7864511 液体吐出ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2026-05-15

(45)【発行日】2026-05-25

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20260518BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20260518BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 605

B41J2/18

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2022039335

(22)【出願日】2022-03-14

(65)【公開番号】P2023134019

(43)【公開日】2023-09-27

【審査請求日】2025-03-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126240

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 琢磨

(74)【代理人】

【識別番号】100223941

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 佳子

(74)【代理人】

【識別番号】100159695

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 七朗

(74)【代理人】

【識別番号】100172476

【弁理士】

【氏名又は名称】冨田 一史

(74)【代理人】

【識別番号】100126974

【弁理士】

【氏名又は名称】大朋 靖尚

(72)【発明者】

【氏名】加藤 高士

(72)【発明者】

【氏名】中川 喜幸

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０１０７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１７５６２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１０４３１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の面を有する基板であって、
当該基板の前記第１の面に設けられ、液体の吐出口と連通し、流入口と流出口とを有
する複数の個別流路が第１の方向に配列した流路列を有し、
当該基板を貫通して前記流入口に液体を供給する供給貫通孔と、前記基板を貫通して
前記流出口から液体を回収する回収貫通孔と、を有する基板と、
前記供給貫通孔に液体を供給し前記第１の方向に延在する供給流路、および前記回収貫通孔から液体を回収し前記第１の方向に延在する回収流路と、
前記供給流路、前記供給貫通孔、前記基板の前記第１の面に設けられ前記個別流路の前
記流出口と連通する接続領域、前記回収貫通孔、および前記回収流路の順に液体が流れる
循環流路を有する、液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記供給流路および前記回収流路を備え、前記第１の面の裏面である第２の面に接続さ
れた流路部材を有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記複数の個別流路が第１の方向に配列した流路列を有し、前記供給貫通孔と前記回収
貫通孔は前記第１の方向と直交する第２の方向に隣接する、請求項１または２に記載の液
体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記供給流路と前記回収流路は、前記基板と直交する方向からみて前記供給貫通孔と前
記回収貫通孔との間に設けられた隔壁によって互いに分離されている、請求項３に記載の
液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記複数の個別流路が第１の方向に配列した流路列を有し、前記供給貫通孔と前記回収
貫通孔が前記第１の方向に交互に配列された貫通孔列を有する、請求項１または２に記載
の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記供給流路と前記回収流路は、前記基板と直交する方向からみて前記供給貫通孔と前
記回収貫通孔の周縁に沿って蛇行して延びる隔壁によって互いに分離される、請求項５に
記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記供給流路および前記回収流路は、前記第１の方向に延びており、
前記供給流路から分岐し、前記第１の方向と直交する第２の方向に延び、前記供給流路
と前記供給貫通孔とを接続する供給接続流路と、
前記回収流路から分岐し、前記第２の方向に延び、前記回収流路と前記回収貫通孔とを
接続する回収接続流路と、を有する、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記貫通孔列の前記第１の方向と直交する第２の方向における両側に、前記流路列が設
けられている、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記貫通孔列が複数設けられている、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出
ヘッド。

【請求項10】

前記供給貫通孔と前記回収貫通孔はそれぞれ前記第１の方向に複数個設けられている、
請求項２から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記複数の個別流路の前記流入口が前記接続領域に接続される、請求項１から１０のい
ずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記個別流路の前記流入口は、前記接続領域と異なる、前記基板の前記第１の面に設け
られた第２の接続領域に接続される、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出
ヘッド。

【請求項13】

各個別流路は直線状に延びる、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記第２の接続領域は前記液体が再循環しない供給流路に接続される、請求項１２また
は１３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

