特許 7746102 洗浄治具及び洗浄方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-09-19

(45)【発行日】2025-09-30

(54)【発明の名称】洗浄治具及び洗浄方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20250922BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20250922BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 651Z

H01L21/68 P

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2021163447

(22)【出願日】2021-10-04

(65)【公開番号】P2023054534

(43)【公開日】2023-04-14

【審査請求日】2024-08-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】中村 勝

【審査官】豊島 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０８６６９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２４３３５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０１７１９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ２１／４６３

Ｈ０１Ｌ２１／６７ －２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で用いられる洗浄治具であって、
該洗浄治具は、該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成され、該保持手段に保持された状態で該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄する洗浄治具。

【請求項2】

被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で実施される洗浄方法であって、
該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成された洗浄治具を、該保持手段に保持することと、該洗浄治具を該保持手段に保持した状態で該吸着面を該洗浄部材の上面に当接させて、該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄することと、を含む洗浄方法。

【請求項3】

該保持手段は、チャックテーブル又は仮置きテーブルである請求項１に記載の洗浄治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置の搬送手段の吸着面を洗浄する洗浄治具に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画された表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

上記の研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールとを回転可能に備えた研削手段と、仮置きテーブルから該チャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に所望の厚みに研削することができる（例えば特許文献１を参照）。

【0004】

また、仮置きテーブルからチャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送手段は、ウエーハの裏面を吸着する板状のポーラス部材からなる吸着面を備えていて、ウエーハを吸着し、確実にチャックテーブルまで搬送することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－０２１２６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、上記の搬送手段の吸着面に、ウエーハを加工する際に生じる異物（例えば、ウエーハの表面に配設されている保護テープの切断屑等）が付着していると、吸着して搬送したウエーハをチャックテーブルに載置した際に、チャックテーブルと搬送手段の吸着面とで挟まれた該異物によって、ウエーハが損傷するという問題がある。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、搬送手段の吸着面に付着する異物によってウエーハが損傷することが防止される洗浄治具を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で用いられる洗浄治具であって、該洗浄治具は、該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成され、該保持手段に保持された状態で該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄する洗浄治具が提供される。
また、本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で実施される洗浄方法であって、
該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成された洗浄治具を、該保持手段に保持することと、該洗浄治具を該保持手段に保持した状態で該吸着面を該洗浄部材の上面に当接させて、該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄することと、を含む洗浄方法が提供される。

【0009】

該保持手段は、チャックテーブル又は仮置きテーブルであることが好ましい。

【発明の効果】

【0010】

本発明の洗浄治具は、被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で用いられる洗浄治具であって、該洗浄治具は、該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成され、該保持手段に保持された状態で該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄するものであることから、搬送手段の吸着面に異物が付着したままになることが防止され、被加工物を保持手段に搬送して保持させる際に、被加工物が破損したりすることが防止される。また、本発明の洗浄方法は、被加工物を保持する保持手段と、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し該保持手段から該被加工物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた加工装置で実施される洗浄方法であって、
該保持手段に保持される下面を有する基板と、該基板の上面に配設された洗浄部材と、から少なくとも構成された洗浄治具を、該保持手段に保持することと、該洗浄治具を該保持手段に保持した状態で該吸着面を該洗浄部材の上面に当接させて、該洗浄部材の作用によって該搬送手段の該吸着面を洗浄することと、を含むことから、搬送手段の吸着面に異物が付着したままになることが防止され、被加工物を保持手段に搬送して保持させる際に、被加工物が破損したりすることが防止される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の洗浄治具が適用される研削装置の全体斜視図である。

【図2】図１に示された研削装置に配設された搬送手段の一部拡大斜視図である。

【図3】本発明の実施例として示された第１～第４の洗浄治具の斜視図である。

【図4】（ａ）第３の洗浄治具をチャックテーブルに保持させる態様を示す斜視図、（ｂ）第１の洗浄治具を仮置きテーブルに保持させる態様を示す斜視図である。

【図5】図４（ａ）に示した洗浄治具により搬送手段の吸着面を洗浄する態様を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に基づいて構成される洗浄治具に係る実施形態、及び該洗浄治具が適用される加工装置の実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0013】

図１には、本実施形態の洗浄治具によって洗浄される吸着面を備えた搬送手段を有する加工装置として研削装置１が示されている。研削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備えている。図１において、装置ハウジング２の後端側には、支持壁２１が立設されている。この支持壁２１の内側面には、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる２対の案内レール２２、２２及び２３、２３が設けられている。一方の案内レール２２、２２には粗研削手段としての粗研削ユニット３が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール２３、２３には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット４が上下方向に移動可能に装着されている。

