｒにＸｒ側から対向するとともに、固定リニアコンベア２ｃのＸｌ側の端面２１ｌにＸｌ側から対向する。また、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ｄのＸｒ側の端面２１ｒにＸｒ側から対向するとともに、固定リニアコンベア２ｂのＸｌ側の端面２１ｌにＸｌ側から対向する。

【0038】

なお、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｌと、固定リニアコンベア２ａの端面２１ｒとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４１は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ａに対して支持する。また、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｒと、固定リニアコンベア２ｃの端面２１ｌとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４３は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｃに対して支持する。同様に、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｌと、固定リニアコンベア２ｄの端面２１ｒとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４１は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｄに対して支持する。また、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｒと、固定リニアコンベア２ｂの端面２１ｌとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４３は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｂに対して支持する。

【0039】

したがって、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ１に位置させつつ固定リニアコンベア２ａおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ａと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。また、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ１に位置させつつ固定リニアコンベア２ｃおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｃと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。

【0040】

あるいは、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ２に位置させつつ固定リニアコンベア２ｄおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｄと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。また、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ２に位置させつつ固定リニアコンベア２ｂおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｂと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。

【0041】

ここで、固定リニアコンベア２と可動リニアコンベア３との間でのテーブルコンベアＴの移載とは、固定リニアコンベア２から可動リニアコンベア３へのテーブルコンベアＴの移動および可動リニアコンベア３から固定リニアコンベア２へのテーブルコンベアＴへの移動の両方の動作を含む。

【0042】

このような制御部１００は、種々の態様でテーブルコンベアＴを搬送することができ、特に、次のような分岐搬送を実行することができる。例えば図１Ａでは、テーブルコンベアＴは、固定リニアコンベア２ａに係合する。これに対して、搬送システム１では、テーブルコンベアＴが係合する固定リニアコンベア２ａのＸｒ側に２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃが並列に配列されている。したがって、このテーブルコンベアＴを固定リニアコンベア２ａからＸｒ側へ搬送するにあたって、固定リニアコンベア２ｂおよび固定リニアコンベア２ｃのそれぞれを搬送先として使用できる。つまり、これらの固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのいずれかに搬送路を分岐してテーブルコンベアＴを搬送することができる（分岐搬送）。なお、このような分岐搬送は、固定リニアコンベア２ｂ（搬送元）と固定リニアコンベア２ａ、２ｄ（搬送先）との間や、固定リニアコンベア２ｃ（搬送元）と固定リニアコンベア２ａ、２ｄ（搬送先）との間や、固定リニアコンベア２ｄ（搬送元）と固定リニアコンベア２ｂ、２ｃ（搬送先）との間で実行できる。

【0043】

ここでは、図１Ａないし図１Ｆを用いて、固定リニアコンベア２ａから固定リニアコンベア２ｂにテーブルコンベアＴを分岐搬送する例を説明する。図１Ａでは、テーブルコンベアＴが係合する固定リニアコンベア２ａに対向する対向位置Ｌｆ１に可動リニアコンベア３が停止する。図１Ａ～１Ｂでは、テーブルコンベアＴが固定リニアコンベア２ａから可動リニアコンベア３に移載される。可動リニアコンベア３へのテーブルコンベアＴの移載が完了すると、可動リニアコンベア３は、対向位置Ｌｆ１から対向位置Ｌｆ２に向けてＹ方向に移動する（図１Ｃ）。可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ｂに対向する対向位置Ｌｆ２に到着すると、当該対向位置Ｌｆ２に停止する（図１Ｄ）。そして、図１Ｄ～１Ｅでは、テーブルコンベアＴが可動リニアコンベア３から固定リニアコンベア２ｂに移載される。

【0044】

図３は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第１例を模式的に示す正面図である。この分岐搬送装置Ａは、上述の可動リニアコンベア３およびコンベア移動ユニット４を含む。図３では、搬送システム１の設置面に載置されるベースプレート１９、ベースプレート１９上に載置された取付架台１１、取付架台１１に取り付けられた固定リニアコンベア２および分岐搬送装置Ａが示されている。この分岐搬送装置Ａのコンベア移動ユニット４は、上述の通り支持機構４１および支持機構４３を有する。これらのうち、支持機構４１は単軸ロボット５１によって可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させ、支持機構４３はＹ軸コンベアガイド７１によって可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する。

