発明の名称 基板搬送装置
出願人 シンフォニアテクノロジー株式会社 (識別番号 2059)
特許公開件数ランキング 520 位(51件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 545 位(40件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7773024
公報発行日 2025年11月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7773024
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