7664719 位置測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-04-10

(45)【発行日】2025-04-18

(54)【発明の名称】位置測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 5/244 20060101AFI20250411BHJP

   G01D 5/245 20060101ALI20250411BHJP

【ＦＩ】

G01D5/244 J

G01D5/245 E

G01D5/245 110J

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021040662

(22)【出願日】2021-03-12

(65)【公開番号】P2022140028

(43)【公開日】2022-09-26

【審査請求日】2024-02-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000137694

【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ

(74)【代理人】

【識別番号】110004370

【氏名又は名称】弁理士法人片山特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100087480

【弁理士】

【氏名又は名称】片山 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100134511

【弁理士】

【氏名又は名称】八田 俊之

(72)【発明者】

【氏名】田中 駿丞

【審査官】吉田 久

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６３－２９２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２０４４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２７０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１５－５０３７４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平２－５５９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平４－３４３００８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１９８７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｄ ５／１２－５／３８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１仮想円周上に複数のパターンが配列されて形成されたスケールパターンを有し、前記第１仮想円周の中心点からずれた位置を通過する回転軸線回りに回転するロータリースケールと、
前記回転軸線上に位置する点を中心点とし、前記第１仮想円周と対向させて仮想的に描かれた第２仮想円周上に設けられた３つ以上の受信部と、
前記スケールパターンを介して前記受信部に向かって信号を発信する発信部と、を備えたロータリーエンコーダと、
前記回転軸線と平行であり前記第１仮想円周の前記中心点を通過する延長線が延びる方向から前記第１仮想円周を見たときに、前記受信部毎に、前記第１仮想円周が描かれる仮想面に投影される前記受信部の位置と前記第１仮想円周の前記中心点とを結ぶ直線と、前記スケールパターン上に設定されたスケール原点と前記第１仮想円周の前記中心点とを結ぶ直線との間の角度である受信部配置角度を算出する角度出力算出部と、
前記角度出力算出部によって算出された前記受信部配置角度の組み合わせによって２相正弦波を算出する２相正弦波算出部と、
前記２相正弦波算出部によって算出された前記２相正弦波に基づいてアブソリュート位置を算出するアブソリュート位置算出部と、
を、備え、
前記角度出力算出部は、前記受信部毎に、前記第１仮想円周の一周分の角度である３６０°を前記複数のパターンの数で除した値であるインクリメンタル角と、対象となる前記受信部の偏心誤差との和として表される前記受信部配置角度を算出する、
ことを特徴とする位置測定装置。

【請求項2】

前記第２仮想円周上に１２０°ずつ離して配置された３つの前記受信部を備えた請求項１に記載の位置測定装置。

【請求項3】

前記受信部は受光素子であり、前記発信部は発光素子である請求項１または２に記載の位置測定装置。

【請求項4】

前記受信部は受信コイルであり、前記発信部は送信コイルである請求項１または２に記載の位置測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本件は、ロータリーエンコーダおよび位置測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ロータリースケールを備えたロータリーエンコーダが知られている（例えば、特許文献１～４参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－１７８２２７号公報

【文献】特開２０１６－１３８７５９号公報

【文献】特開２０１８－０５９７１４号公報

【文献】特開２０１９－１６８４１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ロータリーエンコーダは、測定対象物の回転方向の機械的変位量をデジタル量に変換する位置センサであり、インクリメンタル方式とアブソリュート方式とに大別される。インクリメンタル方式は、測定開始点からの回転角度に対応して発生するパルスを積算する方式であるのに対し、アブソリュート方式は原点に対する絶対角度位置を計測する方式である。現在の角度（アブソリュート位置）が直ちに判明する点でアブソリュート方式は便利である。しかしながら、従来のアブソリュート方式のロータリーエンコーダでは、複雑なスケールパターンが設けられたアブソリュートトラックなどを装備しなければならない等、インクリメンタル方式と比較してその構造が複雑である。

【0005】

１つの側面では、本発明は、簡易な構造でアブソリュート位置を求めることができるロータリーエンコーダおよび位置測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