【0045】

図４は単軸ロボットによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図である。図４に示す支持機構４１は、Ｙ方向に平行に配置された単軸ロボット５１を有し、単軸ロボット５１はＹ方向に延設されたロボット本体５２と、ロボット本体５２のＹ方向の一端に取り付けられた駆動モータ５３１とを有する。このロボット本体５２は、ロボットハウジング５２１と、ロボットハウジング５２１に収納されるボールネジ５２３と、ロボットハウジング５２１のＸｒ側に配置されたスライダ５２５（図３）とを有する。ボールネジ５２３は、Ｙ方向に平行に延設されたネジ軸５２３ａと、ネジ軸５２３ａに螺合するナット５２３ｂとを有し、駆動モータ５３１がネジ軸５２３ａに接続され、スライダ５２５が接続部材（不図示）によってナット５２３ｂに接続されている。したがって、駆動モータ５３１がネジ軸５２３ａを回転させると、ナット５２３ｂがＹ方向に移動し、スライダ５２５がナット５２３ｂに伴ってＹ方向に移動する。このように、単軸ロボット５１は、駆動モータ５３１の駆動力をボールネジ５２３によってスライダ５２５に伝達することで、ボールネジ５２３の延設方向であるＹ方向にスライダ５２５を案内しつつ、駆動モータ５３１の駆動力をスライダ５２５に加える。これによって、スライダ５２５はＹ方向へ移動する。

【0046】

ロボットハウジング５２１の上面５２１ｔは、固定リニアコンベア２のフランジ２３の底面２３ｂに下側から突き当てられており、上面５２１ｔと底面２３ｂとが当接することで、ロボットハウジング５２１が固定リニアコンベア２に対して位置決めされる。特に、図３に示すように、Ｘｌ側の固定リニアコンベア２のＸｒ側の端部２２ｒは、当該固定リニアコンベア２が取り付けられる取付架台１１からＸｒ側に突出している。これに対して、単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１は、固定リニアコンベア２の端部２２ｒに下側から対向して、平面視において当該端部２２ｒに重複する。そして、固定リニアコンベア２の端部２２ｒにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３とロボットハウジング５２１の上面５２１ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0047】

なお、図４に示されるように、Ｙ方向において、単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１は、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長く、２個の固定リニアコンベア２ａ、２ｄは、ロボットハウジング５２１の両端の間に位置する。そして、ロボットハウジング５２１の上面５２１ｔは、２個の固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれのフランジ２３とネジＳによって締結・固定されている。

【0048】

また、支持機構４１は、スライダ５２５のＸｒ側に配置されたコンベア支持部材６１を有する。コンベア支持部材６１は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート６１１と、立設プレート６１１の上端に水平に設けられた水平プレート６１２と、立設プレート６１１と水平プレート６１２との間に設けられたブレース６１３とを有する。立設プレート６１１は、スライダ５２５にＸｒ側から当接して、ネジＳによってスライダ５２５に締結・固定される。

【0049】

水平プレート６１２の上面６１２ｔは、可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂに下側から突き当てられており、上面６１２ｔと底面３３ｂとが当接することで、コンベア支持部材６１が可動リニアコンベア３に対して位置決めされる。そして、可動リニアコンベア３のフランジ３３とコンベア支持部材６１の水平プレート６１２の上面６１２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0050】

このように、固定リニアコンベア２に取り付けられた単軸ロボット５１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材６１を、Ｚ方向において支持する。つまり、単軸ロボット５１およびコンベアコンベア支持部材６１を有する支持機構４１は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する機能を果たす。

【0051】

さらに、固定リニアコンベア２に取り付けられた単軸ロボット５１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材６１を、Ｙ方向に駆動・案内する。つまり、単軸ロボット５１およびコンベア支持部材６１を有する支持機構４１は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３をＹ方向に駆動するとともに、固定リニアコンベア２に対する可動リニアコンベア３の移動をＹ方向へ案内する機能を果たす。

【0052】

図５はスライドガイドによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図である。図５に示す支持機構４３は、Ｙ軸コンベアガイド７１を有し、Ｙ軸コンベアガイド７１は、Ｙ方向に延設されたベースフレーム７２と、Ｙ方向に延設されたスライドガイド７３を有する。

【0053】

ベースフレーム７２は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート７２１と、立設プレート７２１の上端に水平に設けられた水平プレート７２２とを有し、立設プレート７２１のＸｌ側の側面に、スライドガイド７３が固定されている。スライドガイド７３は、Ｙ方向に平行に延設されたＹ軸ガイドレール７３１を有し、Ｙ軸ガイドレール７３１がベースフレーム７２の水平プレート７２２に固定されている。また、スライドガイド７３は、Ｙ軸ガイドレール７３１に係合するスライダ７３２を有し、スライダ７３２は、Ｙ軸ガイドレール７３１に沿ってＹ方向に移動する。

【0054】

水平プレート７２２の上面７２２ｔは、固定リニアコンベア２のフランジ２３の底面２３ｂに下側から突き当てられており、上面７２２ｔと底面２３ｂとが当接することで、Ｙ軸コンベアガイド７１が固定リニアコンベア２に対して位置決めされる。特に、図３に示すように、Ｘｒ側の固定リニアコンベア２のＸｌ側の端部２２ｌは、当該固定リニアコンベア２が取り付けられる取付架台１１からＸｌ側に突出している。これに対して、Ｙ軸コンベアガイド７１のベースフレーム７２は、固定リニアコンベア２の端部２２ｌに下側から対向して、平面視において端部２２ｌに重複する。そして、固定リニアコンベア２の端部２２ｌにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３と水平プレート７２２の上面７２２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0055】

