特表-12173209IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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再表2012-173209アルコール化合物とその製造方法、ラクトン化合物の製造方法、(メタ)アクリル酸エステルとその製造方法、重合体とその製造方法、レジスト組成物とこれを用いた基板の製造方法
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  • 再表WO2012173209-アルコール化合物とその製造方法、ラクトン化合物の製造方法、(メタ)アクリル酸エステルとその製造方法、重合体とその製造方法、レジスト組成物とこれを用いた基板の製造方法 図000055
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