１つの態様では、ロータリーエンコーダは、第１仮想円周上に複数のパターンが配列されて形成されたスケールパターンを有し、前記第１仮想円周の中心点からずれた位置を通過する回転軸線回りに回転するロータリースケールと、前記回転軸線上に位置する点を中心点とし、前記第１仮想円周と対向させて仮想的に描かれた第２仮想円周上に設けられた３つ以上の受信部と、前記スケールパターンを介して前記受信部に向かって信号を発信する発信部と、を備えることを特徴とする。

【0007】

上記ロータリーエンコーダは、前記第２仮想円周上に１２０°ずつ離して配置された３つの前記受信部を備えることができる。

【0008】

また、上記ロータリーエンコーダにおいて、前記受信部は受光素子であり、前記発信部は発光素子とすることができる。

【0009】

さらに、上記ロータリーエンコーダにおいて、前記受信部は受信コイルであり、前記発信部は送信コイルとすることができる。

【0010】

１つの態様では、位置測定装置は、第１仮想円周上に複数のパターンが配列されて形成されたスケールパターンを有し、前記第１仮想円周の中心点からずれた位置を通過する回転軸線回りに回転するロータリースケールと、前記回転軸線上に位置する点を中心点とし、前記第１仮想円周と対向させて仮想的に描かれた第２仮想円周上に設けられた３つ以上の受信部と、前記スケールパターンを介して前記受信部に向かって信号を発信する発信部と、を備えたロータリーエンコーダと、前記回転軸線と平行であり前記第１仮想円周の前記中心点を通過する延長線が延びる方向から前記第１仮想円周を見たときに、前記受信部毎に、前記第１仮想円周が描かれる仮想面に投影される前記受信部の位置と前記第１仮想円周の前記中心点とを結ぶ直線と、前記スケールパターン上に設定されたスケール原点と前記第１仮想円周の前記中心点とを結ぶ直線との間の角度である受信部配置角度を算出する角度出力算出部と、前記角度出力算出部によって算出された前記受信部配置角度の組み合わせによって２相正弦波を算出する２相正弦波算出部と、前記２相正弦波算出部によって算出された前記２相正弦波に基づいてアブソリュート位置を算出するアブソリュート位置算出部と、を備えることを特徴とする。

【0011】

上記位置測定装置は、前記第２仮想円周上に１２０°ずつ離して配置された３つの前記受信部を備えることができる。

【0012】

また、上記位置測定装置において、前記受信部は受光素子であり、前記発信部は発光素子とすることができる。

【0013】

さらに、上記位置測定装置において、前記受信部は受信コイルであり、前記発信部は送信コイルとすることができる。

【発明の効果】

【0014】

簡易な構造でアブソリュート位置を求めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は実施形態に係るロータリーエンコーダの概略構成を示す模式図である。

【図2】図２は実施形態に係るロータリーエンコーダに含まれるロータリースケールの概略構成を示す模式図である。

【図3】図３（Ａ）は第１角度ＡＮＧＬＥ_１、第２角度ＡＮＧＬＥ_２及び第３角度ＡＮＧＬＥ_３の説明図である。図３（Ｂ）は回転軸線から見たスケール原点と第１受光素子との間の角度（アブソリュート位置θ）の説明図である。

【図4】実施形態の位置測定装置の構成を例示する説明図である。

【図5】実施形態の位置測定装置において算出される２相正弦波を例示する説明図である。

【図6】変形例に係るロータリーエンコーダの概略構成を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。

【0017】

（実施形態）
まず、図１から図３（Ｂ）を参照して実施形態のロータリーエンコーダ１の概略構成について説明する。図１は実施形態に係るロータリーエンコーダ１の概略構成を示す模式図である。図２は実施形態に係るロータリーエンコーダ１に含まれるロータリースケール２の概略構成を示す模式図である。図３（Ａ）は実施形態のロータリーエンコーダ１によってアブソリュート位置を検出する際に算出される角度出力である第１角度ＡＮＧＬＥ_１、第２角度ＡＮＧＬＥ_２及び第３角度ＡＮＧＬＥ_３の説明図である。図３（Ｂ）は回転軸線ＡＸから見たスケール原点Ｏと第１発信部に相当する第１受光素子４ａとの間の角度（アブソリュート位置θ）の説明図である。