なお、図５に示されるように、Ｙ方向において、Ｙ軸ガイドレール７３１は、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長く、Ｙ軸ガイドレール７３１を支持するベースフレーム７２も、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長い。これに対して、２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃは、ベースフレーム７２の両端の間に位置する。そして、ベースフレーム７２の水平プレート７２２の上面７２２ｔは、２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれのフランジ２３とネジＳによって締結・固定されている。

【0056】

また、支持機構４３は、スライダ７３２のＸｌ側に配置されたコンベア支持部材８１を有する。コンベア支持部材８１は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート８１１と、立設プレート８１１の上端に水平に設けられた水平プレート８１２とを有する。立設プレート８１１は、スライダ７３２のＸｌ側の側面に固定されている。そのため、コンベア支持部材８１は、Ｙ軸ガイドレール７３１に沿って移動するスライダ７３２によってＹ方向に案内されるとともに、Ｚ方向への重力に抗してＹ軸コンベアガイド７１により支持される。

【0057】

コンベア支持部材８１の水平プレート８１２の上面８１２ｔは、可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂに下側から突き当てられており、上面８１２ｔと底面３３ｂとが当接することで、コンベア支持部材８１が可動リニアコンベア３に対して位置決めされる。そして、可動リニアコンベア３のフランジ３３とコンベア支持部材８１の水平プレート８１２の上面８１２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0058】

このように、固定リニアコンベア２に取り付けられたＹ軸コンベアガイド７１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材８１を、Ｚ方向において支持する。つまり、Ｙ軸コンベアガイド７１およびコンベア支持部材８１を有する支持機構４３は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する機能を果たす。

【0059】

さらに、固定リニアコンベア２に取り付けられたＹ軸コンベアガイド７１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材８１を、Ｙ方向に案内する。つまり、Ｙ軸コンベアガイド７１およびコンベア支持部材８１を有する支持機構４３は、固定リニアコンベア２に対する可動リニアコンベア３の移動をＹ方向へ案内する機能を果たす。

【0060】

このように分岐搬送装置Ａは、可動リニアコンベア３のＸｌ側の端部３２ｌを、固定リニアコンベア２のＸｒ側の端部２２ｒに対して支持する支持機構４１と、可動リニアコンベア３のＸｒ側の端部３２ｒを、固定リニアコンベア２のＸｌ側の端部２２ｌに対して支持する支持機構４３とを備える。かかる分岐搬送装置ＡのＹ方向への動作を図４および図５を用いつつ説明する。図４に示すように、駆動モータ５３１がボールネジ５２３のネジ軸５２３ａを駆動すると、スライダ５２５（図３）に固定されたコンベア支持部材６１がＹ方向に移動するとともに、コンベア支持部材６１に固定された可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。また、図５に示すように、可動リニアコンベア３の移動は、Ｙ軸コンベアガイド７１のＹ軸ガイドレール７３１によってＹ方向に案内される。このように、可動リニアコンベア３は、単軸ロボット５１によってＹ方向に駆動・案内されるとともに、Ｙ軸ガイドレール７３１によってＹ方向に案内されることで、対向位置Ｌｆ１および対向位置Ｌｆ２を含む可動範囲ＹｍをＹ方向に移動することができる。

【0061】

以上に説明する第１例では、Ｘ方向（搬送方向）において可動リニアコンベア３のＸｌ側（一方側）の端部３２ｌ（第１端部）を支持する支持機構４１（第１支持機構）と、Ｘ方向において可動リニアコンベア３のＸｒ側（他方側）の端部３２ｒ（第２端部）を支持する支持機構４３（第２支持機構）とが設けられている。特に、支持機構４１は、可動リニアコンベア３の端部３２ｌに取り付けられるコンベア支持部材６１（第１可動部材）と、固定リニアコンベア２ａ（第１固定リニアコンベア）に取り付けられてコンベア支持部材６１をＹ方向（切換方向）に案内する単軸ロボット５１（第１案内部）とを有する。このようなコンベア支持部材６１と単軸ロボット５１とを有する支持機構４１によって、固定リニアコンベア２ａに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌをしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベア３に対する荷重が端部３２ｌに偏った場合でも、固定リニアコンベア２ａに対する当該端部３２ｌの沈み込みを抑制して、固定リニアコンベア２ａと当該端部３２ｌとの間におけるテーブルコンベアＴの移載を適切に実行できる。さらに、支持機構４３は、可動リニアコンベア３の端部３２ｒに取り付けられるコンベア支持部材８１（第２可動部材）と、固定リニアコンベア２ｂ（第２固定リニアコンベア）に取り付けられてコンベア支持部材８１をＹ方向に案内するＹ軸コンベアガイド７１（第２案内部）とを有する。このようなコンベア支持部材８１とＹ軸コンベアガイド７１とを有する支持機構４３によって、固定リニアコンベア２ｂに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒをしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベア３に対する荷重が端部３２ｒに偏った場合でも、固定リニアコンベア２ｂに対する当該端部３２ｒの沈み込みを抑制して、固定リニアコンベア２ｂと端部３２ｒとの間におけるテーブルコンベアＴの移載を適切に実行できる。その結果、可動リニアコンベア３に対する荷重の偏りに抗して可動リニアコンベア３を支持して、可動リニアコンベア３の両側に配置された各固定リニアコンベア２ａ、２ｂと可動リニアコンベア３との間のテーブルコンベアＴの移載を適切に実行することが可能となっている。