【0014】

粗研削ユニット３は、ユニットハウジング３１と、ユニットハウジング３１に回転自在に支持された回転軸３２の下端に配設されたホイールマウント３３と、ホイールマウント３３に装着され下面に環状に複数の研削砥石３５が配置された粗研削ホイール３４と、ユニットハウジング３１の上端に装着されホイールマウント３３を矢印Ｒ１で示す方向に回転させる電動モータ３６と、ユニットハウジング３１を、支持部材３７を介して支持する移動基台３８とを備えている。

【0015】

移動基台３８には、上記した支持壁２１に設けられた案内レール２２、２２に摺動可能に篏合する被案内溝が設けられており、粗研削ユニット３が上下方向に移動可能に支持される。図示の研削装置１は、粗研削ユニット３の移動基台３８を案内レール２２、２２に沿って昇降させる昇降手段として配設された研削送り機構３９を備えている。研削送り機構３９は、支持壁２１に案内レール２２、２２と平行に上下方向に配設され回転可能に支持された雄ねじロッド３９１と、該雄ねじロッド３９１を回転駆動するためのパルスモータ３９２と、移動基台３８に装着され雄ねじロッド３９１と螺合する図示しない雌ねじブロックを備えており、パルスモータ３９２によって雄ねじロッド３９１を正転及び逆転駆動することにより、粗研削ユニット３を上下方向に移動させる。

【0016】

仕上げ研削ユニット４も上記粗研削ユニット３と略同様に構成されており、ユニットハウジング４１と、ユニットハウジング４１に回転自在に支持された回転軸４２の下端に配設されたホイールマウント４３と、ホイールマウント４３に装着され、下面に環状に複数の研削砥石４５が配置された仕上げ研削ホイール４４と、ユニットハウジング４１の上端に装着されホイールマウント４３を矢印Ｒ２で示す方向に回転させる電動モータ４６と、ユニットハウジング４１を、支持部材４７を介して支持する移動基台４８とを備えている。

【0017】

移動基台４８には、上記した支持壁２１に設けられた案内レール２３、２３に摺動可能に嵌合する被案内溝が設けられており、仕上げ研削ユニット４が上下方向に移動可能に支持される。図示の実施形態における研削装置１は、仕上げ研削ユニット４の移動基台４８を案内レール２３、２３に沿って昇降させる昇降手段として配設された研削送り機構４９を備えている。研削送り機構４９は、支持壁２１に案内レール２３、２３と平行に上下方向に配設され回転可能に支持された雄ねじロッド４９１と、該雄ねじロッド４９１を回転駆動するためのパルスモータ４９２と、移動基台４８に装着され雄ねじロッド４９１と螺合する図示しない雌ねじブロックを備えており、パルスモータ４９２によって雄ねじロッド４９１を正転及び逆転駆動することにより、仕上げ研削ユニット４を上下方向に移動させる。

【0018】

電動モータ３６及び電動モータ４６によって回転させられる回転軸３２、回転軸４２の回転軸端３２ａ、４２ａには、研削砥石３５、４５と後述するチャックテーブル６に保持される被加工物とに研削水Ｌを供給する研削水供給手段（図示は省略する）が接続されている。

【0019】

研削装置１は、上記支持壁２１の前側において装置ハウジング２の上面と略面一となるように配設されたターンテーブル５を備えている。このターンテーブル５は、比較的大径の円盤状に形成されており、装置ハウジング２の上面の排水パン２０内において図示を省略する回転駆動機構によって矢印Ｒ３で示す方向に適宜回転させられる。ターンテーブル５には、それぞれ１２０度の角度をもって被加工物を保持する保持手段として配設された３個のチャックテーブル６が配設されている。各チャックテーブル６は、後述する回転駆動手段を備えて矢印Ｒ４で示す方向に回転可能に構成されている。このチャックテーブル６は、通気性を有するポーラス部材によって円盤状に形成されチャックテーブル６の保持面を形成する吸着チャック６２と、吸着チャック６２を囲繞する枠体６１とを備えている。

【0020】

ターンテーブル５に配設された３個のチャックテーブル６は、ターンテーブル５が矢印Ｒ３で示す方向に回転させられることにより、被加工物搬入・搬出域Ａ→粗研削加工域Ｂ→仕上げ研削加工域Ｃ→被加工物搬入・搬出域Ａに順次移動させられる。排水パン２０内の被加工物搬入・排出域Ａの近傍には、被加工物搬入・排出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６の吸着チャック６２の上面に洗浄水Ｌ（上記の研削水Ｌをそのまま兼用することができる）を供給する洗浄水供給ノズル１５が配設されている。