【0018】

実施形態のロータリーエンコーダ１は、ロータリースケール２と、それぞれ受信部に相当する第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃを備える。また、ロータリーエンコーダ１は、第１受光素子４ａから第３受光素子４ｃに対応させて設けられ、それぞれ発信部に相当する第１発光素子５ａ、第２発光素子５ｂ及び第３発光素子５ｃを備えている。

【0019】

図１及び図２を参照すると、ロータリースケール２は、円盤状の部材であり、第１仮想円周Ｒ１上に複数のパターン３ａが配列されることで形成されたスケールパターン３を備えている。第１仮想円周Ｒ１の半径は、ｒである。ロータリースケール２は、計測対象が備える回転軸に取り付けられる。本実施形態のロータリーエンコーダ１は、光透過型である。このため、パターン３ａは、スリットとして形成されている。なお、図１に示されたパターン３ａは、一例であり、その数は、ロータリーエンコーダ１に求められる分解能に応じて適宜増減することができる。スケールパターン３上には、スケール原点Ｏが設定されている。スケール原点Ｏは任意の位置に設定することができる。

【0020】

ロータリースケール２上に描かれる第１仮想円周Ｒ１の中心点は、Ｐｃ１である（以下、「第１中心点Ｐｃ１」という。）が、ロータリースケール２は、第１中心点Ｐｃ１からずれた位置を通過する回転軸線ＡＸ回りに回転する。ここで、回転軸線ＡＸは、円盤状の部材であるロータリースケール２と直交する線、換言すると第１仮想円周Ｒ１を含む面と直交する線である。ロータリースケール２は、第１中心点Ｐｃ１からずれた位置を通過する回転軸線ＡＸと計測対象が備える回転軸とを一致させて計測対象に取り付けられる。本実施形態では、第１中心点Ｐｃ１と回転軸線ＡＸとのずれ量（偏心量）はＳである。

【0021】

図１に示すように、第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃは、ロータリースケール２の一面側に、第１仮想円周Ｒ１と対向させて仮想的に描かれた第２仮想円周Ｒ２上に配置されている。つまり、第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃは、ロータリースケール２と平行となる面内に描かれる第２仮想円周Ｒ２上に配置されている。第２仮想円周Ｒ２の中心点はＰｃ２である（以下、「第２中心点Ｐｃ２」という。）。第２中心点Ｐｃ２は、回転軸線ＡＸ上に位置している。

【0022】

つぎに、図３（Ａ）を参照して、アブソリュート位置を検出する際に算出される角度出力である第１角度ＡＮＧＬＥ_１、第２角度ＡＮＧＬＥ_２及び第３角度ＡＮＧＬＥ_３について説明する。スケールパターン３の中心である第１中心点Ｐｃ１とロータリースケール２の回転軸線ＡＸとがずれていることから、各受光素子４ａ～４ｃの角度出力には、偏心誤差が生じる。この偏心誤差は、円周１周を周期とする周期的な誤差である。この偏心誤差の位相は、各受光素子４ａ～４ｃの配置に依存する。従って、これらの角度出力は、受光素子毎の信号に基づいてインクリメンタル角θｉｎｃと偏心誤差（振幅ａ，受光素子の配置角度αｎ）との和として表すことができる。従って、ｎ番目の受光素子の角度出力ＡＮＧＬＥ_ｎは式１示す一般式によって表される。
（式１） ＡＮＧＬＥ_ｎ＝θｉｎｃ＋a・ｓｉｎ（θ－αｎ）