【0062】

また、単軸ロボット５１は、駆動モータ５３１（駆動源）を有し、駆動モータ５３１は、コンベア支持部材６１をＹ方向に駆動することで、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させる。つまり、単軸ロボット５１の駆動モータ５３１によって、対向位置Ｌｆ１（第１位置）と対向位置Ｌｆ２（第２位置）との間で可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させることができる。特に、コンベア支持部材６１の駆動および案内の両機能を単軸ロボット５１という単一の機能部によってコンパクトに実現でき、分岐搬送装置Ａ（搬送路切換装置）の小型化を図ることができる。

【0063】

また、単軸ロボット５１は、Ｙ方向に平行に配置されたボールネジ５２３を有する。そして、コンベア支持部材６１は、ボールネジ５２３のナット５２３ｂに接続され、駆動モータ５３１は、ボールネジ５２３のネジ軸５２３ａを回転させて、コンベア支持部材６１をＹ方向に駆動する。かかる構成では、可動リニアコンベア３のＸｌ側に配置されたボールネジ式の単軸ロボット５１によって、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させることができる。

【0064】

また、コンベア支持部材６１は、可動リニアコンベア３の端部３２ｌの底面３３ｂに下側から対向する上面６１２ｔ（第１支持面）を有し、上面６１２ｔが端部３２ｌの底面３３ｂに突き当てられることでコンベア支持部材６１と可動リニアコンベア３の端部３２ｌとが位置決めされる。また、単軸ロボット５１は、固定リニアコンベア２ａ、２ｄの底面２３ｂに下側から突き当てられる上面５２１ｔ（第１取付面）を有し、上面５２１ｔが固定リニアコンベア２ａ、２ｄの底面２３ｂに突き当てられることで単軸ロボット５１と固定リニアコンベア２ａ、２ｄとが位置決めされる。さらに、コンベア支持部材８１は、可動リニアコンベア３の端部３２ｒの底面３３ｂに下側から対向する上面８１２ｔ（第２支持面）を有し、上面８１２ｔが端部３２ｒの底面３３ｂに突き当てられることでコンベア支持部材８１と可動リニアコンベア３の端部３２ｒとが位置決めされる。また、Ｙ軸コンベアガイド７１は、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃの底面２３ｂに下側から突き当てられる上面７２２ｔ（第２取付面）を有し、上面７２２ｔが固定リニアコンベア２ｂ、２ｃの底面２３ｂに突き当てられることでＹ軸コンベアガイド７１と固定リニアコンベア２ｂ、２ｃとが位置決めされる。かかる構成では、分岐搬送装置Ａの上面５２１ｔを固定リニアコンベア２ａ、２ｄの底面２３ｂに突き当てるとともに、分岐搬送装置Ａの上面７２２ｔを固定リニアコンベア２ｂ、２ｃの底面２３ｂに突き当てることで、固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと可動リニアコンベア３とを簡便に位置決めすることができる。そのため、固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに対する分岐搬送装置Ａの取付作業に要する作業者の負担を軽減することができる。

【0065】

また、対向位置Ｌｆ１（第３位置）に対しては、Ｘ方向のＸｒ側から固定リニアコンベア２ｃ（第３固定リニアコンベア）が対向し、可動リニアコンベア３は、対向位置Ｌｆ１に停止しつつ、固定リニアコンベア２ｃとの間でテーブルコンベアＴを移載する。また、支持機構４３のＹ軸コンベアガイド７１は、固定リニアコンベア２ｃに取り付けられている。このような支持機構４３によって、固定リニアコンベア２ｃに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒをしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベア３に対する荷重が端部３２ｒに偏った場合でも、固定リニアコンベア２ｃに対する当該端部３２ｒの沈み込みを抑制して、固定リニアコンベア２ｃと当該端部３２ｒとの間におけるテーブルコンベアＴの移載を適切に実行できる。