【0021】

図示の研削装置１は、被加工物搬入・搬出域Ａに対して一方側に配設され研削加工前の被加工物であるウエーハＷを複数収容する第１のカセット７と、被加工物搬入・搬出域Ａに対して他方側に配設され研削加工後のウエーハＷを複数収容する第２のカセット８と、第１のカセット７と被加工物搬入・搬出域Ａとの間に配設され被加工物を吸引保持して仮置きする仮置きテーブル９と、被加工物搬入・搬出域Ａと第２のカセット８との間に配設された洗浄手段１１と、第１のカセット７内に収納されたウエーハＷを仮置きテーブル９に搬出するとともに洗浄手段１１で洗浄されたウエーハＷを第２のカセット８に搬入する被加工物搬出入手段１２と、仮置きテーブル９上に保持されたウエーハＷを被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６上に搬送する第１の搬送手段１３と、被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６上に載置されている研削加工後のウエーハＷを洗浄手段１１に搬送する第２の搬送手段１４とを備えている。仮置きテーブル９は、枠体９１と、該枠体９１によって囲繞され通気性を有するポーラス部材によって形成される保持面９２とにより形成されている。仮置きテーブル９の近傍には、仮置きテーブル９に吸着されるウエーハＷの外縁を撮影することにより、仮置きテーブル９に吸着されるウエーハＷの中心が、仮置きテーブル９の中心と一致しているか否かを判定するためのカメラ９３が配設されている。

【0022】

第１の搬送手段１３は、矢印Ｒ５で示す方向に旋回するアーム部材１３１と、該アーム部材１３１の先端に形成された吸着部１３２とを備えている。また、第２の搬送手段１４は、矢印Ｒ６で示す方向に旋回するアーム部材１４１と、該アーム部材１４１の先端に形成された吸着部１４２とを備えている。本実施形態の該第１の搬送手段１３と第２の搬送手段１４とは、同一の構成を備えており、図２の上段に、第１の搬送手段１３（第２の搬送手段１４）の先端部を構成する吸着部１３２（吸着部１４２）を上方から見た斜視図を示し、図２の下段に、該吸着部１３２（吸着部１４２）を下方から見た斜視図を示す。図２から理解されるように、吸着部１３２（吸着部１４２）の下面には、通気性を有するポーラス部材によって形成された吸着面１３３（吸着面１４３）が形成されている。該吸着面１３３（吸着面１４３）には、アーム部材１３１（アーム部材１４１）を介して、図示を省略する吸引手段が接続されており、該吸着面１３３（吸着面１４３）に吸引負圧が生成される。なお、本発明は上記した構成に限定されず、例えば、第１の搬送手段１３と第２の搬送手段１４とを兼ねる一つの搬送手段を備えるようにしてもよい。

【0023】

被加工物搬出入手段１２が配置された装置ハウジング２の手前側には、研削作業を指示したり、加工条件を指定したりするための操作パネルを含む制御手段１００が配設されている。該制御手段１００は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を記憶する記憶手段としての読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース及び出力インターフェースを備えている(いずれも図示は省略する）。このように構成された制御手段１００によって、上記の研削装置１の各作動部が制御される。

【0024】

図示の研削装置１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、上記の研削装置１に配設された第１の搬送手段１３の吸着面１３３、第２の搬送手段１４の吸着面１４３を洗浄するために構成された洗浄治具、及びその作用について、以下に説明する。

【0025】

図３（ａ）～（ｄ）には、本発明に基づき形成された洗浄治具での４つの実施例が示されている。図３（ａ）に第１実施例として第１の洗浄治具１６Ａを示す。第１の洗浄治具１６Ａは、上記したチャックテーブル６の吸着チャック６２の寸法に対応する大きさで設定され該吸着チャック６２に吸引保持される下面１６１ａを有する基板１６１と、該基板１６１の上面に配設された洗浄部材１６２とを備えている。該基板１６１は、例えば、硬質な樹脂の円形プレートであり、洗浄部材１６２は、該基板１６１の上面に接着剤等で接着されたスポンジ状のパッドである。

【0026】

図３（ｂ）に第２実施例として第２の洗浄治具１６Ｂを示す。第２の洗浄治具１６Ｂは、上記したチャックテーブル６の吸着チャック６２の寸法に対応する大きさで設定され該吸着チャック６２に吸引保持される下面１６３ａを有する基板１６３と、該基板１６３の上面に配設された洗浄部材１６４とを備えている。該基板１６３は、上記の基板１６１と同質の円形プレートであり、洗浄部材１６４は、該基板１６３の上面に均一な密度で植毛されたブラシ状の部材である。