前記第２の接続領域は前記循環流路に接続される、請求項１２または１３に記載の液体
吐出ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は液体吐出ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドでは、液体中の揮発成分が蒸発することで吐出口付近の液体が増粘することがある。液体の増粘は、吐出される液滴の吐出速度や着弾精度に影響を及ぼす可能性がある。液体の増粘を抑制するために、吐出口を含む個別流路で微小な液体循環（ミクロ循環）を生じさせるとともに、個別流路に連通する共通流路でより大規模な液体循環（マクロ循環）を生じさせることが提案されている。特許文献１には、基板の一方の面にミクロ循環領域を、他方の面にマクロ循環領域を設け、これらの領域を基板に設けた貫通孔で連通させた液体吐出ヘッドが開示されている。特許文献２には、ミクロ循環を行う個別流路がマクロ循環を行う共通流路に近接して配置された液体吐出ヘッドが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１８／２０８２７６号

【文献】国際公開第２０１９／０７８８６８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された液体吐出ヘッドでは、ミクロ循環領域とマクロ循環領域が離れている。このため、個別流路から流出した濃縮インクが、ミクロ循環によって個別流路から再流入しやすい。特許文献２に記載された液体吐出ヘッドでは、個別流路から流出した濃縮インクがマクロ循環流によって下流側に蓄積される。しかし、吐出口からインクが吐出する際は、個別流路の流入口と流出口からインクが供給されるため、流出口からも濃縮インクが個別流路に供給される。従って、これらの液体吐出ヘッドでは、吐出口付近でのインクの増粘を抑制できない可能性がある。

【0005】

本発明は、吐出口と連通する個別流路を有し、液体が個別流路を循環し、個別流路から流出した液体の個別流路への再流入を抑制することのできる液体吐出ヘッドを提供することと目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の液体吐出ヘッドは、第１の面を有する基板であって、当該基板の第１の面に設けられ、液体の吐出口と連通し、流入口と流出口とを有する複数の個別流路が第１の方向に配列した流路列を有し、当該基板を貫通して流入口に液体を供給する供給貫通孔と、基板を貫通して流出口から液体を回収する回収貫通孔と、を有する基板と、供給貫通孔に液体を供給し前記第１の方向に延在する供給流路、および回収貫通孔から液体を回収し前記第１の方向に延在する回収流路と、供給流路、供給貫通孔、基板の第１の面に設けられ個別流路の流出口と連通する接続領域、回収貫通孔、および回収流路の順に液体が流れる循環流路を有する。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、吐出口と連通する個別流路を有し、液体が個別流路を循環し、個別流路から流出した液体の個別流路への再流入を抑制することのできる液体吐出ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図2】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図3】本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図4】本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図5】本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図6】本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【図7】比較例の液体吐出ヘッドの要部模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を説明して、本発明の液体吐出ヘッドのいくつかの実施形態を説明する。以下に述べる実施形態は、本発明の適切な具体例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明がこれらの実施形態に限定されないことは勿論である。本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。以下の実施形態はインクを吐出するインク吐出ヘッドを対象としているが、本発明はインク以外の液体を吐出する用途、例えばバイオチップ作製や電子回路印刷などにも用いることができる。

【0010】

以下の説明及び図面において、基板１の第１の面１Ａは、個別流路４や吐出口５が形成される面であり、基板１の第２の面１Ｂは第１の面１Ａの裏面である。第１の方向Ｘは基板１の第１及び第２の面１Ａ，１Ｂと平行であって、以下に述べる流路列３１、吐出口列３２、貫通孔列３３～３５が延在する方向である。第１の方向Ｘは液体吐出ヘッド１００の長手方向に対応する。第２の方向Ｙは基板１の第１及び第２の面１Ａ，１Ｂと平行であって、第１の方向Ｘと直交する方向である。第２の方向Ｙは液体吐出ヘッド１００の短手方向に対応する。Ｚ方向は基板１の第１及び第２の面１Ａ，１Ｂと垂直な方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙと直交する方向である。

