特許7768739基材処理装置の反応チャンバー内に配置されるように構成されたインジェクター

発明の名称　基材処理装置の反応チャンバー内に配置されるように構成されたインジェクター

出願人　エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー　（識別番号 519237203）

　　　　特許公開件数ランキング 304 位（102件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 386 位（66件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7768739

公報発行日　2025年11月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7768739

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