発明の名称 ハーフトーンマスクの欠陥修正装置
出願人 株式会社エスケーエレクトロニクス (識別番号 302003244)
特許公開件数ランキング 2059 位(9件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1637 位(10件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7748845
公報発行日 2025年10月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7748845
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