【0011】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図１（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図であり、インクのマクロ循環を示している。図１（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図であり、インクのミクロ循環とマクロ循環を示している。図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ部拡大図であり、インクのミクロ循環を示している。液体吐出ヘッド１００は、基板１と、基板１に設けられた吐出口形成部材２と、吐出口形成部材２の反対側にあって基板１を支持する流路部材３と、を有している。基板１は第１の方向Ｘに長く第２の方向Ｙに短い平行四辺形である。基板１と吐出口形成部材２との間には複数の個別流路４が形成されている。吐出口形成部材２には、個別流路４と連通しインクを吐出する吐出口５が形成されている。基板１の吐出口５と対向する位置に、インクに吐出のためのエネルギーを与えるエネルギー発生素子６が形成されている。基板１にはインクにミクロ循環（後述）のためのエネルギーを与える再循環素子７も形成されている。再循環素子７が発生させるエネルギーはインクを吐出させるほど大きなものではない。エネルギー発生素子６及び再循環素子７としては、電気熱変換素子やピエゾ素子を用いることができる。

【0012】

個別流路４は、基板１の第１の面１Ａに設けられインクが再循環する流路である。個別流路４は略Ｕ字形状を有しており、その上流側に再循環素子７が、下流側にエネルギー発生素子６が設けられている。エネルギー発生素子６と再循環素子７との間には仕切壁１６が設けられている。複数の個別流路４は第１の方向Ｘに延びる流路列３１を形成し、これに伴い吐出口５は第１の方向Ｘに延びる吐出口列３２を形成している。図１（ａ）では第１の方向Ｘに４つの個別流路４が配列しているが、実際にはこれより多い個別流路４が第１の方向Ｘに配列している。本実施形態では２つの流路列３１が設けられている。基板１の第１の面１Ａには、複数の個別流路４の流入口４１及び流出口４２と連通する接続領域８が設けられている。接続領域８は、第２の方向Ｙに、複数の個別流路４の流入口４１及び流出口４２と隣接して配置されている。流出口４２の前方にはフィルター部材１９が設けられている。

【0013】

エネルギー発生素子６の非駆動時（インク非吐出時）は、接続領域８から流入口４１を通って個別流路４に入ったインクは、再循環素子７で駆動され、エネルギー発生素子６を通り、流出口４２から接続領域８に流出する。これによって、個別流路４にミクロ循環Ｃ１が生じる。ミクロ循環Ｃ１は、再循環素子７によって引き起こされる個別流路４単位でのインクの微小循環である。すなわち、ミクロ循環Ｃ１は、一つの吐出口５と一つのエネルギー発生素子６と一つの再循環素子７とを含む個々の個別流路４で生じる。インク非吐出時には、吐出口５からの蒸発によって増粘した濃縮インクは、ミクロ循環Ｃ１によって個別流路４の流出口４２から流出する。これによって、吐出口５の近傍の濃縮インクが新鮮なインクで置換され、吐出口５の詰まりを抑制することができる。

【0014】

基板１には、基板１を貫通する供給貫通孔９と回収貫通孔１０とが形成されている。供給貫通孔９と回収貫通孔１０は基板１を第１の面１Ａから第２の面１Ｂに貫通する。Ｚ方向からみて、供給貫通孔９と回収貫通孔１０は接続領域８に位置している。流路部材３には、基板１の第２の面１Ｂに面する供給流路１１と回収流路１２とが設けられている。供給流路１１は供給貫通孔９に接続され、回収流路１２は回収貫通孔１０に接続されている。Ｚ方向からみて、供給流路１１と回収流路１２は、供給貫通孔９と回収貫通孔１０との間に設けられた隔壁１３によって互いに分離されている。隔壁１３は第１の方向Ｘに直線状に延びているが、供給流路１１と回収流路１２を分離することができれば形状は限定されない。以上の構成により、接続領域８、供給貫通孔９、回収貫通孔１０、供給流路１１、回収流路１２は、インクの循環流路８～１２を形成する。インクは供給流路１１、供給貫通孔９を通って基板１の第１の面１Ａに流入し、第１の面１Ａの接続領域８を通って、回収貫通孔１０、回収流路１２の順で流れる。供給貫通孔９は接続領域８にインクを供給し、さらに接続領域８を介して複数の個別流路４にインクを供給する。回収貫通孔１０は接続領域８からインクを回収する。つまり、回収貫通孔１０は接続領域８を介して複数の個別流路４からインクを回収する。

