発明の名称 基板製造装置
出願人 浜松ホトニクス株式会社 (識別番号 236436)
特許公開件数ランキング 192 位(168件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 119 位(234件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7774964
公報発行日 2025年11月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7774964
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