【0027】

図３（ｃ）に第３実施例として第３の洗浄治具１６Ｃを示す。第３の洗浄治具１６Ｃは、上記したチャックテーブル６の吸着チャック６２の寸法に対応する大きさで設定され該吸着チャック６２に保持される下面１６５ａを有する基板１６５と、該基板１６５の上面に配設された洗浄部材１６６とを備えている。該基板１６５は、上記の基板１６１と同質の円形プレートであり、洗浄部材１６６は、該基板１６５の上面に接着剤で接着されたスポンジ状のパッドである。本実施形態の洗浄部材１６６は、上記の第１の洗浄治具１６Ａに配設された洗浄部材１６２と同質のパッド部材であるが、後述する吸着手段１８（図４（ａ）を参照）によって吸着するための３つの吸着孔１６６ａが形成されており、該吸着孔１６６ａによって、基板１６５の上面が上方に露出している。

【0028】

図３（ｄ）に第４実施例として第４の洗浄治具１６Ｄを示す。第４の洗浄治具１６Ｄは、上記したチャックテーブル６の吸着チャック６２の寸法に対応する大きさで設定され該吸着チャック６２に保持される下面１６７ａを有する基板１６７と、該基板１６７の上面に配設された洗浄部材１６８とを備えている。該基板１６７は、上記の基板１６１と同質の円形プレートであり、洗浄部材１６８は、該基板１６７の上面に植毛されたブラシ状の部材である。該洗浄部材１６８は、上記の第２の洗浄治具１６Ｂに配設された洗浄部材１６４と同質のブラシ状の部材であるが、後述する吸着手段１８（図４（ａ）を参照）によって吸着するために、ブラシ状の洗浄部材１６８が植毛されていない３つの吸着領域１６８ａが形成されており、該吸着領域１６８ａでは、基板１６７の上面が上方に露出している。なお、上記した基板１６１、１６３、１６５、及び１６７は、上記した硬質の樹脂プレートに限定されず、例えば、金属製のプレート、ガラス製のプレート等であってもよい。

【0029】

上記の洗浄治具１６Ａ～１６Ｄは、例えば、図１に示すように、研削装置１の装置ハウジング２の上面であって、洗浄手段１１と、仮置きテーブル９との間の領域に保管することができる。該保管は、保管プレート１６９上に洗浄治具１６Ａ～１６Ｄのいずれかを載置することにより行われる。以下に、本発明の洗浄治具の作用について説明するに当たり、上記した洗浄治具１６Ａ～１６Ｄのうち、第３の洗浄治具１６Ｃが選択されたものとして、以下に説明する。第三の洗浄治具１６Ｃには、図３（ｃ）に示したように、吸着孔１６６ａが形成されており、図４（ａ）に示すような搬送アーム１８を使用して、上記の保管プレート１６９から、被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６に搬送することができる。なお、図１では、説明の都合上、該搬送アーム１８は省略されているが、例えば、該搬送アーム１８の旋回中心は、第１の搬送手段１３及び第２の搬送手段１４との中間に設定される。

【0030】

搬送アーム１８は、アーム部材１８１と、アーム部材１８１の先端部に配設された３つの吸着部材１８２とを備えている。該吸着部材１８２には、アーム部材１８１を介して図示を省略する吸引手段が接続されており、該吸引手段を作動させることで、該吸着部材１８２に負圧が生成される。該吸着部材１８２は、第３の洗浄治具１６Ｃの洗浄部材１６６に形成された３つの吸着孔１６６ａに対応するように形成されている。すなわち、搬送アーム１８の吸着部材１８２を、該第３の洗浄治具１６Ｃの吸着孔１６６ａに位置付けて吸引し、該アーム部材１８１を昇降及び旋回動作させることにより、上記の保管プレート１６９から、被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６に搬送して吸着チャック６２上に載置して吸引保持する。

【0031】

該チャックテーブル６に第３の洗浄治具１６Ｃを保持したならば、図５に示すように、第一の搬送手段１３を旋回して、吸着部１３２の吸着面１３３を第３の洗浄治具１６Ｃの洗浄部材１６６の上面に当接させる。これと共に、チャックテーブル６を矢印Ｒ７で示す方向に回転させると共に、第１の搬送手段１３のアーム部材１３１を矢印Ｒ８で示す方向に揺動させる。このように洗浄治具１６Ｃがチャックテーブル６に保持された状態で、洗浄部材１６６の作用によって第１の搬送手段１３の吸着面１３３が洗浄される。さらに、本実施形態においては、被加工物搬入・搬出域Ａの近傍に配設された上記の洗浄水供給ノズル１５から、洗浄水Ｌを噴射する。該洗浄水Ｌの作用により、第１の搬送手段１３の吸着面１３３がより効果的に洗浄されて、該吸着面１３３に付着していた異物が除去される。このような洗浄は、定期的、又は任意のタイミングで実施され、吸着面１３３に異物が付着しないことにより、ウエーハＷ等をチャックテーブル６に搬送する際に、ウエーハＷが破損したりすることが防止される。