【0015】

このように、循環流路８～１２は、複数の個別流路４と連通しインクが再循環する流路である。循環流路８～１２に生じるインクの循環はマクロ循環Ｃ２と呼ばれる。マクロ循環Ｃ２はミクロ循環Ｃ１より大きな範囲の循環である。後に述べるように、マクロ循環Ｃ２は必ずしも個別流路４にインクを供給する必要はないが、個別流路４から流出するインクを再循環させるように構成されている。マクロ循環Ｃ２は循環流路８～１２に設けられたマクロ循環用の再循環素子や、基板１の外部に設けられた循環ポンプ（ともに図示せず）などによって生じる。

【0016】

供給貫通孔９と回収貫通孔１０はそれぞれ第１の方向Ｘに複数個設けられて、供給貫通孔列３３と回収貫通孔列３４を形成している。図１（ａ）には第１の方向Ｘに２つの供給貫通孔９と２つの回収貫通孔１０が配列しているが、実際にはこれより多い供給貫通孔９と回収貫通孔１０が第１の方向Ｘに配列している。供給貫通孔列３３と回収貫通孔列３４は第２の方向Ｙにおいて２つの流路列３１の間に位置し、流路列３１は供給貫通孔列３３及び回収貫通孔列３４の第２の方向Ｙにおける両側に設けられている。すなわち、一対の貫通孔列３３，３４はこれと組み合わされた２つの流路列３１で共用されている。これによって貫通孔列３３，３４の数を抑えることができる。各供給貫通孔９とこれに対応する回収貫通孔１０は第２の方向Ｙに互いに隣接し、マクロ循環Ｃ２は主として各供給貫通孔９から対応する回収貫通孔１０に向けて流れる。従って、接続領域８において、マクロ循環Ｃ２は概ね第２の方向Ｙに生じる。

【0017】

ここで、図７を参照して比較例について説明する。図７は、比較例の液体吐出ヘッド１０１の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図７（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１０１の平面図、図７（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図７（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図である。比較例では、個別流路４内のミクロ循環Ｃ１のため、矢印Ｃ３で示すように、個別流路４の流出口４２から流出した濃縮インクが個別流路４の流入口４１から個別流路４へ再流入する可能性がある。この濃縮インクの再流入のために、個別流路４内の濃縮インクが新鮮なインクに効率的に置換されない可能性がある。この課題は、例えば第４～第６の実施形態のように流入口４１を流出口４２から離して配置することで解決できるが、インク吐出時には流入口４１と流出口４２の両方からインクが個別回路に流入するので、濃縮インクが個別流路４に逆流する可能性がある。つまり、流入口４１を流出口４２から離して配置しても、インク吐出時には濃縮インクによる吐出不良や印字不良が生じる可能性がある。これらの課題は、個別流路４の流出口４２から流出した濃縮インクが流入口４１と流出口４２の少なくともいずれかを通って個別流路４に再流入することが原因である。従って、個別流路４の流出口４２から接続領域８に流出した濃縮インクを、個別流路４に流入させることなく、接続領域８から排出することが望ましい。