【0023】

式1におけるａは、ロータリーエンコーダ１における偏心誤差の振幅であり、近似的に下記の式２で表される。

【数1】

【0024】

つぎに、図３（Ｂ）を参照して、式１におけるθについて説明する。θは、回転中心角であり、ロータリースケール２の回転中心となる回転軸線ＡＸから見たスケール原点Ｏと、基準位置に設定した第１受光素子４ａとの間の角度であって、アブソリュート位置に相当する。つまり、回転中心角θは、最終的に検出したい角度となる。回転中心角θの値域は、０°≦θ＜３６０°となる。

【0025】

ここで、本実施形態におけるロータリースケール２は、第１仮想円周Ｒ１を所定の数に分割してパターン３ａを配置したインクリメンタル方式に基づいているため（図１参照）、インクリメンタル角θｉｎｃは、回転中心角θを用いて以下の式３によって表記することができる。
（式３） θｉｎｃ＝（θ,３６０°／ｄｉｖ）
ここで、ｄｉｖは、スケールパターン３におけるパターン３ａの数、つまり、一周当たりのスケールパターン３の数（分割数）である。なお、インクリメンタル角θｉｎｃの値域は、０°≦θｉｎｃ＜３６０°／ｄｉｖである。

【0026】

つぎに、式１におけるαｎについて説明する。第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃは、それぞれ第２仮想円周Ｒ２の周方向に間隔をあけて配置されている。ここで、図３（Ｂ）に示すように第１受光素子４ａが設けられた位置を基準位置とし、第２中心点Ｐｃ２と第１受光素子４ａとを結んだ線分に対する角度（受光素子の配置角度）αｎによって第２受光素子４ｂと第３受光素子４ｃの位置を示す。従って、本実施形態では、第１受光素子４ａの配置角度α１は、α１＝０°となる。また、第２受光素子４ｂの配置角度α２は、α２＝１２０°、第３受光素子４ｃの配置角度α３は、α３＝２４０°（＝－１２０°）となる。本実施形態では、一周３６０°を３等分しているが、不等間隔であってもよい。また、受光素子の数も、４つ以上であってもよく、その場合も、受光素子の間隔は、等間隔であっても不等間隔であってもよい。本実施形態のように、等間隔とすることで、後に説明する角度出力を算出する際に、各受光素子の角度出力に対する重み付けが均等になるため、受光素子を不等間隔に配置した場合と比較してノイズの影響を受けにくい。

【0027】

再び図１を参照すると、第１発光素子５ａ、第２発光素子５ｂ及び第３発光素子５ｃは、ロータリースケール２を隔てて、第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃと反対側に配置されている。第１発光素子５ａ、第２発光素子５ｂ及び第３発光素子５ｃは、ロータリースケール２と平行となる面内に仮想的に描かれる第３仮想円周Ｒ３上に配置されている。第３仮想円周Ｒ３の中心点はＰｃ３である（以下、「第３中心点Ｐｃ３」という。）。第３中心点Ｐｃ３は、第２中心点Ｐｃ２と同様に、回転軸線ＡＸ上に位置している。

【0028】

なお、第１仮想円周Ｒ１、第２仮想円周Ｒ２及び第３仮想円周Ｒ３の直径は、エンコーダとしての機能を発揮することができる範囲内であれ、格別の制約はなく、適宜設定することができる。

【0029】

つぎに、図４を参照して、実施形態の位置測定装置１００について説明する。位置測定装置１００は、上述したロータリーエンコーダ１、角度出力算出部１０、２相正弦波算出部２０及びアブソリュート位置算出部３０などを備えている。

【0030】

角度出力算出部１０は、増幅器、Ａ／Ｄコンバータ、計算器などを備える。角度出力算出部１０は、第１受光素子４ａから第１リサージュを形成するための信号を受信し、第２受光素子４ｂから第２リサージュを形成するための信号を受信し、第３受光素子４ｃから第３リサージュを形成するための信号を受信する。