【0066】

また、対向位置Ｌｆ２（第４位置）に対しては、Ｘ方向のＸｌ側から固定リニアコンベア２ｄ（第４固定リニアコンベア）が対向し、可動リニアコンベア３は、対向位置Ｌｆ２に停止しつつ、固定リニアコンベア２ｄとの間でテーブルコンベアＴを移載する。また、支持機構４１の単軸ロボット５１は、固定リニアコンベア２ｄに取り付けられている。このような支持機構４１によって、固定リニアコンベア２ｄに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌをしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベア３に対する荷重が端部３２ｌに偏った場合でも、固定リニアコンベア２ｄに対する当該端部３２ｌの沈み込みを抑制して、固定リニアコンベア２ｄと当該端部３２ｌとの間におけるテーブルコンベアＴの移載を適切に実行できる。

【0067】

また、固定リニアコンベア２ａ、２ｄが取り付けられる取付架台１１ｒ（第１取付架台）に対して支持機構４１を取り付ける固定プレート１３（第１取付部材）と、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃが取り付けられる取付架台１１ｌ（第２取付架台）に対して支持機構４３を取り付ける固定プレート１３（第２取付部材）とが、分岐搬送装置Ａに設けられている。かかる構成では、固定プレート１３によって支持機構４１、４３を支持することで、固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに加わる負荷を軽減することができる。

【0068】

図６は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第２例を模式的に示す正面図である。ここでは、図３の第１例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第２例では、支持機構４３は、Ｙ軸コンベアガイド７１（第１例）に代えて単軸ロボット５１を有するとともに、コンベア支持部材８１（第１例）に代えてコンベア支持部材６１を有する。つまり、支持機構４３は支持機構４１と共通の構成を備える。

【0069】

かかる支持機構４３では、固定リニアコンベア２の端部２２ｌの底面２３ｂに対して、単軸ロボット５１の上面５２１ｔが下側から当接する。そして、当該端部２２ｌにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３に単軸ロボット５１の上面５２１ｔがネジＳによって締結・固定される。さらに、支持機構４３では、単軸ロボット５１のスライダ５２５にコンベア支持部材６１が固定され、このコンベア支持部材６１の上面６１２ｔは、可動リニアコンベア３の端部３２ｒの底面３３ｂに下側から当接して、当該端部３２ｒにおいて、可動リニアコンベア３のフランジ３３に締結・固定される。したがって、支持機構４３は、固定リニアコンベア２の端部２２ｌに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒを支持するとともに、可動リニアコンベア３の端部３２ｒをＹ方向に駆動・案内することができる。

【0070】

このように第２例では、支持機構４３は、可動リニアコンベア３の端部３２ｒに取り付けられるコンベア支持部材６１（第２可動部材）と、固定リニアコンベア２ｂ（第２固定リニアコンベア）に取り付けられてコンベア支持部材６１をＹ方向（切換方向）に案内する単軸ロボット５１（第２案内部）とを有する。このようなコンベア支持部材６１と単軸ロボット５１とを有する支持機構４３によって、固定リニアコンベア２ｂに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒをしっかりと支持できる。したがって、可動リニアコンベア３に対する荷重が端部３２ｒに偏った場合でも、固定リニアコンベア２ｂに対する当該端部３２ｒの沈み込みを抑制して、固定リニアコンベア２ｂと当該端部３２ｒとの間におけるテーブルコンベアＴの移載を適切に実行できる。なお、支持機構４３は、固定リニアコンベア２ｃ（第３固定リニアコンベア）に対しても同様の効果を奏することができる。

【0071】

また、支持機構４１の単軸ロボット５１（第１案内部）は、駆動モータ５３１（第１駆動源）を有し、支持機構４３の単軸ロボット５１（第２案内部）は、駆動モータ５３１（第２駆動源）を有する。そして、支持機構４１、４３それぞれの駆動モータ５３１は、コンベア支持部材６１（第１・第２可動部材）をＹ方向に駆動することで、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させる。かかる構成では、支持機構４１、４３それぞれの駆動モータ５３１によって、対向位置Ｌｆ１と対向位置Ｌｆ２との間で可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させることができる。特に、支持機構４１、４３のそれぞれにおいて、コンベア支持部材６１の駆動および案内の両機能を単軸ロボット５１という単一の機能部によってコンパクトに実現でき、分岐搬送装置Ａ（搬送路切換装置）の小型化を図ることができる。

【0072】

また、支持機構４１、４３のそれぞれにおいて、単軸ロボット５１（第１・第２案内部）は、Ｙ方向に平行に配置されたボールネジ５２３（第１・第２ボールネジ）を有する。これに対して、コンベア支持部材６１（第１・第２可動部材）は、ボールネジ５２３のナット５２３ｂに接続され、駆動モータ５３１は、ボールネジ５２３のネジ軸５２３ａを回転させて、コンベア支持部材６１をＹ方向に駆動する。かかる構成では、可動リニアコンベア３のＸｌ側に配置されたボールネジ式の単軸ロボット５１と、可動リニアコンベア３のＸｒ側に配置されたボールネジ式の単軸ロボット５１とによって、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させることができる。