【0018】

比較例における上述の課題の原因の一つは、ミクロ循環Ｃ１を行う個別流路４とマクロ循環Ｃ２を行う循環流路が、基板１の貫通孔１０９だけを介して連通していることである。ミクロ循環Ｃ１は基板１の第１の面１Ａ側だけで生じ、マクロ循環Ｃ２は基板１の第２の面１Ｂ側だけで生じるため、マクロ循環Ｃ２によって個別流路４の濃縮インクを新鮮なインクに置換する効果が限定的である。従って、個別流路４の流出口４２から流出した濃縮インクを接続領域８から効率的に排出することができない。これに対して、本実施形態では、供給流路１１と回収流路１２が隔壁１３によって互いに分離されているので、マクロ循環Ｃ２は供給貫通孔９を通って基板１の第１の面１Ａの接続領域８、すなわち個別流路４の流出口４２の近傍を流れる。換言すれば、マクロ循環Ｃ２はＺ方向においてミクロ循環Ｃ１と同一レベルを流れる。ミクロ循環Ｃ１によって個別流路４から接続領域８に流出した濃縮インクは、マクロ循環Ｃ２によって接続領域８から効率的に排出され、個別流路４が新鮮なインクで置換される。濃縮インクが接続領域８に滞留しにくいため、インク吐出時に濃縮インクが接続領域８から個別流路４に逆流する可能性も低減する。これにより、個別流路４の流出口４２から流出した濃縮インクの影響を低減することができる。なお、本実施形態では再循環素子７は電気熱変換素子としているが、ピエゾ素子を用いた場合は、その駆動方法によっては、個別流路４の流入口４１と流出口４２が本実施形態と逆になることがある。この場合も本実施形態と同様の構成を適用することができる。

【0019】

（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図２（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図、図２（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図２（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図２（ｃ）は第１の方向Ｘからみた図２（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図２（ｂ），２（ｃ）はインクのミクロ循環Ｃ１とマクロ循環Ｃ２を示している。以下、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。説明を省略した構成や効果は第１の実施形態と同様である。

【0020】

供給貫通孔９と回収貫通孔１０は、協働して第１の方向Ｘに延びる１列の貫通孔列３５を形成している。供給貫通孔９と回収貫通孔１０は第１の方向Ｘに交互に配置され、マクロ循環Ｃ２は供給貫通孔９と回収貫通孔１０との間を第１の方向Ｘに流れる。流路列３１は貫通孔列３５の第２の方向Ｙにおける両側に設けられている。すなわち、１列の貫通孔列３５が２つの流路列３１と組み合わされている。循環流路８～１２は、接続領域８と、供給貫通孔９と、回収貫通孔１０と、供給流路１１と、回収流路１２と、を有している。供給貫通孔９と回収流路１２は基板１の第２の面１Ｂに面し、それぞれ供給流路１１と回収貫通孔１０に連通している。供給流路１１と回収流路１２を分離する隔壁１３は、Ｚ方向からみて供給貫通孔９と回収貫通孔１０の周縁に沿って蛇行して延びている。供給貫通孔９は、供給流路１１から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びる供給接続流路１４によって供給流路１１と接続されている。同様に、回収貫通孔１０は、回収流路１２から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びる回収接続流路１５によって回収流路１２と接続されている。

【0021】

第１の実施形態では、マクロ循環Ｃ２は接続領域８において、主に供給貫通孔列３３と回収貫通孔列３４との間を第２の方向Ｙに流れる。これに対して本実施形態では、マクロ循環Ｃ２は接続領域８において第１の方向Ｘに流れ、インクの流れは特に貫通孔列３５に沿った領域で支配的となる。このためマクロ循環Ｃ２は個別流路４の流出口４２に近い領域を流れることができる。供給貫通孔９と回収貫通孔１０が交互に配列するため、マクロ循環Ｃ２は第２の方向Ｙにより均一に流れる。これらの理由によって、個別流路４の流出口４２から流出した濃縮インクをより効率的に接続領域８から排出することができる。また、本実施形態では供給貫通孔９と回収貫通孔１０を交互に配置するため貫通孔列３５が１列で済む。従って、第１の実施形態と比べて貫通孔及び貫通孔列間のスペースが削減され、液体吐出ヘッド１００の第２の方向Ｙの寸法の縮小が可能である。

