特許7684232ケイ素含有膜堆積のための組成物およびそれを用いた方法

発明の名称　ケイ素含有膜堆積のための組成物およびそれを用いた方法

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 1188 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 920 位（21件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7684232

公報発行日　2025年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7684232

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