【0032】

なお、上記した実施形態では、洗浄治具１６Ａ～１６Ｄを保管する保管プレート１６９から洗浄治具１６Ａ～１６Ｄをチャックテーブル６に載置する際に、搬送アーム１８を使用したが、本発明はこれに限定されず、作業者が手作業でチャックテーブル６に載置するようにしてもよい。その場合は、図３（ｃ）、（ｄ）に示す第３の洗浄治具１６Ｃ、第４の洗浄治具１６Ｄに形成されている吸着孔１６６ａ、吸着孔１６８ａは不要であり、図３（ａ）、（ｂ）に示す洗浄治具１６Ａ、１６Ｂを使用することができる。

【0033】

また、上記した実施形態では、チャックテーブル６に保持された洗浄治具１６Ｃを使用して、第１の搬送手段１３の吸着面１３３を洗浄したが、第２の搬送手段１４の吸着部１４２の吸着面１４３の洗浄を実施することも可能である。さらに、上記した実施形態では、本発明の保持手段としてチャックテーブル６を使用し、洗浄治具１６Ａ～１６Ｄを保持して第１の搬送手段１３の吸着部１３２の吸着面１３３を洗浄することについて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図４（ｂ）に示すように、本発明の保持手段として上記の仮置きテーブル９を使用し、該仮置きテーブル９の保持面９２に該洗浄治具１６Ａ～１６Ｄを載置して吸引保持し、該仮置きテーブル９の上方から、第１の搬送手段１３の吸着面１３３を当接して、図５に基づき説明したように、第１の搬送手段１３を揺動させることで、該吸着面１３３を洗浄することもできる。その場合は、洗浄治具１６Ａ～１６Ｄを構成する基板１６１、１６３、１６５、１６７の大きさは、仮置きテーブル９と同一又はそれよりも大きければよく、チャックテーブル６に対応する大きさである必要はない。

【0034】

さらに、上記した実施形態では、本発明に基づき構成される洗浄治具が適用される加工装置として、研削装置１を示したが、本発明はこれに限定されず、被加工物を保持する保持手段と、被加工物を吸着する吸着面を有し被加工物を搬送する搬送手段を有する加工装置であれば、加工装置の種類について、特に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0035】

１：研削装置
２：装置ハウジング
２０：排水パン
２１：支持壁
２２、２３：案内レール
３：粗研削ユニット
３１：ユニットハウジング
３２：回転軸
３３：ホイールマウント
３４：粗研削ホイール
３５：研削砥石
３６：電動モータ
３７：支持部材
３８：移動基台
３９：研削送り機構
４：仕上げ研削ユニット
４１：ユニットハウジング
４２：回転軸
４３：ホイールマウント
４４：仕上げ研削ホイール
４５：研削砥石
４６：電動モータ
４７：支持部材
４８：移動基台
４９：研削送り機構
５：ターンテーブル
６：チャックテーブル
６１：枠体
６２：吸着チャック
７：第１のカセット
８：第２のカセット
９：仮置きテーブル
９１：枠体
９２：保持面
９３：カメラ
１１：洗浄手段
１２：被加工物搬出入手段
１３：第１の搬送手段
１３１：アーム部材
１３２：吸着部
１３３：吸着面
１４：第２の搬送手段
１４１：アーム部材
１４２：吸着部
１４３：吸着面
１５：洗浄水供給ノズル
１６Ａ：第１の洗浄治具
１６１：基板
１６１ａ：下面
１６２：洗浄部材
１６Ｂ：第２の洗浄治具
１６３：基板
１６３ａ：下面
１６４：洗浄部材
１６Ｃ：第３の洗浄治具
１６５：基板
１６５ａ：下面
１６６：洗浄部材
１６６ａ：吸着孔
１６Ｄ：第４の洗浄治具
１６７：基板
１６７ａ：下面
１６８：洗浄部材
１６８ａ：吸着領域
１６９：保管プレート
１８：搬送アーム
１８１：アーム部材
１８２：吸着部材
１００：制御手段

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】