【0073】

ところで、図６の第２例の様に、可動リニアコンベア３の両側に単軸ロボット５１が設けられた分岐搬送装置Ａでは、制御部１００は、各単軸ロボット５１の駆動モータ５３１を次のように制御してもよい。

【0074】

図７は２台の単軸ロボットを備える分岐搬送装置における移載制御の一例を示すフローチャートである。同図のフローチャートは、固定リニアコンベア２と可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際に、制御部１００の制御によって実行される。

【0075】

ステップＳ１０１では、テーブルコンベアＴの移載を実行するか否かが判断される。そして、テーブルコンベアＴを移載すると判断されると（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１０２に進む。ステップＳ１０２では、可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する固定リニアコンベア２が、可動リニアコンベア３のＸｌ側の固定リニアコンベア２ａ、２ｄであるか、可動リニアコンベア３のＸｒ側の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃであるかが判断される。

【0076】

対象の固定リニアコンベア２がＸｌ側である場合には、制御部１００は、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１に対して上述のフィードバック制御を行ってテーブルコンベアＴを対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置させる（ステップＳ１０３）。この際、支持機構４３の駆動モータ５３１は停止しているため（サーボフリー）、支持機構４３の単軸ロボット５１は、可動リニアコンベア３を駆動する機能は果たさず、可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する機能のみを果たす。こうして、可動リニアコンベア３が対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置決めされると、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３のＸｌ側の固定リニアコンベア２との間でテーブルコンベアＴが移載される（ステップＳ１０４）。

【0077】

対象の固定リニアコンベア２がＸｒ側である場合には、制御部１００は、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１に対して上述のフィードバック制御を行ってテーブルコンベアＴを対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置させる（ステップＳ１０５）。この際、支持機構４１の駆動モータ５３１は停止しているため（サーボフリー）、支持機構４１の単軸ロボット５１は、可動リニアコンベア３を駆動する機能は果たさず、可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する機能のみを果たす。こうして、可動リニアコンベア３が対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置決めされると、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３のＸｒ側の固定リニアコンベア２との間でテーブルコンベアＴが移載される（ステップＳ１０６）。

【0078】

図７の移載制御では、制御部１００は、支持機構４１、４３それぞれの駆動モータ５３１（第１・第２駆動源）の動作を制御する。特に、制御部１００は、可動リニアコンベア３とＸｌ側の固定リニアコンベア２ａ、２ｄとの間でテーブルコンベアＴを移載する際には、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作によって可動リニアコンベア３の位置を対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２に制御する（ステップＳ１０３）。また、制御部１００は、可動リニアコンベア３とＸｒ側の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃとの間でテーブルコンベアＴを移載する際には、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作によって可動リニアコンベア３の位置を対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２に制御する（ステップＳ１０５）。かかる構成では、固定リニアコンベア２ａ、２ｄと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際には、支持機構４３の駆動モータ５３１の動作の干渉を防止しつつ、支持機構４１の駆動モータ５３１によって可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ａ、２ｄに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアＴのスムーズな移載を実現できる。また、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際には、支持機構４１の駆動モータ５３１の動作の干渉を防止しつつ、支持機構４３の駆動モータ５３１によって可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｂ、２ｃに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアＴのスムーズな移載を実現できる。

【0079】

図８は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第３例を模式的に示す正面図であり、図９は図８の分岐搬送装置が有するリンク機構の一例を模式的に示す側面図である。ここでは、図３の第１例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第３例では、支持機構４１は、単軸ロボット５１（第１例）に代えてＹ軸コンベアガイド７１を有するとともに、コンベア支持部材６１（第１例）に代えてコンベア支持部材８１を有する。つまり、支持機構４１は支持機構４３と共通の構成を備える。

【0080】

かかる支持機構４１では、固定リニアコンベア２の端部２２ｒの底面２３ｂに対して、Ｙ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔが下側から当接する。そして、当該端部２２ｒにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３にＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔがネジＳによって締結・固定される。さらに、支持機構４１では、Ｙ軸コンベアガイド７１のスライダ７３２にコンベア支持部材８１が固定され、このコンベア支持部材８１の上面８１２ｔは、可動リニアコンベア３の端部３２ｌの底面３３ｂに下側から当接して、当該端部３２ｌにおいて、可動リニアコンベア３のフランジ３３に締結・固定される。したがって、支持機構４１は、固定リニアコンベア２の端部２２ｒに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌを支持するとともに、可動リニアコンベア３の端部３２ｌをＹ方向に案内することができる。