【0031】

角度出力算出部１０は、各受光素子から受信した信号をＡ／Ｄコンバータでデジタル化し、計算器によって角度出力、つまり、第１角度ＡＮＧＬＥ_１、第２角度ＡＮＧＬＥ_２及び第３角度ＡＮＧＬＥ_３を算出する。これらの角度出力は、上述の式１に各受光素子に関する値を反映させた各式に基づいて算出される。以下の各式は、第１受光素子４ａにおける偏心誤差が「０」となるようにスケール原点Ｏの位置が設定されている。

【0032】

第１受光素子４ａの信号に基づいて算出される第１角度ＡＮＧＬＥ_１は、以下の式４－１で算出される。
（式４－１） ＡＮＧＬＥ_１＝θｉｎｃ＋a・ｓｉｎ（θ）
第２受光素子４ｂの信号に基づいて算出される第２角度ＡＮＧＬＥ_２は、以下の式４－２で算出される。
（式４－２） ＡＮＧＬＥ_２＝θｉｎｃ＋a・ｓｉｎ（θ＋１２０°）
第３受光素子４ｃの信号に基づいて算出される第３角度ＡＮＧＬＥ_３は、以下の式４－３で算出される。
（式４－３） ＡＮＧＬＥ_３＝θｉｎｃ＋a・ｓｉｎ（θ－１２０°）

【0033】

２相正弦波算出部２０は、角度出力算出部１０によって算出された第１角度ＡＮＧＬＥ_１、第２角度ＡＮＧＬＥ_２及び第３角度ＡＮＧＬＥ_３に基づいて２相正弦波Ｘと２相正弦波Ｙを算出する。２相正弦波算出部２０は、２相正弦波Ｘと２相正弦波Ｙを算出するために、まず、以下の式５－１～式５－３に基づいて、それぞれの角速度の差、つまり、第１角度差ＤＩＦＡＮＧＬＥ_１、第２角度差ＤＩＦＡＮＧＬＥ_２及び第３角度差ＤＩＦＡＮＧＬＥ_３を算出する。
（式５－１）
ＤＩＦＡＮＧＬＥ_１＝ＡＮＧＬＥ_２－ＡＮＧＬＥ_１
＝√３a・ｓｉｎ（θ＋１５０°）
（式５－２）
ＤＩＦＡＮＧＬＥ_１＝ＡＮＧＬＥ_３－ＡＮＧＬＥ_２
＝√３a・ｓｉｎ（θ＋２７０°）
（式５－３）
ＤＩＦＡＮＧＬＥ_１＝ＡＮＧＬＥ_１－ＡＮＧＬＥ_３
＝√３a・ｓｉｎ（θ＋３０°）

【0034】

これらの演算を行うことにより、式１における第１項であるインクリメンタル角θｉｎｃの項が打ち消され、式１における第２項である偏心誤差の項だけが残り、これらは、１２０°位相差の３相正弦波となる。こうして得られた３相正弦波を３相２相変換することで、図５に示すような、１周３６０°を周期とするリサージュ（９０°位相差の２相正弦波）を得ることができる。ここで、３相２相変換は、以下の式６に示す行列変換によって行う。式６によって得られたＸ，Ｙがリサージュ信号である。

【数2】

【0035】

アブソリュート位置算出部３０は、２相正弦波算出部２０によって算出された２相正弦波Ｘ及び２相正弦波Ｙに基づいて、アブソリュート位置、すなわち、回転中心角θを算出する。アブソリュート位置算出部３０は、２相正弦波Ｘをｃｏｓθとおき、２相正弦波Ｙをｓｉｎθとおく。そして、式７に基づく演算を行う。

【数3】

【0036】

そして、アブソリュート位置算出部３０は、求めた値Ｑの逆正接関数を求めることで、回転中心角θ、すなわち、アブソリュート位置を得ることができる。

【0037】

以上のように、本実施形態のロータリーエンコーダ１や位置測定装置１００によれば、簡易な構造でアブソリュート位置を求めることができる。つまり、本実施形態のロータリーエンコーダ１や位置測定装置１００によれば、複雑なスケールパターンが設けられたアブソリュートトラック等を装備することなくアブソリュート位置を求めることができる。