【0022】

（第３の実施形態）
図３は、第３の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図３（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図、図３（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図３（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図３（ｃ）は第１の方向Ｘからみた図３（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図３（ｂ），３（ｃ）はインクのミクロ循環Ｃ１とマクロ循環Ｃ２を示している。以下、第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。説明を省略した構成や効果は第１及び第２の実施形態と同様である。貫通孔列３５は複数設けられ、流路列３１は各貫通孔列３５の第２の方向Ｙにおける両側に設けられている。すなわち、１列の貫通孔列３５が２つの流路列３１と組み合わされている。供給接続流路１４は供給流路１１から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びている。供給接続流路１４は複数の（本実施形態では２つの）貫通孔列３５の、第１の方向Ｘにおいて同じ位置にある各供給貫通孔９と接続されている。同様に、回収接続流路１５は回収流路１２から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びている。回収接続流路１５は複数の（本実施形態では２つの）貫通孔列３５の、第１の方向Ｘにおいて同じ位置にある各回収貫通孔１０と接続されている。貫通孔列３５の数は２つに限定されず、３以上の貫通孔列３５を設けることもできる。１つの供給流路１１と１つの回収流路１２との間に複数の貫通孔列３５を設けることができるので、これと組み合わされる吐出口列３２の数も増やすことができる。従って、液体吐出ヘッド１００の第２の方向Ｙの寸法を抑えながら、多くの吐出口５を設けることができる。

【0023】

（第４の実施形態）
図４は、第４の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図４（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図、図４（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図４（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図４（ｃ）は第１の方向Ｘからみた図４（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図４（ｂ），４（ｃ）はインクのミクロ循環Ｃ１とマクロ循環Ｃ２を示している。以下、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。説明を省略した構成や効果は第１の実施形態と同様である。

【0024】

個別流路４の流入口４１は接続領域８と異なる他の接続領域８Ａに接続されている。個別流路４の両側に個別流路４と組み合わされた貫通孔列３５，３６が設けられている。貫通孔列３５は接続領域８に位置し，貫通孔列３６は他の接続領域８Ａに位置している。他の接続領域８Ａには供給貫通孔９だけが設けられ、回収貫通孔１０は設けられていない。つまり、貫通孔列３６は供給貫通孔９だけで構成され、他の接続領域８Ａはインクが再循環しない供給流路１７に接続される。供給流路１７と供給流路１１は隔壁１８によって互いに分離されている。ミクロ循環Ｃ１は第１～第３の実施形態と異なり、異なる接続領域８，８Ａの間を流れる。

【0025】

接続領域８の構成は第２の実施形態と同様である。供給貫通孔９と回収貫通孔１０は第１の方向Ｘに交互に配置され、第１の方向Ｘに延びる１列の貫通孔列３５を形成している。マクロ循環Ｃ２は接続領域８において、供給貫通孔９と回収貫通孔１０との間を第１の方向Ｘに流れる。供給貫通孔９は、供給流路１１から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びる供給接続流路１４によって供給流路１１と接続されている。同様に、回収貫通孔１０は、回収流路１２から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びる回収接続流路１５によって回収流路１２と接続されている。

【0026】

個別流路４の流入口４１と流出口４２が異なる接続領域８，８Ａに接続される場合、流出口４２につながる接続領域８だけでマクロ循環Ｃ２をさせても十分な効果が得られる。よって、本実施形態によれば、マクロ循環Ｃ２のためのポンプの合理化が可能である。ただし、接続領域８から濃縮インクが個別流路４に流入することを防ぐため、流入口４１の圧力は流出口４２の圧力より高くすることが好ましい。これは供給流路１７にインクを供給するポンプの圧量制御などによって実現することができる。各個別流路４は第２の方向Ｙに直線状に延びているため、配置効率に優れる。しかし、流入口４１と流出口４２が異なる接続領域８に接続されている限り、個別流路４の形状は何ら限定されず、曲線状や折れ線状でもよい。本実施形態では、吐出口５を第１の方向Ｘに直線状に配置にできるが。図５（ｄ）に示すように大きさの異なる吐出口５Ａ，５Ｂを第２の方向Ｙにずらして、吐出口５Ａ，５Ｂをそれぞれ別々の列として第１の方向Ｘに配列することもできる。図示は省略するが、第１の実施形態で示した供給貫通孔列３３と回収貫通孔列３４を備える構成も本実施形態に適用可能である。