【0081】

また、図８のコンベア移動ユニット４では、ベースプレート１９に載置された支持フレーム１８の上に、単軸ロボット５１がＹ方向に配置されている。そして、単軸ロボット５１と可動リニアコンベア３とがリンク機構９によって接続される。図９に示すように、リンク機構９は、取付プレート９１と、取付プレート９１の上面に固定された球面軸受９２とを有する。また、リンク機構９は、取付プレート９１より上側に設けられた取付プレート９４と取付プレート９４の下面に固定された球面軸受９５とを有する。

【0082】

さらに、リンク機構９は、球面軸受９２と球面軸受９５との間を接続するロッド９７を有し、このロッド９７の一端９７１が球面軸受９５によって受けられ、ロッド９７の一端９７１と逆の他端９７２が球面軸受９２によって受けられる。かかるロッド９７は、球面軸受９２に対して２個の回転自由度を有するとともに、球面軸受９５に対して２個の回転自由度を有する。つまり、ロッド９７は、互いに直交する２本の回転軸のそれぞれを中心として、球面軸受９２に対して回転できるとともに、球面軸受９５に対して回転できる。

【0083】

そして、取付プレート９１が単軸ロボット５１のスライダ５２５の上面にネジＳによって締結・固定される。また、取付プレート９４が可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂにネジＳによって締結・固定される。この取付プレート９４は、Ｘ方向において、可動リニアコンベア３の端部３２ｌと端部３２ｒとの間の中央位置で、可動リニアコンベア３に固定される。したがって、駆動モータ５３１がボールネジ５２３の駆動によってスライダ５２５をＹ方向に駆動すると、リンク機構９によってスライダ５２５に接続された可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。

【0084】

このように第３例では、可動リニアコンベア３の端部３２ｌと端部３２ｒの間の取付位置（取付プレート９４の位置）で可動リニアコンベア３に取り付けられたリンク機構９と、リンク機構９をＹ方向に駆動することで、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させる単軸ロボット５１とが具備されている。リンク機構９は、取付プレート９４を介して可動リニアコンベア３に取り付けられた球面軸受９５（第１球面軸受）と、単軸ロボット５１のスライダ５２５に取付プレート９１を介して取り付けられた球面軸受９２（第２球面軸受）と、球面軸受９５と球面軸受９２とを接続するロッド９７を有する。そして、ロッド９７の一端９７１が球面軸受９５によって受けられ、ロッド９７の他端９７２が球面軸受９２によって受けられる。かかる構成では、支持機構４１、４３それぞれのＹ軸コンベアガイド７１と、単軸ロボット５１との間における平行度の誤差を、リンク機構９の球面軸受９２、９５の自由度によって吸収することができる。したがって、可動リニアコンベア３をＹ方向にスムーズに移動させることができる。

【0085】

このように上記の実施形態では、搬送システム１が本発明の「搬送システム」の一例に相当し、取付架台１１ｌが本発明の「第１取付架台」の一例に相当し、取付架台１１ｒが本発明の「第２取付架台」の一例に相当し、固定プレート１３が本発明の「第１・第２取付部材」の一例に相当し、制御部１００が本発明の「制御部」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ａが本発明の「第１固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ｂが本発明の「第２固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ｃが本発明の「第３固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ｄが本発明の「第４固定リニアコンベア」の一例に相当し、可動リニアコンベア３が本発明の「可動リニアコンベア」の一例に相当し、端部３２ｌが本発明の「第１端部」の一例に相当し、端部３２ｒが本発明の「第２端部」の一例に相当し、支持機構４１が本発明の「第１支持機構」の一例に相当し、支持機構４３が本発明の「第２支持機構」の一例に相当し、分岐搬送装置Ａが本発明の「搬送路切換装置」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ１が本発明の「第１位置」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ１が本発明の「第３位置」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ２が本発明の「第２位置」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ２が本発明の「第４位置」の一例に相当し、テーブルコンベアＴが本発明の「コンベアテーブル」の一例に相当し、Ｘ方向が本発明の「搬送方向」の一例に相当し、Ｘｌ側が本発明の「一方側」の一例に相当し、Ｘｒ側が本発明の「他方側」の一例に相当し、Ｙ方向が本発明の「切換方向」の一例に相当し、可動範囲Ｙｍが本発明の「可動範囲」の一例に相当し、リンク機構９が本発明の「リンク機構」の一例に相当し、単軸ロボット５１が本発明の「単軸ロボット」の一例に相当し、球面軸受９５が本発明の「第１球面軸受」の一例に相当し、球面軸受９２が本発明の「第２球面軸受」の一例に相当し、ロッド９７が本発明の「ロッド」の一例に相当し、一端９７１が本発明の「一端」の一例に相当し、他端９７２が本発明の「他端」の一例に相当する。