【0038】

本実施形態におけるロータリースケール２は、第１仮想円周Ｒ１上に複数のパターン３ａが配列されて形成されたスケールパターン３を有する。そして、ロータリースケール２は、第１仮想円周Ｒ１の第１中心点Ｐｃ１からずれた位置を通過する回転軸線ＡＸ回りに回転する。このようなロータリースケール２を駆動することによって得られる信号を処理することで、簡易な構造でアブソリュート位置を求めることができる。

【0039】

なお、第１中心点Ｐｃ１と回転軸線ＡＸとのずれ量Ｓ自体は、アブソリュート位置の算出に関わってこないが、ロータリーエンコーダ１の設計にあたっては、その値を適切な範囲に設定する必要がある。ずれ量Ｓは、各受光素子の配置にも依存するが、ロータリースケール２の偏心により生じる誤差のピーク・トゥ・ピークが、スケールピッチ（ｓｃａｌｅ ｐｉｔｃｈ）を超えない範囲で設定することができる。ロータリースケール２の偏心によって生じる誤差のピーク・トゥ・ピークは、２×ａｔａｎ(Ｓ／ｒ)で表される。

【0040】

そして、偏心誤差の振幅ａは、スケール半径r、すなわち、第１仮想円周Ｒ１」の半径ｒとずれ量Ｓを用いて上述の式２のように表される。また、スケールピッチは1周のスケールパターン３におけるパターン３ａの数ｄｉｖを用いて、以下の式８で表される。
（式８） ｓｃａｌｅ ｐｉｔｃｈ＝２π／ｄｉｖ

【0041】

これにより、ずれ量Ｓの許容範囲は、以下の式９で示される範囲とすることができる。
（式９） ａ＜ｓｃａｌｅ ｐｉｔｃｈ
⇔Ｓ＜２π／ｄｉｖ

【0042】

本実施形態のロータリーエンコーダ１は、光透過型であるが、発光素子によって照射された光をロータリースケールによって反射させ、これを受光素子で受光する反射型とすることもできる。また、図６に示すように、発信部として送信コイル１５ａ～１５ｃを備え、受信部として受信コイル１４ａ～１４ｃを備えた電磁型のロータリーエンコーダ５０としてもよい。ロータリーエンコーダ５０では、ロータリーエンコーダ１が備える第１受光素子４ａ、第２受光素子４ｂ及び第３受光素子４ｃが、第１受信コイル１４ａ、第２受信コイル１４ｂ及び第３受信コイル１４ｃに置き換えられている。また、ロータリーエンコーダ５０では、ロータリーエンコーダ１が備える第１送信コイル１５ａ、第２送信コイル１５ｂ及び第３送信コイル１５ｃに置き換えられている。このようなロータリーエンコーダ５０であっても、ロータリーエンコーダ１と同様の要領でアブソリュート位置を求めることができる。

【0043】

また、本実施形態では受信部として３つの受光素子を備えるが、受信部の数はこれに限定されず、４つ以上の受信部を装備することができる。

【0044】

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0045】

１、５０ ロータリーエンコーダ
２ ロータリースケール
３ スケールパターン
３ スリット
４ａ 第１受光素子
４ｂ 第２受光素子
４ｃ 第３受光素子
５ａ 第１発光素子
５ｂ 第２発光素子
５ｃ 第３発光素子
１０ 角度出力算出部
１４ａ 第１受信コイル
１４ｂ 第２受信コイル
１４ｃ 第３受信コイル
１５ａ 第１送信コイル
１５ｂ 第２送信コイル
１５ｃ 第３送信コイル
２０ ２相正弦波算出部
３０ アブソリュート位置算出部
１００ 位置測定装置
ＡＸ 回転軸線
Ｒ１ 第１仮想円周
Ｒ２ 第２仮想円周
Ｌｅ 延長線
Ｐｃ１ 第１中心点

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】