【0027】

（第５の実施形態）
図５は、第５の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図５（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図、図５（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図５（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図５（ｃ）は第１の方向Ｘからみた図５（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図５（ｂ），５（ｃ）はインクのミクロ循環Ｃ１とマクロ循環Ｃ２を示している。以下、第４の実施形態と異なる点を中心に説明する。説明を省略した構成や効果は第１及び第４の実施形態と同様である。本実施形態では、貫通孔列３５の第２の方向Ｙの両側に、貫通孔列３５と組み合わされた流路列３１が設けられている。それ以外の構成は第４の実施形態と同じである。一つの貫通孔列３５が２つの流路列３１で共用されるので、液体吐出ヘッド１００の第２の方向Ｙの寸法を抑えながら、多くの吐出口５を設けることができる。図示は省略するが、第１の実施形態で示した供給貫通孔列３３と回収貫通孔列３４を備える構成も本実施形態に適用可能である。

【0028】

（第６の実施形態）
図６は、第６の実施形態の液体吐出ヘッド１００の吐出口５の近傍を詳細に説明する模式図である。図６（ａ）はＺ方向からみた液体吐出ヘッド１００の平面図、図６（ｂ）は第１の方向Ｘからみた図６（ａ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、図６（ｃ）は第１の方向Ｘからみた図６（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図６（ｂ），６（ｃ）はインクのミクロ循環Ｃ１とマクロ循環Ｃ２を示している。以下、第５の実施形態と異なる点を中心に説明する。説明を省略した構成や効果は第４及び第５の実施形態と同様である。本実施形態では、第４及び５の実施形態と同様、個別流路４の流入口４１は接続領域８と異なる他の接続領域８Ａに接続されている。貫通孔列３５は複数設けられ、中央の貫通孔列３５の第２の方向Ｙにおける両側に、貫通孔列３５と組み合わされた流路列３１が設けられている。個別流路４と組み合わされた両側の接続領域８，８Ａには、供給貫通孔９と回収貫通孔１０が第２の方向Ｙに交互に配置された貫通孔列３５が設けられている。第４及び５の実施形態と異なり、他の接続領域８Ａは循環流路８～１２に接続されている。

【0029】

第３の実施形態と同様、供給接続流路１４は供給流路１１から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びている。供給接続流路１４は複数の（本実施形態では３つの）貫通孔列３５の、第１の方向Ｘにおいて同じ位置にある各供給貫通孔９と接続されている。同様に、回収接続流路１５は回収流路１２から櫛歯状に分岐し第２の方向Ｙに延びている。回収接続流路１５は複数の（本実施形態では３つの）貫通孔列３５の、第１の方向Ｘにおいて同じ位置にある各回収貫通孔１０と接続されている。貫通孔列３５の数は３つに限定されない。本実施形態においても第３の実施形態と同様、１つの供給流路１１と１つの回収流路１２との間に複数の貫通孔列３５を設けることができるので、これと組み合わされる吐出口列３２の数も増やすことができる。従って、液体吐出ヘッド１００の第２の方向Ｙの寸法を抑えながら、多くの吐出口５を設けることができる

【符号の説明】

【0030】

２ 基板
４ 個別流路
８ 接続領域
９ 供給貫通孔
１０ 回収貫通孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】