【0086】

第１例（図３）では、支持機構４１のコンベア支持部材６１が本発明の「第１可動部材」の一例に相当し、支持機構４１の単軸ロボット５１が本発明の「第１案内部」の一例に相当し、支持機構４３のコンベア支持部材８１が本発明の「第２可動部材」の一例に相当し、支持機構４３のＹ軸コンベアガイド７１が本発明の「第２案内部」の一例に相当する。

【0087】

第２例（図６）では、支持機構４１のコンベア支持部材６１が本発明の「第１可動部材」の一例に相当し、支持機構４１の単軸ロボット５１が本発明の「第１案内部」の一例に相当し、支持機構４３のコンベア支持部材６１が本発明の「第２可動部材」の一例に相当し、支持機構４３の単軸ロボット５１が本発明の「第２案内部」の一例に相当する。

【0088】

第３例（図８）では、支持機構４１のコンベア支持部材８１が本発明の「第１可動部材」の一例に相当し、支持機構４１のＹ軸コンベアガイド７１が本発明の「第１案内部」の一例に相当し、支持機構４３のコンベア支持部材８１が本発明の「第２可動部材」の一例に相当し、支持機構４３のＹ軸コンベアガイド７１が本発明の「第２案内部」の一例に相当する。

【0089】

第１例（図３）では、上面６１２ｔが本発明の「第１支持面」の一例に相当し、上面５２１ｔが本発明の「第１取付面」の一例に相当し、上面８１２ｔが本発明の「第２支持面」の一例に相当し、上面７２２ｔが本発明の「第２取付面」の一例に相当する。

【0090】

第２例（図６）では、Ｘｌ側の上面６１２ｔが本発明の「第１支持面」の一例に相当し、Ｘｌ側の上面５２１ｔが本発明の「第１取付面」の一例に相当し、Ｘｒ側の上面６１２ｔが本発明の「第２支持面」の一例に相当し、Ｘｒ側の上面５２１ｔが本発明の「第２取付面」の一例に相当する。

【0091】

第３例（図８）では、Ｘｌ側の上面８１２ｔが本発明の「第１支持面」の一例に相当し、Ｘｌ側の上面７２２ｔが本発明の「第１取付面」の一例に相当し、Ｘｒ側の上面８１２ｔが本発明の「第２支持面」の一例に相当し、Ｘｒ側の上面７２２ｔが本発明の「第２取付面」の一例に相当する。

【0092】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記の分岐搬送装置Ａは、ベースプレート１９を必ずしも必要としない。したがって、ベースプレート１９を用いずに、分岐搬送装置Ａを設置面に直接載置してもよい。

【0093】

また、搬送システム１で使用する固定リニアコンベア２の個数や配置は適宜変更が可能である。例えば、図１の例から固定リニアコンベア２ｃの位置をＹ方向にずらしたり、固定リニアコンベア２ｄの位置をＹ方向にずらしたり、固定リニアコンベア２ｃを省いたり、固定リニアコンベア２ｄを省いたりといった変形が可能である。また、Ｘ方向のＸｒ側あるいはＸｌ側で並列に配列される固定リニアコンベア２の個数は、２個に限られず、３個以上であってもよい。可動リニアコンベア３を両側から支持する上記支持機構４１、４３は、こうして設けられた３個以上の固定リニアコンベア２対しても、上述と同様の効果を奏することができる。

【0094】

また、可動リニアコンベア３を駆動する方向（切換方向）は、種々の変更が可能である。したがって、可動リニアコンベア３を駆動する方向は、水平方向に限られず、鉛直方向でもよい。この場合、分岐搬送装置Ａは、鉛直方向にテーブルコンベアＴの搬送路を分岐させることができる。

【符号の説明】

【0095】

１…搬送システム
１１ｌ…取付架台（第１取付架台）
１１ｒ…取付架台（第２取付架台）
１３…固定プレート（第１・第２取付部材）
１００…制御部
２…固定リニアコンベア
２ａ…固定リニアコンベア（第１固定リニアコンベア）
２ｂ…固定リニアコンベア（第２固定リニアコンベア）
２ｃ…固定リニアコンベア（第３固定リニアコンベア）
２ｄ…固定リニアコンベア（第４固定リニアコンベア）
３…可動リニアコンベア
３２ｌ…端部（第１端部）
３２ｒ…端部（第２端部）
４１…支持機構（第１支持機構）
４３…支持機構（第２支持機構）
Ａ…分岐搬送装置（搬送路切換装置）
Ｌｆ１…対向位置（第１位置、第３位置）
Ｌｆ２…対向位置（第２位置、第４位置）
Ｔ…テーブルコンベア
Ｘ…Ｘ方向（搬送方向）
Ｘｌ…Ｘｌ側（一方側）
Ｘｒ…Ｘｒ側（他方側）
Ｙ…Ｙ方向（切換方向）
Ｙｍ…可動範囲

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】