特許7551893スパッタリングターゲット及び、スパッタリングターゲットの製造方法
発明の名称 スパッタリングターゲット及び、スパッタリングターゲットの製造方法
出願人 ＪＸ日鉱日石金属株式会社 （識別番号 502362758）
特許公開件数ランキング 527 位（30件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 421 位（34件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7551893
公報発行日 2024年9月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7551893
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